JP2008535252A - 一つ又はそれ以上の処理流体を用いた、マイクロエレクトロニクス用加工物に使用されるツール用の移動かつ入れ子化できる、コンパクトなダクトシステム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (30)
- マイクロエレクトロニクス用の加工物をプロセス処理するための装置であって、
a)前記加工物が、当該プロセス処理中に位置決めされる支持部材、及び、
b)前記加工物の外側周辺部の近くにおいて、それぞれのダクト通路がダクト入口を持つ複数のダクト通路の部分を少なくとも画定する、移動可能かつ入れ子化可能な複数のバッフル部材を含む装置。 - 前記バッフル部材が、互いに相対的に位置決めされ、かつ、前記ダクト通路を選択的に開き又は絞るのに役立つ請求項1の装置
- 第1のバッフル部材が第2のバッフル部材の中に入れ子化することが、前記第1および第2のバッフル部材間のダクト通路部を持つダクト通路を絞るのに役立つ請求項2の装置。
- 前記ダクト通路が開かれる又は絞られる度合いを制御可能な請求項2の装置。
- 前記加工物を処理するために使用される一つ又はそれ以上の流体が、前記ダクト通路の少なくとも一つにおいて捕集される請求項1の装置。
- 前記ダクト通路が、互いに対して、かつ、前記加工物に対して、基本的に同軸に位置決めされるダクト部をそれぞれのダクト通路が含む請求項1の装置。
- 少なくとも二つのバッフル部材間の相対的な移動が、前記ダクト通路の少なくとも1つの入口を選択的に開き及び/又は絞るのに役立ち、かつ、該入口が前記加工物の外側周辺に近くにある請求項1の装置。
- バッフル部材の移動が、対応するダクト通路の入口、および該入口から下流にある
対応するダクト通路の追加部分を、開き及び/又は絞るのに役立つ請求項1の装置。 - 少なくとも1つの移動可能かつ入れ子可能なバッフル部材がフードを含んでおり、前記下方向へのストリーム用ダクトへの入口を、前記フードの移動によって、制御可能に開かれ及び絞られるように、該フードが覆い隠す請求項1の装置。
- 少なくとも1つのダクト通路の少なくとも一部が、トラップ領域を含む請求項1の装置。
- 流体の材料と気体の材料の分離が、前記トラップ領域で起こる請求項10の装置。
- 各ダクト通路が、前記加工物の主要面と基本的に平行に方向付けされた部分を持つ、前記加工物の外側周辺部に近い路部分、及び、前記加工物の主要面に対して、基本的に垂直に方向付けされた付加的なダクト路部分を含む請求項1の装置。
- 前記付加的なダクト路部分が、複数の同軸状のプレナムを含む請求項12の装置。
- 前記同軸状のプレナムが、固定されたダクト構造によって形成される請求項13の装置。
- 前記付加的なダクト路部分が、選択的に開かれ及び絞られる請求項12の装置。
- 少なくとも1つのダクト通路が、さらにトラップ領域を含む請求項12の装置。
- 前記トラップ領域の壁部が、前記トラップ領域において、少なくとも1つの比較的高い密度の成分要素と、少なくとも1つの比較的低い密度の成分要素と、を分離することを容易にする、複数の隆起部を含む請求項16の装置。
- 前記トラップ領域が、一つ又はそれ以上のドレインポートを含む請求項16の装置。
- 前記移動可能かつ入れ子化可能なバッフル部材が、固定されたダクト構造と流体的に結合されている請求項1の装置。
- マイクロエレクトロニクス用の加工物をプロセス処理するための装置であって、
a)前記加工物がプロセス処理中に位置決めされる回転可能な支持部材、及び、
b)複数の移動可能なバッフル部材であって、前記バッフル部材間に少なくとも第1のダクト通路を画定し、かつ、前記バッフル部材の互いに対する変位により前記第1のダクト通路を開く又絞るようにされた、回転可能な支持部材の外側周辺部に近い入口を持つ、バッフル部材を含む装置。 - 前記回転可能な支持部材の前記外側周辺部に近い少なくとも第2のダクト通路の開口部が、前記第1のダクト通路の開口部が前記回転可能な支持部材の外側周辺部の近くに設置されるときに、絞られる請求項20の装置。
- 第1及び第2のバッフル部材を、物理的に互いに非常に近くにおいて、入れ子化することで、前記絞りが起こる請求項20の装置。
- マイクロエレクトロニクス用加工物をプロセス処理するための装置であって、
a)前記加工物がプロセス処理中に位置決めされる回転可能な支持部材、及び、
b)前記回転可能な支持部材の外側周辺部に近くにそれぞれが入口を持つ複数のダクト通路であって、前記回転可能な加工物に比較的近くに、かつ、前記回転可能な支持部材から比較的遠くの固定されたダクト構造のそれぞれと流体的に結合されるダクト通路部を確定する複数の個々独立した移動可能なダクト構造によって、各ダクト通路の少なくとも一部が画定されているダクト通路を含む装置。 - 前記移動可能なダクト構造が、互いに対して、及び、前記ダクト入口及び前記固定されたダクト構造が選択的に開かれ、かつ絞られるように前記固定されたダクト構造に対して、移動可能にされている請求項23の装置。
- 前記ダクト通路が開かれ、かつ絞られる程度が制御可能な請求項24の装置。
- 前記固定されたダクト構造が、基台部から上方向へ延在し、かつ、複数の排出用プレナムを画定するように役立つ請求項23の装置。
- 少なくとも一つの移動可能なダクト構造が、対応する排出用プレナムの上げられた入口を覆い隠すフード部を含む請求項26の装置。
- ダクト用通路は、トラップ用領域を含む請求項23の装置。
- 前記トラップ用領域が、異なる密度特性を持つ材料からの選別を容易にするのに役立つ複数の隆起部を持つ表面を含む請求項28の装置。
- 隣接する移動可能なダクト構造が、前記ダクト構造間のダクト用通路を締めるように、比較的近くに位置決めされ、又は、より大きく開かれたダクト通路を備えるために比較的遠くに位置決めされる請求項23の装置。
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