KR20220015967A - 필름재 첩부 장치 및 필름재 첩부 방법 - Google Patents

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KR20220015967A
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초우헤이 오쿠노
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닛토덴코 가부시키가이샤
닛토 세이키 가부시키가이샤
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Abstract

워크의 전체면을 압박하여 필름을 첩부하는 구성에 있어서, 효율적으로 또한 고정밀도로 필름재를 당해 워크에 첩부할 수 있는 필름재 첩부 장치 및 필름재 첩부 방법을 제공한다.
보유 지지 테이블(39)이 기판 W 및 드라이 필름 DF를 보유 지지하고 있는 상태에서, 당해 보유 지지 테이블(39)을 갖는 제1 프레스 기구(35)와, 제1 프레스 기구(35)에 대향 배치되어 있는 제2 프레스 기구(36)를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써, 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부한다. 제2 프레스 기구(36)는, 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 서로 압박시킬 때, 기판 W의 전체면 및 드라이 필름 DF의 전체면에 대하여 압박력을 작용시키도록 배치된 탄성 부재(47)와, 적어도 탄성 부재(47) 중 보유 지지 테이블(39)에 대향하는 면을 보호하는 보호 시트(49)를 구비한다.

Description

필름재 첩부 장치 및 필름재 첩부 방법{APPARATUS AND METHOD FOR JOINING FILM MATERIAL}
본 발명은, 기판을 예로 하는 워크에 대하여, 필름 또는 테이프 등을 예로 하는 필름재를 첩부하기 위하여 사용하는 필름재 첩부 장치 및 필름재 첩부 방법에 관한 것이다.
반도체칩을 제조할 때, 웨이퍼의 표면에 회로 패턴을 형성시키는 공정으로서, 필름상의 감광성 수지인 드라이 필름 레지스트(이하, 「드라이 필름」으로 한다)가 웨이퍼의 표면에 첩부되고, 또한 드라이 필름에 대하여 회로 패턴에 따른 노광 처리 및 현상 처리가 행하여진다.
종래에는 웨이퍼에 대하여 드라이 필름을 첩부하는 경우, 웨이퍼 상에서 롤러를 전동시킴으로써 드라이 필름을 웨이퍼에 압박하면서 첩부하는 방법이 제안되어 있다(특허문헌 1을 참조). 또한 종래의 첩부 방법의 다른 예로서, 보유 지지 테이블에 적재되어 있는 웨이퍼 및 드라이 필름에 대하여, 평탄면을 갖는 압박 부재를 대고 누름으로써 드라이 필름을 웨이퍼에 압착시키는 방법이 제안되어 있다(특허문헌 2를 참조).
일본 특허 공개 제2008-288255호 공보 일본 특허 공개 제2011-133499호 공보
그러나, 상기 종래 장치에서는 다음과 같은 문제가 있다. 즉, 종래에는 드라이 필름을 첩부하는 대상인 워크로서, 비교적 소형 또한 원 형상의 웨이퍼가 사용되고 있다. 한편, 근년에는 칩의 제조 비용을 저하시키는 것 등을 목적으로 하여, 웨이퍼 레벨 패키지(WLP; Wafer Level Package) 또는 패널 레벨 패키지(PLP; Panel Level Package)가 알려져 있다. 웨이퍼 레벨 패키지는, 웨이퍼의 상태에서 패키지 최종 공정까지의 처리를 행함으로써 완성하는 칩 사이즈 패키지(CSP; Chip Size Package)이다. 패널 레벨 패키지는, 웨이퍼가 아닌 패널상의 유리 기판 또는 프린트 기판에 적용한 CSP이다. 이러한 웨이퍼 레벨 패키지 및 패널 레벨 패키지를 행하기 위해서, 근년에는 워크가 대형화하는 경향이 있다. 그 때문에, 워크로서 대형 또한 직사각 형상의 기판을 사용하여 드라이 필름을 첩부하는 방법이 시도되고 있다.
전동하는 롤러를 사용하여 드라이 필름을 워크에 첩부하는 방법에서는, 롤러를 전동시키는 장소에 대하여 특히 큰 압박력이 작용한다. 그 때문에, 첩부 과정에 있어서 기판 W에 작용하는 압박력의 치우침이 발생한다. 따라서, 당해 압박력의 치우침에 기인하여 워크에 균열 또는 결락 등의 불량이 발생한다. 특히 워크가 대형화하면, 롤러법에서는 당해 불량의 발생 빈도가 특히 높아지므로 실용화가 곤란하다.
한편, 평탄한 압박 부재를 사용하여 드라이 필름을 워크에 첩부하는 방법에서는, 워크 전체에 대하여 비교적 균일하게 압박력을 작용시킬 수 있으므로, 워크에 깨짐 등이 발생하는 빈도는 저감할 수 있다. 그러나, 압박 부재로 드라이 필름의 전체면을 압박시켜서 워크에 부착하면, 드라이 필름이 첩부된 워크가 압박 부재에 부착되어서 이격되지 않게 된다고 하는 새로운 문제가 염려된다.
워크가 압박 부재에 부착되면, 보유 지지 테이블로부터 압박 부재를 이격시킬 때 워크 및 드라이 필름이 보유 지지 테이블로부터 이격되어 버린다. 그 결과, 장치를 정지시킴과 함께 압박 부재에 부착된 드라이 필름을 구비한 워크를 회수할 필요가 있으므로, 첩부 장치의 작동 효율이 크게 저하된다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 워크의 전체면을 압박하여 필름을 첩부하는 구성에 있어서, 효율적으로 또한 고정밀도로 필름재를 당해 워크에 첩부할 수 있는 필름재 첩부 장치 및 필름재 첩부 방법을 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.
본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다.
즉, 본 발명에 관한 필름재 첩부 장치는,
워크를 보유 지지하는 워크 보유 지지부를 갖는 제1 프레스 기구와,
상기 제1 프레스 기구에 대하여 대향 배치되어 있는 제2 프레스 기구와,
상기 워크 보유 지지부에 보유 지지되어 있는 상기 워크에 대하여 필름재를 적층시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크 보유 지지부에 보유 지지시키는 필름 공급 기구와,
상기 워크 보유 지지부가 상기 워크 및 상기 필름재를 보유 지지하고 있는 상태에서 상기 제1 프레스 기구와 상기 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써, 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 기구를
구비하고,
상기 제2 프레스 기구는,
상기 첩부 기구가 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시킴으로써, 상기 필름재의 전체면에 대하여 압박력을 작용시키도록 배치된 탄성 부재와,
적어도 상기 탄성 부재 중 상기 워크 보유 지지부에 대향하는 면을 보호하는 보호 시트를
구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 제2 프레스 기구는 보호 시트를 구비하고 있다. 보호 시트는, 적어도 탄성 부재 중 워크 보유 지지부에 대향하는 면을 보호한다. 바꿔 말하면, 보호 시트는 제2 프레스 기구 중 적어도 제1 프레스 기구와 접촉하는 면을 보호한다. 따라서, 필름재 첩부 장치의 사용에 의해 탄성 부재에 손상, 변형, 이물 부착 등이 발생하는 것을 피할 수 있으므로, 필름재 첩부 장치의 내구성 및 작업 효율이 향상된다.
즉, 탄성 부재로 직접 필름재를 압박하는 구성을 사용한 경우, 탄성 부재에 손상 등이 발생하므로, 탄성 부재를 교환할 필요가 있다. 비교적 대형인 탄성 부재를 교환하는 작업에는 수고가 많이 듦으로, 필름재 첩부 장치의 작업 효율이 저하된다. 한편, 얇은 시트상인 보호 시트를 교환하는 작업은 간편하다. 그 때문에, 보호 시트로 탄성 부재를 보호함으로써, 필름재 첩부 장치의 작업 효과를 향상시키면서 필름재 첩부 장치를 연속으로 사용할 수 있다.
또한, 탄성 부재는 보호 시트를 통해 필름재를 압박한다. 그 때문에, 워크 및 필름재의 전체면을 탄성 부재로 압박하는 경우에도, 필름재를 워크에 첩부함으로써, 필름재가 탄성 부재에 부착되어서 워크 보유 지지부로부터 이격된다는 에러의 발생을 피할 수 있다.
또한, 워크 및 필름재를 보유 지지하는 제1 프레스 기구에 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시키므로, 필름재 및 워크의 전체면에 대하여 압박력을 동시에 또한 균일하게 가할 수 있다. 그 때문에, 워크에 작용하는 압박력의 치우침에 기인하여 워크에 불량이 발생하는 것을 피할 수 있다. 또한, 워크에 요철이 있는 경우라도, 탄성 부재는 탄성 변형하면서 필름재를 압박하므로, 필름재는 당해 요철의 간극에 대하여 고정밀도로 매립되도록 첩부된다. 그 때문에, 워크에 첩부된 필름재의 표면 평탄성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 보호 시트에 대하여 텐션을 부여함으로써, 상기 보호 시트가 느슨해진 상태에서 상기 필름재에 접촉하는 것을 방지하는 텐션 부여 기구를 구비하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 텐션 부여 기구가 보호 시트에 대하여 텐션을 부여한다. 당해 텐션 부여에 의해, 보호 시트가 느슨해져 탄성 부재 사이에 간극이 발생한 상태에서 보호 시트가 필름재에 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 보호 시트가 느슨해져 탄성 부재 사이에 간극이 발생하면, 탄성 부재가 보호 시트를 통해 필름재를 압박하여 워크에 첩부할 때에, 느슨한 보호 시트의 형상에 따라서 드라이 필름이 워크에 압박되므로 필름재와 워크의 밀착성이 저하된다. 텐션 부여 기구는, 보호 시트의 느슨해짐을 방지함으로써, 필름재와 워크의 첩부 정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상측 하우징과 하측 하우징을 갖고 있고, 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구를 수용하는 챔버와, 상기 챔버의 내부 공간을 감압시키는 감압 기구를 구비하고, 상기 첩부 기구는, 상기 감압 기구가 상기 챔버의 내부 공간을 감압시킨 상태에서, 상기 제1 프레스 기구와 상기 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써, 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 제1 프레스 기구 및 제2 프레스 기구를 수용하는 챔버와, 챔버의 내부 공간을 감압시키는 감압 기구를 구비하고 있다. 그리고 챔버의 내부 공간을 감압시킨 상태에서, 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써, 필름재를 상기 워크에 첩부한다. 감압에 의해 챔버의 내부를 공기를 빼낸 상태에서 필름재를 워크에 첩부하므로, 필름재와 워크를 부착할 때에, 필름재와 워크 사이에 공기가 끌려 들어가는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 그 때문에, 필름재와 워크의 밀착성을 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 적어도 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구 중 한쪽은, 상기 첩부 기구에 의한 첩부를 행할 때에 상기 필름재를 가열하는 가열 기구를 구비하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 필름재를 가열하는 가열 기구를 구비한다. 필름재를 가열함으로써 필름재는 보다 유연해져 변형되기 쉬워진다. 그 때문에 워크 표면의 형상에 따라서 필름재를 고정밀도로 첩부할 수 있다. 또한 표면에 요철이 있는 워크를 사용하는 경우에도, 워크와 필름재의 밀착성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취해도 된다.
즉, 본 발명에 관한 필름재 첩부 방법은,
제1 프레스 기구가 갖는 워크 보유 지지부에 워크를 보유 지지시키는 워크 보유 지지 과정과,
상기 워크 보유 지지부에 보유 지지되어 있는 상기 워크에 대하여 필름재를 적층시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크 보유 지지부에 보유 지지시키는 필름 공급 과정과,
상기 워크 보유 지지부가 상기 워크 및 상기 필름재를 보유 지지하고 있는 상태에서, 상기 제1 프레스 기구에 대하여 대향 배치되어 있는 제2 프레스 기구와 상기 제1 프레스 기구를 상대적으로 접근시키는 근접 과정과,
상대적으로 접근된 상기 제1 프레스 기구와 상기 제2 프레스 기구를 서로 압박시킴으로써, 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 과정을
구비하고,
상기 제2 프레스 기구는,
상기 제1 프레스 기구에 대향하는 면에 배치된 탄성 부재와, 상기 탄성 부재 중 적어도 상기 워크 보유 지지부에 대향하는 면을 보호하는 보호 시트를 구비하고,
상기 첩부 과정은,
상기 탄성 부재가 상기 보호 시트를 통해 상기 필름재의 전체면에 대하여 압박력을 작용시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는
것을 특징으로 하는 것이다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 워크 및 필름재를 보유 지지하는 제1 프레스 기구에 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킨다. 제2 프레스 기구는 탄성 부재를 구비하고 있고, 첩부 과정에 있어서 탄성 부재는 워크의 전체면 및 필름재의 전체면에 대하여 압박력을 작용시키므로, 필름재 및 워크의 전체면에 대하여 압박력을 동시에 또한 균일하게 가할 수 있다. 그 때문에, 워크가 대형화하는 경우에도, 필름재를 워크에 첩부할 때에, 워크에 작용하는 압박력의 치우침에 기인하여 워크에 균열 또는 결락 등의 불량이 발생하는 것을 피할 수 있다.
또한, 워크에 요철이 있는 경우라도, 탄성 부재는 탄성 변형하면서 필름재를 압박하므로, 필름재는 당해 요철에 대하여 고정밀도로 첩부되어서 밀착한다. 또한, 제2 프레스 기구로 필름재의 전체를 압박함으로써, 필름재는 당해 요철의 간극에 대하여 고정밀도로 매립되도록 첩부된다. 그 때문에, 워크에 첩부된 필름재의 표면 평탄성을 향상시킬 수 있다.
그리고 제2 프레스 기구는 보호 시트를 구비하고 있다. 보호 시트는, 적어도 탄성 부재 중 워크 보유 지지부에 대향하는 면을 보호한다. 바꿔 말하면, 보호 시트는 제2 프레스 기구 중 적어도 제1 프레스 기구와 접촉하는 면을 보호한다. 따라서, 필름재 첩부 장치의 사용에 의해 탄성 부재에 손상, 변형, 이물 부착 등이 발생하는 것을 피할 수 있으므로, 필름재 첩부 장치의 내구성 및 작업 효율이 향상된다.
또한, 탄성 부재는 보호 시트를 통해 필름재를 압박한다. 그 때문에, 탄성 부재로 필름의 전체면을 워크에 압박시키는 경우에도, 필름재를 워크에 첩부함으로써, 필름재가 탄성 부재에 부착되어서 워크 보유 지지부로부터 이격된다는 에러의 발생을 피할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 보호 시트에 대하여 텐션을 부여함으로써, 상기 보호 시트가 느슨한 상태에서 상기 필름재에 접촉하는 것을 방지하는 텐션 부여 과정을 구비하고, 상기 첩부 과정은, 상기 텐션 부여 과정에 의해 텐션이 부여된 상기 보호 시트를 통해, 상기 탄성 부재는 상기 필름재의 전체면에 대하여 압박력을 작용시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 텐션 부여 과정에 있어서, 보호 시트에 대하여 텐션을 부여한다. 당해 텐션 부여에 의해, 보호 시트가 느슨해져 탄성 부재 사이에 간극이 발생한 상태에서 보호 시트가 필름재에 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 보호 시트가 느슨해져 탄성 부재 사이에 간극이 발생하면, 첩부 과정에 있어서 탄성 부재가 보호 시트를 통해 필름재를 압박하여 워크에 첩부할 때에, 필름재에 작용하는 압박력에 치우침이 발생하므로 필름재와 워크의 밀착성이 저하된다. 텐션 부여 과정에 의해 보호 시트의 느슨해짐을 방지함으로써, 첩부 과정에 있어서의 필름재와 워크의 첩부 정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상측 하우징과 하측 하우징을 갖고 있고, 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구를 수용하는 챔버를 형성시키는 챔버 형성 과정과, 상기 챔버의 내부 공간을 감압시키는 감압 과정을 구비하고, 상기 첩부 과정은, 상기 감압 과정에서 상기 챔버의 내부 공간이 감압된 상태에서, 상기 제1 프레스 기구와 상기 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 제1 프레스 기구 및 제2 프레스 기구를 수용하는 챔버를 형성하는 챔버 형성 과정과, 챔버의 내부 공간을 감압시키는 감압 과정을 구비하고 있다. 그리고 챔버의 내부 공간을 감압시킨 상태에서, 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써 필름재를 상기 워크에 첩부한다. 감압에 의해 챔버의 내부를 공기를 빼낸 상태에서 필름재를 워크에 첩부하므로, 필름재와 워크 사이에 공기가 끌려 들어가는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 그 때문에, 필름재와 워크의 밀착성을 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 적어도 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구 중 한쪽에 마련된 가열 기구에 의해 상기 필름재를 가열하는 가열 과정을 구비하고, 상기 첩부 과정은, 상기 가열 과정에 의해 가열된 상태의 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 의하면, 필름재를 가열하는 가열 과정을 구비한다. 필름재를 가열함으로써 필름재는 보다 유연해져 변형되기 쉬워진다. 그 때문에 워크 표면의 형상에 따라서 필름재를 고정밀도로 첩부할 수 있다. 또한 표면에 요철이 있는 워크를 사용하는 경우에도, 워크와 필름재의 밀착성을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 관한 필름재 첩부 장치 및 필름재 첩부 방법에 의하면, 워크 및 필름재를 보유 지지하는 제1 프레스 기구에 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킨다. 제2 프레스 기구는 탄성 부재를 구비하고 있고, 탄성 부재는 워크의 전체면 및 필름재의 전체면에 대하여 압박력을 작용시키므로, 필름재 및 워크의 전체면에 대하여 압박력을 동시에 또한 균일하게 가할 수 있다. 그 때문에, 워크가 대형화하는 경우에도, 필름재를 워크에 첩부할 때에, 워크에 작용하는 압박력의 치우침에 기인하여 워크에 균열 또는 결락 등의 불량이 발생하는 것을 피할 수 있다.
또한, 워크에 요철이 있는 경우라도, 탄성 부재는 탄성 변형하면서 필름재를 압박하므로, 필름재는 당해 요철에 대하여 고정밀도로 첩부되어서 밀착한다. 또한, 제2 프레스 기구로 필름재의 전체를 압박함으로써, 필름재는 당해 요철의 간극에 대하여 고정밀도로 매립되도록 첩부된다. 그 때문에, 워크에 첩부된 필름재의 표면 평탄성을 향상시킬 수 있다.
그리고 제2 프레스 기구는 보호 시트를 구비하고 있다. 보호 시트는, 적어도 탄성 부재 중 워크 보유 지지부에 대향하는 면을 보호한다. 바꿔 말하면, 보호 시트는 제2 프레스 기구 중 적어도 제1 프레스 기구와 접촉하는 면을 보호한다. 따라서, 필름재 첩부 장치의 사용에 의해 탄성 부재에 손상, 변형, 이물 부착 등이 발생하는 것을 피할 수 있으므로, 필름재 첩부 장치의 내구성 및 작업 효율이 향상된다.
또한, 탄성 부재는 보호 시트를 통해 필름재를 압박한다. 그 때문에, 필름재의 전체면을 압박하여 워크에 부착하는 경우에도, 필름재를 워크에 첩부함으로써, 필름재가 탄성 부재에 부착되어서 워크 보유 지지부로부터 이격된다는 에러의 발생을 피할 수 있으므로, 필름재 첩부 장치의 작동 효율을 향상시킬 수 있다. 따라서, 워크가 대형화한 경우에도, 효율적으로 또한 고정밀도로 필름재를 당해 워크에 첩부할 수 있다.
도 1은, 실시예에 관한 필름재 첩부 장치의 평면도이다.
도 2는, 실시예에 관한 드라이 필름의 구성을 도시하는 종단면도이다.
도 3은, 실시예에 관한 필름 공급 유닛의 정면도이다.
도 4는, 실시예에 관한 챔버의 정면도이다.
도 5는, 실시예에 관한 제2 프레스 기구의 구성을 도시하는 종단면도이다.
(a)는 보호 시트가 충분한 텐션을 갖고 있는 기본적인 상태를 도시하는 종단면도이고, (b)는 보호 시트가 느슨한 상태를 도시하는 종단면도이고, (c)는 실린더를 작동시켜서 보호 시트의 텐션을 조정한 상태를 도시하는 종단면도이다.
도 6은, 실시예에 관한 박리 유닛의 정면도이다.
도 7은, 실시예에 관한 필름재 첩부 장치의 동작을 도시하는 흐름도이다.
도 8은, 실시예에 관한 스텝 S1을 설명하는 도면이다.
(a)는 보유 지지 테이블의 상방에 기판을 반송시킨 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 지지 핀에 기판을 수수한 상태를 도시하는 도면이고, (c)는 지지 핀을 보유 지지 테이블의 내부에 수납시켜서 기판을 보유 지지 테이블에 적재시킨 상태를 도시하는 도면이다.
도 9는, 실시예에 관한 스텝 S2를 설명하는 도면이다.
(a)는 드라이 필름의 선단부를 챔버 내에 안내하고 있는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 드라이 필름의 선단부를 필름 보유 지지 플레이트로 보유 지지하고 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 10은, 실시예에 관한 스텝 S2를 설명하는 도면이다.
(a)는 드라이 필름의 선단부로부터 제1 세퍼레이터를 박리하여 레지스트층의 접착면을 노출시키고 있는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 드라이 필름의 선단부를 절단하고 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 11은, 실시예에 관한 스텝 S3을 설명하는 도면이다.
도 12는, 실시예에 관한 스텝 S4를 설명하는 도면이다.
(a)는 보유 지지 테이블에 보유 지지되어 있는 기판의 상방에 드라이 필름을 반송한 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 드라이 필름을 기판에 적층시키고 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 13은, 실시예에 관한 스텝 S5를 설명하는 도면이다.
(a)는 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시키고 있는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 접촉시켜서 서로 압박시키고 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 14는, 실시예에 관한 스텝 S6을 설명하는 도면이다.
(a)는 기판 반송 기구를 필름을 구비한 기판과 보유 지지 테이블 사이에 삽입되어 있는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 기판 반송 기구에서 필름을 구비한 기판을 보유 지지하여 보유 지지 테이블로부터 이격시키고 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 15는, 실시예에 관한 스텝 S6을 설명하는 도면이다.
도 16은, 실시예에 관한 스텝 S6을 설명하는 도면이다.
도 17은, 실시예에 관한 스텝 S6을 설명하는 도면이다.
도 18은, 실시예에 관한 필름재 첩부 장치의 효과를 도시하는 도면이다.
(a)는 제2 프레스 기구가 보호 시트를 갖지 않는 비교예에 있어서, 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시키고 있는 상태를 도시하는 도면이며, (b)는 제2 프레스 기구가 보호 시트를 갖지 않는 비교예에 있어서, 스텝 S5의 완료에 의해 필름을 구비한 기판이 제2 프레스 기구에 부착되어 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 19는, 실시예에 관한 필름재 첩부 장치의 효과를 도시하는 도면이다.
(a)는 보호 시트가 느슨해져 있는 상태에서, 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시키고 있는 상태를 도시하는 도면이며, (b)는 보호 시트가 느슨해져 있는 상태에서 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 서로 압박시킴으로써, 보호 시트에 주름이 발생하고 있는 상태를 도시하는 도면이며, (c)는 보호 시트가 느슨해져 있는 상태에서 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 서로 압박시킴으로써 드라이 필름과 기판과의 사이에 간극이 발생하고 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 20은, 실시예에 관한 필름재 첩부 장치의 효과를 도시하는 도면이다.
(a)는 프레스판 및 탄성 부재의 하면 주연부가 네모진 형상을 갖는 비교예에 있어서, 보호 시트가 느슨해져 있는 상태를 도시하는 도면이며, (b)는 비교예에 있어서 보호 시트에 텐션을 부여하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 21은, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 22는, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 23은, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
(a)는 탄성 부재의 하면에 대하여 둔각을 형성하는 방향으로 보호 시트를 인장하는 구성을 도시하는 도면이며, (b)는 탄성 부재의 하면에 대하여 예각을 형성하는 방향으로 보호 시트를 인장하는 구성을 도시하는 도면이다.
도 24는, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 25는, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 26은, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 27은, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치에 있어서, 보호 시트를 끼워 넣어서 챔버를 형성시키는 공정을 도시하는 도면이다.
도 28은, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치에 있어서, 보호 시트를 끼워서 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 서로 압박시키는 공정을 설명하는 도면이다.
도 29는, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치에 있어서, 필름을 구비한 기판이 형성된 후에 제1 프레스 기구와 제2 프레스 기구를 이격시키는 공정을 도시하는 도면이다.
도 30은, 변형예에 관한 필름재 첩부 장치에 있어서, 열화된 보호 시트를 새로운 보호 시트로 교환하는 공정을 설명하는 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 실시예에 관한 필름재 첩부 장치(1)에서는, 드라이 필름 DF를 필름재로서 사용하고, 필름재를 첩부하는 대상인 워크로서 직사각형의 기판 W를 사용하는 것으로 한다. 즉 실시예에 관한 필름재 첩부 장치(1)에서는, 기판 W의 표면에 드라이 필름 DF를 첩부함으로써, 필름을 구비한 기판 FW가 제작된다. 또한, 본 실시예에 있어서 기판 W의 크기의 바람직한 일례로서는 500mm×500mm 정도의 크기로부터, 700mm×700mm 정도까지의 크기를 들 수 있지만, 기판 W의 사이즈는 이들의 범위에 한정되지 않는다.
<전체 구성의 설명>
필름재 첩부 장치(1)는 도 1에 도시한 바와 같이, 기판 공급부(2), 기판 반송 기구(3), 얼라이너(4), 첩부 유닛(5), 기판 반송 기구(6), 박리 유닛(7), 얼라이너(8), 정전기 검사부(9) 및 기판 회수부(11) 등이 구비되어 있다. 또한, 이후의 설명에 있어서, 도 1에 도시되는 필름재 첩부 장치(1)의 긴 변 방향을 좌우 방향(x 방향), 이것과 직교하는 수평 방향(y 방향)을 전후 방향이라고 호칭한다.
이어서, 드라이 필름 DF의 구성에 대하여 도 2를 사용하여 설명한다. 본 실시예에 사용되는 드라이 필름 DF는, 제1 세퍼레이터 S1과, 레지스트층 Re와, 제2 세퍼레이터 S2가 적층한 긴 형상의 구조를 구비하고 있다. 즉, 제1 세퍼레이터 S1을 드라이 필름 DF로부터 박리함으로써 레지스트층 Re가 노출한다.
또한, 본 실시예에 있어서, 레지스트층 Re는 가열 접착성을 갖고 있다. 당해 레지스트층 Re는, 상온에서 접착력을 발휘하지 않는 한편, 가열됨으로써 접착력을 발휘한다. 따라서, 드라이 필름 DF는 가열을 받음으로써 기판 W에 첩부되는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 실시예에 관한 드라이 필름 DF는 레지스트층 Re가 가열 접착성을 갖는 단층 구조로 하고 있지만, 레지스트층 Re는 다층 구조여도 된다. 다층 구조인 경우, 레지스트층 Re는, 적어도 하면측이 접착성을 갖는 접착면으로 되어 있고, 당해 하면측에는 제1 세퍼레이터 S1이 첨설된다.
도 1로 되돌아가, 필름재 첩부 장치(1)의 각 구조부 및 기구 등에 관한 구체적인 구성을 설명한다. 기판 공급부(2)에는 카세트 C1이 적재되어 있다. 카세트 C1에는 다수매의 기판 W가, 회로 패턴을 형성시키는 면(표면)을 상향으로 한 수평 자세에서 다단으로 삽입 수납되어 있다.
기판 반송 기구(3)는, 기판 W를 기판 공급부(2)로부터 반송시키는 것이고, 일례로서 로봇 암(3a)으로 구성되어 있다. 기판 반송 기구(3)는, 수평으로 진퇴 이동 가능하게 구성됨과 함께, 전체가 선회 및 승강 가능하게 되어 있다. 그리고, 로봇 암(3a)의 선단에는, 말굽형을 한 진공 흡착식의 기판 보유 지지부(3b)가 구비되어 있다. 기판 보유 지지부(3b)는, 카세트 C1에 다단으로 수납된 기판 W끼리의 간극에 차입되어, 기판 W의 하면을 흡착 보유 지지한다. 흡착 보유 지지된 기판 W는, 카세트 C1로부터 인출되어서, 얼라이너(4) 및 첩부 유닛(5)으로 순서대로 반송된다.
얼라이너(4)는, 기판 반송 기구(3)에 의해 반입 적재된 기판 W를, 기판 W의 외주에 형성된 노치 또는 플랫부 등에 기초하여 위치 정렬을 행하도록 구성된다.
첩부 유닛(5)은, 필름 공급 유닛(13)과 챔버(15)를 구비하고 있다. 필름 공급 유닛(13)은, 드라이 필름 DF로부터 제1 세퍼레이터 S1을 박리하면서, 챔버(15)에 당해 드라이 필름 DF를 공급한다. 첩부 유닛(5)에 반송된 기판 W는 챔버(15)에 수납되어 있고, 챔버(15)의 내부에 있어서 기판 W에 드라이 필름 DF가 첩부된다.
기판 반송 기구(6)는, 드라이 필름 DF가 첩부된 기판 W(필름을 구비한 기판 FW)를 챔버(15)로부터 반송시키는 것이고, 일례로서 로봇 암(6a)으로 구성되어 있다. 기판 반송 기구(6)는, 수평으로 진퇴 이동 가능하게 구성됨과 함께, 전체가 선회 및 승강 가능하게 되어 있다. 그리고, 로봇 암(6a)의 선단에는, 말굽형을 한 진공 흡착식의 기판 보유 지지부(6b)가 구비되어 있다. 기판 보유 지지부(6b)는, 필름을 구비한 기판 FW의 하면을 흡착 보유 지지한다. 흡착 보유 지지된 필름을 구비한 기판 FW는, 챔버(15)로부터 인출되어서, 박리 유닛(7), 얼라이너(8) 및 정전기 검사부(9)로 순서대로 반송된다.
박리 유닛(7)은, 박리 테이블(17)과 박리 기구(19)를 구비하고 있고, 기판 W에 첩부되어 있는 드라이 필름 DF로부터 제2 세퍼레이터 S2를 박리한다. 얼라이너(8)는, 제2 세퍼레이터 S2가 박리된 필름을 구비한 기판 FW를, 필름을 구비한 기판 FW의 외주에 형성된 노치 또는 플랫부 등에 기초하여, 다시 위치 정렬을 행하도록 구성된다.
정전기 검사부(9)는, 검사 테이블(9a)과 정전기 센서(9b)를 구비하고 있다. 검사 테이블(9a)은, 얼라이너(8)에 있어서 위치 정렬된 필름을 구비한 기판 FW를 보유 지지한다. 정전기 센서(9b)는, 검사 테이블(9a)에 적재 보유 지지된 필름을 구비한 기판 FW에 대전하고 있는 정전기의 양을 측정한다. 정전기가 기준값 이하인 경우, 필름을 구비한 기판 FW는 기판 회수부(11)로 반송된다.
기판 회수부(11)에는 카세트 C2가 적재되어 있다. 카세트 C2는, 다수매의 필름을 구비한 기판 FW를 수평 자세로 다단으로 삽입 수납할 수 있도록 구성되어 있다.
필름 공급 유닛(13)은 도 3에 도시한 바와 같이, 필름 공급부(21)와, 가이드 롤러(23)와, 세퍼레이터 박리 부재(25)와, 세퍼레이터 회수부(27)를 구비하고 있다. 필름 공급 유닛(13)은 전체로서, 도 1에 도시되는 한 쌍의 레일(29)을 따라 x 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 구성된다. 또한, 세퍼레이터 박리 부재(25)는 또한 필름 공급 유닛(13)과 독립적으로 x 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 구성된다.
필름 공급부(21)에는, 롤 감기한 띠상의 드라이 필름 DF가 공급 보빈 B1에 장전되어 있다. 가이드 롤러(23)는, 당해 공급 보빈 B1로부터 조출된 드라이 필름 DF를 권회 안내하고, 세퍼레이터 박리 부재(25)로 유도하도록 구성된다.
세퍼레이터 박리 부재(25)는, 선단이 첨예한 에지를 갖는다. 에지를 우측을 향하게 한 당해 세퍼레이터 박리 부재(25)에 의해, 제1 세퍼레이터 S1을 접어서 드라이 필름 Df로부터 박리시킨다. 제1 세퍼레이터 S1이 박리된 드라이 필름 DF는, 챔버(15)의 내부로 안내된다. 세퍼레이터 회수부(27)는, 드라이 필름 DF로부터 박리된 제1 세퍼레이터 S1을 권취하는 회수 보빈 B2가 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다.
챔버(15)는 도 4에 도시한 바와 같이, 하측 하우징(15A) 및 상측 하우징(15B)에 의해 구성된다. 상측 하우징(15B)은 실린더(16)에 의해 승강 가능하게 구성되어 있고, 상측 하우징(15B)이 하강하여 하측 하우징(15A)과 맞닿음함으로써, 내부 공간이 밀폐된 챔버(15)가 형성된다.
또한, 하측 하우징(15A)의 원통 정상부(28)와, 상측 하우징(15B)의 원통 저부(30)의 각각은, 일례로서 탄성체로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 원통 정상부(28) 및 원통 저부(30)가 탄성체로 구성되어 있는 경우, 챔버(15)를 형성시킬 때에, 하측 하우징(15A) 및 상측 하우징(15B)을 보다 고정밀도로 밀착시킬 수 있다.
하측 하우징(15A) 및 상측 하우징(15B)에는, 도 4에 도시한 바와 같이, 유로(31)를 통해 진공 장치(32)와 연통 접속되어 있다. 진공 장치(32)가 작동함으로써, 챔버(15)의 내부 공간을 감압할 수 있다. 또한, 유로(31)에는 챔버(15)의 내부 공간을 감압시키기 위하여 사용되는 전자 밸브(33)가 구비되어 있다. 또한 챔버(15)에는, 대기 개방용의 전자 밸브(81)를 구비한 유로(83)가 연통 접속되어 있다. 전자 밸브(33), 전자 밸브(81)의 개폐 조작 및 진공 장치(32)의 작동은, 제어부(34)에 의해 행하여지고 있다. 제어부(34)는 전자 밸브(33) 등 이외에, 필름재 첩부 장치(1)에 있어서의 각 부의 동작을 제어한다.
챔버(15)의 내부에는, 제1 프레스 기구(35)와, 제2 프레스 기구(36)와, 필름 절단 기구(37)와, 필름 보유 지지 플레이트(38)가 구비되어 있다. 실시예에 있어서, 제1 프레스 기구(35) 및 필름 절단 기구(37)는 하측 하우징(15A)에 수납되어 있고, 제2 프레스 기구(36)는 상측 하우징(15B)에 수납되어 있다.
제1 프레스 기구(35)는, 기판 W를 보유 지지하는 보유 지지 테이블(39)을 구비하고 있다. 보유 지지 테이블(39)은, 일례로서 기판 W와 동일 형상 이상의 크기를 갖는 금속제의 척 테이블이다. 보유 지지 테이블(39)의 바람직한 구성으로서, 내부에 마련되어 있는 흡인 장치에 의해 기판 W를 흡착 유지하도록 구성되어 있다.
보유 지지 테이블(39)은, 하측 하우징(15A)을 관통하는 로드(40)와 연결되어 있다. 로드(40)의 타단부는, 모터 등으로 이루어지는 액추에이터(41)에 구동 연결되어 있다. 따라서, 보유 지지 테이블(39)은, 하측 하우징(15A)의 내부에서 승강한다. 보유 지지 테이블(39)의 위치는, 제어부(34)에 의해 임의의 높이로 제어된다. 또한, 보유 지지 테이블(39)은 기판 W를 통해 드라이 필름 DF를 보유 지지한다.
보유 지지 테이블(39)에는 복수개의 지지 핀(43)을 구비하고 있다. 지지 핀(43)은 도시하지 않은 실린더에 의해, 진퇴 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉 실린더에 의해 상승함으로써, 도 4에 도시한 바와 같이 지지 핀(43)의 각각은 보유 지지 테이블(39)의 기판 지지면(상면)으로부터 돌출된다. 그리고 실린더에 의해 하강함으로써, 지지 핀(43)의 각각은 보유 지지 테이블(39)에 내장된다.
또한 보유 지지 테이블(39)에는 히터(44)가 내장되어 있다. 히터(44)는, 보유 지지 테이블(39)을 가열함으로써, 보유 지지 테이블(39)에 보유 지지되어 있는 기판 W 및 드라이 필름 DF를 가열한다.
제2 프레스 기구(36)는, 제1 프레스 기구(35)에 대향 배치되어 있다. 제2 프레스 기구(36)는 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 프레스판(45)과, 탄성 부재(47)와, 보호 시트(49)와, 실린더(51)를 구비하고 있다.
프레스판(45)은 강성을 갖는 판상 부재이고, 그 하면은 보유 지지 테이블(39)의 기판 지지면에 대향하도록 배치된다. 본 실시예에 있어서, 프레스판(45)의 하면 주연부(45a)는 측면으로 보아 둥그스름해진 형상을 갖고 있다. 탄성 부재(47)는 프레스판(45)의 하면에 배치되어 있고, 탄성체에 의해 구성되어 있다. 또한, 탄성 부재(47)의 하면 주연부(47a)는 하면 주연부(45a)와 마찬가지로 둥그스름해진 형상을 갖고 있다. 보호 시트(49)는, 탄성 부재(47)의 하면 및 프레스판(45)의 측면을 덮도록 배치되어 있다.
즉, 보유 지지 테이블(39)이 상승하여 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)가 근접하여 접촉함으로써, 보유 지지 테이블(39)에 보유 지지되어 있는 기판 W 및 드라이 필름 DF는, 보호 시트(49)를 통해 탄성 부재(47)에 압박된다. 탄성 부재(47)의 하면은 평탄면으로 되어 있고, 당해 평탄면은 기판 W 및 드라이 필름 DF에 대향한다. 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)가 서로 압박할 때에, 탄성 부재(47)는 평탄한 하면에 의해 드라이 필름 DF의 전체면에 대하여 압박력을 가할 수 있다. 또한 탄성 부재(47)의 하면의 넓이는, 드라이 필름 DF의 크기 이상인 것이 바람직하다.
실린더(51)는 프레스판(45)에 배치되어 있고, 보호 시트(49)의 단부는 실린더(51)와 접속되어 있다. 실린더(51)의 신축 동작에 의해, 보호 시트(49)의 텐션(장력)을 적절히 조정할 수 있다. 또한, 보호 시트(49)의 텐션은 장력 센서(52)에 의해 수시 검지되고 있다.
경년 열화 또는 온도 변화 등에 기인하여 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이 보호 시트(49)가 느슨해져 탄성 부재(47)와 보호 시트(49) 사이에 간극 K가 생기는 경우가 있다. 이 경우, 보호 시트(49)의 텐션이 저하되므로, 장력 센서(52)에 의해 보호 시트(49)의 이완 발생을 검지할 수 있다. 보호 시트(49)의 이완을 검지한 경우, 제어부(34)는 실린더(51)를 동작시킨다. 즉, 도 5의 (c)에 도시하는 바와 같이, 실린더(51)의 신축 동작에 의해 보호 시트(49)에 텐션이 더 부여된다. 그 결과, 보호 시트(49)의 이완이 해소되어서 간극 K가 없어지므로, 보호 시트(49)는 다시 탄성체(47)의 하면 전체에 걸쳐 밀착한 상태로 된다.
또한 보호 시트(49)는, 불소 처리, 실리콘 처리, 납 처리 등을 예로 하는 이형 처리가 실시되어 있다. 그 때문에, 탄성 부재(47)가 기판 W 및 드라이 필름 DF를 압박하여 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부한 후, 드라이 필름 DF는 보호 시트(49)로부터 적합하게 이격한다. 즉, 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부하는 동작에 의해 필름을 구비한 기판 FW가 보호 시트(49)를 통해 제2 프레스 기구(36)에 부착되고, 제1 프레스 기구(35)의 보유 지지 테이블(39)로부터 필름을 구비한 기판 FW가 이격된다는 사태가 발생하는 것을 피할 수 있다. 그리고 경시적인 열화 등에 기인하여 보호 시트(49)의 이형성이 저하된 경우에도, 열화한 보호 시트(49)를 실린더(51)로부터 떼어서 새로운 보호 시트(49)로 용이하게 교환할 수 있다. 또한 납 처리의 예로서, 지방산에스테르류로 이형성을 부여하는 처리를 들 수 있다.
보호 시트(49)의 예로서는, 유리 클로스 시트, 러버 시트, 필름 등을 들 수 있다. 특히 보호 시트(49)는 탄성체로 구성되는 것이 보다 바람직하다. 보호 시트(49)가 탄성을 갖는 경우, 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부하는 과정에 있어서 보호 시트(49)는 드라이 필름 DF에 접촉하여 탄성 변형한다. 그 때문에, 드라이 필름 DF의 전체면에 걸쳐, 부여되는 압박력을 보다 균일화시킬 수 있다.
도 5에 있어서 실린더(51)는 프레스판(45)의 상면에 있어서의 좌측 및 우측에 배치되어 있지만, 실린더(51)는 프레스판(45)의 상면에 있어서의 전방측 및 안측에도 배치되어 있다. 즉 본 실시예에 있어서, 실린더(51)의 각각의 동작에 의해, 보호 시트(49)는 평면으로 보아 좌우 방향 및 전후 방향의 4방향으로 인장된다. 본 실시예에 있어서, 실린더(51)는 본 발명에 있어서의 텐션 부여 기구에 상당한다.
필름 절단 기구(37)는, 승강 가능한 승강대(37a)와, 당해 승강대(37a)의 상부에 배치된 커터 홀더(37b)와, 커터 홀더(37b)의 선단에 마련된 커터(37c)를 구비하고 있다. 필름 절단 기구(37)는 y 방향으로 왕복 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉 커터(37c)는, 챔버(15)의 내부로 안내된 드라이 필름 DF를 폭 방향(y 방향)으로 절단할 수 있다.
필름 보유 지지 플레이트(38)는 하면이 평탄하게 되어 있고, 드라이 필름 DF를 평탄한 상태에서 보유 지지할 수 있도록 구성되어 있다. 필름 보유 지지 플레이트(38)의 하면에는, y 방향으로 연장되는 커터 주행 홈(38a)이 형성되어 있다. 커터(37c)가 커터 주행 홈(38a)을 따라 주행함으로써, 필름 보유 지지 플레이트(38)의 평탄면에서 보유 지지되고 있는 드라이 필름 DF를 매엽상으로 절단할 수 있다.
필름 보유 지지 플레이트(38)는 챔버(15)의 내부에 있어서 승강 이동 가능하게 구성되어 있음과 함께, x 방향으로 수평 이동 가능하게 구성되어 있다. 그 때문에, 필름 보유 지지 플레이트(38)는 매엽상으로 절단된 드라이 필름 DF를 보유 지지하면서, 보유 지지 테이블(39)의 상방으로 이동할 수 있다.
박리 테이블(17)은 필름을 구비한 기판 FW를 보유 지지하는 것이고, 일례로서 금속제의 척 테이블이다. 박리 테이블(17)은 흡인 장치 등에 의해, 필름을 구비한 기판 FW를 흡착 보유 지지하는 구성인 것이 바람직하다. 박리 테이블(17)은, 진퇴 승강 가능하게 구성되어 있는 도시하지 않은 지지 핀이 내장되어 있다. 당해 지지 핀이 상승하여 상면으로부터 돌출됨으로써, 지지 핀은 필름을 구비한 기판 FW를 수취할 수 있다.
박리 기구(19)는 박리 테이블(17)의 상방에 배치되어 있고, 도 1에 도시되는 레일(52)을 따라 x 방향으로 왕복 이동 가능하게 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서, 박리 기구(19)는 박리 테이프 Ts를 제2 세퍼레이터 S2의 표면에 첩부한 후, 박리 테이프 Ts와 함께 제2 세퍼레이터 S2를 드라이 필름 DF의 레지스트층 Re로부터 박리한다.
박리 기구(19)는 도 6에 도시하는 바와 같이, 테이프 공급부(53)와, 지지 프레임(55)과, 박리 부재(57)와, 테이프 회수부(59)를 구비하고 있다. 테이프 공급부(53)는, 원단 롤에 장전되어 있는 박리 테이프 Ts를 조출한다. 지지 프레임(55)은 도시하지 않은 승강대에 의해 승강 가능하게 구성되어 있고, 안내 롤러(58)와 가이드 롤러(60)를 구비하고 있다.
박리 부재(57)는 평면에서 보면 지지 프레임(55)의 중앙 우측에 배치되어 있다. 박리 부재(57)는, 기판 W의 치수보다도 짧은 판상이고, 또한, 선단을 향하여 끝이 가는 테이퍼상으로 형성되어 있다. 당해 박리 부재(57)는, 비스듬히 내려가는 경사 자세로 고정되어 있다. 즉, 테이프 공급부(53)로부터 조출된 박리 테이프 Ts는, 안내 롤러(58)에 의해 박리 부재(57)로 안내되어, 박리 부재(57)의 선단에 있어서 접어지고, 또한 가이드 롤러(60)를 경유하여 테이프 회수부(59)로 안내된다. 테이프 회수부(59)는, 박리 부재(57)로부터 송출된 박리 테이프 Ts를 권취하여 회수한다.
<동작의 개요>
여기서, 실시예에 관한 필름재 첩부 장치(1)의 기본 동작을 설명한다. 도 7은, 필름재 첩부 장치(1)를 사용하여, 기판 W에 드라이 필름 DF를 첩부하는 일련의 공정을 설명하는 흐름도이다.
스텝 S1(기판의 공급)
첩부 지령이 내려지면, 워크인 기판 W의 공급을 개시한다. 즉, 지지 핀(43)의 선단이 보유 지지 테이블(39)의 기판 적재면으로부터 돌출됨과 함께, 기판 반송 기구(3)의 로봇 암(3a)은 카세트 C1에 기판 보유 지지부(3b)를 삽입하여 기판 W의 이면측을 흡착 보유 지지한다. 기판 반송 기구(3)는, 기판 W를 흡착 보유 지지한 상태에서 기판 W를 카세트 C1로부터 반출하고, 얼라이너(4)에 적재한다. 얼라이너(4)로 기판 W의 위치 정렬을 행한 후, 기판 반송 기구(3)는 도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이, 하측 하우징(15A)에 수납되어 있는 보유 지지 테이블(39)의 상방으로 기판 W를 반송한다.
그리고 도 8의 (b)에 도시하는 바와 같이, 기판 반송 기구(3)의 기판 보유 지지부(3b)는 기판 W를 하강시킨다. 이때, 기판 보유 지지부(3b)에 의해 이면을 흡착 보유 지지하고 있는 기판 W는, 보유 지지 테이블(39)로부터 돌출되어 있는 지지 핀(15)에 적재된다. 그 후, 도 8의 (c)에 도시하는 바와 같이, 지지 핀(43)이 하강하고, 기판 W는 보유 지지 테이블(39)의 기판 지지면에 적재된다. 기판 W가 보유 지지 테이블(39)에 보유 지지되면, 흡인 장치가 작동하고, 보유 지지 테이블(39)은 기판 지지면에 형성되어 있는 흡착 구멍을 통해 기판 W를 흡착 보유 지지한다.
스텝 S2(드라이 필름의 공급)
기판 W의 공급을 실행하는 한편, 필름 공급 유닛(13)에 의한 드라이 필름 DF의 공급을 개시한다. 즉, 필름 공급 유닛(13)을 우방향으로 이동시키면서, 필름 공급부(21)로부터 소정량의 드라이 필름 DF를 조출시킨다. 그리고 조출 공급된 드라이 필름 DF를 안내시키면서, 도 9의 (a)에 나타내는 바와 같이 가이드 롤러(23) 및 세퍼레이터 박리 부재(25)를 챔버(15)의 내부로 이동시킨다.
당해 이동에 의해, 드라이 필름 DF의 선단부는 챔버(15)의 내부로 안내된다. 이때, 드라이 필름 DF의 선단부가 필름 보유 지지 플레이트(38)의 하방에 위치하도록, 가이드 롤러(23) 및 세퍼레이터 박리 부재(25)의 이동량이 제어된다.
필름 공급 유닛(13)에 의해 드라이 필름 DF의 선단부가 필름 보유 지지 플레이트(38)의 하방으로 안내된 후, 제어부(34)는 필름 공급부(21)의 조출 동작을 정지시키면서 필름 보유 지지 플레이트(38)를 하강시키는 제어를 행한다. 하강한 필름 보유 지지 플레이트(38)는 도 9의 (b)에 도시하는 바와 같이, 드라이 필름 DF의 선단부에 당접함과 함께, 당해 드라이 필름 DF의 선단부를 흡착 보유 지지한다.
필름 보유 지지 플레이트(38)에 의해 드라이 필름 DF를 상방으로부터 보유 지지시킨 후, 드라이 필름 DF의 선단부를 매엽상으로 절단시키는 동작을 행한다. 우선은 도 10의 (a)에 도시하는 바와 같이, 가이드 롤러(23) 및 세퍼레이터 박리 부재(25)는 좌측 방향으로 퇴피 이동함과 함께, 세퍼레이터 회수부(27)는 소정량의 제1 세퍼레이터 S1을 권취한다.
당해 동작에 의해, 드라이 필름 DF의 선단부에 있어서, 제1 세퍼레이터 S1은 레지스트층 Re로부터 박리된다. 제1 세퍼레이터 S1이 박리됨으로써, 레지스트층 Re의 접착면이 노출된다. 이때, 드라이 필름 DF의 선단부는 필름 보유 지지 플레이트(38)에 의해 평탄하게 보유 지지되므로, 가이드 롤러(23) 및 세퍼레이터 박리 부재(25)를 퇴피시켜도 드라이 필름 DF의 평탄성 및 텐션이 저하되는 경우가 없다.
제1 세퍼레이터 S1을 드라이 필름 DF의 선단부로부터 박리시킨 후, 도 10의 (b)에 도시하는 바와 같이 필름 절단 기구(37)를 소정의 높이까지 상승시킨다. 필름 절단 기구(37)의 상승 이동에 의해, 필름 보유 지지 플레이트(38)의 커터 주행 홈(38a)에 있어서 커터(37c)가 드라이 필름 DF에 찔러진다.
커터(37c)가 드라이 필름 DF에 찔러지면, 커터(37c)는 커터 주행 홈(38a)을 따라 y 방향으로 이동하면서, 드라이 필름 DF를 폭 방향으로 절단한다. 그 결과, 드라이 필름 DF의 선단부는 매엽상으로 절단되고, 필름 공급부(21)에 장전되어 있는 드라이 필름 DF의 원단 롤로부터 분리된다.
드라이 필름DF의 선단부를 매엽상으로 절단한 후, 필름 공급 유닛(13)을 초기 위치로 복귀시킨다. 당해 복귀 이동에 의해 가이드 롤러(23) 및 세퍼레이터 박리 부재(25)는, 드라이 필름 DF와 함께 챔버(15)의 외부로 퇴피된다. 그리고, 필름 보유 지지 플레이트(38)에 보유 지지된 매엽상의 드라이 필름 DF가 챔버(15)의 내부에 남는다. 스텝 S2에 관한 일련의 동작에 의해, 매엽상의 드라이 필름 DF가 챔버(15)의 내부에 공급된다.
스텝 S3(챔버의 형성)
기판 W 및 드라이 필름 DF가 챔버(15)의 내부에 공급되면, 제어부(34)는 실린더(16)의 동작을 제어함으로써 상측 하우징(15B)을 하강시킨다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 당해 하강에 의해 하측 하우징(15A)의 원통 정상부(28)와 상측 하우징(15B)의 원통 저부(30)가 맞닿고, 내부 공간이 밀폐된 상태의 챔버(15)가 형성된다.
스텝 S4(적층 과정)
밀폐 상태의 챔버(15)가 형성되면, 기판 W에 드라이 필름 DF를 적층시킨다. 먼저 제어부(34)는 전자 밸브(33)를 개방하여, 전자 밸브(81)를 닫은 상태에서 진공 장치(32)를 작동시켜, 챔버(15)의 내부 공간을 감압시킨다. 챔버(15)의 내부 공간은 진공 상태 또는 진공에 가까운 상태로까지 감압되는 것이 바람직하다. 챔버(15)의 내부가 소정의 기압까지 감압되면, 제어부(34)는 진공 장치(32)의 동작을 정지시킨다. 감압 후에 있어서의 챔버(15)의 내부 기압의 일례로서는, 10Pa 내지 100Pa를 들 수 있다.
다음으로 도 12의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제어부(34)는 드라이 필름 DF를 보유 지지하고 있는 필름 보유 지지 플레이트(38)를 보유 지지 테이블(39)의 상방으로 이동시킨다. 이때, 드라이 필름 DF가 기판 W의 상방에 위치하도록, 필름 보유 지지 플레이트(38)의 승강 이동 및 수평 이동이 제어된다.
필름 보유 지지 플레이트(38)에 의해 드라이 필름 DF가 기판 W의 상방으로 반송된 후, 도 12의 (b)에 도시하는 바와 같이, 필름 보유 지지 플레이트(38)를 하강시켜서 드라이 필름 DF를 기판 W에 적층시킨다. 드라이 필름 DF를 기판 W에 적층시킴으로써, 드라이 필름 DF는 기판 W와 함께 보유 지지 테이블(39)에 보유 지지된다. 또한 당해 적층 조작에 의해, 드라이 필름 DF와 기판 W는, 평면에서 보면 위치가 맞춰진 상태로 된다.
또한, 미리 챔버(15)의 내부를 진공 감압시킨 상태에서 드라이 필름 DF를 기판 W에 적층시키므로, 당해 적층된 상태에 있어서, 드라이 필름 DF와 기판 W 사이에 공기가 끌려 들어가는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 그 때문에, 후의 첩부 과정에 있어서 드라이 필름 DF와 기판 W의 밀착성을 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 드라이 필름 DF의 접착면은, 가열에 의해 접착력을 발휘하는 가열 접착성의 재료로 구성되어 있다. 그 때문에 적층 과정을 상온에서 행함으로써, 드라이 필름 DF를 기판 W에 적층시키는 시점에서 드라이 필름 DF가 기판 W에 첩부되는 것을 피할 수 있다. 그 때문에, 드라이 필름 DF가 충분히 압박되어 있지 않은 시점에서 시기 상조로 드라이 필름 DF가 기판 W에 첩부되어 버려, 드라이 필름 DF와 기판 W의 밀착성이 저하된다는 사태의 발생을 방지할 수 있다.
스텝 S5(첩부 과정)
임시 접합된 상태의 드라이 필름 DF 및 기판 W가, 제1 프레스 기구(35)의 보유 지지 테이블(39)에 의해 보유 지지된 상태로 됨으로써, 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부하는 과정을 개시한다.
먼저, 챔버(15)의 내부가 감압된 상태를 유지하면서, 제어부(34)는 히터(44)를 작동시켜서 보유 지지 테이블(39)에 보유 지지되어 있는 드라이 필름 DF를 가열시킨다. 드라이 필름 DF를 가열함으로써, 드라이 필름 DF의 레지스트층 Re에 포함되어 있는 가열성의 접착재는 접착력을 발휘한다. 그 때문에, 레지스트층 Re의 접착면을 통해 드라이 필름 DF와 기판 W는 접착 가능하게 된다. 히터(44)에 의한 가열의 온도는 일례로서 40℃ 내지 80℃이지만, 가열 접착성의 드라이 필름 DF가 접착성을 발휘하는 온도라면 히터(44)에 의한 가열 온도는 적절히 변경해도 된다.
그리고 도 13의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제어부(34)는 액추에이터(41)를 제어하여 보유 지지 테이블(39)를 상승시킨다. 당해 상승 동작에 의해, 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 상대적으로 접근시켜 간다.
그리고 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 더 접근시켜 감으로써, 도 13의 (b)에 도시하는 바와 같이, 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)는 접촉하여 서로 압박된다. 즉 보유 지지 테이블(39)에 대향하고 있는 탄성 부재(47)는, 보호 시트(49)를 통해 드라이 필름 DF에 맞닿고, 당해 드라이 필름 DF를 하방으로 압박한다. 그 결과, 드라이 필름 DF 및 기판 W의 전체면에 걸쳐 압박력이 작용하고, 드라이 필름 DF가 기판 W에 첩부된다. 즉, 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 서로 압박시킴으로써, 필름을 구비한 기판 FW가 제작된다.
탄성 부재(47)는 탄성력을 갖고 있고 드라이 필름 DF 및 기판 W의 전체면에 맞닿는다. 그 때문에, 드라이 필름 DF 및 기판 W의 전체면에 걸쳐 균일하게 압박력을 부여할 수 있다. 또한, 챔버(15)의 내부가 감압되어 있는 상태에서 드라이 필름 DF 및 기판 W에 압박력을 부여하여 양자를 첩부하므로, 드라이 필름 DF와 기판 W 사이에 공기가 끌려 들어가는 것을 보다 확실하게 피할 수 있다.
또한, 기판 W의 표면에 요철이 형성되어 있는 경우에도, 탄성 부재(47)는 당해 요철에 따라서 탄성 변형하면서 드라이 필름 DF를 압박한다. 따라서, 접착력을 갖는 드라이 필름 DF의 레지스트층 Re는 기판 W 상의 요철의 간극을 고정밀도로 매립해 간다. 따라서, 제작된 필름을 구비한 기판 FW에 있어서, 기판 W와 드라이 필름 DF는 고정밀도로 밀착하고 있다.
드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부한 후, 보유 지지 테이블(39)을 하강시킴으로써 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 이격시킨다. 이때, 보호 시트(49)의 표면에는 이형 처리가 이루어져 있다. 그 때문에, 도 18의 (b)에 도시하는 바와 같은, 필름을 구비한 기판 FW가 보호 시트(49)에 부착되어서 보유 지지 테이블(39)로부터 이격된다는 사태를 확실하게 피할 수 있다.
제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 이격시킴과 함께, 제어부(34)는 전자 밸브(81)의 개방도를 조절하여 챔버(15)의 내부 기압을 대기압에 근접시켜 간다. 그리고 챔버(15)의 내부가 소정의 기압에까지 상승하면, 제어부(34)는 전자 밸브(81)를 완전 개방으로 하여 챔버(15)를 대기 개방시킨 후에, 실린더(16)를 작동시켜서 상측 하우징(15B)을 상승시킨다. 챔버(15)의 밀폐 상태가 해제됨으로써, 첩부 과정은 완료된다.
스텝 S6(박리 과정)
첩부 과정을 완료시킨 후, 제2 세퍼레이터 S2를 드라이 필름 DF로부터 박리하는 동작을 개시한다. 먼저, 기판 반송 기구(6)를 사용하여 필름을 구비한 기판 FW를 박리 테이블(17)로 반송한다. 즉 도 14의 (a)에 도시하는 바와 같이, 지지 핀(43)을 보유 지지 테이블(39)의 기판 지지면으로부터 돌출시켜서 필름을 구비한 기판 FW를 들어 올림과 함께, 기판 반송 기구(6)의 기판 보유 지지부(6b)를 보유 지지 테이블(39)과 필름을 구비한 기판 FW 사이에 삽입한다.
그리고 도 14의 (b)에 도시하는 바와 같이, 기판 보유 지지부(6b)가 필름을 구비한 기판 FW의 하면을 흡착 보유 지지하여 상승함으로써, 필름을 구비한 기판 FW는 보유 지지 테이블(39)로부터 이격된다. 기판 반송 기구(6)는 필름을 구비한 기판 FW를 챔버(15)로부터 반출하고, 박리 유닛(7)으로 필름을 구비한 기판 FW를 반송한다.
필름을 구비한 기판 FW가 박리 유닛(7)으로 반송된 후, 기판 반송 기구(6)는 필름을 구비한 기판 FW를 박리 테이블(17)에 적재시킨다. 이때 도 15에 도시하는 바와 같이, 박리 부재(57)가 필름을 구비한 기판 FW의 우측 단부 부분의 상방에 위치하도록, 박리 기구(19)를 적절히 이동시킨다. 그 후, 도 16에 도시하는 바와 같이 지지 프레임(55)을 하강시켜, 박리 부재(57)에 의해 박리 테이프 Ts를 제2 세퍼레이터 S2의 표면에 첩부한다.
박리 테이프 Ts가 제2 세퍼레이터 S2의 표면에 첩부된 후, 도 17에 도시하는 바와 같이, 박리 기구(19)를 좌방향으로 이동시키면서, 박리 테이프 Ts를 권취한다. 즉, 박리 부재(57)에 의해 박리 테이프 Ts를 접으면서 제2 세퍼레이터 S2를 박리 테이프 Ts와 일체로 하여 필름을 구비한 기판 FW로부터 박리해 간다. 필름을 구비한 기판 FW로부터 박리된 제2 세퍼레이터 S2가 첩부되어 있는 박리 테이프 Ts는, 테이프 회수부(59)에 의해 권취 회수되어 간다.
스텝 S7(필름을 구비한 기판의 회수)
제2 세퍼레이터 S2를 필름을 구비한 기판 FW로부터 박리시킨 후, 기판 반송 기구(6)는 필름을 구비한 기판 FW를 박리 테이블(17)로부터 반출하고, 얼라이너(8)로 반송한다. 얼라이너(8)에 있어서 필름을 구비한 기판 FW의 위치 정렬을 행한 후, 기판 반송 기구(6)는 필름을 구비한 기판 FW를 정전기 검사부(9)로 반송하고, 검사 테이블(9a)에 적재한다.
정전기 검사부(9)는, 정전기 센서(9b)를 사용하여 필름을 구비한 기판 FW에 대전하고 있는 정전기의 양을 측정한다. 정전기가 기준값을 초과하는 경우, 필름을 구비한 기판 FW는 불량품이라고 판정되어, 필름을 구비한 기판 FW에 대하여 제전을 행하는 동작 또는 오퍼레이터에 의한 필름을 구비한 기판 FW의 제거를 행한다. 정전기가 기준값 이하인 경우, 필름을 구비한 기판 FW는 양품이라고 판정되어, 기판 반송 기구(3)에 의해 기판 회수부(11)로 반송된다. 기판 회수부(11)로 반송된 필름을 구비한 기판 FW는, 카세트 C2에 적재 수납된다.
이상에서, 기판 W에 드라이 필름 DF를 첩부하는 일순의 동작이 종료된다. 이후, 필름을 구비한 기판 FW가 소정수에 도달할 때까지 상기 처리가 반복된다.
또한, 일련의 공정에 있어서, 보호 시트(49)의 텐션은 장력 센서(52)에 의해 수시 검지되고 있다. 그리고 보호 시트(49)의 텐션이 미리 정해진 기준값 이하로 된 경우, 장력 센서(52)는, 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같은 보호 시트(49)가 느슨해진 상태가 되었다고 판정하고, 보호 시트(49)의 텐션이 저하된 취지의 신호를 제어부(34)로 송신한다. 당해 신호를 수신함으로써, 제어부(34)는 실린더(51)를 동작시켜서 보호 시트(49)에 텐션을 부여시킨다. 그 결과, 도 5의 (c)에 도시하는 바와 같이 보호 시트(49)의 느슨해짐이 해소되고, 보호 시트(49)는 다시 탄성체(47)의 하면 전체에 걸쳐 밀착한 상태로 된다.
<실시예의 구성에 의한 효과>
상기 실시예에 관한 장치에 의하면, 기판 W 및 드라이 필름 DF를 적층시킨 상태에서 양자를 보유 지지하는 제1 프레스 기구(35)와, 제1 프레스 기구(36)에 대향 배치되어 있고 기판 W 및 드라이 필름 DF에 대향하는 평탄면을 갖는 제2 프레스 기구(36)를 구비하고 있다. 그리고, 제1 프레스 기구(35)와 제1 프레스 기구(36)를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써, 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부한다.
실시예에 관한 장치에서는, 제2 프레스 기구(36)가 갖는 평탄면에 의해, 드라이 필름 DF의 전체면에 대하여 압박력을 동시에 또한 균일하게 가할 수 있다. 그 때문에, 기판 W가 대형화하는 경우에도, 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부할 때에, 기판 W에 작용하는 압박력의 치우침에 기인하여 기판 W에 균열 또는 결락 등의 불량이 발생하는 것을 피할 수 있다. 또한, 기판 W에 요철이 있는 경우라도, 드라이 필름 DF는 당해 요철에 대하여 고밀착으로 첩부된다. 또한, 제2 프레스 기구(36)로 드라이 필름 DF의 전체를 압박함으로써, 드라이 필름 DF의 레지스트층 Re는 당해 요철의 간극에 대하여 고정밀도로 매립되도록 첩부된다. 그 때문에, 필름을 구비한 기판 FW의 표면의 평탄성을 향상시킬 수 있다.
그리고 제2 프레스 기구(36)는 이형성을 갖는 보호 시트(49)를 구비하고 있다. 보호 시트(49)는, 제2 프레스 기구(36) 중 적어도 제1 프레스 기구(35)와 접촉하는 면을 보호하도록 배치되어 있다. 보호 시트(49)는 이형성을 갖고 있으므로, 기판 W 및 드라이 필름 DF를 보유 지지하고 있는 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)가 서로 압박하여 첩부 과정을 실행한 후, 드라이 필름 DF가 첩부된 기판 W는 적합하게 보호 시트(49)로부터 이격된다.
보호 시트(49)를 갖고 있지 않은 비교예에서는, 도 18의 (a) 및 (b)에 도시하는 바와 같은 문제점이 발생한다. 즉, 종래보다도 대형화한 기판 W 및 드라이 필름 DF에 대하여, 도 18의 (a)에 도시한 바와 같이, 대형의 부재인 프레스판(45) 및 탄성 부재(47)을 접근시켜, 서로 압박시킨다. 이 경우, 탄성 부재(47)에 의해 드라이 필름 DF의 전체면이 압박된다.
그 결과, 첩부 과정이 완료된 후에 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 이격시킬 때, 도 18의 (b)에 도시하는 바와 같이, 첩부 과정에 의해 필름을 구비한 기판 FW가 제2 프레스 기구(36)에 부착되어 버려, 보유 지지 테이블(39)로부터 필름을 구비한 기판 FW가 이격되어 버린다고 하는 사태가 염려된다. 이러한 에러가 발생하면, 장치를 정지시켜서 필름을 구비한 기판 FW를 제2 프레스 기구(36)로부터 회수하는 작업이 필요하게 되므로, 장치의 작동 효율이 저하된다.
본 실시예에 관한 구성에서는 보호 시트(49)를 사용하여 제2 프레스 기구(36)에 이형성을 부여하고 있다. 그 때문에, 첩부 과정에 의해 필름을 구비한 기판 FW가 제2 프레스 기구(36)에 부착되어 버려, 보유 지지 테이블(39)로부터 필름을 구비한 기판 FW가 이격되어 버린다고 하는 에러의 발생을 방지할 수 있다. 따라서, 필름재 첩부 장치(1)의 작동 효율을 향상시킬 수 있다.
제2 프레스 기구(36)에 이형성을 부여하는 구성의 비교예로서, 탄성 부재(47)의 하면에 이형 처리를 실시하고, 당해 하면을 드라이 필름 DF에 접촉시킴으로써 드라이 필름 DF를 압박하는 구성을 생각할 수 있다. 그러나 당해 비교예의 구성에서는, 장기의 사용에 의해 탄성 부재(47)의 이형성이 저하한 경우, 프레스판(45)으로부터 탄성 부재(47)를 분리하여 새로운 탄성 부재(47)로 교환하는 작업 또는 탄성 부재(47) 및 프레스판(45)을 일체로 하여 교환하는 작업이 필요하게 된다. 이들의 작업에는 손이 많이 가므로, 장치의 작동 효율이 저하된다. 또한 탄성 부재(47) 및 프레스판(45)은 대형의 부재이기 때문에, 교환에 요하는 비용이 상승한다.
한편, 실시예에 관한 구성에서는 보호 시트(49)를 사용하여 제2 프레스 기구(36)에 이형성을 부여한다. 보호 시트(49)는 제2 프레스 기구(36)의 외면의 적어도 일부를 덮는 얇은 시트상의 부재이다. 그 때문에, 장기의 사용에 의해 보호 시트(49)의 이형성이 저하된 경우에도, 얇은 시트상의 보호 시트(49)를 실린더(51)로부터 분리하여 교환함으로써 제2 프레스 기구(36)의 이형성을 용이하게 회복할 수 있다. 따라서, 교환에 요하는 비용 및 시간을 억제할 수 있으므로, 필름재 첩부 장치(1)의 작동 효율을 더 향상시킬 수 있다.
보호 시트(49)는, 손상, 변형 또는 이물 부착을 예로 하는 문제가 탄성 부재(47)에 발생하는 것도 방지할 수 있다. 그 때문에, 보호 시트(49)에 의해 탄성 부재(47)의 교환 빈도를 더 저감할 수 있다.
또한, 실시예에 관한 장치는 보호 시트(49)의 텐션을 조정하는 실린더(51)를 구비하고 있다. 장기의 사용 등에 의해, 도 19의 (a)에 도시하는 바와 같이 보호 시트(49)가 느슨해진 경우, 실린더(51)를 작동시켜서 텐션을 부여함으로써 보호 시트(49)의 느슨해짐을 해소할 수 있다.
보호 시트(49)가 느슨해진 상태에서 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부하는 동작을 행하는 경우, 이하와 같은 문제가 발생할 수 있다. 즉, 보호 시트(49)와 탄성 부재(47) 사이에 간극 K가 발생하고 있는 상태에서 탄성 부재(47)를 드라이 필름 DF에 압박시키기 위해서, 도 19의 (b)에 도시하는 바와 같이, 탄성 부재(47)의 하면에 있어서 보호 시트(49)에 주름 P가 발생한다.
보호 시트(49)에 주름 P가 발생하면, 보호 시트(49)를 통해 탄성 부재(47)가 드라이 필름 DF를 압박할 때에, 주름 P가 발생하고 있는 부분에서는 적합하게 드라이 필름 DF를 압박할 수 없다. 그 때문에, 주름 P의 형상에 따라, 도 19의 (c)에 도시하는 바와 같이, 필름을 구비한 기판 FW에 있어서 드라이 필름 DF와 기판 W 사이에 간극 Q가 발생한다. 또한, 필름을 구비한 기판 FW에 있어서 드라이 필름 DF에도 주름이 높은 빈도로 발생한다. 그 때문에, 드라이 필름 DF와 기판 W를 고정밀도로 밀착시키는 것이 곤란해진다.
그 때문에, 실시예에 관한 장치는 실린더(51)를 사용하여 보호 시트(49)에 대하여 항상 일정 이상의 텐션을 부여함으로써, 보호 시트(49)가 느슨해진 상태에서 드라이 필름에 접촉하는 것을 방지하고 있다. 그 때문에, 첩부 과정에 있어서 드라이 필름 DF를 기판 W에 고정밀도로 밀착시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서, 프레스판(45)의 하면 주연부(45a) 및 탄성 부재(47)의 하면 주연부(47a)는 모두 둥그스름해진 형상으로 되고 있다. 도 20의 (a)에 도시하는 바와 같이 하면 주연부(45a) 또는 하면 주연부(47a)가 네모진 형상인 경우, 보호 시트(49)의 이완을 해소하는 조작에 있어서 이하와 같은 문제가 발생할 수 있다. 즉, 도 20(b)에 나타내는 바와 같이 네모진 형상으로 되어 있는 하면 주연부(45a) 또는 하면 주연부(47a)에 있어서, 보호 시트(49)가 걸린다.
보호 시트(49)가 걸림으로써, 보호 시트(49)에 대하여 비교적 큰 마찰력이 발생한다. 당해 마찰력이 발생하면, 실린더(51)에 의해 부여되는 텐션은, 탄성 부재(47)의 하면에 대향하는 부분의 보호 시트(49)에 전달되기 어려워진다. 그 결과, 실린더(51)를 작동시켜도, 보호 시트(49)의 느슨해짐이 전부 해소될 수 없고 간극 K가 잔존하게 된다.
한편, 본 실시예에 있어서, 하면 주연부(45a) 및 하면 주연부(47a)에 대하여 둥그스름해진 형상으로 하는 표면 처리를 행하고 있다. 하면 주연부(45a) 및 하면 주연부(47a)는 원만해진 형상, 즉 둥그스름해진 형상을 갖고 있기 때문에, 보호 시트(49)와 하면 주연부(45a) 또는 하면 주연부(47a) 사이에 발생하는 마찰력을 크게 저감할 수 있다. 따라서, 실린더(51)에 의해 텐션을 조절하고, 보호 시트(49)의 느슨해짐을 해소하는 조작을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, 금회 개시된 실시 형태는, 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시 형태의 설명이 아닌 특허 청구 범위에 의해 나타나고, 또한 특허 청구 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경(변형예)이 포함된다. 예로서, 본 발명은 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 실시예에 있어서, 기판 W와 드라이 필름 DF를 제각각 챔버(15)에 공급하는 스텝 S1 및 스텝 S2의 과정을 행하고, 스텝 S4에 있어서 챔버(15)의 내부에서 양자를 적층시키고 있지만 이것에 한정되지 않는다. 즉 미리 드라이 필름 DF를 기판 W에 적층시키는 과정을 행하여, 드라이 필름 DF가 적층된 기판 W를 챔버(15)에 공급해도 된다.
이러한 변형예의 일례로서는 이하와 같은 것을 들 수 있다. 미리 드라이 필름 DF가 적층된 기판 W를, 기판 공급부(2)에 다단으로 수납시켜 둔다. 그리고 기판 반송 기구(3)는 드라이 필름 DF가 적층된 기판 W를, 얼라이너(4)를 경유하여 챔버(15)로 반송하고, 보유 지지 테이블(39)에 적재시킨다. 그리고 상측 하우징(15B)을 하강시켜서 밀폐 상태의 챔버(15)를 형성시킨 후, 진공 장치(32)를 작동시켜서 스텝 S5 이후의 공정을 실행함으로써, 드라이 필름 DF가 적층된 기판 W는 제2 프레스 기구(36)에 의해 압박되어서 필름을 구비한 기판 W가 제작된다.
당해 변형예에서는 미리 드라이 필름 DF가 기판 W에 적층되어 있다. 그 때문에, 필름 공급 유닛(13) 및 필름 보유 지지 플레이트(38)을 예로 하는 구성을 적절히 생략할 수 있다. 따라서, 필름재 첩부 장치(1)의 소형화 및 저비용화를 용이하게 실현할 수 있다.
(2) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 필름재를 워크에 첩부하는 일련의 공정은 복수회 반복하는 구성이어도 된다. 즉, 기판 W에 드라이 필름 DF를 첩부한 후에 노광 처리 및 현상 처리 등을 행함으로써, 기판 W에 1층째의 금속 배선이 형성된다. 그 후, 금속 배선이 형성된 기판 W를 기판 공급부(2)에 수납시켜, 다시 드라이 필름 DF를 첩부하는 일련의 과정을 행한다.
다시 첩부 처리에 의해, 금속 배선에 의한 요철을 갖는 기판 W에 대하여, 드라이 필름 DF를 높은 밀착성 및 매립성으로 첩부할 수 있다. 그 후, 다시 노광 처리 및 현상 처리를 행함으로써, 2층째의 금속 배선이 형성된다. 이하, 필름재 첩부 장치에 의한 필름재 첩부 처리와, 노광 처리 및 현상 처리를 반복함으로써, 다층의 금속 배선을 고정밀도로 기판 W에 형성할 수 있다.
(3) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 필름재를 첩부하는 대상인 워크로서 직사각 형상의 기판 W를 사용했지만 이것에 한정되지 않는다. 워크로서는 기판 이외에, 패널, 웨이퍼 등 각종 반도체용 부재를 적용할 수 있다. 또한 워크의 형상으로서는 직사각 형상 외에, 원 형상, 다각 형상, 대략 원 형상 등이어도 된다.
(4) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 워크에 첩부하는 필름재로서 드라이 필름 DF를 사용하고 있지만 이것에 한정되지 않는다. 즉, 필름재의 다른 예로서, 필름상, 테이프상, 시트상 등의 재료를 사용할 수 있다. 구체적인 예로서, 백그라인드 처리(이면 연삭 처리)를 행하기 전에 웨이퍼 또는 기판에 첩부되는 회로 보호용의 점착 테이프(백그라인드 테이프), 웨이퍼 또는 기판에 형성된 칩을 밀봉하는 밀봉용의 점착 시트 등을 들 수 있다.
본 실시예에 관한 필름재 첩부 장치(1)는, 특히 요철을 갖는 워크에 대하여 필름재를 첩부하는 경우에 있어서, 당해 요철에 대한 필름재의 밀착성 및 매립성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 필름을 구비한 기판 FW에 있어서 표면에 주름이 발생하는 사태나, 기판 W와 필름재 사이에 기포가 발생하는 사태를 피할 수 있다. 백그라인드 테이프를 사용하는 경우, 필름재의 표면이 평탄하므로, 백그라인드 처리가 불균일해져서 워크에 깨짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 밀봉용 시트를 사용하는 경우, 칩의 실장 불량이나 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(5) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 드라이 필름 DF는 가열에 의해 접착력을 발휘하는 가열 접착성의 필름인 구성을 예로 들어서 설명했지만 이것에 한정되지 않는다. 다른 예로서, 압박됨으로써 접착력을 발휘하는 감압성 접착재를 구비하는 필름재를 사용해도 된다. 또한 필름재는 접착재를 갖는 구성으로 한정되는 것은 아니고, 점착재를 구비하는 점착성 필름재를 사용해도 된다.
(6) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 실린더(51)는 보호 시트(49)를 4방향으로 인장함으로써 텐션을 조정하고 있지만, 텐션을 부여하는 방향은 4방향에 한정되는 것은 아니다. 일례로서 도 21에 도시하는 바와 같이, 보호 시트(49)를 일방향으로만 인장함으로써 텐션을 부여해도 되고, 4방향 이상의 다방향으로 보호 시트(49)를 인장하는 구성이어도 된다. 2방향 또는 3방향으로 보호 시트(49)를 인장하여 텐션을 부여해도 된다.
또한, 보호 시트(49)의 텐션을 조정하는 구성은 실린더(51)의 신축 동작에 의해, 임의의 타이밍으로 임의의 크기의 텐션을 부여하는 구성에 한정되는 것은 아니다. 일례로서 도 22에 도시하는 바와 같은, 정하중 스프링(54)을 사용하여 보호 시트(49)에 대하여 일정한 텐션을 계속하여 부여하는 구성이어도 된다. 또한, 실린더(51)에 의해 텐션을 임의로 부여하는 구성 외에, 모터 등에 의해 보호 시트(49)에 대하여 텐션을 임의로 부여해도 된다.
(7) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 실린더(51)는 드라이 필름 DF를 압박하는 면인 압박면(탄성 부재(47)의 하면)에 대하여 직교하는 방향으로 보호 시트(49)를 인장함으로써 텐션을 보호 시트(49)에 부여하고 있지만, 평면으로 보아 보호 시트(49)를 인장하는 방향은 이것에 한정되지 않는다. 즉 도 23의 (a)에 도시하는 바와 같이, 압박면에 대하여 둔각을 형성하는 방향으로 보호 시트(49)를 인장해도 된다. 또한 도 23의 (b)에 도시하는 바와 같이, 압박면에 대하여 예각을 형성하는 방향으로 보호 시트(49)를 인장해도 된다. 압박면에 대하여 예각을 형성하는 방향으로 보호 시트(49)를 인장하는 경우, 프레스판(45)은 하면 주연부(45a)에 추가하여 상면 주연부도 둥그스름해진 형상인 것이 바람직하다. 또한 설명의 편의상, 도 23의 각 도면에 있어서 실린더(51)를 생략하고 있다.
(8) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 제2 프레스 기구(36)는 탄성 부재(47)를 구비하는 구성으로 한정되는 것은 아니다. 즉 도 24에 도시하는 바와 같이, 제2 프레스 기구(36)는 프레스판(45)과, 프레스판(45) 중 적어도 하면을 보호하는 보호 시트(49)를 구비하는 구성이어도 된다. 이 경우, 프레스판(45)의 하면이 드라이 필름 DF를 압박하는 압박면으로 된다. 그리고 프레스판(45)의 하면은 보호 시트(49)를 통해 드라이 필름 DF를 압박한다. 또한, 제2 프레스 기구(36)에 있어서 프레스판(45) 및 탄성 부재(47)는 실시예와 같은 단일의 부재로 이루어지는 단층 구조에 한정되는 것은 아니고, 복수의 부재를 조합한 다층 구조여도 된다.
(9) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 보유 지지 테이블(39) 또는 박리 테이블(17)은 금속제에 한정되는 것은 아니고, 세라믹의 다공질로 형성된 구성 등을 적절히 대용해도 된다. 또한, 웨이퍼 W를 안정적으로 보유 지지할 수 있는 구성이라면, 보유 지지 테이블(39) 또는 박리 테이블(17)은 기판 W를 흡착하는 구성이 아니어도 된다.
(10) 각 실시예 및 각 변형예에 관한 스텝 S5에 있어서, 제1 프레스 기구(35)를 상승시킴으로써 제1 프레스 기구(35) 및 제2 프레스 기구(36)를 서로 압박시켰지만 이것에 한정되지 않는다. 즉, 제1 프레스 기구(35) 및 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시키는 것이라면, 제2 프레스 기구(36)를 이동시키는 구성이어도 되고, 제1 프레스 기구(35) 및 제2 프레스 기구(36)의 양쪽을 이동시키는 구성이어도 된다.
(11) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 제1 프레스 기구(35)가 제2 프레스 기구(36)의 하방에 배치되는 구성에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제1 프레스 기구(35) 및 제2 프레스 기구가 대향 배치되는 구성이라면, 제1 프레스 기구(35) 및 제2 프레스 기구가 배치되는 위치는 적절히 변경해도 된다.
(12) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 스텝 S4 또는 스텝 S5의 과정은 챔버(15)의 내부에 있어서 감압 하에서 행하는 구성에 한정되지 않는다. 즉 대기압의 조건에서 스텝 S4 또는 스텝 S5의 과정을 행하여도 된다. 단, 기판 W와 드라이 필름 DF 사이에 에어가 끌려 들어가는 것을 회피한다는 점에서, 스텝 S4 또는 스텝 S5는 감압 조건 하에서 행하여지는 것이 바람직하다.
(13) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 히터(44)는 제1 프레스 기구(35)가 구비하는 보유 지지 테이블(39)에 마련되는 구성을 예시했지만, 히터(44)는 제1 프레스 기구(35)만이 구비하는 구성에 한정되지 않는다. 드라이 필름 DF를 가열하는 히터(44)는, 제2 프레스 기구(36)에 마련되는 구성이어도 되고, 제1 프레스 기구(35) 및 제2 프레스 기구(36)의 양쪽에 마련되는 구성이어도 된다. 제2 프레스 기구(36)에 히터(44)를 마련하는 구성의 일례로서, 프레스판(45) 또는 탄성 부재(47)에 히터(44)를 매설하는 구성을 들 수 있다.
(14) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 보호 시트(49)는 제2 프레스 기구(36)를 피복하도록 배치되고 있지만 이것에 한정되지 않는다. 제2 프레스 기구(36) 중 적어도 보호 테이블(39)에 대향하는 면을 보호하는 구성의 다른 예로서는, 도 25에 도시하는 바와 같은, 하측 하우징(15A)과 상측 하우징(15B) 사이에 보호 시트(49)를 배치하는 구성을 들 수 있다.
당해 변형예에 관한 필름재 첩부 장치(1)는, 하측 하우징(15A)과 상측 하우징(15B) 사이에 띠상의 보호 시트(49)를 공급하는 보호 시트 공급 유닛(71)을 구비하고 있다. 보호 시트 공급 유닛(71)은, 시트 공급부(73)와, 가이드 롤러(74)와, 시트 회수부(75)와, 텐션 롤러(77)를 구비하고 있다. 또한, 당해 변형예의 설명의 편의상, 진공 장치(32), 필름 절단 기구(37) 등의 일부 구성을 도면에 있어서 생략하고 있다.
시트 공급부(73)는 보호 시트(49)의 원단 롤러를 구비하고 있고, 당해 원단 롤러로부터 띠상의 보호 시트(49)를 조출하여 공급한다. 가이드 롤러(74) 및 텐션 롤러(77)는 조출하여 공급된 보호 시트(49)를, 하측 하우징(15A)과 상측 하우징(15B) 사이의 공간을 경유하여 시트 회수부(75)로 안내한다. 시트 회수부(75)는, 보호 시트(49)를 권취하는 회수 보빈을 구비하고 있다. 당해 회수 보빈은, 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다.
텐션 롤러(77)는 공회전 가능하게 지지 암(78)에 마련되어 있고, 당해 지지 암(78)을 통해 요동 가능하게 배치되고 있다. 따라서, 텐션 롤러(77)는, 안내 권회된 보호 시트(49)에 적당한 텐션을 부여한다. 텐션 롤러(77)의 요동량은 제어부(34)에 의해 적절히 제어된다. 그 때문에, 텐션 롤러(77)의 요동량에 따라, 보호 시트(49)에 부여되는 텐션을 적절히 조정할 수 있다. 본 변형예에 있어서, 텐션 롤러(77)는 텐션 부여 기구에 상당한다.
보호 시트 공급 유닛(71)을 구비하는 변형예에 관한 일련의 동작에 대하여 설명한다. 우선은 스텝 S1 및 스텝 S2의 공정 등에 의해, 보유 지지 테이블(39)에 기판 W 및 드라이 필름 DF를 공급한다. 그리고 보유 지지 테이블(39)에 있어서 기판 W에 드라이 필름 DF를 적층시킨다. 드라이 필름 DF가 적층된 기판 W가 보유 지지 테이블(39)에 보유 지지되어 있는 상태는, 도 26에 도시되어 있다. 또한 도 26에 있어서, 보호 시트(49) 중 보유 지지 테이블(39)에 대향하는 부분, 즉 탄성 부재(47)가 맞닿아서 드라이 필름 DF를 압박하는 부분을 부호 F로 나타내고 있다.
보유 지지 테이블(39)이 기판 W 및 드라이 필름 DF를 적층 상태에서 보유 지지하면, 실린더(16)를 작동시켜서 상측 하우징(15B)을 하강시킨다. 상측 하우징(15B)의 하강에 의해, 도 27에 도시하는 바와 같이, 하측 하우징(15A) 및 상측 하우징(15B)에 의해 보호 시트(49)가 끼워 넣어져, 보호 시트(49)에 의해 내부 공간이 상하 공간으로 분획된 챔버(15)가 형성된다.
보호 시트(49)를 끼워 넣어서 챔버(15)가 형성되면, 진공 장치(32)를 작동시켜서 챔버(15)의 내부 공간을 감압시킴과 함께, 히터(44)에 의한 드라이 필름 DF의 가열을 개시한다. 그리고, 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킨다. 그 결과, 도 28에 도시한 바와 같이, 제2 프레스 기구(36)의 탄성 부재(47)는 보호 시트(49)에 접촉함과 함께, 보호 시트(49)를 통해 드라이 필름 DF를 압박한다. 탄성 부재(47)가 드라이 필름 DF의 전체면을 압박함으로써, 가열되어서 접착력이 발휘된 드라이 필름 DF는 기판 W에 첩부된다.
드라이 필름 DF가 기판 W에 첩부된 후, 도 29에 도시하는 바와 같이, 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 이격시킨다. 그리고 전자 밸브(33)를 개방하여 챔버(15)의 내부를 대기압으로까지 상승시킨 후, 상측 하우징(15B)을 상승시켜서 챔버(15)를 개방한다. 그 후, 기판 반송 기구(6)에 의해 필름을 구비한 기판 FW를 보유 지지 테이블(39)로부터 박리 유닛(7)으로 반출하고, 실시예와 마찬가지로 스텝 S6 이후의 동작을 행한다.
또한 첩부 동작을 반복함으로써, 부호 F로 나타내는 부분의 보호 시트(49)에 있어서, 이형성의 저하 또는 이물의 부착을 예로 하는 불량이 발생한 경우, 보호 시트(49)를 새롭게 조출함으로써 보호 시트(49)의 교환을 행한다. 즉 시트 공급부(73)가 부호 F로 나타내는 길이에 상당하는 양의 보호 시트(49)를 새롭게 조출함으로써, 도 30에 도시하는 바와 같이 부호 F로 나타내는 부분의 보호 시트(49)는, 보유 지지 테이블(39)에 대향하는 위치로부터 더 하류로 이동한다. 그리고, 부호 F로 나타내는 부분의 상류에 상당하는 미사용 부분의 보호 시트(49)가, 보유 지지 테이블(39)에 대향하는 위치로 새롭게 이동함으로써 보호 시트(49)의 교환이 완료된다. 이후, 당해 새로운 부분의 보호 시트(49)를 사용하여, 첩부 동작을 실행한다.
이와 같이, 보호 시트 공급 유닛(71)을 구비하는 변형예에서는, 하측 하우징(15A)과 상측 하우징(15B) 사이의 공간에 띠상의 보호 시트(49)를 조출하여 공급시킨다. 그리고 보호 시트(49)를 사이에 두고 대향 배치되는 제1 프레스 기구(35)와 제2 프레스 기구(36)를 상대적으로 접근시켜, 보호 시트(49)를 끼워서 서로 압박시킴으로써 드라이 필름 DF를 기판 W에 첩부할 수 있다.
탄성 부재(47)는 보호 시트(49)를 통해 드라이 필름 DF를 압박한다. 즉 탄성 부재(47)는 보호 시트(49)에 의해 보호된 상태에서 드라이 필름 DF를 압박하므로, 손상의 발생 또는 이물의 부착 등에 기인하여 탄성 부재(47)가 열화되는 것을 피할 수 있다. 또한 보호 시트(49)의 이형성에 의해, 드라이 필름 DF가 첩부된 기판 W가 제2 프레스 기구(36)에 붙는다는 사태도 피할 수 있다. 또한, 텐션 롤러(77)에 의해 보호 시트(49)의 텐션을 적절히 조정할 수 있으므로, 보호 시트(49)가 느슨해진 상태에서 탄성 부재(47)가 드라이 필름 DF를 압박하는 사태도 피할 수 있다.
그리고 장기 사용에 의해, 탄성 부재(47)가 맞닿는 부분의 보호 시트(49)가 열화된 경우에도, 시트 공급부(73)에 보호 시트(49)를 새롭게 조출시킨다는 단순한 조작에 의해 보호 시트(49)를 새롭게 교환할 수 있다. 그 때문에, 당해 비교예에서는 보호 시트(49)의 교환에 요하는 시간을 더 단축할 수 있다. 또한, 당해 비교예에서는 보호 시트(49)가 제2 프레스 기구(36)의 측면 등을 덮을 필요가 없다. 즉, 보호 시트(49)에 낭비가 발생하는 것을 방지하고, 보호 시트(49)의 모든 부분을 탄성 부재(47)가 맞닿아서 드라이 필름 DF를 압박하는 부분으로서 이용할 수 있다. 따라서, 보호 시트(49)의 이용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.
(15) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 스텝 S3 및 스텝 S4의 순번은 반대여도 된다. 즉 실시예에서는 폐색 상태의 챔버(15)를 형성시킨 후에 드라이 필름 DF를 워크 W에 적층시키고 있지만, 드라이 필름 DF를 워크 W에 적층시킨 후에 상측 하우징(15B)을 하강시켜서 폐색 상태의 챔버(15)를 형성시켜도 된다.
(16) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 실린더(51)는 보호 시트(49)에 대하여 소정의 텐션을 상시 부여하는 구성이어도 된다. 이 경우, 보호 시트(49)는 상시 텐션이 부여되어서 간극 K가 해소된 상태로 되므로, 장력 센서(52)를 생략할 수 있다. 또한, 장력 센서(52)는 보호 시트(49)의 느슨해짐을 검출한 경우, 경고음의 발생 또는 경고 램프의 점등 등에 의해 당해 이완을 통지하는 구성이어도 된다. 또한, 장력 센서(52)를 생략하고, 오퍼레이터가 눈으로 보기 등에 의해 보호 시트(49)의 느슨해짐의 유무를 확인하고, 수동으로 보호 시트의 텐션을 조정하는 구성을 적용해도 된다.
1: 필름재 첩부 장치
2: 기판 공급부
3: 기판 반송 기구
4: 얼라이너
5: 첩부 유닛
6: 기판 반송 기구
7: 박리 유닛
8: 얼라이너
9: 정전기 검사부
11: 기판 회수부
13: 필름 공급 유닛
15: 챔버
15A: 하측 하우징
15B: 상측 하우징
17: 박리 테이블
19: 박리 기구
21: 필름 공급부
23: 가이드 롤러
25: 세퍼레이터 박리 부재
27: 세퍼레이터 회수부
28: 원통 정상부
30: 원통 저부
32: 진공 장치(감압 기구)
34: 제어부
35: 제1 프레스 기구
36: 제2 프레스 기구
37: 필름 절단 기구
38: 필름 보유 지지 플레이트
39: 보유 지지 테이블(워크 보유 지지부)
43: 지지 핀
44: 히터
45: 프레스판
45a: 하면 주연부
47: 탄성 부재
47a: 하면 주연부
49: 보호 시트
51: 실린더(텐션 부여 기구)
53: 테이프 공급부
55: 지지 프레임
57: 박리 부재
59: 테이프 회수부
71: 보호 시트 공급 유닛
73: 시트 공급부
75: 시트 회수부
77: 텐션 롤러(텐션 부여 기구)
78: 지지 암
W: 기판(워크)
DF: 드라이 필름(필름재)
FW: 필름을 구비한 기판
Re: 레지스트층
S1: 제1 세퍼레이터
S2: 제2 세퍼레이터

Claims (8)

  1. 워크를 보유 지지하는 워크 보유 지지부를 갖는 제1 프레스 기구와,
    상기 제1 프레스 기구에 대하여 대향 배치되어 있는 제2 프레스 기구와,
    상기 워크 보유 지지부에 보유 지지되어 있는 상기 워크에 대하여 필름재를 적층시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크 보유 지지부에 보유 지지시키는 필름 공급 기구와,
    상기 워크 보유 지지부가 상기 워크 및 상기 필름재를 보유 지지하고 있는 상태에서 상기 제1 프레스 기구와 상기 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 기구를
    구비하고,
    상기 제2 프레스 기구는,
    상기 첩부 기구가 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시킴으로써, 상기 필름재의 전체면에 대하여 압박력을 작용시키도록 배치된 탄성 부재와,
    적어도 상기 탄성 부재 중 상기 워크 보유 지지부에 대향하는 면을 보호하는 보호 시트를
    구비하는 것을 특징으로 하는 필름재 첩부 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보호 시트에 대하여 텐션을 부여함으로써, 상기 보호 시트가 느슨해진 상태에서 상기 필름재에 접촉하는 것을 방지하는 텐션 부여 기구를 구비하는
    것을 특징으로 하는 필름재 첩부 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상측 하우징과 하측 하우징을 갖고 있고, 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구를 수용하는 챔버와,
    상기 챔버의 내부 공간을 감압시키는 감압 기구를
    구비하고,
    상기 첩부 기구는,
    상기 감압 기구가 상기 챔버의 내부 공간을 감압시킨 상태에서, 상기 제1 프레스 기구와 상기 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써, 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는
    것을 특징으로 하는 필름재 첩부 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    적어도 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구 중 한쪽은, 상기 첩부 기구에 의한 첩부를 행할 때에 상기 필름재를 가열하는 가열 기구를 구비하는
    것을 특징으로 하는 필름재 첩부 장치.
  5. 제1 프레스 기구가 갖는 워크 보유 지지부에 워크를 보유 지지시키는 워크 보유 지지 과정과,
    상기 워크 보유 지지부에 보유 지지되어 있는 상기 워크에 대하여 필름재를 적층시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크 보유 지지부에 보유 지지시키는 필름 공급 과정과,
    상기 워크 보유 지지부가 상기 워크 및 상기 필름재를 보유 지지하고 있는 상태에서, 상기 제1 프레스 기구에 대하여 대향 배치되어 있는 제2 프레스 기구와 상기 제1 프레스 기구를 상대적으로 접근시키는 근접 과정과,
    상대적으로 접근된 상기 제1 프레스 기구와 상기 제2 프레스 기구를 서로 압박시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는 첩부 과정을
    구비하고,
    상기 제2 프레스 기구는,
    상기 제1 프레스 기구에 대향하는 면에 배치된 탄성 부재와, 상기 탄성 부재 중 적어도 상기 워크 보유 지지부에 대향하는 면을 보호하는 보호 시트를 구비하고,
    상기 첩부 과정은,
    상기 탄성 부재가 상기 보호 시트를 통해 상기 필름재의 전체면에 대하여 압박력을 작용시킴으로써 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는
    것을 특징으로 하는 필름재 첩부 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 보호 시트에 대하여 텐션을 부여함으로써, 상기 보호 시트가 느슨해진 상태에서 상기 필름재에 접촉하는 것을 방지하는 텐션 부여 과정을 구비하고,
    상기 첩부 과정은,
    상기 텐션 부여 과정에 의해 텐션이 부여된 상기 보호 시트를 통해, 상기 탄성 부재는 상기 필름재의 전체면에 대하여 압박력을 작용시킴으로써, 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는
    것을 특징으로 하는 필름재 첩부 방법.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상측 하우징과 하측 하우징을 갖고 있고, 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구를 수용하는 챔버를 형성시키는 챔버 형성 과정과,
    상기 챔버의 내부 공간을 감압시키는 감압 과정을
    구비하고,
    상기 첩부 과정은,
    상기 감압 과정에서 상기 챔버의 내부 공간이 감압된 상태에서, 상기 제1 프레스 기구와 상기 제2 프레스 기구를 상대적으로 접근시켜 서로 압박시킴으로써, 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는
    것을 특징으로 하는 필름재 첩부 방법.
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    적어도 상기 제1 프레스 기구 및 상기 제2 프레스 기구 중 한쪽에 마련된 가열 기구에 의해 상기 필름재를 가열하는 가열 과정을 구비하고,
    상기 첩부 과정은,
    상기 가열 과정에 의해 가열된 상태의 상기 필름재를 상기 워크에 첩부하는
    것을 특징으로 하는 필름재 첩부 방법.
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