KR100993311B1 - 하나 이상의 처리 유체로 마이크로일렉트로닉 작업물을 처리하는 장치용 이동 및 중첩 가능한 배플들을 포함하는 소형 덕트 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (30)
- 마이크로 일렉트로닉 작업물의 처리장치로서a) 처리 중에 상기 작업물이 위치되는 지지체와b) 상기 작업물의 외주부 근방에 각각의 덕트입구를 갖는 다수의 덕트 통로의 적어도 일부를 형성하는 다수의 이동 및 중첩가능한 배플부재로 구성되며,상기 배플부재의 적어도 하나가 하류측 덕트부로의 입구가 끼워맞춤되어 이를 에워싸는 후드를 포함하되 하류측 덕트부로의 입구가 후드의 이동에 의해 제어가능하게 개방 및 페쇄될 수 있어서, 배출류가 하류측 덕트부로의 입구로 유입되기 전에 액체가 배출류로부터 분리될 수 있는 마이크로 일렉트로닉 작업물의 처리장치.
- 제 1항에 있어서, 배플부재가 덕트 통로를 선택적으로 개방 및 폐쇄하도록 서로 상대적으로 위치되는 처리장치.
- 제 2항에 있어서, 제 1 배플부재가 제 2 배플부재 내에 중첩되면 제 1 및 제 2 배플부재 사이에 덕트 통로부를 갖는 덕트 통로를 폐쇄하도록 배플부재가 구성되는 처리장치.
- 제 1항에 있어서, 덕트 통로들이 작업물에 대해 그리고 상호간 동축으로 위치되는 덕트부들을 포함하는 처리장치.
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- 제 1항에 있어서, 각 덕트 통로가 작업물 외주부 근방에 작업물 주요면에 평행한 방향을 갖는 덕트 통로부와 상기 주요면에 대해 수직방향을 갖는 나머지 덕트 통로부를 포함하는 처리장치.
- 제 6항에 있어서, 상기 나머지 덕트 통로부가 복수의 동축상 배출구역을 포함하는 처리장치.
- 제 1항에 있어서, 하나 이상의 배수공을 갖는 집수역을 더욱 포함하되, 이 집수역은 배출류가 하류측 덕트부로의 입구로 들어가기 전에 배출류로부터 분리될 수 있는 액체가 배출류로부터 분리된 후에 상기 하나 이상의 배수공으로 들어갈 수 있도록 상기 배플부재와 연관되는 처리장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 배플부재가 고정덕트 구조물에 유동가능하게 결합되는 처리장치.
- 마이크로 일렉트로닉 작업물의 처리장치로서a) 처리 중에 상기 작업물이 위치되는 지지체와b) 상기 작업물의 외주부 근방에 각각의 덕트입구를 갖는 다수의 덕트 통로의 적어도 일부를 형성하는 다수의 이동 및 중첩가능한 배플부재로 구성되되,상기 배플부재의 적어도 일부가 액체물질과 기체물질간의 분리가 일어날 수 있는 트랩영역을 형성하도록 하류측 덕트부로의 입구에 대해 상대적으로 이동할 수 있는 마이크로 일렉트로닉 작업물의 처리장치.
- 제 10항에 있어서, 각 덕트 통로가 작업물 외주부 근방에 작업물 주요면에 평행한 방향을 갖는 덕트 통로부와 상기 주요면에 대해 수직방향을 갖는 나머지 덕트 통로부를 포함하는 처리장치.
- 제 11항에 있어서, 상기 나머지 덕트 통로부가 복수의 동축상 배출구역을 포함하는 처리장치.
- 제 10항에 있어서, 상기 트랩영역이 하나 이상의 배수공을 갖는 처리장치.
- 마이크로 일렉트로닉 작업물의 처리장치로서a) 처리 중에 상기 작업물이 위치되는 지지체와b) 상기 작업물의 외주부 근방에 각각의 덕트입구를 갖는 다수의 덕트 통로의 적어도 일부를 형성하는 다수의 이동 및 중첩가능한 배플부재로 구성되며,상기 배플부재의 적어도 하나가 하류측 덕트부로의 입구를 에워싸는 후드를 포함하되 하류측 덕트부로의 입구가 후드의 이동에 의해 제어가능하게 개방 및 페쇄될 수 있어서, 배출류가 하류측 덕트부로의 입구로 유입되기 전에 액체가 배출류로부터 분리될 수 있으며,상기 후드는 i)하류측 덕트부로의 입구가 끼워맞춤되는 캡판, ii)캡판의 일측 단부로부터 하류측 덕트부로의 입구를 지나 연장되는 제1 플랜지, 및 iii)캡판의 대향하는 단부로부터 하류측 덕트부로의 입구를 훨씬 지나 연장되는 제2 플팬지를 포함하는 마이크로 일렉트로닉 작업물의 처리장치.
- 제 14항에 있어서, 상기 후드는 환상의 후드이며, 하류측 덕트부로의 입구는 a)환상의 제1 벽체, 및 b)덕트를 형성하도록 제1 벽체와 이격된 환상의 제2 벽체로 구성되되, 상기 제1 플랜지는 하류측 덕트부로의 입구까지 이어지는 유동채널을 제공할 정도로 제1 벽체로부터 이격되며 상기 제2 플랜지는 배출류가 제2 플랜지와 제2 벽체 사이로 유동하는 것을 방지할 정도로 제2 벽체로부터 이격되는 처리장치.
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