JP2012054481A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWを支持するテーブル11を収容し、内部に密閉空間Cを形成する上ケース12及び下ケース13を含む収容手段15と、密閉空間Cを減圧する減圧手段16と、半導体ウエハWを臨む位置に接着シートSを供給する供給手段17とを備える。接着シートSは上ケース12の下面との間に空間を形成することなく供給され、収容手段15を閉塞したときに接着シートSが下ケース13の開口部14を閉塞する。接着シートSの貼付は、テーブル11の上昇や、上ケース12と接着シートSとの間に流体を充填することによって行うことができる。
【選択図】図1
Description
また、特許文献2には、減圧下でウエハにダイシングテープを貼付する装置が開示されている。
この点、特許文献2によれば、上記のような圧力制御を行う必要はなく、減圧装置も1個で足りる構成となっているが、ウエハに貼付する接着シートをリングフレーム等の支持具に予め貼付しておかなければならないため、接着シートを貼付するための余計な工程が増える、という不都合を招来する。
本発明の目的は、複雑な圧力制御や余計な工程を要することなく、気泡を混入させずに接着シートと被着体とを貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記供給手段は、前記接着シートと上ケースとの間に空間を形成することなく前記接着シートを供給可能に設けられ、当該接着シートと下ケースとによって単一の密閉空間を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
また、充填手段を設けた構成では、上ケース側から空気等の流体を充填するだけで、減圧雰囲気で接着シートを被着体に押圧して貼付することができる。
更に、上ケースが凸形状に設けられた構成では、接着シートが被着体の中央部から外周部に向かって貼付が進行するようになり、気泡の混入を確実に回避することができる。
また、被着体が環状の突条部を備えて接着シートが突条部と上ケースとの間に内部空間を形成する構成では、接着シートと被着体との間に密閉空間と区分された別の密閉空間が形成され、上ケースと接着シートとの間に流体を充填することで突条部の内面に接着シートを確実に貼付することができる。
なお、本明細書において、減圧は真空をも含む概念とする。
先ず、図1に示されるように、支持ローラ40から接着シートSが引き出され、そのリード端が巻取ローラ50に固定される。そして、図示しない搬送手段を介してウエハWがテーブル11上に載置されると、ウエハWは、図示しない保持手段を介して保持される。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
更に、押圧手段17に充填手段は必須ではない。
また、ウエハWを囲むようにテーブル11の上面にリングフレームを載置しておけば、ウエハWをリングフレームにマウントすることができ、特許文献2のように接着シートSを予めリングフレームに貼付しておく必要がなくなるため、余計な工程を省くことができる。このとき、図示しない切断ロボット等によって、接着シートSをリングフレームの面内で切断すればよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
11 テーブル
12 上ケース
13 下ケース
15 収容手段
16 減圧手段
17 供給手段
19 充填手段
AD 接着剤層
BS 基材シート
C 密閉空間
C1 内部空間
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
W1 突条部
Claims (5)
- 被着体を支持するテーブルと、上ケース及び下ケースによって内部に前記テーブルを収容可能な収容手段と、前記下ケース側から前記収容手段内を減圧可能な単一の減圧手段と、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートにおける接着剤層が前記被着体に臨む位置に当該接着シートを供給する供給手段と、前記被着体に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを含み、前記収容手段内を減圧して前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記供給手段は、前記接着シートと上ケースとの間に空間を形成することなく前記接着シートを供給可能に設けられ、当該接着シートと下ケースとによって単一の密閉空間を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記押圧手段は、前記上ケースと前記接着シートとの間に流体を充填する充填手段を含むことを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記上ケースは、前記被着体側に膨らむ凸形状に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
- 前記被着体は外周側に環状の突条部を備えた板状をなし、前記被着体と上ケースとを相対接近させたときに、前記突条部と上ケースとの間に前記接着シートが挟み込まれて当該接着シートと被着体との間に内部空間が形成されることを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。
- 被着体を支持する工程と、
基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートにおける接着剤層が前記被着体に臨む位置に当該接着シートを供給する工程と、
上ケース及び下ケースによって内部に前記被着体及び接着シートを収容するとともに、当該接着シートと下ケースとによって単一の密閉空間を形成する工程と、
前記下ケース側から前記密閉空間を減圧する工程と、
減圧状態で前記被着体に前記接着シートを押圧して貼付する工程とを有するシート貼付方法において、
前記接着シートを供給する工程において、前記接着シートと上ケースとの間に空間を形成することなく前記接着シートを供給する工程を有することを特徴とするシート貼付方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018064013A (ja) * | 2016-10-12 | 2018-04-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
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JPH08172061A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-07-02 | Murata Mfg Co Ltd | シート貼付方法 |
JP2009152424A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Lintec Corp | シート貼付装置 |
JP2010118584A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Takatori Corp | ウエハのマウント装置 |
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2010
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