JP2012084563A - テープ貼付装置およびテープ貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】裏面の中央部に外周端部2よりも薄い凹部3が形成された半導体ウエハ1の、おもて面4側の外周端部2のみをウエハ支持台13によって支持する。テープ貼付装置内の第1の密閉空間21を真空状態にした後、第1の密閉空間21のうち、半導体ウエハ1とウエハ支持台13との間に形成される第2の密閉空間22に、加圧装置15によって圧力を導入する。それと同時に、半導体ウエハ1の上方に粘着テープ5を介して昇降可能な状態で設けられた貼付部材17を下降させ、半導体ウエハ1の裏面の凹部3に粘着テープ5を押込んで貼付する。
【選択図】図1
Description
図1は、実施の形態にかかるテープ貼付装置を示す説明図である。また、図2は、実施の形態にかかるテープ貼付装置の動作時を示す説明図である。ここでは、半導体ウエハ1の裏面側の外周端部の全周または一部を補強部(リブ部)2として残して中央部を薄くして、段差形状(以下、凹部とする)3とした半導体ウエハ(以下、リブウエハとする)1を用いて説明する。リブウエハ1のおもて面4の中央部には、表面素子構造(不図示)が形成されている。
2 リブウエハの外周端部(リブ部)
3 リブウエハの裏面の凹部
4 リブウエハのおもて面
5 粘着テープ
11 ステージ
12 蓋
13 ウエハ支持台
14 真空発生装置
15 加圧装置
16 フレーム
17 貼付部材
18 溝部
19 駆動部
Claims (19)
- 裏面の中央部に外周端部よりも薄い凹部が形成された半導体ウエハに粘着テープを貼付するテープ貼付装置であって、
半導体ウエハのおもて面側の外周端部を支持するウエハ支持台と、
前記ウエハ支持台の上方に、半導体ウエハの裏面から離して粘着テープを保持するテープ保持治具と、
前記ウエハ支持台に支持された半導体ウエハのおもて面側に圧力をかける加圧手段と、
粘着テープを半導体ウエハの裏面の凹部に押込んで貼付する貼付部材と、
前記加圧手段を動作させるとともに、前記貼付部材を動作させる制御手段と、
を備えることを特徴とするテープ貼付装置。 - 前記ウエハ支持台上の半導体ウエハが支持される第1の密閉空間を減圧する減圧手段をさらに備えることを特徴とする請求項1のテープ貼付装置。
- 前記ウエハ支持台は、半導体ウエハのおもて面側の中央部と対向する位置に溝部を有することを特徴とする請求項1または2のテープ貼付装置。
- 前記貼付部材は、弾性体からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のテープ貼付装置。
- 前記貼付部材は、半導体ウエハの直径より広い直径の円形状の平面形状を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のテープ貼付装置。
- 前記貼付部材は、外周部から中央部に向かって徐々に厚さを増した断面形状を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のテープ貼付装置。
- 前記テープ保持治具は、粘着面を半導体ウエハ側にして粘着テープを保持することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のテープ貼付装置。
- 前記加圧手段は、おもて面の中央部に表面素子構造が形成された半導体ウエハのおもて面側の中央部に圧力をかけることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載のテープ貼付装置。
- 前記加圧手段は、前記減圧手段によって減圧された前記第1の密閉空間のうち、半導体ウエハと前記ウエハ支持台の間に形成される第2の密閉空間に空気を導入し、半導体ウエハのおもて面側に圧力をかけることを特徴とする請求項2〜8のいずれか一つに記載のテープ貼付装置。
- 前記減圧手段は、前記第1の密閉空間を真空または減圧状態にすることを特徴とする請求項2〜9のいずれか一つに記載のテープ貼付装置。
- 裏面の中央部に外周端部よりも薄い凹部が形成された半導体ウエハに粘着テープを貼付するテープ貼付方法であって、
前記半導体ウエハの外周端部を支持するウエハ支持台に、おもて面側を下にして前記半導体ウエハを載置するウエハ載置工程と、
前記半導体ウエハの上方に、該半導体ウエハから離して粘着テープを保持する保持工程と、
前記半導体ウエハのおもて面側に圧力をかけるとともに、前記粘着テープの上方に設けられた貼付部材によって、該粘着テープを該半導体ウエハの裏面の凹部に押込んで貼付する制御工程と、
を含むことを特徴とするテープ貼付方法。 - 前記保持工程の後、前記制御工程の前に、前記ウエハ支持台上の前記半導体ウエハが載置されている第1の密閉空間を減圧する減圧工程をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載のテープ貼付方法。
- 前記貼付部材は、弾性体からなることを特徴とする請求項11または12に記載のテープ貼付方法。
- 前記貼付部材は、前記半導体ウエハの直径より広い直径の円形状の平面形状を有することを特徴とする請求項11〜13のいずれか一つに記載のテープ貼付方法。
- 前記貼付部材は、外周部から中央部に向かって徐々に厚さを増した断面形状を有することを特徴とする請求項11〜14のいずれか一つに記載のテープ貼付方法。
- 前記保持工程では、粘着面を下にして前記粘着テープを保持し、
前記制御工程では、前記貼付部材によって前記粘着テープの粘着面を前記半導体ウエハの裏面側に押付けることを特徴とする請求項11〜15のいずれか一つに記載のテープ貼付方法。 - 前記制御工程では、おもて面の中央部に表面素子構造が形成された前記半導体ウエハのおもて面側の中央部に圧力をかけることを特徴とする請求項11〜16のいずれか一つに記載のテープ貼付方法。
- 前記制御工程では、前記減圧工程によって減圧された前記第1の密閉空間のうち、前記半導体ウエハと前記ウエハ支持台の間に形成された第2の密閉空間に空気を導入することを特徴とする請求項12〜17のいずれか一つに記載のテープ貼付方法。
- 前記減圧工程では、前記第1の密閉空間を真空または減圧状態にすることを特徴とする請求項12〜18のいずれか一つに記載のテープ貼付方法。
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