JP2010118584A - ウエハのマウント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ1のマウント装置において、上下一対の上部枠体6と下部枠体7の結合によりその内部を密閉状態になるように構成すると共に、上部枠体6の下面に弾性変形可能な通気性部材を装着して上部枠体6の通気孔9を通して通気性部材13全域に圧縮空気を導入するようにし、下部枠体7の上面にウエハ1を載置保持するテーブル面20を形成し、下部枠体7の外周外側全域にダイシングテープ4が貼り付けられたダイシングフレーム3を保持するフレーム台22を設け、通気性部材13でダイシングテープ4を押下げ後、下部枠体7の押圧で通気性部材13を弾性変形させながらウエハ1の凹凸形状に沿ってダイシングテープ4を押圧すると共に上下枠体の内部を密閉状態に保持せしめた後、通気性部材13の全域から圧縮空気を噴射させる。
【選択図】図1
Description
このダイシングテープ4の押し下げによって、加熱や貼り付け時の張力等によって発生するダイシングテープ4の弛みやしわが伸ばされ、ダイシングテープ4が張った状態となる。このことにより、ダイシングテープ4がウエハ1と接触する際にしわや気泡が発生しない。なお、上記ヒータ11での加熱はダイシングテープ4の特性に合わせ適宜加熱温度を調節したり、ヒータ11を使用せずに行っても良い。
2 保護テープ
3 ダイシングフレーム
4 ダイシングテープ
5 マウント装置
6 上部枠体
7 下部枠体
8 保持枠
9 通気孔
10 通気パイプ
11 ヒータ
12 支持板
13 通気性部材
14 シール
15 支持枠
16 昇降シリンダ
17 ガイド
18 支持枠
20 テーブル面
21 ヒータ
22 フレーム台
23 固定枠
24 モータ
25 ボールネジ
26 ナット部材
27 支持板
28 ガイド
29 開孔
30a 上チャンバ
30b 下チャンバ
31 真空アダプタ
32 ガイド
33 支持板
34 支持枠
35 昇降シリンダ
36 支持板
37 昇降シリンダ
38 バンプ
39 マウント装置
40 機台
41 貼付テーブル
42 フレーム台
43 揺動軸
44 貼付ローラ
45 バネ
47a 上部枠体
47b 下部枠体
48 テーブル面
49 シール
50 通気パイプ
51 モータ
52a 上チャンバ
52b 下チャンバ
53 フレーム台
54 ヒータ
55 貼付テーブル
56 シリンダ
57 真空アダプタ
58 弾性ローラ
60 金属膜
61 仕上研磨面
62 外周リブ
63 粗削り面
Claims (5)
- その一面が凹凸形状に形成されたウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、
互いに昇降可能に支持された上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、これら上部枠体と下部枠体の結合により、その内部を密閉状態になるように構成するとともに、
上部枠体には、その下面に弾性変形可能な材質からなる通気性部材を装着して、この上部枠体に穿設された通気孔を通して前記通気性部材全域に圧縮空気を導入するように構成し、
前記下部枠体には、その上面にウエハを載置保持するようにテーブル面を形成し、前記下部枠体の外周外側全域にはダイシングテープが貼り付けられたダイシングフレームを保持するフレーム台が設けられており、
前記上部枠体の下降動で前記通気性部材を介してダイシングテープを押し下げ、然る後、下部枠体の上昇動により、通気性部材を弾性変形させながら該下部枠体のテーブル面に保持されたウエハの凹凸形状に沿ってダイシングテープを押圧するとともに、これら上下枠体の結合により、その内部を密閉状態に保持せしめた後、上部枠体の通気孔から圧縮空気を導入し、この導入された圧縮空気を通気性部材の全域から噴射せしめることにより、ダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿って貼り付けるようにしたことを特徴とするウエハのマウント装置。 - 前記通気性部材の押圧面がウエハの中央部から外周に向かってダイシングテープを押圧するように円錐形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載のウエハのマウント装置。
- 前記上下一対の上部枠体と下部枠体及びフレーム台とを真空チャンバ内に設け、ウエハのダイシングテープの貼り付けを減圧雰囲気下で行うようにしたことを特徴とする請求項1または2記載のウエハのマウント装置。
- その一面が凹凸形状に形成されたウエハにダイシングテープを押圧して貼り付けることにより、ダイシングテープを介してウエハをダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、
開閉自在な上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、
上部枠体には、圧縮空気を導入する通気孔が設けられ、
下部枠体には、その内部にウエハがマウントされたダイシングフレームを載置するテーブル面を形成し、
ウエハがマウントされたダイシングフレームを前記下部枠体のテーブル面に載置し、上部枠体と下部枠体を閉じて、その内部を密閉状態にせしめた後、前記上部枠体の通気孔を通じて圧縮空気を導入することによりダイシングテープを圧縮空気でウエハに押圧せしめダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿うように貼り付けするようにしたことを特徴とするウエハのマウント装置。 - その一面が凹凸形状に形成されたウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、
互いに昇降可能に支持された上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、これら上部枠体と下部枠体の結合により、その内部を密閉状態になるように構成するとともに、
上部枠体には、その下面に弾性変形可能な材質からなる通気性部材を装着して、この上部枠体に穿設された通気孔を通して前記通気性部材全域に圧縮空気を導入するように構成し、
前記下部枠体には、その上面にダイシングテープが貼り付けられたウエハのウエハ部分を載置保持するようにテーブル面を形成し、前記下部枠体の外周外側全域にはウエハがマウントされたダイシングフレームを保持するフレーム台が設けられており、
ダイシングフレームにマウントされたウエハを前記下部枠体のテーブル面に保持するとともにダイシングフレームをフレーム台に保持し、この後、前記上部枠体の下降動で前記通気性部材を介してダイシングテープを押圧することで通気性部材を弾性変形させながら該下部枠体のテーブル面に保持されたウエハの凹凸形状に沿ってダイシングテープを押圧するとともに、これら上下枠体の結合により、その内部を密閉状態に保持せしめた後、上部枠体の通気孔から圧縮空気を導入し、この導入された圧縮空気を通気性部材の全域から噴射せしめることにより、ダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿って貼り付けるようにしたことを特徴とするウエハのマウント装置。
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