KR102365234B1

KR102365234B1 - 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트

Info

Publication number: KR102365234B1
Application number: KR1020167024356A
Authority: KR
Inventors: 요우스케 마츠야마; 다카아키 오가시와
Original assignee: 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2014-03-31
Filing date: 2015-03-30
Publication date: 2022-02-18
Also published as: SG11201608111PA; JPWO2015152162A1; TW201544317A; JP6931996B2; TWI671191B; CN106132646A; US10674609B2; CN106132646B; US20170111997A1; WO2015152162A1; KR20160138395A

Abstract

본 발명은, 종래의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 비해, 구멍 위치 정밀도가 우수한 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 제공한다. 본 발명은, 금속박과, 그 금속박의 적어도 편면 상에 형성된 수지 조성물을 포함하는 층을 구비하는 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트로서, 상기 수지 조성물은, 수지와, 고체 윤활제로서의 이황화텅스텐 (E) 을 포함하고, 상기 수지 조성물에 포함되는 이황화텅스텐의 함유량은, 상기 수지 조성물에 포함되는 수지 100 질량부에 대해 10 질량부 ∼ 200 질량부인, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트인 금속박.

Description

드릴 구멍 내기용 엔트리 시트{ENTRY SHEET FOR DRILLING}

본 발명은, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 관한 것이다.

프린트 배선판 재료에 사용되는 적층판 또는 다층판의 드릴 구멍 내기 가공 방법으로서는, 적층판 또는 다층판을, 1 매 또는 복수매 겹치고, 그 최상부에 덧댐판으로서 알루미늄 등의 금속박 단체 또는 금속박 표면에 수지 조성물층을 형성한 시트 (이하, 본 명세서에서는 이 시트를, 통상적으로 「드릴 구멍 내기용 엔트리 시트」 라고 하고, 간단히 「엔트리 시트」 라고도 한다.) 를 배치하여 구멍 내기 가공을 실시하는 방법이, 일반적으로 채용되고 있다. 또한, 적층판으로서는, 일반적으로 「구리 피복 적층판」 이 사용되는 경우가 많지만, 외층에 동박이 없는 「적층판」 이어도 된다.

최근, 프린트 배선판 재료인 적층판 또는 다층판에 대해, 고밀도화의 진전, 생산성 향상, 및 비용 저감, 그리고 신뢰성 향상이 요구되고 있고, 구멍 위치 정밀도의 향상 등의 고품질인 구멍 내기 가공이 요구되고 있다. 이들의 요구에 대응하기 위하여, 예를 들어, 특허문헌 1 에서는, 폴리에틸렌글리콜 등의 수용성 수지로 이루어지는 시트를 사용한 구멍 내기 가공법이 제안되어 있다. 또, 특허문헌 2 에서는, 금속박에 수용성 수지층을 형성한 구멍 내기용 활제 시트가 제안되어 있다. 또한, 특허문헌 3 에서는, 열경화성 수지 박막을 형성한 알루미늄박에 수용성 수지층을 형성한 구멍 내기용 엔트리 시트가 제안되어 있다.

나아가서는, 고체 윤활제를 사용한 구멍 내기용 엔트리 시트도 제안되어 있다. 예를 들어, 특허문헌 4 에서는, 윤활층과 (이황화텅스텐 등의) 나노 구조 분말과 고전열 화합물인 고체의 내마모 윤활층이 포함되는 복합재와, 지지제로 이루어지는 구멍 내기용 보조 판재가 제안되어 있다. 특허문헌 5 에서는, 수용성 수지층에 몰리브덴산아연, 삼산화몰리브덴을 첨가한 구멍 내기용 엔트리 시트가 제안되어 있다.

일본 공개특허공보 평4－92494호 일본 공개특허공보 평5－169400호 일본 공개특허공보 2003－136485호 일본 공개특허공보 2007－281404호 국제 공개 제2012/091179호

그런데, 반도체 기술의 진전에 비교해서, 프린트 배선판 기술의 그것은 느려, 반도체 기술과의 괴리가 있다. 그 때문에, 프린트 배선판에 대한 고밀도화, 및 신뢰성 향상의 요구는, 더욱 더 고도화되고 있다. 예를 들어, 양산에 있어서의 최소 드릴 비트 직경은, 0.2 mmφ 로부터, 0.18 mmφ, 0.15 mmφ 를 거쳐, 0.105 mmφ 로 이행하고 있다. 또, 레이저 구멍 내기 기술에 대항하여, 극히 일부에서는, 0.08 mmφ, 0.075 mmφ, 0.05 mmφ 의 드릴 구멍 내기가 시도되고 있다. 또한, 글로벌화에 의한 경쟁과 신흥국 수요를 받아들이기 위해, 생산성 향상, 및 비용 저감 요구도 또, 멈출 줄을 모른다. 따라서, 이들의 요구에 부응하는 새로운 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 개발이 절실히 요망되고 있다.

종래의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 사용한 가공에서는, 드릴 비트와 적층판 또는 다층판의 마찰열에 의해, 드릴 비트 주위의 수용성 수지 등을 포함하는 수지 조성물이 용융됨으로써, 윤활성이 발휘된다. 그러나, 그 부작용으로서 수지 조성물의 용융이나 열변형에 의해, 드릴 비트가 옆으로 미끄러지기 쉬워진다. 즉, 드릴 비트의 선단은, 수지 조성물을 포함하는 층에 진입하여, 옆으로 미끄러지면서, 무는 점을 찾고 있지만, 그 때, 드릴 비트 주위의 수지 조성물이 부드러운 상태에 있으면, 드릴 비트에 작용하는 구심력이 약하기 때문에, 드릴 비트의 옆으로 미끄러짐이 잘 멈추지 않는다. 이 때문에, 종래의 드릴 구멍 내기 가공용 엔트리 시트를 사용한 가공에 있어서는, 구멍 위치 정밀도를 향상시키려면 한계가 있다. 또한, 본 명세서에 있어서, 「구심력」 이란, 드릴 비트의 구심성을 향상시키는 외부 응력을 의미하고, 구심력으로서는, 예를 들어, 드릴 비트가 회전할 때의 회전 중심에 대해 작용하는 응력을 들 수 있다.

본 발명의 목적은, 이러한 현상황을 감안하여, 종래의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 비해, 구멍 위치 정밀도가 우수하고, 또한 드릴 비트의 절손을 줄일 수 있는 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 제공하는 것에 있다.

본 발명자들은, 상기의 과제를 해결하기 위해 여러 가지의 검토를 실시한 결과, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 구성하는 수지 조성물에, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을 배합하고, 그 배합량을 특정 범위로 함으로써, 드릴 비트의 구심성이 향상되고, 구멍 위치 정밀도가 향상되는 것을 알아냈다. 또한, 이황화텅스텐의 윤활 작용에 의해 윤활성이 높아지고, 부스러기의 배출이 원활해짐으로써, 부스러기가 응어리가 되는 것이 방지되고, 응어리상의 부스러기와 드릴 비트의 접촉에 의한 드릴 비트 절손의 문제를 방지할 수 있는 것, 이황화텅스텐의 윤활 작용에 의해 드릴 가공 수명이 향상되는 것을 알아내어, 본 발명을 완성시켰다. 또한, 본 명세서에 있어서, 「구심성」 이란, 절삭 시의 절삭 방향의 직진성을 가리킨다. 예를 들어, 드릴 비트가, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 구비되는 수지 조성물을 포함하는 층 (이하, 「수지 조성물층」 이라고도 한다.) 에 접하는 점에 있어서, 회전하는 드릴 비트 선단의 절삭날은, 미끄러져 움직이면서 수지 조성물층 표면에 문다. 이 때, 윤활성을 단순히 높였을 뿐인 엔트리 시트에서는, 드릴 비트 선단의 절삭날이 옆으로 미끄러기 쉬워지므로 구심성을 저해하여, 구멍 위치 정밀도를 악화시켜 버린다.

즉, 본 발명은, 이하와 같다.

(1) 금속박과, 그 금속박의 적어도 편면 상에 형성된 수지 조성물을 포함하는 층을 구비하는 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트로서, 상기 수지 조성물은, 수지와, 고체 윤활제로서의 이황화텅스텐을 포함하고, 상기 수지 조성물에 포함되는 이황화텅스텐의 함유량은, 상기 수지 조성물에 포함되는 수지 100 질량부에 대해 10 질량부 ∼ 200 질량부인, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(2) 상기 수지 조성물은, 이황화텅스텐과는 상이한 고체 윤활제를 추가로 포함하는, (1) 에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(3) 상기 수지 조성물은, 상기 이황화텅스텐과는 상이한 고체 윤활제로서 흑연을 포함하는, (2) 에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(4) 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치를 사용하여 측정한 상기 이황화텅스텐의 입도 분포 곡선의 최대 피크에 있어서의 입경이 1 ∼ 20 ㎛ 인, (1) ∼ (3) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(5) 상기 수지 조성물을 포함하는 층은, 0.02 ∼ 0.3 mm 의 범위의 두께를 갖는, (1) ∼ (4) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(6) 상기 수지 조성물은, 수용성 수지 (A) 를 포함하는, (1) ∼ (5) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(7) 상기 수용성 수지 (A) 가, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드, 폴리아크릴산소다, 폴리아크릴아미드, 폴리비닐피롤리돈, 셀룰로오스 유도체, 폴리테트라메틸렌글리콜 및 폴리알킬렌글리콜의 폴리에스테르, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리옥시에틸렌의 모노에테르류, 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리글리세린모노스테아레이트류, 및 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인, (6) 에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(8) 상기 수지 조성물은, 열가소성의 비수용성 수지를 포함하는, (1) ∼ (7) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(9) 상기 열가소성의 비수용성 수지는, 아미드계 엘라스토머, 부타디엔계 엘라스토머, 에스테르계 엘라스토머, 올레핀계 엘라스토머, 우레탄계 엘라스토머, 스티렌계 엘라스토머, 폴리부텐, 저밀도 폴리에틸렌, 염소화폴리에틸렌, 메탈로센계 폴리올레핀 수지, 에틸렌·아크릴산에스테르·무수 말레산 공중합체, 에틸렌·글리시딜(메트)아크릴레이트 공중합체, 에틸렌·아세트산비닐 공중합 수지, 변성 에틸렌·아세트산비닐 공중합 수지, 에틸렌·(메트)아크릴산 공중합 수지, 아이오노머 수지, 및 에틸렌·(메트)아크릴산에스테르 공중합 수지로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인, (8) 에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(10) 상기 수지 조성물은, 고체 윤활제가 아닌 비수용성 윤활제를 포함하는, (1) ∼ (9) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(11) 상기 고체 윤활제가 아닌 비수용성 윤활제는, 아마이드계 화합물, 지방산계 화합물, 지방산 에스테르계 화합물, 지방족 탄화수소계 화합물, 및 고급 지방족 알코올로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인, (10) 에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(12) 상기 금속박은, 0.05 ∼ 0.5 mm 의 범위의 두께를 갖는, (1) ∼ (11) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(13) 상기 금속박과 상기 수지 조성물을 포함하는 층의 사이에, 수지 피막인 접착층을 가지며, 상기 수지 피막은, 0.002 ∼ 0.02 mm 의 범위의 두께를 갖는, (1) ∼ (12) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(14) 상기 수지 피막은, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을, 상기 수지 피막에 포함되는 수지 100 질량부에 대해, 1 질량부 ∼ 50 질량부 함유하는, 제 13 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(15) 직경 0.30 mmφ 이하의 드릴 비트에 의한 구멍 내기 가공에 사용되는, (1) ∼ (14) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

(16) 적층판 또는 다층판의 드릴 구멍 내기 가공에 사용되는, (1) ∼ (15) 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.

본 발명의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 사용함으로써, 이황화텅스텐을 포함하는 수지 조성물층의 우수한 윤활성에 의해, 구멍 내기 가공 시의 우수한 구멍 위치 정밀도와 구멍 내기 가공 시에 있어서의 드릴 비트의 절손을 줄일 수 있다. 그 결과, 한층 더 고밀도 설계가 가능해지고, 고품질로, 생산성이 우수한 구멍 내기 가공이 가능해진다. 혹은, 드릴 비트의 가공 수명이 연장되고, 또한 한 번에 구멍 내기 가공하는 겹침 매수를 늘리는 것이 가능하게 되어, 생산성 향상과 비용 절감에 기여한다.

도 1 은, 이황화텅스텐의 일례를 나타내는 주사형 전자 현미경 사진 (×5,000) 이다.
도 2 는, 이황화몰리브덴의 일례를 나타내는 주사형 전자 현미경 사진 (×5,000) 이다.
도 3 은, 삼산화텅스텐의 일례를 나타내는 주사형 전자 현미경 사진 (× 5,000) 이다.
도 4 는, 삼산화몰리브덴의 일례를 나타내는 주사형 전자 현미경 사진 (× 5,000) 이다.
도 5 는, 실시예, 및 비교예의 구멍 위치 정밀도를 비교하기 위한 그래프이다 (1500 hits 시).
도 6 은, 실시예, 및 비교예의 구멍 위치 정밀도를 비교하기 위한 그래프이다 (3000 hits 시).
도 7 은, 실시예, 및 비교예의 구멍 위치 정밀도를 비교하기 위한 그래프이다 (6000 hits 시).
도 8 은, 실시예, 및 비교예의 드릴 비트에 대한 수지 감기량을 비교하기 위한 그래프이다 (6000 hits 시).
도 9 는, 실시예, 및 비교예의 드릴 비트 선단의 마모량을 비교하기 위한 그래프이다 (6000 hits 시).
도 10 은, 드릴 비트의 구심력을 설명하기 위한 모식도이다.
도 11 은, 드릴 비트의 구심력을 설명하기 위한 모식도이다.

이하, 필요에 따라 도면을 참조하면서, 본 발명을 실시하기 위한 형태 (이하, 간단히 「본 실시 형태」 라고 한다.) 에 대해 설명하지만, 본 발명은, 하기 본 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명은, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 변형이 가능하다. 또한, 도면 중, 동일 요소에는 동일 부호를 부여하기로 하고, 중복되는 설명은 생략한다. 또, 상하 좌우 등의 위치 관계는, 특별히 언급하지 않는 한, 도면에 나타내는 위치 관계에 기초하는 것으로 한다. 또한, 도면의 치수 비율은 도시된 비율에 한정되는 것은 아니다. 또, 본 명세서에 있어서의 「(메트)아크릴」 이란 「아크릴」 및 그것에 대응하는 「메타크릴」 을 의미하고, 「(메트)아크릴레이트」 란 「아크릴레이트」및 그것에 대응하는 「메타크릴레이트」 를 의미한다.

본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트 (이하, 간단히 「엔트리 시트」 라고도 한다.) 는, 금속박과, 그 금속박의 적어도 편면 상에 형성된 수지 조성물을 포함하는 층 (이하, 「수지 조성물층」 이라고도 한다.) 을 구비하는 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트이다. 본 실시 형태의 엔트리 시트에 있어서, 수지 조성물은, 수지와 고체 윤활제로서의 이황화텅스텐을 포함하고, 수지 조성물에 포함되는 이황화텅스텐의 함유량은, 수지 조성물의 수지 100 질량부에 대해 10 질량부 ∼ 200 질량부이다.

먼저, 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 구성하는 요소에 대해 설명한다. 본 실시 형태에 있어서, 고체 윤활제란, 드릴 비트 마모 속도를 억제시키고, 또한, 구멍 내기 가공 시의 마찰에 의한 발열을 감소시키기 위해서, 박막 또는 분말로서 사용하는 고체이다. 고체 윤활제는, 그 융점이 300 ℃ 이상의 것이면 바람직하고, 이로써, 구멍 내기 가공 시의 엔트리 시트의 사용 온도보다 높은 온도 (예를 들어 200 ℃) 의 공기 중에 있어서도, 열적으로 보다 안정되고, 용융되기 어려워, 고체 상태를 유지할 수 있다. 또한, 구멍 내기 가공 시의 엔트리 시트의 사용 온도는, 가공 대상에 따라 상이하지만, 100 ℃ 이상, 200 ℃ 미만이면 바람직하다.

본 실시 형태에 있어서는, 수지 조성물이 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을 포함하는 것을 필수로 한다. 이황화텅스텐은, 모스 경도 1 ∼ 1.5 의 활석에 버금가는 부드러운 광물이며, 고온이어도 용융되지 않고 대기 중에서 450 ℃ 까지 안정적인 고체 윤활제이다. 이황화텅스텐은, 동일하게 고체 윤활제로서 이용될 수 있는 이황화몰리브덴보다 산화되는 온도가 100 ℃ 정도 높고, 내열성, 및 내압성이 우수한 것이다. 또, 이황화텅스텐은 마찰 계수 (μ) 도 낮고, 특히 100 ℃ 이상 200 ℃ 미만의 온도 영역에 있어서, 습도의 영향을 받지 않고 안정적인 마찰 계수를 나타내는 특징이 있다. 또한, 이황화텅스텐은, 수지 조성물에 분산시킬 때의 응집성이 낮고, 수지 조성물에 대한 분산성은, 이황화몰리브덴보다 우수하다.

일반적으로, 이황화텅스텐에는, 제조 시의 미반응물인 황이나 금속 텅스텐이 불순물로서 포함된다. 본 실시 형태에 있어서는, 이황화텅스텐의 순도는 85 질량％ 이상이면 바람직하고, 90 질량％ 이상이면 보다 바람직하고, 95 질량％ 이상이면 특히 바람직하다. 또한, 이황화텅스텐의 순도의 상한은 특별히 한정되지 않고, 100 질량％ 여도 되고, 99 질량％ 여도 된다. 이황화텅스텐은 85 질량％ 이상의 순도이면, 고체 윤활제로서의 성능을 보다 효과적으로 발휘할 수 있다. 이와 같은 이황화텅스텐의 시판품으로서는, 예를 들어, 닛폰 윤활제 주식회사 제조의 탄믹 A, B (상품명) 를 들 수 있다. 이황화텅스텐의 순도는 차수법에 준거하여 측정된다. 즉, 이황화텅스텐에 포함되는 황이나 금속 텅스텐 등의 불순물의 질량을, 전체 질량에서 차감한 수치를 이황화텅스텐의 순도로 한다. 또한, 그 밖의 이황화텅스텐의 순도 측정 방법으로서 ICP (Inductively Coupled Plasma) 질량 분석법 등을 들 수 있다.

본 실시 형태에 관련된 수지 조성물은, 이황화텅스텐을, 수지 조성물에 포함되는 수지 100 질량부에 대해 10 질량부 ∼ 200 질량부 포함한다. 이황화텅스텐의 함유량은, 수지 100 질량부에 대해, 10 질량부 ∼ 150 질량부이면 바람직하고, 10 질량부 ∼ 100 질량부이면 보다 바람직하다. 이황화텅스텐의 함유량이 10 질량부 이상이면, 윤활 효과 및 드릴 비트의 구심성 향상 효과를 보다 유효하고 확실하게 발휘할 수 있다. 또, 이황화텅스텐의 함유량이 200 질량부 이하이면, 수지 조성물 중에서의 이황화텅스텐의 응집을 억제할 수 있는 결과, 드릴 비트의 구심성을 향상시키는 것이 가능해져, 구멍 위치 정밀도가 우수하고, 또 경제적 합리성의 점에서도 유리하다.

본 실시 형태에 있어서, 이황화텅스텐은, 수지 조성물 내에 분산된 상태로 존재하는 것이 바람직하다. 수지 조성물 내에 있어서의 이황화텅스텐의 평균 입경은, 1 ㎛ ∼ 20 ㎛ 이면 바람직하고, 보다 바람직하게는 1 ㎛ ∼ 15 ㎛ 이며, 더욱 바람직하게는 1 ㎛ ∼ 10 ㎛ 이며, 특히 바람직하게는 3 ㎛ ∼ 8 ㎛ 이다. 평균 입경 1 ㎛ ∼ 20 ㎛ 의 이황화텅스텐은, 적당한 체적과 적당한 경도를 갖는 고체이므로, 층상 구조라는 윤활제로서의 특징을 한층 더 충분히 발휘할 수 있다. 그 평균 입경이 1 ㎛ 이상이면, 층상 구조라는 윤활제로서의 특징을 보다 충분히 발휘할 수 있으므로 바람직하다. 또, 평균 입경이 20 ㎛ 이하이면, 구멍 위치 정밀도를 한층 더 높일 수가 있음과 함께 부스러기를 보다 양호하게 배출할 수 있다.

본 실시 형태에 있어서의 이황화텅스텐의 평균 입경은, 이하와 같이 하여 측정한다. 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 구성하는 수지 조성물에 포함되는 가용분을 60 ℃ 이상의 온수, 및/또는 용제에 용해시킨다. 이어서, 얻어진 수지 조성물의 용액을 여과, 세정하고, 충분히 액체 성분을 건조 제거하여, 수지 조성물에 포함되는 고형물을 채취한다. 이 얻어진 고형물을 0.2 ％ 헥사메타인산 용액과 10 ％ 트리톤 수 방울로 이루어지는 용액에 분산시켜, 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치 (모델 번호 ： SALD－2100, 주식회사 시마즈 제작소 제조) 를 사용하여, 투영한 이황화텅스텐의 입자 각각의 최대 길이를 측정한다. 이어서, 측정 결과로부터 입도 분포 곡선 (개수 기준) 을 작성한다. 그 곡선이 나타내는 최소치 (최소 입경) 로부터 최대치 (최대 입경) 까지의 범위를 이황화텅스텐의 입경의 범위로 하고, 또, 입도 분포 곡선의 최대 피크에 있어서의 입경 (개수 기준으로 이황화텅스텐이 가장 많은 입경) 을 평균 입경으로 한다.

또한, 이황화텅스텐의 입경은, 최대 입경보다 평균 입경이 중요하다. 왜냐하면, 수지 조성물에 차지하는 함유 비율이 높은 이황화텅스텐의 입경이, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 특성인 구멍 위치 정밀도 및 윤활성에, 보다 큰 영향을 주기 때문이다. 그 때문에, 이황화텅스텐의 평균 입경을 관리하는 것이, 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 성능을 향상시키기 위해서 중요해진다.

상기와 같이, 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는, 수지 조성물이 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을 함유하는 수지 조성물을 포함하는 층을 구비하고, 수지 조성물 중의 이황화텅스텐의 함유량을 상기 특정의 범위로 함으로써, 종래의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 비해, 구멍 위치 정밀도가 우수한 것이 된다. 그것에 더하여, 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는, 드릴 비트의 절손 및 드릴 가공 수명도 우수하다.

도 10, 11 은, 드릴 구멍 내기 시에 엔트리 시트에 드릴 비트가 진입하는 모습을 모식적으로 나타내는 도면이며, 수지로서 부호 B 로 나타내는 결정이 된 수용성 수지 (A) 를 사용하고, 도 10 은 수지 조성물이 고체 윤활제를 포함하지 않는 경우, 도 11 은 수지 조성물이 고체 윤활제로서의 이황화텅스텐을 포함하는 경우를 나타내고 있다. 수용성 수지 (A) B 를 포함하는 수지 조성물이 고체 윤활제를 포함하지 않는 도 10 에 나타내는 바와 같은 경우, 드릴 비트 A 의 선단은, 수지 조성물층에 진입하여, 옆으로 미끄러지면서, 무는 점을 찾게 된다. 드릴 비트 A 주위의 수지 조성물은, 부드러운 상태에 있으므로, 드릴 비트 A 에 작용하는 구심력 D 가 약해져, 드릴 비트 A 의 옆으로 미끄러짐을 멈추기 어렵다. 이 때문에, 구멍 위치 정밀도의 향상에는 한계가 있다. 그래서, 본 발명자들은, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을 배합하고, 그 배합량을 최적화하는 것을 알아냈다.

이하에, 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 주된 작용 효과에 대해 설명하지만, 그 엔트리 시트의 작용 효과는 하기의 것으로 한정되지 않는다.

첫째로, 이황화텅스텐은, 적당한 경도가 있다. 그리고, 드릴 구멍 내기 가공 시의 사용 온도에 있어서도, 체적이 있는 고체 윤활제이며, 즉, 형상이 고정된 고체 상태를 유지하고, 그 위치도 고정되기 쉬워진다. 그 결과, 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기 가공용 엔트리 시트를 사용한 구멍 내기 가공에 있어서, 수용성 수지 (A) B 를 포함하는 수지 조성물이 고체 윤활제로서의 이황화텅스텐 E 를 포함하는 도 11 에 나타내는 바와 같은 경우, 드릴 비트 A 의 선단은, 수지 조성물층에 진입할 때, 형상이나 위치가 고정된 고체 윤활제인 이황화텅스텐 E 에 물게 된다. 그렇게 하면, 구심성이 좋아져 구심력 D 가 강해지므로, 종래의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 사용한 구멍 내기 가공에 비해, 특히 초기부터 누적 3,000 hits 에 있어서의 구멍 위치 정밀도가 우수한 것이 된다.

둘째로, 이황화텅스텐 E 는, 수지 조성물의 열변형과 드릴 비트 A 의 옆으로 미끄러짐을 억제한다. 그렇게 하면, 드릴 비트 A 는 충분한 구심력 D 를 얻을 수 있고, 드릴 비트의 마모가 진행된 누적 6,000 hits 에 있어서도, 구멍 위치 정밀도가 우수한 것이 된다.

셋째로, 이황화텅스텐 E 는, 드릴 비트 A 의 홈에 부착되고, 그 윤활 작용에 의해 부스러기를 원활히 배출할 수 있다. 그 결과, 구멍 내기 가공에 의해 발생하는 부스러기가 응어리가 되는 것이 억제되고, 응어리상의 부스러기에 드릴 비트 A 가 접촉하는 것에 의한 드릴 비트 절손을 방지할 수 있다.

넷째로, 이황화텅스텐 E 는, 드릴 비트 A 의 표면, 홈, 및 구멍 내기 대상물 (예를 들어 적층판 또는 다층판 등의 프린트 배선판 재료) 의 공벽에 부착되고, 구멍 내기 대상물과 드릴 비트 A 의 사이에 상재(常在)하여 윤활성을 높인다. 그 결과, 본 실시 형태의 엔트리 시트를 사용하면, 드릴 비트 A 의 마모가 억제되어 드릴 가공 수명이 우수한 것이 된다.

상기한 이황화텅스텐을 사용하는 것에 의한 엔트리 시트의 작용 효과는, 종래 기술에서 이용되고 있는 이황화몰리브덴, 몰리브덴산아연, 또는 삼산화몰리브덴보다 우수하다. 그 결과, 본 실시 형태의 이황화텅스텐을 고체 윤활제로서 사용하는 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는, 종래 기술의 이황화몰리브덴, 몰리브덴산아연, 또는 삼산화몰리브덴을 고체 윤활제로서 사용한 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 비교해서, 구멍 위치 정밀도, 및 드릴 가공 수명이 현저하게 우수한 것이 된다.

또한, 이황화텅스텐은, 비팽윤성이다. 이 때문에, 합성 마이카나 점토 등의 팽윤성의 고체 윤활제와 같이, 보습 정도를 엄밀하게 관리할 필요가 없어, 공업 상 유리하다. 여기서, 비팽윤성의 정의에 대해 설명한다. 물 90 질량부에 고체 윤활제를 10 질량부 배합한 수용액을, 비커나 플라스크 등의 높이 방향으로 일정한 내경을 가지며, 또한 평탄한 내저면을 갖는 용기에 수용하여, 충분히 혼합될 때까지 교반한다. 그 후, 1 시간 정치하고 나서 고체 윤활제의 침강 높이를 측정하고, 침강 높이비 (용기의 내저면으로부터 수용액의 액면까지의 높이에 대한, 내저면으로부터 고체 윤활제의 침강물 상면까지의 높이의 비율) 가 50 ％ 미만인 경우를 비팽윤이라고 정의한다. 또한, 침강 높이비가 90 ％ 이상인 경우를 분산 또는 팽윤, 침강 높이비가 50 ％ 이상 90 ％ 미만인 경우를 팽윤이라고 정의한다. 본 실시 형태에 있어서 사용하는 이황화텅스텐에서는, 내저면으로부터 액면까지의 높이가 60 mm, 내저면으로부터 이황화텅스텐의 침강물 상면까지의 높이가 22 mm, 침강 높이비가 36.7 ％ 이며, 명확하게 2 층 분리된 예가 있다.

이와 같은 특성은, 후술하는 수지 조성물의 용액에 이황화텅스텐을 분산시킬 때에, 균일하게 분산되기 쉬워, 응집되기 어려운 장점이 된다. 그 결과, 얻어지는 엔트리 시트에 있어서도, 이황화텅스텐이 엔트리 시트의 전체에 걸쳐 양호하게 분산되는 것이 가능해진다. 또, 구멍 내기 가공 후의 세정에 있어서, 이황화텅스텐이 구멍 내에 잔류하기 어려워진다. 단, 이황화텅스텐을 수지 조성물의 용액에 분산시킬 때, 이황화텅스텐의 농도 구배가 생기지 않도록, 충분히 교반하는 것이 바람직하다.

본 실시 형태에 관련된 수지 조성물에 포함되는 수지로서는, 수용성 수지 (A) 가 바람직하다. 여기서, 수용성 수지 (A) 란, 하기에 기술하는 수용성 수지만이 아니라, 고체 윤활제가 아닌 수용성 윤활제도 포함하는 개념이다. 또한, 본 명세서에 있어서 「고체 윤활제가 아닌」 윤활제는, 액체 윤활제 및 반고체 윤활제를 포함하는 개념이다.

수용성 수지로서는 특별히 한정되는 것이 아니고, 예를 들어, 폴리에틸렌옥사이드 ； 폴리프로필렌옥사이드 ； 폴리아크릴산소다 ； 폴리아크릴아미드 ； 폴리비닐피롤리돈 ； 셀룰로오스 유도체 ； 폴리테트라메틸렌글리콜 ； 및 폴리알킬렌글리콜의 폴리에스테르 ； 로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인 것이 바람직하다. 폴리알킬렌글리콜의 폴리에스테르란, 폴리알킬렌글리콜과 이염기산을 반응시켜 얻어지는 축합물이다. 폴리알킬렌글리콜로서는, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 및 폴리테트라메틸렌글리콜, 그리고 이들의 공중합물로 예시되는 글리콜류를 예시할 수 있다. 이염기산으로서는, 예를 들어, 프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산, 세바크산 및 피로멜리트산 등의 다가 카르복실산의 부분 에스테르, 그리고 산무수물을 들 수 있다. 이들은 1 종 또는 2 종 이상을 조합하여 사용된다.

고체 윤활제가 아닌 수용성 윤활제의 종류는 특별히 한정되는 것이 아니고, 예를 들어, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 ； 폴리옥시에틸렌올레일에테르, 폴리옥시에틸렌세틸에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르, 및 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르 등으로 예시되는 폴리옥시에틸렌의 모노에테르류 ； 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트 ； 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트 ； 헥사글리세린모노스테아레이트, 및 데카글리세린모노스테아레이트 등으로 예시되는 폴리글리세린모노스테아레이트류 ； 그리고 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체를 들 수 있다. 이들은 1 종을 단독으로 또는 2 종 이상을 적절히 혼합하여 사용할 수 있다.

상기 중, 본 발명의 목적을 보다 유효하고 확실하게 달성하는 관점에서, 수용성 수지로서는 폴리에틸렌옥사이드가 바람직하고, 고체 윤활제가 아닌 수용성 윤활제로서는 폴리에틸렌글리콜이 바람직하다.

수지 조성물은, 열가소성의 비수용성 수지를 포함하는 것이 바람직하다. 수지 조성물이 열가소성의 비수용성 수지를 포함함으로써, 수지 조성물층이 보다 단단해져, 수지 조성물층에 있어서의 이황화텅스텐의 위치가 더욱 유지되기 쉬워진다. 그 결과, 본 발명의 효과인 구심성의 향상에 의한 구멍 위치 정밀도의 향상이나 윤활성의 향상이라는 효과가 한층 유효하고 확실하게 발휘된다.

수용성 수지 (A) 이외의 수지로서는, 상기 서술한 바와 같이 열가소성의 비수용성 수지를 들 수 있고, 그 종류는, 특별히 한정되는 것이 아니고, 공지된 것을 사용할 수 있다. 열가소성의 비수용성 수지로서는, 예를 들어, 아미드계 엘라스토머, 부타디엔계 엘라스토머, 에스테르계 엘라스토머, 올레핀계 엘라스토머, 우레탄계 엘라스토머, 스티렌계 엘라스토머, 폴리부텐, 저밀도 폴리에틸렌, 염소화폴리에틸렌, 메탈로센계 폴리올레핀 수지, 에틸렌·아크릴산에스테르·무수 말레산 공중합체, 에틸렌·글리시딜(메트)아크릴레이트 공중합체, 에틸렌·아세트산비닐 공중합 수지, 변성 에틸렌·아세트산비닐 공중합 수지, 에틸렌·(메트)아크릴산 공중합 수지, 아이오노머 수지, 및 에틸렌·(메트)아크릴산에스테르 공중합 수지를 들 수 있다. 열가소성의 비수용성 수지는, 1 종을 단독으로 또는 2 종 이상을 조합하여 사용되고, 상기의 수용성 수지 (A) 와 병용해도 된다.

또한, 본 명세서에 있어서 「비수용성」 이란, 실온에 있어서의 물에 대한 용해도가 10 mg/d㎥ 이하인 것을 의미한다. 요컨대, 본 명세서에 있어서 「수용성」 이란, 실온에 있어서의 물에 대한 용해도가 10 mg/d㎥ 을 초과하는 것을 의미한다.

본 실시 형태에 있어서의 수지 조성물은, 수지와 소정량의 이황화텅스텐을 포함하는 것 이외는 특별히 한정되는 것이 아니고, 이황화텅스텐과는 상이한 고체 윤활제, 및 고체 윤활제가 아닌 비수용성 윤활제로부터 선택되는 적어도 1 종 이상의 것을 포함하고 있어도 된다.

본 실시 형태의 수지 조성물은, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을 함유하지만, 이황화텅스텐 이외의 고체 윤활제도 함유하는 것이, 구멍 위치 정밀도 (특히 높은 히트 수에 있어서의 구멍 위치 정밀도), 드릴 비트에 대한 수지 감기의 억제, 및 드릴 비트 선단의 마모 저감의 관점에서 바람직하다. 이황화텅스텐 이외의 고체 윤활제로서는, 예를 들어, 흑연, 이황화몰리브덴, 및 삼산화몰리브덴을 들 수 있고, 상기와 동일한 관점에서, 흑연, 및 이황화몰리브덴이 바람직하고, 흑연이 보다 바람직하다. 흑연은 순도가 95 ％ 이상인 것, 또는 입경이 30 ㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 이들은 1 종을 단독으로 또는 2 종 이상을 조합하여 사용된다.

수지 조성물이, 이황화텅스텐과 그 이외의 고체 윤활제를 포함하는 경우, 이황화텅스텐과 그 이외의 고체 윤활제의 함유비 (이황화텅스텐 ： 그 이외의 고체 윤활제) 는, 질량비로 10 ： 90 ∼ 90 ： 10 이면 바람직하고, 20 ： 80 ∼ 80 ： 20 이면 보다 바람직하다. 그들의 함유비가 상기 범위 내에 있음으로써, 구멍 위치 정밀도 (특히 높은 히트 수에 있어서의 구멍 위치 정밀도) 가 보다 우수한 것이 됨과 함께, 드릴 비트에 대한 수지 감기를 한층 더 억제하고, 드릴 비트 선단의 마모를 한층 저감시킬 수 있다.

고체 윤활제가 아닌 비수용성 윤활제의 종류도 특별히 한정되는 것이 아니고, 공지된 물질을 사용할 수 있다. 그러한 비수용성 윤활제로서는, 예를 들어, 에틸렌비스스테아로아미드, 올레산아미드, 스테아르산아미드, 및 메틸렌비스스테아르아미드 등으로 예시되는 아마이드계 화합물, 라우르산, 스테아르산, 팔미트산, 및 올레산 등으로 예시되는 지방산계 화합물, 스테아르산부틸, 올레산부틸, 및 라우르산글리콜 등으로 예시되는 지방산 에스테르계 화합물, 유동 파라핀, 및 폴리에틸렌왁스 등으로 예시되는 지방족 탄화수소계 화합물, 그리고 올레인알코올 등으로 예시되는 고급 지방족 알코올을 들 수 있다. 이들은 1 종을 단독으로 또는 2 종 이상을 조합하여 사용된다. 수지 조성물이 고체 윤활제가 아닌 비수용성 윤활제를 포함함으로써, 수지 조성물층이 보다 단단해져, 수지 조성물층에 있어서의 이황화텅스텐의 위치가 더욱 유지되기 쉬워진다. 그 결과, 본 발명의 효과인 구심성의 향상에 의한 구멍 위치 정밀도의 향상이나 윤활성의 향상이라는 효과가 한층 유효하고 확실하게 발휘된다.

상기의 수지 조성물에 포함될 수 있는 수용성 수지, 고체 윤활제가 아닌 수용성 윤활제, 열가소성의 비수용성 수지, 및 고체 윤활제가 아닌 비수용성 윤활제는, 그 윤활성에 의한 구멍 내기 가공 시의 마찰 저감, 및 드릴 마모 저감이라는 본래의 역할 이외에, 이황화텅스텐을 드릴 비트와 프린트 배선판 재료에 옮기는 캐리어의 역할도 달성하고 있다.

본 실시 형태에 있어서의 수지 조성물층의 두께는, 드릴 구멍 내기 가공할 때에 사용하는 드릴 비트 직경이나, 가공하는 구멍 내기 대상물 (예를 들어, 적층판 또는 다층판 등의 프린트 배선판 재료) 의 구성 등에 의해 적절히 선택된다. 수지 조성물층의 두께는, 0.02 ∼ 0.3 mm 의 범위이면 바람직하고, 0.02 ∼ 0.2 mm 의 범위인 것이 보다 바람직하다. 수지 조성물층의 두께가 0.02 mm 이상임으로써, 보다 충분한 윤활 효과를 얻을 수 있고, 드릴 비트에 대한 부하가 경감되므로, 드릴 비트의 절손을 한층 더 억제할 수 있다. 또, 수지 조성물층의 두께가 0.3 mm 이하임으로써, 드릴 비트에 대한 수지 조성물의 감기를 억제할 수 있다.

또, 본 실시 형태의 수지 조성물은, 본 발명의 목적 달성을 저해하지 않는 범위에서, 필요에 따라 상기 이외의 첨가제를 포함할 수 있다. 첨가제의 종류는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 표면 조정제, 레벨링제, 대전 방지제, 유화제, 소포제, 왁스 첨가제, 커플링제, 레올로지 컨트롤제, 방부제, 방미제, 산화 방지제, 광 안정제, 핵제, 유기 필러, 무기 필러, 열안정화제, 및 착색제를 들 수 있다.

본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 사용되는 금속박은, 특별히 한정되지 않지만, 상기 수지 조성물층과의 밀착성이 높고, 드릴 비트에 의한 충격에 견딜 수 있는 금속 재료이면 바람직하다. 금속박의 금속종으로서는, 입수성, 비용, 및 가공성의 관점에서, 예를 들어 알루미늄을 들 수 있다. 알루미늄박의 재질로서는, 순도 95 ％ 이상의 알루미늄이 바람직하다. 그러한 알루미늄박으로서는, 예를 들어, JIS－H4160 에 규정되는, 5052, 3004, 3003, 1N30, 1N99, 1050, 1070, 1085, 8021 을 들 수 있다. 금속박에 알루미늄 순도 95 ％ 이상의 알루미늄박을 사용함으로써, 드릴 비트에 의한 충격의 완화, 및 드릴 비트 선단부와의 물림성이 향상되고, 수지 조성물에 의한 드릴 비트의 윤활 효과와 더불어, 가공 구멍의 구멍 위치 정밀도를 한층 높일 수 있다.

금속박의 두께는, 바람직하게는 0.05 ∼ 0.5 mm 이며, 보다 바람직하게는 0.05 ∼ 0.3 mm 이다. 금속박의 두께가 0.05 mm 이상이면, 드릴 구멍 내기 가공 시의 구멍 내기 대상물 (예를 들어, 적층판) 의 버의 발생을 억제할 수 있다. 또, 금속박의 두께가 0.5 mm 이하이면, 드릴 구멍 내기 가공 시에 발생하는 부스러기의 배출이 보다 용이하게 된다.

또, 수지 조성물층과의 밀착성의 점에서, 미리, 금속박 표면 상에 접착층의 기능을 갖는 수지 피막이 형성된 금속박을 사용하는 것이 바람직하다. 이로써, 엔트리 시트는, 금속박과 수지 조성물층의 사이에 수지 피막인 접착층을 가질 수 있다. 밀착성, 비용, 및 구멍 내기 특성의 관점에서, 수지 피막의 두께는, 0.002 ∼ 0.02 mm 인 것이 바람직하고, 0.002 ∼ 0.01 mm 인 것이 보다 바람직하다. 수지 피막에 사용되는 수지에 대해서는, 수지 조성물층과의 밀착성을 향상할 수 있는 것이면 특별히 한정은 되지 않고, 열가소성 수지, 및 열경화성 수지 중 어느 것이어도 되고, 혹은 접착성 수지여도 된다. 열가소성 수지로서는, 우레탄계 중합체, 아세트산비닐계 중합체, 염화비닐계 중합체, 폴리에스테르계 중합체, 및 아크릴계 중합체 그리고 그들의 공중합체가 예시된다. 열경화성 수지로서는, 에폭시계 수지, 및 시아네이트계 수지가 예시된다. 접착성 수지로서는, 상기 수지 이외에, 멜라민 수지, 우레아 수지, 및 페놀 수지 등의 합성 수지나 클로로프렌 고무, 니트릴 고무, 스티렌부타디엔 고무, 및 실리콘 고무 등의 합성 고무가 예시된다. 이들은 1 종을 단독으로 또는 2 종 이상을 조합하여 사용된다.

본 실시 형태에 있어서, 수지 피막에, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을 함유 시킬 수도 있다. 수지 피막에도 이황화텅스텐을 함유시키는 것은, 구멍 위치 정밀도의 가일층의 향상에 기여한다. 수지 피막에 있어서의 이황화텅스텐의 함유량은, 수지 피막을 형성하는 수지 조성물에 있어서의 수지 100 질량부에 대해, 1 질량부 ∼ 50 질량부인 것이 바람직하고, 5 질량부 ∼ 30 질량부인 것이 보다 바람직하다. 이황화텅스텐의 함유량이 1 질량부 이상이면, 윤활 효과나 드릴 비트의 구심성이 향상된다. 또, 이황화텅스텐의 함유량이 50 질량부 미만이면, 금속박과 수지 조성물층과의 접착성이 보다 충분한 것이 된다. 이황화텅스텐을 첨가하는 수지 피막을 형성하는 수지 조성물의 수지로서는, 상기 열경화성 수지, 열가소성 수지 또는 접착성 수지를 사용할 수 있다. 또, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을 상기 수지 피막에 첨가하는 경우, 수지 피막의 두께는 이황화텅스텐의 입경에 따라 적절히 선택되어도 된다.

본 실시 형태의 엔트리 시트를 구성하는 각 층의 두께는, 다음과 같이 하여 측정한다. 먼저, 크로스섹션 폴리셔 (닛폰 전자 데이텀 주식회사 제조, 상품명 「CROSS－SECTION POLISHER SM－09010」), 또는 울트라미크로톰 (Leica 사 제조, 품번 「EMUC7」) 을 사용하여, 엔트리 시트를, 각 층의 적층 방향으로 절단한다. 그 후, SEM (주사형 전자 현미경 (Scanning Electron Microscope), KEYENCE 사 제조 품번 「VE－7800」) 을 사용하여, 절단하여 나타낸 단면에 대해 수직 방향으로부터 그 단면을 관찰하고, 구성하는 각 층, 예를 들어, 금속박, 수지 피막, 및 수지 조성물층의 두께를 측정한다. 1 시야에 대해, 5 지점의 두께를 측정하고, 그 평균치를 각 층의 두께로 한다.

본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는, 적층판 또는 다층판의 드릴 구멍 내기 가공에 사용되면, 본 발명의 목적을 보다 유효하고 확실하게 발휘하므로 바람직하다. 또, 그 드릴 구멍 내기 가공은, 직경 (드릴 비트 직경) 0.30 mmφ 이하의 드릴 비트에 의한 드릴 구멍 내기 가공이면, 본 발명의 목적을 더욱 유효하고 확실하게 발휘할 수 있다. 특히, 직경 0.05 mmφ 이상 0.30 mmφ 이하, 나아가서는 구멍 위치 정밀도가 중요해지는 직경 0.05 mmφ 이상 0.20 mmφ 이하의 소직경의 드릴 비트 용도이면, 구멍 위치 정밀도, 및 드릴 수명을 크게 향상시키는 점에서 바람직하다. 또한, 0.05 mmφ 의 드릴 비트 직경은, 입수 가능한 드릴 비트 직경의 하한이며, 이것보다 소직경의 드릴 비트가 입수 가능하게 되면, 상기에 한정되지 않는다. 또, 직경 0.30 mmφ 초과의 드릴 비트를 사용하는 드릴 구멍 내기 가공에, 본 실시 형태의 엔트리 시트를 채용해도 문제 없다.

이하에, 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 제조 방법에 대해 설명한다. 본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 제조 방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어, 다음과 같이 하여 제조할 수 있다.

먼저, 금속박의 적어도 편면 상에 수지 조성물층을 형성한다. 그 방법으로서는, 상기 금속박 상에, 직접 또는 간접적으로, 수지 조성물을 적절히 융해한 열 용해물, 또는, 용매에 용해 혹은 분산시킨 액 (이하, 간단히 「수지 조성물 용액」 이라고 한다.) 을, 코팅법 등의 방법으로 도공하여, 또한 건조시키고, 및/또는 냉각 고화시키는 방법을 들 수 있다. 혹은, 미리 수지 조성물을 포함하는 시트를 제작해 두고, 상기 금속박과 첩합(貼合)하는 핫멜트법이어도 된다. 그 때, 금속박의 수지 조성물층을 형성하는 면 상에 미리 수지 피막을 형성해 두는 것이, 금속박과 수지 조성물층을 적층 일체화시키는데 있어서 바람직하다.

코팅법 등에 의해, 수지 조성물 용액을 금속박 상에 도공하여, 건조시키는 경우, 수지 조성물 용액은, 물과 물보다 비점이 낮은 용매로 이루어지는 혼합 용매를 함유하는 용액인 것이 바람직하다. 물과 물보다 비점이 낮은 용매로 이루어지는 혼합 용매를 사용하는 것은, 치밀한 구정(球晶)의 생성, 및 수지 조성물층 중의 잔류 기포의 저감에 기여한다. 물 보다 비점이 낮은 용매의 종류는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 에탄올, 메탄올이나 이소프로필알코올 등의 알코올류를 들 수 있고, 메틸에틸케톤이나 아세톤 등의 저비점 용제도 사용하는 것이 가능하다. 그 밖의 용매로서 물이나 알코올류에 수지 조성물과의 상용성이 높은 테트라하이드로푸란이나 아세토니트릴을 일부 혼합시킨 용매 등을 사용하는 것이 가능하다. 물과 물보다 비점이 낮은 용매와의 혼합 용매를 사용하는 경우, 그들 혼합비 (물/비점이 낮은 용매) 는, 질량 기준으로 90/10 ∼ 50/50 의 범위이면 바람직하고, 80/20 ∼ 50/50 의 범위이면 보다 바람직하고, 70/30 ∼ 50/50 의 범위이면 더욱 바람직하고, 60/40 ∼ 50/50 의 범위이면 특히 바람직하다. 물보다 비점이 낮은 용매의 혼합비가 10 이상이면, 수용성 수지 (A) 를 사용한 경우에, 그 치밀한 구정을 보다 생성하기 쉬워진다. 물보다 비점이 낮은 용매의 혼합비가 50 이하임으로써, 공업적으로, 보다 안정적으로 엔트리 시트를 생산하는 것이 가능해진다.

또, 코팅법 또는 핫멜트법 등에 의해, 수지 조성물 용액이나 열 용해물을 금속박 상에 도공하여, 가열 건조시켜 냉각 고화시키는 방법을 채용하는 경우, 가열 건조 시의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 온도는, 120 ℃ ∼ 160 ℃ 이면 바람직하고, 냉각 고화는 상온이면 바람직하고, 5 ∼ 30 초간 상온 (예를 들어 30 ℃ 이하) 으로 냉각시키는 것이 바람직하다. 가열 건조의 온도가 160 ℃ 이하이면, 공업적으로, 보다 안정적으로 엔트리 시트를 생산할 수 있다. 또, 냉각 온도가 상온임으로써, 후공정에서 결로를 발생하는 것을 억제할 수 있다.

고체 윤활제로서의 이황화텅스텐을 수지 조성물층 내에 분산시키는 방법은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 디졸버나 플래니터리 믹서, 버터플라이 믹서 등을 사용하여, 고전단력과 고속 회전에 의해, 수지 조성물 내에 이황화텅스텐을 균일하게 분산시킴으로써, 그 수지 조성물로부터 형성되는 수지 조성물층 내에 이황화텅스텐을 고분산시킬 수 있다.

본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는, 예를 들어, 프린트 배선판 재료, 보다 구체적으로는, 적층판 또는 다층판을 드릴 구멍 내기 가공할 때에 바람직하게 사용할 수 있다. 구체적으로는, 적층판 또는 다층판을 1 매 또는 복수매 겹친 것 (프린트 배선판 재료) 의 적어도 최상면에, 금속박측이 프린트 배선판 재료에 접하도록 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 배치하고, 그 엔트리 시트의 상면 (수지 조성물층의 면) 으로부터, 드릴 구멍 내기 가공을 실시할 수 있다.

본 실시 형태의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는, 구멍 내기 가공 시의 우수한 구멍 위치 정밀도와 수지 조성물층의 우수한 윤활성에 의해, 구멍 내기 가공 시에 있어서의 드릴 비트의 절손을 저감시킬 수도 있다. 보다 상세하게는, 이황화텅스텐을 포함하는 수지 조성물층의 우수한 윤활성에 의해, 구멍 내기 가공 시의 우수한 구멍 위치 정밀도와 구멍 내기 가공 시에 있어서의 드릴 비트에 대한 부하가 저감됨으로써, 드릴 비트의 절손을 줄일 수 있다. 그 결과, 한층 더 고밀도 설계가 가능해져, 높은 신뢰성 (고품질) 으로, 생산성이 우수한 구멍 내기 가공이 가능해진다. 혹은, 드릴 비트의 가공 수명이 연장되고, 또한 한 번에 구멍 내기 가공하는 겹침 매수를 늘리는 것이 가능해져, 생산성 향상과 비용 절감에도 기여한다.

이상, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명은, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변경을 가할 수 있다.

실시예

이하, 실시예에 의해 본 발명에 의한 효과를, 본 발명의 범위로부터 벗어나는 비교예와 비교해서 설명하지만, 본 발명은 이들의 실시예로 한정되는 것은 아니다. 또한, 「이황화텅스텐」 을 「WS2」, 「이황화몰리브덴」 을 「MoS2」, 「흑연」 을 「C」, 「산화텅스텐」 을 「WO3」, 「산화몰리브덴」 을 「MoO3」 이라고 약기하는 경우가 있다.

표 1 에, 실시예 및 비교예의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 제조에 사용하는, 수지 조성물, 고체 윤활제, 금속박 등의 원료 사양을 나타낸다. 또, 표 2 에, 실시예 및 비교예의 드릴 구멍 내기 가공에 사용하는 드릴 비트, 적층판 및 덧댐판의 사양을 나타낸다.

＜실시예 1＞

중량 평균 분자량 150,000 의 폴리에틸렌옥사이드 (메이세이 화학공업 주식회사 제조, 상품명 ： 아르톱 MG－150) 30 질량부와 중량 평균 분자량 20,000 의 폴리에틸렌글리콜 (산요 화성공업 주식회사 제조, 상품명 ： PEG20000) 70 질량부를, 수지의 농도가 30 질량％ 가 되도록, 물/MeOH (메탄올) 혼합 용액에 용해시켜, 수용성 수지 용액을 얻었다. 이 때의 물과 MeOH 의 비율을 질량비로 60/40 으로 했다. 또한, 이 수용성 수지 용액에, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐 (닛폰 윤활제 주식회사 제조, 평균 입경 ： 2 ㎛, 순도 ： 98 ％) 을 수용성 수지 용액 중의 수지 100 질량부에 대해, 10 질량부 첨가하고, 충분히 분산시켜 수지 조성물 용액을 얻었다. 이 수지 조성물 용액을, 편면 상에 두께 0.01 mm 의 에폭시 수지 피막을 형성한 알루미늄박 (사용 알루미늄박의 품번 ： 1N30, 두께 0.1 mm, 미츠비시 알루미늄 주식회사 제조) 의 수지 피막면측에, 바 코터를 사용하여, 건조 후의 수지 조성물층의 두께가 0.05 mm 가 되도록 도포하고, 건조기로 120 ℃ 에서 5 분간 건조 후, 상온까지 냉각시킴으로써, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 제작했다. 또한, 본 실시예에서 사용한 이황화텅스텐의 일부의 주사형 전자 현미경 사진 (배율 ： 5000 배) 을, 도 1 에 나타낸다.

＜실시예 2 ∼ 24＞

실시예 1 에 준하여, 표 4 에 나타내는 각 재료의 종류 및 함유 비율로 수지 조성물 용액을 조제하고, 건조 후의 수지 조성물층의 두께가 0.05 mm 인 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 제작했다. 또한, 실시예에서 사용한 이황화몰리브덴의 일부의 주사형 전자 현미경 사진 (배율 ： 5000 배) 을, 도 2 에 나타낸다.

＜비교예 1 ∼ 19＞

실시예 1 에 준하여, 표 5 에 나타내는 각 재료의 종류 및 함유 비율로 수지 조성물 용액을 조제하고, 건조 후의 수지 조성물층의 두께가 0.05 mm 인 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 제작했다. 또한, 비교예에서 사용한 삼산화텅스텐 및 삼산화몰리브덴의 일부의 주사형 전자 현미경 사진 (배율 ： 5000 배) 을, 각각 도 3, 도 4 에 나타낸다.

고체 윤활제는, 수지 조성물의 수지 100 질량부에 대해, 1 종류에 대해, 0.0, 2.0, 5.0, 10.0, 20.0, 25.0, 40.0, 50.0, 60.0, 80.0, 100.0, 150.0, 200.0 질량부 중 어느 것의 양을 첨가했다.

구멍 내기 가공 조건은 하기와 같다.

드릴 비트 직경 ： 0.2 mmφ (주식회사 탄가로이 제조, 상품명 ： C－CFU020S),

회전수 ： 200,000 rpm,

이송 속도 13 ㎛/rev.,

상승 속도 ： 25.4 m/min,

가공 기재 (적층판) ： 품번 ： HL832, 두께 0.2 mm, 동박 두께 12 ㎛, 6 매 겹침

＜평가 방법＞

1 ∼ 1,500 hits, 1 ∼ 3,000 hits, 1 ∼ 6,000 hits 의 구멍 위치 정밀도, 드릴 비트에 대한 수지의 감기, 드릴 비트 선단의 마모의 평가 결과를 기초로, 표 3 의 평가 기준에 따라 종합 평가를 실시했다. 그 결과를 각각 표 4, 5 에 나타낸다. 또한, 종합 평가는, 각 평가 항목으로부터 판정되는 우, 양, 가 및 불가 중, 가장 하위의 것을 반영시켰다.

실시예 및 비교예에서 제작한 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트의 각 샘플은, 이하와 같이 하여 평가했다.

(1) 구멍 위치 정밀도

중첩한 구리 피복 적층판 위에, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 그 수지 조성물층을 위로 하여 배치하고, 드릴 구멍 내기 가공을 실시했다. 드릴 비트 1 개에 대해 6,000 hits 의 구멍 내기 가공을 하고, 4 개의 드릴 비트를 사용하여 반복했다. 드릴 비트 1 개분마다, 1 ∼ 1,500 hits, 1 ∼ 3,000 hits, 1 ∼ 6,000 hits 의 구멍에 대해, 중첩한 구리 피복 적층판의 최하판의 이면 (하면) 에 있어서의 구멍 위치와 지정 좌표의 어긋남을, 홀 애널라이저 (모델 번호 ： HA－1AM, 히타치 비아메카닉스 주식회사 제조) 를 사용하여 측정했다. 그 어긋남에 대해, 평균치 및 표준 편차 (σ) 를 계산하고, 「평균치 ＋ 3σ」 를 산출했다. 그 후, 드릴 구멍 내기 가공 전체의 구멍 위치 정밀도로서, 사용한 n 개의 드릴 비트에 대해 각각의 「평균치 ＋ 3σ」 의 값에 대한 평균치를 산출했다. 결과를 표 4 및 5 에 나타낸다. 또, 각 예의 구멍 위치 정밀도를 비교한 그래프를 도 5 ∼ 도 7 에 나타낸다. 또한, 구멍 위치 정밀도의 산출에 사용한 식은, 하기와 같다.

(여기서, n 은 사용한 드릴의 갯수를 나타낸다.)

(2) 고체 윤활제의 입도

고체 윤활제의 입도는 하기와 같이 하여 측정했다. 먼저, 고체 윤활제의 시료를 0.2 ％ 헥사메타인산 용액과 10 ％ 트리톤 수 방울로 이루어지는 용액에 분산시키고, 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치 (모델 번호 ： SALD－2100, 주식회사 시마즈 제작소 제조) 를 사용하여, 투영한 고체 윤활제의 입자 각각의 최대 길이를 측정했다. 이어서, 측정 결과로부터 입도 분포 곡선 (개수 기준) 을 작성했다. 입도 분포 곡선이 나타내는 최대 입경으로부터 최소 입경의 범위를 고체 윤활제의 입경의 범위로 했다. 또, 입도 분포 곡선의 최대 피크에 있어서의 입경 (개수 기준으로 고체 윤활제가 가장 많은 입경) 을 평균 입경으로 했다.

(3) 드릴 비트의 수지 감기량

6, 000 hits 의 구멍 내기 가공 후의 드릴 비트에 대해, 드릴 비트의 측면으로부터, 배율 25 배의 마이크로스코프 (모델 번호 VHK－100, 주식회사 키엔스 제조) 를 사용하여, 드릴 비트에 대한 수지의 감기의 모습을 관찰했다. 드릴 비트의 근원에 부착된 수지 감기의 폭과 길이를 계측하고, 드릴 비트의 수지 감기량을, 하기 식으로부터 산출했다. 또한, 길이, 폭 및 직경의 단위는 mm 이다.

드릴 비트의 수지 감기량 (㎣) = 1/3 × (수지 감기의 폭/2) × (수지 감기의 폭/2) × 3.14 × (수지 감기의 길이)/2 － (드릴 비트의 직경/2) × (드릴 비트의 직경/2) × 3.14 × (수지 감기의 길이)

결과를 표 4 및 5 에 나타낸다. 또, 각 예의 드릴 비트의 수지 감기량을 비교한 그래프를 도 8 에 나타낸다.

(4) 드릴 비트 선단의 마모량

구멍 내기 가공 전의 드릴 비트의 날끝을, 그 선단측으로부터, 배율 200 배로, V－LASER 현미경 (모델 번호 ： VK－9700, 주식회사 키엔스 제조) 으로 관찰하고, 드릴 비트 선단의 절삭날의 면적을 계측했다. 이어서, 6,000 hit 의 구멍 내기 가공 후의 드릴 비트의 선단으로부터 가공 찌꺼기 등을 없앤 후, 그 드릴 비트의 날끝을, 상기와 마찬가지로 하여 관찰하고, 드릴 비트 선단의 마모되어 있지 않은 절삭날의 면적을 계측했다. 드릴 비트 선단의 마모량을, 하기 식으로부터 산출했다. 면적의 단위는 모두 동일하다.

드릴 비트 선단의 마모량 (％) =［(구멍 내기 가공 전의 드릴 비트의 절삭날의 면적 - 구멍 내기 가공 후의 마모되어 있지 않은 절삭날의 면적)/구멍 내기 가공 전의 드릴 비트의 절삭날의 면적］× 100

결과를 표 4 및 5 에 나타낸다. 또, 각 예의 드릴 비트 선단의 마모량을 비교한 그래프를 도 9 에 나타낸다.

표 4 및 표 5 에 나타내는 바와 같이, 수지 조성물의 수지 100 질량부에 대해, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을 10 질량부 ∼ 200 질량부 첨가함으로써, 구멍 위치 정밀도가 현격히 향상되는 것을 알 수 있다. 또, 실시예 1 과 비교예 1 의 구멍 위치 정밀도의 차이는, 드릴 가공 수명의 점에서 보면, 이황화텅스텐을 사용한 실시예 1 에 있어서의 드릴 가공 수명은, 이황화텅스텐을 첨가하지 않은 비교예 1 의 드릴 가공 수명의 4 배 이상에 상당하는 것을 알 수 있었다. 또, 그 이황화텅스텐을 사용한 실시예 1 에 있어서의 드릴 가공 수명은, 이황화몰리브덴을 사용한 비교예 8 ∼ 13, 삼산화몰리브덴을 사용한 비교예 14 ∼ 19 와 비교해도, 드릴 가공 수명을 4 배 이상으로 늘릴 수 있는 것을 알 수 있었다. 또, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐과 이황화몰리브덴 또는 흑연을 병용한 실시예 10 ∼ 24 에 대해서도, 드릴 가공 수명을 4 배 이상으로 늘릴 수 있는 것을 알 수 있었다. 특히 고체 윤활제로서 이황화텅스텐과 흑연을 병용한 경우에는, 드릴 가공 수명을 더욱 늘릴 수 있고, 또, 이황화텅스텐과 흑연을 그들의 질량비로 10 ： 90 ∼ 90 ： 10 으로 병용한 경우에는, 드릴 가공 수명을 한층 늘릴 수 있는 것을 알 수 있었다. 지금까지, 구멍 위치 정밀도를 어떻게 1 ㎛ 향상시킬까라는 노력을 해 왔지만, 이와 같은 현격한 구멍 위치 정밀도 향상을 달성하는 본 발명의 결과는, 당업자라고 해도 예측할 수 있는 것은 아니다. 또, 표 4 및 표 5 의 결과에 나타내는 바와 같이, 누적 구멍 내기수의 어느 것에 있어서도, 이황화텅스텐을 고체 윤활제로서 사용한 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는 현격히 우수한 구멍 위치 정밀도를 실현하는 것을 알 수 있었다.

표 4 및 표 5 의 결과로부터, 실시예 1 ∼ 24 의 엔트리 시트는, 비교예 1 ∼ 19 의 엔트리 시트에 비해, 드릴 비트 마모가 진행되고 있지 않은 단계, 및 마모가 진행된 단계 모두 구멍 위치 정밀도가 우수한 것을 알 수 있었다. 이황화텅스텐의 첨가량을 본 발명의 범위 내에 최적화함으로써, 본 발명의 이황화텅스텐을 첨가한 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는, 종래 기술의 이황화몰리브덴, 몰리브덴산아연, 삼산화몰리브덴을 첨가한 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 비교해서, 구멍 위치 정밀도가 현저하게 우수한 것을 알 수 있었다.

본 출원은, 2014 년 3 월 31 일 출원된 일본 특허출원 (특허출원 2014－072337) 에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 받아들여진다.

산업상 이용가능성

본 발명에 의하면, 종래의 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 비해, 구멍 위치 정밀도가 우수하고, 드릴 비트의 절손을 저감한 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트를 제공할 수 있다.

A ： 드릴 비트
B ： 수용성 수지 (A) 의 결정
C ： 금속박
D ： 구심력
E ： 고체 윤활제.

Claims

금속박과, 그 금속박의 적어도 편면 상에 형성된 수지 조성물을 포함하는 층을 구비하는 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트로서,
상기 수지 조성물은, 수지와, 고체 윤활제로서의 이황화텅스텐을 포함하고,
상기 수지 조성물에 포함되는 이황화텅스텐의 함유량은, 상기 수지 조성물에 포함되는 수지 100 질량부에 대해 10 질량부 ∼ 200 질량부이고,
레이저 회절식 입도 분포 측정 장치를 사용하여 측정한 상기 이황화텅스텐의 입도 분포 곡선의 최대 피크에 있어서의 입경이 1 ∼ 20 ㎛ 이고,
상기 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트는 상기 수지 조성물을 포함하는 층으로부터 상기 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트에 드릴이 진입하도록 사용되는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 1 항에 있어서,
상기 수지 조성물은, 이황화텅스텐과는 상이한 고체 윤활제를 추가로 포함하는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 2 항에 있어서,
상기 수지 조성물은, 상기 이황화텅스텐과는 상이한 고체 윤활제로서 흑연을 포함하는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
삭제
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수지 조성물을 포함하는 층은, 0.02 ∼ 0.3 mm 의 범위의 두께를 갖는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수지 조성물은, 수용성 수지 (A) 를 포함하는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 6 항에 있어서,
상기 수용성 수지 (A) 가, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드, 폴리아크릴산소다, 폴리아크릴아미드, 폴리비닐피롤리돈, 셀룰로오스 유도체, 폴리테트라메틸렌글리콜 및 폴리알킬렌글리콜의 폴리에스테르, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리옥시에틸렌의 모노에테르류, 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리글리세린모노스테아레이트류, 및 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수지 조성물은, 열가소성의 비수용성 수지를 포함하는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 8 항에 있어서,
상기 열가소성의 비수용성 수지는, 아미드계 엘라스토머, 부타디엔계 엘라스토머, 에스테르계 엘라스토머, 올레핀계 엘라스토머, 우레탄계 엘라스토머, 스티렌계 엘라스토머, 폴리부텐, 저밀도 폴리에틸렌, 염소화폴리에틸렌, 메탈로센계 폴리올레핀 수지, 에틸렌·아크릴산에스테르·무수 말레산 공중합체, 에틸렌·글리시딜(메트)아크릴레이트 공중합체, 에틸렌·아세트산비닐 공중합 수지, 변성 에틸렌·아세트산비닐 공중합 수지, 에틸렌·(메트)아크릴산 공중합 수지, 아이오노머 수지, 및 에틸렌·(메트)아크릴산에스테르 공중합 수지로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수지 조성물은, 고체 윤활제가 아닌 비수용성 윤활제를 포함하는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 10 항에 있어서,
상기 고체 윤활제가 아닌 비수용성 윤활제는, 아마이드계 화합물, 지방산계 화합물, 지방산 에스테르계 화합물, 지방족 탄화수소계 화합물, 및 고급 지방족 알코올로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 금속박은, 0.05 ∼ 0.5 mm 의 범위의 두께를 갖는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 금속박과 상기 수지 조성물을 포함하는 층의 사이에, 수지 피막인 접착층을 가지며, 상기 수지 피막은, 0.002 ∼ 0.02 mm 의 범위의 두께를 갖는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 13 항에 있어서,
상기 수지 피막은, 고체 윤활제로서 이황화텅스텐을, 상기 수지 피막에 포함되는 수지 100 질량부에 대해, 1 질량부 ∼ 50 질량부 함유하는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
직경 0.30 mmφ 이하의 드릴 비트에 의한 구멍 내기 가공에 사용되는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
적층판 또는 다층판의 드릴 구멍 내기 가공에 사용되는, 드릴 구멍 내기용 엔트리 시트.