JP2010045389A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】純水リンス工程の後、純水が付着した基板を回転させながら、乾燥用流体および不活性ガスを基板に供給する乾燥工程を行う。このとき、基板に対する不活性ガスの供給位置が乾燥用流体の供給位置よりも基板回転中心(Po)に近くなるように保ちつつ、流体ノズル(12)及び不活性ガスノズル(13)の位置を基板回転中心に対して半径方向外側へ向かって移動させる。乾燥工程の開始時には、まず不活性ガスノズルを基板回転中心より手前側に位置させた状態で流体ノズル及び不活性ガスノズルの移動を開始すると共に乾燥用流体の供給を開始し、次いで、不活性ガスノズルが基板回転中心にきたときに不活性ガスの供給を開始する。
【選択図】図3
Description
しかしながら、これらの処理方法でIPA等の乾燥用の処理液を供給しながらウェハを乾燥させる場合、処理液の使用量が多いという問題がある。
薬液により基板を処理する薬液処理工程と、
基板上の薬液を純水により洗い流す純水リンス工程と、
前記純水が付着した基板を回転させながら、この基板に対して、純水より揮発性が高い乾燥用の流体と、不活性ガスとを供給して基板を乾燥させる乾燥工程と、を備え、
前記乾燥工程において、基板に対する前記不活性ガスの供給位置が基板に対する前記流体の供給位置よりも基板の回転中心に近くなるように保ちつつ、前記流体の供給位置および前記不活性ガスの供給位置を前記基板の回転中心に対して半径方向外側へ向かって移動させる、ことを特徴とする基板処理方法が提供される。
また、この方法においては、基板に対する前記不活性ガスの供給位置が、基板に対する前記流体の供給位置よりも基板の回転方向前方に位置するようにすることが好ましい。
また、前記乾燥工程は、前記純水リンス工程よりも前記基板の周囲の湿度を低下させた状態で行うことが好ましい。
基板を保持してこれを回転させるスピンチャックと、
前記基板に対して薬液を供給する薬液ノズルと、
前記薬液ノズルに前記薬液を供給する薬液供給路に介設された薬液用開閉弁と、
前記基板に対してリンス液としての純水を供給するリンス液ノズルと、
前記リンス液ノズルに前記純水を供給するリンス液供給路に介設されたリンス液用開閉弁と、
前記基板に対して、前記純水よりも揮発性が高い乾燥用の流体を供給する流体ノズルと、
前記流体ノズルに前記流体を供給する流体供給路に介設された流体用開閉弁と、
前記基板に対して不活性ガスを供給する不活性ガスノズルと、
前記不活性ガスノズルに前記不活性ガスを供給する不活性ガス供給路に介設された不活性ガス用開閉弁と、
前記薬液ノズル、前記リンス液ノズル、前記流体ノズルおよび前記不活性ノズルを移動させるノズル移動機構と、
前記スピンチャック、前記ノズル移動機構、前記薬液ノズル用開閉弁、前記リンス液ノズル用開閉弁、前記流体ノズル用開閉弁および前記不活性ガスノズル用開閉弁の動作を制御する制御器と、を備え、
前記制御器は、
前記ノズル移動機構により前記薬液ノズルを前記基板の上方に位置させた状態で前記薬液ノズル用開閉弁を開くことにより前記薬液ノズルから前記基板に前記薬液を供給して前記薬液によって前記基板を処理する薬液処理工程と、前記ノズル移動機構により前記リンス液ノズルを前記基板の上方に位置させた状態で前記リンス液用開閉弁を開くことにより前記リンス液ノズルから前記基板に前記純水を供給して前記薬液処理工程により前記基板上に付着した前記薬液を前記純水により洗い流す純水リンス工程と、前記スピンチャックにより前記基板を回転させるとともに前記ノズル移動機構により前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルを前記基板の上方に位置させた状態で前記流体ノズル用開閉弁および前記不活性ガス用開閉弁を開くことにより前記純水リンス工程により前記純水が付着した前記基板に前記流体および前記不活性ガスを前記基板に供給して前記基板を乾燥させる乾燥工程とを実施させ、
前記ノズル移動機構は、前記乾燥工程において、前記不活性ガスノズルが前記流体ノズルよりも前記基板の回転中心に近くなるように保ちつつ、前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルを前記基板の回転中心に対して半径方向外側に向かって移動させることを特徴とする基板処理装置が提供される。
前記制御器は、前記純水リンス工程と前記乾燥工程とが前記基板を回転させながら連続的に行われるように、前記スピンチャックにより前記基板を回転させるとともに前記ノズル移動機構により前記リンス液ノズル、前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルを前記基板の上方に位置させた状態で前記リンス液ノズル用開閉弁、前記流体ノズル用開閉弁および前記不活性ガス用開閉弁を開くことにより前記純水、前記流体および前記不活性ガスが同時に前記基板上に供給されるようにし、前記ノズル移動機構は、前記純水リンス工程と前記乾燥工程とが連続的に行われているときに、前記リンス液ノズルが前記流体ノズルよりも前記基板の回転中心から遠くなるように保ちつつ、前記リンス液ノズルを前記基板の回転中心に対して半径方向外側へ向かって移動させるように構成することができる。
また、前記スピンチャックに保持された基板周囲の湿度を調節する湿度調節機構を更に備えることが好ましい。
薬液により基板を処理する薬液処理工程と、
基板上の薬液を純水により洗い流す純水リンス工程と、
前記純水が付着した基板を回転させながら、この基板に対して、純水より揮発性が高い乾燥用の流体と、不活性ガスとを供給して基板を乾燥させる乾燥工程と、を備え、
前記乾燥工程において、基板に対する前記不活性ガスの供給位置が基板に対する前記流体の供給位置よりも基板の回転中心に近くなるように保ちつつ、前記流体の供給位置および前記不活性ガスの供給位置を前記基板の回転中心に対して半径方向外側へ向かって移動させる基板処理方法を実行するプログラムを格納した記憶媒体が提供される。
図1に示すように、本実施の形態にかかる基板処理装置1の処理容器2内には、ウェハWを略水平に保持してこれを回転させるスピンチャック3が備えられている。また、ウェハWに薬液を供給する薬液ノズル5と、このノズル5を支持する第1の支持アーム6とが備えられている。さらに、処理液としてリンス液を供給する処理液ノズル11、リンス液より揮発性が高い乾燥用の流体を供給する流体ノズル12、および不活性ガスとして窒素(N2)ガスを供給する不活性ガスノズル13と、これらのノズル11,12,13を支持する第2の支持アーム15とが備えられている。また、基板処理装置1の各部を制御するCPUを有する制御器16が備えられている。
先ず、図示しない搬送アームにより未だ洗浄されていないウェハWを処理容器2内に搬入し、図1に示すようにウェハWをスピンチャック3で保持する。ウェハWをスピンチャック3に受け渡すときは、図2に二点鎖線で示すように、第1の支持アーム6および第2の支持アーム15をスピンチャック3の外側に位置する待機位置に退避させておく。
Claims (10)
- 薬液により基板を処理する薬液処理工程と、
前記基板上の薬液を純水により洗い流す純水リンス工程と、
前記純水が付着した前記基板を回転させながら、純水より揮発性が高い乾燥用の流体を流体ノズルから前記基板に供給するとともに不活性ガスを不活性ガスノズルから前記基板に供給して基板を乾燥させる乾燥工程と、を備え、
前記乾燥工程において、前記基板に対する前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給位置が前記基板に対する前記流体ノズルからの前記乾燥用の流体の供給位置よりも前記基板の回転中心に近くなるように保ちつつ、前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルの位置を前記基板の回転中心に対して半径方向外側へ向かって移動させ、
前記乾燥工程の開始時に、まず、前記不活性ガスノズルを前記基板の回転中心より手前側に位置させた状態で前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルの移動を開始するとともに前記流体ノズルから前記乾燥用の流体の供給を開始し、次いで、前記不活性ガスノズルが前記基板の回転中心にきたときに前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給を開始することを特徴とする基板処理方法。 - 前記乾燥工程において、前記基板に対する前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給位置が前記基板に対する前記流体ノズルからの前記乾燥用の流体の供給位置よりも前記基板の回転中心に近くなるように保たれることに加えて、前記基板に対する前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給位置が前記基板に対する前記流体ノズルからの前記乾燥用の流体の供給位置よりも前記基板の回転方向に関して前方になるように保たれることを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記乾燥工程は、前記純水リンス工程よりも前記基板の周囲の温度を低下させた状態で行われることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理方法。
- 基板を保持してこれを回転させるスピンチャックと、
前記基板に対して薬液を供給する薬液ノズルと、
前記薬液ノズルに前記薬液を供給する薬液供給路に介設された薬液用開閉弁と、
前記基板に対してリンス液としての純水を供給するリンス液ノズルと、
前記リンス液ノズルに前記純水を供給するリンス液供給路に介設されたリンス液用開閉弁と、
前記基板に対して、前記純水よりも揮発性が高い乾燥用の流体を供給する流体ノズルと、
前記流体ノズルに前記流体を供給する流体供給路に介設された流体用開閉弁と、
前記基板に対して不活性ガスを供給する不活性ガスノズルと、
前記不活性ガスノズルに前記不活性ガスを供給する不活性ガス供給路に介設された不活性ガス用開閉弁と、
前記薬液ノズル、前記リンス液ノズル、前記流体ノズルおよび前記不活性ノズルを移動させるノズル移動機構と、
前記スピンチャック、前記ノズル移動機構、前記薬液ノズル用開閉弁、前記リンス液ノズル用開閉弁、前記流体ノズル用開閉弁および前記不活性ガスノズル用開閉弁の動作を制御する制御器と、を備え、
前記制御器は、
前記ノズル移動機構により前記薬液ノズルを前記基板の上方に位置させた状態で前記薬液ノズル用開閉弁を開くことにより前記薬液ノズルから前記基板に前記薬液を供給して前記薬液によって前記基板を処理する薬液処理工程と、前記ノズル移動機構により前記リンス液ノズルを前記基板の上方に位置させた状態で前記リンス液用開閉弁を開くことにより前記リンス液ノズルから前記基板に前記純水を供給して前記薬液処理工程により前記基板上に付着した前記薬液を前記純水により洗い流す純水リンス工程と、前記スピンチャックにより前記基板を回転させるとともに前記ノズル移動機構により前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルを前記基板の上方に位置させた状態で前記流体ノズル用開閉弁および前記不活性ガス用開閉弁を開くことにより前記純水リンス工程により前記純水が付着した前記基板に前記流体および前記不活性ガスを前記基板に供給して前記基板を乾燥させる乾燥工程とを実施させ、
前記乾燥工程において、前記ノズル移動機構により、前記不活性ガスノズルが前記流体ノズルよりも前記基板の回転中心に近くなるように保ちつつ、前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルを前記基板の回転中心に対して半径方向外側に向かって移動させるようにし、かつ、
前記乾燥工程の開始時に、前記ノズル移動機構および前記流体ノズル用開閉弁および前記不活性ガスノズル用開閉弁により、まず、前記不活性ガスノズルを前記基板の回転中心より手前側に位置させた状態で前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルの移動を開始させるようにするとともに前記流体ノズルから前記乾燥用の流体の供給を開始させ、次いで、前記不活性ガスノズルが前記基板の回転中心にきたときに前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給を開始させるようにする
ことを特徴とする基板処理装置。 - 前記ノズル移動機構により、前記乾燥工程において、前記不活性ガスノズルが前記流体ノズルよりも前記基板の回転方向に関して前方になるように保たれることを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記スピンチャックに保持された基板周囲の湿度を調節する湿度調節機構を更に備えたことを特徴とする請求項4または5に記載の基板処理装置。
- 前記制御器は、前記湿度調節機構により、前記乾燥工程における前記基板の周囲の温度が前記純水リンス工程における前記基板の周囲の温度を低くなるように制御することを特徴とする請求項6に記載の基板処理装置。
- 基板処理方法を実行するプログラムを格納した記憶媒体であって、
薬液により基板を処理する薬液処理工程と、
前記基板上の薬液を純水により洗い流す純水リンス工程と、
前記純水が付着した前記基板を回転させながら、純水より揮発性が高い乾燥用の流体を流体ノズルから前記基板に供給するとともに不活性ガスを不活性ガスノズルから前記基板に供給して基板を乾燥させる乾燥工程と、を備え、
前記乾燥工程において、前記基板に対する前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給位置が前記基板に対する前記流体ノズルからの前記乾燥用の流体の供給位置よりも前記基板の回転中心に近くなるように保ちつつ、前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルの位置を前記基板の回転中心に対して半径方向外側へ向かって移動させ、
前記乾燥工程の開始時に、まず、前記不活性ガスノズルを前記基板の回転中心より手前側に位置させた状態で前記流体ノズルおよび前記不活性ガスノズルの移動を開始するとともに前記流体ノズルから前記乾燥用の流体の供給を開始し、次いで、前記不活性ガスノズルが前記基板の回転中心にきたときに前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給を開始する基板処理方法を実行するプログラムを格納した記憶媒体。 - 請求項8に記載の記憶媒体に格納されたプログラムで実行される基板処理方法において、前記乾燥工程において、前記基板に対する前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給位置が前記基板に対する前記流体ノズルからの前記乾燥用の流体の供給位置よりも前記基板の回転中心に近くなるように保たれることに加えて、前記基板に対する前記不活性ガスノズルからの前記不活性ガスの供給位置が前記基板に対する前記流体ノズルからの前記乾燥用の流体の供給位置よりも前記基板の回転方向に関して前方になるように保たれる基板処理方法を実行するプログラムを格納した記憶媒体。
- 請求項8または9に記載の記憶媒体に格納されたプログラムで実行される基板処理方法において、前記乾燥工程が、前記純水リンス工程よりも前記基板の周囲の温度を低下させた状態で行われる基板処理方法を実行するプログラムを格納した記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009254293A JP5068801B2 (ja) | 2004-10-12 | 2009-11-05 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004297784 | 2004-10-12 | ||
JP2004297784 | 2004-10-12 | ||
JP2009254293A JP5068801B2 (ja) | 2004-10-12 | 2009-11-05 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006540941A Division JP4451450B2 (ja) | 2004-10-12 | 2005-10-12 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012024127A Division JP5318980B2 (ja) | 2004-10-12 | 2012-02-07 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010045389A true JP2010045389A (ja) | 2010-02-25 |
JP5068801B2 JP5068801B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=36148365
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006540941A Active JP4451450B2 (ja) | 2004-10-12 | 2005-10-12 | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2009254293A Active JP5068801B2 (ja) | 2004-10-12 | 2009-11-05 | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2012024127A Active JP5318980B2 (ja) | 2004-10-12 | 2012-02-07 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006540941A Active JP4451450B2 (ja) | 2004-10-12 | 2005-10-12 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012024127A Active JP5318980B2 (ja) | 2004-10-12 | 2012-02-07 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8337659B2 (ja) |
EP (1) | EP1801860A4 (ja) |
JP (3) | JP4451450B2 (ja) |
KR (1) | KR100766844B1 (ja) |
TW (1) | TWI286353B (ja) |
WO (1) | WO2006041077A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US8337659B2 (en) | 2012-12-25 |
US20070223342A1 (en) | 2007-09-27 |
EP1801860A4 (en) | 2009-08-12 |
JPWO2006041077A1 (ja) | 2008-05-15 |
US8794250B2 (en) | 2014-08-05 |
JP5068801B2 (ja) | 2012-11-07 |
TW200627537A (en) | 2006-08-01 |
TWI286353B (en) | 2007-09-01 |
WO2006041077A1 (ja) | 2006-04-20 |
KR20060132848A (ko) | 2006-12-22 |
EP1801860A1 (en) | 2007-06-27 |
JP5318980B2 (ja) | 2013-10-16 |
JP4451450B2 (ja) | 2010-04-14 |
JP2012099862A (ja) | 2012-05-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
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