JP2011133499A - ウェハへのフィルム貼付方法およびその設備 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハへのフィルム貼付方法は、順番に、フィルム仮切断ステップ11、フィルム仮貼付ステップ12、フィルム圧着ステップ13およびフィルム平坦化ステップ14を含む。フィルム貼付設備は、ドライフィルムを仮切断し、切断したドライフィルムを仮貼付するフィルム切断機構2と、ウェハとドライフィルムとの1次圧着を行うフィルム圧着機構3と、ウェハとドライフィルムとの2次圧着を行うことにより、ウェハのドライフィルム表面を平坦化するフィルム平坦化機構4と、を含む。
【選択図】図1
Description
フィルム貼付設備は、フィルム圧着機構またはフィルム平坦化機構に配置される離型フィルム保護機構をさらに含む。離型フィルム保護機構は、離型フィルムがドライフィルムの表面と、フィルム圧着機構またはフィルム平坦化機構の上チャンバと、の間に配置されることにより、ドライフィルムの受熱部位の余った接着剤が離型フィルムに付着され、取り除かれる。
(1)
ドライフィルムを仮切断し、貼付するウェハのサイズに符合するドライフィルムを取得するフィルム仮切断ステップと、
前記ドライフィルムを前記ウェハの表面に仮貼付し、前記ドライフィルムと前記ウェハとを対応させるフィルム仮貼付ステップと、
前記ドライフィルムと前記ウェハとを熱圧着し、前記ドライフィルムを前記ウェハ表面に付着させるフィルム圧着ステップと、を含むことを特徴とするウェハへのフィルム貼付方法。
(2)前記フィルム圧着ステップの後、前記ウェハのドライフィルム表面に対し、2次熱圧着を行い、前記ウェハに付着したドライフィルムの表面を平坦化するフィルム平坦化ステップをさらに含み、前記フィルム圧着ステップの熱圧着は、柔軟性部材による熱圧着であり、前記フィルム平坦化ステップの熱圧着は、剛性部材による熱圧着であることを特徴とする(1)記載のウェハへのフィルム貼付方法。
(3)前記フィルム圧着ステップは、柔軟性部材による熱圧着または剛性部材による熱圧着であることを特徴とする(1)記載のウェハへのフィルム貼付方法。
(4)(2)記載のウェハへのフィルム貼付方法に使用されるフィルム貼付設備であり、
前記フィルム貼付設備は、ドライフィルムを仮切断し、切断した前記ドライフィルムを仮貼付するフィルム切断機構と、前記ウェハと前記ドライフィルムとの1次圧着を行うフィルム圧着機構と、前記ウェハと前記ドライフィルムとの2次圧着を行うことにより、前記ウェハのドライフィルム面を平坦な表面にするフィルム平坦化機構と、を含み、
前記フィルム切断機構は、前記ウェハが配置される搭載台と、ドライフィルムを切断するのに都合がよいように、ドライフィルムを吸着し、さらに、切断した前記ドライフィルムを前記搭載台に移動させて前記ウェハに仮貼付するフィルム吸着盤と、前記フィルム吸着盤により吸着固定されたドライフィルムを切断する1対の裁断機構と、を含み、
前記フィルム圧着機構は、前記ウェハが配置される下チャンバと、電熱圧着面を有し、前記ドライフィルムを前記ウェハの表面に熱圧着する上チャンバと、を含み、
前記フィルム平坦化機構は、前記ウェハが配置される下チャンバと、剛性部材である電熱圧着面を有し、前記ウェハのドライフィルム表面を加圧して平坦化する上チャンバと、を含むことを特徴とするウェハへのフィルム貼付設備。
(5)前記フィルム切断機構は、ドライフィルムの挟持、拡張などの動作を行うことにより、ドライフィルムを切断領域に移動させるとき、平坦性を維持するドライフィルム輸送機構をさらに含むことを特徴とする(4)記載のウェハへのフィルム貼付設備。
(6)前記フィルム圧着機構または前記フィルム平坦化機構に配置される離型フィルム保護機構をさらに含み、前記離型フィルム保護機構は、離型フィルムが前記ドライフィルムの表面と、前記フィルム圧着機構または前記フィルム平坦化機構の上チャンバとの間に配置されることにより、ドライフィルムの受熱部位の余った接着剤が前記離型フィルムに付着され、取り除かれることを特徴とする(4)記載のウェハへのフィルム貼付設備。
12 フィルム仮貼付ステップ
13 フィルム圧着ステップ
14 フィルム平坦化ステップ
2 フィルム切断機構
21 搭載台
22 フィルム吸着盤
23 裁断機構
24 ドライフィルム輸送機構
3 フィルム圧着機構
31 下チャンバ
32 上チャンバ
4 フィルム平坦化機構
41 上チャンバ
42 下チャンバ
5 離型フィルム保護機構
6 ロボットアーム
Claims (6)
- ドライフィルムを仮切断し、貼付するウェハのサイズに符合するドライフィルムを取得するフィルム仮切断ステップと、
前記ドライフィルムを前記ウェハの表面に仮貼付し、前記ドライフィルムと前記ウェハとを対応させるフィルム仮貼付ステップと、
前記ドライフィルムと前記ウェハとを熱圧着し、前記ドライフィルムを前記ウェハ表面に付着させるフィルム圧着ステップと、を含むことを特徴とするウェハへのフィルム貼付方法。 - 前記フィルム圧着ステップの後、前記ウェハのドライフィルム表面に対し、2次熱圧着を行い、前記ウェハに付着したドライフィルムの表面を平坦化するフィルム平坦化ステップをさらに含み、前記フィルム圧着ステップの熱圧着は、柔軟性部材による熱圧着であり、前記フィルム平坦化ステップの熱圧着は、剛性部材による熱圧着であることを特徴とする請求項1記載のウェハへのフィルム貼付方法。
- 前記フィルム圧着ステップは、柔軟性部材による熱圧着または剛性部材による熱圧着であることを特徴とする請求項1記載のウェハへのフィルム貼付方法。
- 請求項2記載のウェハへのフィルム貼付方法に使用されるフィルム貼付設備であり、
前記フィルム貼付設備は、ドライフィルムを仮切断し、切断した前記ドライフィルムを仮貼付するフィルム切断機構と、前記ウェハと前記ドライフィルムとの1次圧着を行うフィルム圧着機構と、前記ウェハと前記ドライフィルムとの2次圧着を行うことにより、前記ウェハのドライフィルム面を平坦な表面にするフィルム平坦化機構と、を含み、
前記フィルム切断機構は、前記ウェハが配置される搭載台と、ドライフィルムを切断するのに都合がよいように、ドライフィルムを吸着し、さらに、切断した前記ドライフィルムを前記搭載台に移動させて前記ウェハに仮貼付するフィルム吸着盤と、前記フィルム吸着盤により吸着固定されたドライフィルムを切断する1対の裁断機構と、を含み、
前記フィルム圧着機構は、前記ウェハが配置される下チャンバと、電熱圧着面を有し、前記ドライフィルムを前記ウェハの表面に熱圧着する上チャンバと、を含み、
前記フィルム平坦化機構は、前記ウェハが配置される下チャンバと、剛性部材である電熱圧着面を有し、前記ウェハのドライフィルム表面を加圧して平坦化する上チャンバと、を含むことを特徴とするウェハへのフィルム貼付設備。 - 前記フィルム切断機構は、ドライフィルムの挟持、拡張などの動作を行うことにより、ドライフィルムを切断領域に移動させるとき、平坦性を維持するドライフィルム輸送機構をさらに含むことを特徴とする請求項4記載のウェハへのフィルム貼付設備。
- 前記フィルム圧着機構または前記フィルム平坦化機構に配置される離型フィルム保護機構をさらに含み、前記離型フィルム保護機構は、離型フィルムが前記ドライフィルムの表面と、前記フィルム圧着機構または前記フィルム平坦化機構の上チャンバとの間に配置されることにより、ドライフィルムの受熱部位の余った接着剤が前記離型フィルムに付着され、取り除かれることを特徴とする請求項4記載のウェハへのフィルム貼付設備。
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JP2009289899A JP2011133499A (ja) | 2009-12-22 | 2009-12-22 | ウェハへのフィルム貼付方法およびその設備 |
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