KR102582789B1

KR102582789B1 - 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트 및 그것을 사용한 드릴 구멍뚫기 가공 방법

Info

Publication number: KR102582789B1
Application number: KR1020207025533A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 가메이; 요우스케 마츠야마; 겐지 이시쿠라
Original assignee: 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2018-03-30
Filing date: 2019-02-06
Publication date: 2023-09-25
Also published as: WO2019187670A1; TWI772630B; TW201941846A; KR20200139137A; CN111918752B; JPWO2019187670A1; JP7129030B2; CN111918752A

Abstract

금속박과, 그 금속박 상의 적어도 편면에 형성된 수지 조성물층을 갖고, 그 수지 조성물층의 전단 저장 탄성률이, 하기 식 (ⅰ), (ⅱ) 로 나타내는 관계를 만족하는, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
-3.0 ≤ △G' ≤ -1.0 … (ⅰ)
4.5 × 10⁵ ≤ G'(56) ≤ 100 × 10⁵ … (ⅱ)
(상기 식 중, △G' ＝ log₁₀(G'(62)) － log₁₀(G'(56)) 이고, G'(56), G'(62)는, 각각 상기 수지 조성물의 56 ℃, 62 ℃ 에 있어서의 전단 저장 탄성률 (단위 : ㎩) 을 나타낸다)

Description

드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트 및 그것을 사용한 드릴 구멍뚫기 가공 방법

본 발명은, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트 및 그것을 사용한 드릴 구멍뚫기 가공 방법에 관한 것이다.

프린트 배선판 재료에 사용되는 적층판이나 다층판의 드릴 구멍뚫기 가공 방법으로는, 일반적으로 적층판 또는 다층판을 1 장 또는 복수 장 중첩시키고, 그 최상부에 덧댐판으로서 알루미늄박 단체 또는 알루미늄박 표면에 수지 조성물의 층을 형성한 시트 (이하, 본 명세서에서는 이「시트」를 「드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트」라고 한다) 를 배치하여 구멍뚫기 가공을 실시하는 방법이 채용되고 있다.

최근, 프린트 배선판에 대한 신뢰성 향상의 요구나 고밀도화의 진전에 수반하여, 적층판 또는 다층판의 드릴 구멍뚫기 가공에 대하여, 드릴 구멍뚫기 가공시의 내벽 조도의 저감이나 구멍 위치 정밀도의 향상 등, 고품질의 드릴 구멍뚫기 가공이 요구되고 있다.

상기 서술한 드릴 구멍뚫기 가공시의 내벽 조도의 저감이나 구멍 위치 정밀도의 향상 등의 요구에 대응하기 위해, 예를 들어, 특허문헌 1 에는, 열경화성 수지 박막을 형성한 알루미늄박에 수용성 수지층을 형성한 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트가 개시되어 있다. 또, 특허문헌 2 에는, 수지 조성물에 논할로겐의 착색제를 배합한 구멍뚫기용 활제 시트가 개시되어 있다.

또한, 고체 윤활제를 사용한 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트도 개시되어 있다. 예를 들어, 특허문헌 3 에는, 윤활층과, 이황화텅스텐 등의 나노 구조분 (粉) 과 고전열 화합물인 고체의 내마모 윤활층이 포함되는 복합재와, 지지체로 이루어지는 구멍뚫기용 보조판이 개시되어 있다. 또, 특허문헌 4 에는, 수용성 수지, 수용성 활제와 탄소분을 혼합한 수지 조성물의 층을 포함하는 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트가 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 5 에는, 복합재 중에 무기 충전제로서 그래파이트를 함유하는 천공용 방열 윤활 알루미늄 커버가 개시되어 있다.

일본 공개특허공보 2003-136485호 일본 공개특허공보 2004-230470호 일본 공개특허공보 2007-281404호 일본 공개특허공보 2008-222762호 일본 공개특허공보 2006-346912호

그런데, 반도체 기술의 진전에 수반하여, 프린트 배선판에 대한 고밀도화 및 신뢰성 향상의 요구는, 점점 고도화되고 있다. 양산에 있어서의 드릴 비트 직경의 사용 범위는, 0.5 ㎜ 내지 0.105 ㎜ 가 대부분을 차지하고 있다. 구체적으로는 0.5 ㎜, 0.45 ㎜, 0.4 ㎜, 0.35 ㎜, 0.3 ㎜, 0.25 ㎜, 0.2 ㎜, 0.15 ㎜, 0.105 ㎜ 등이 있다. 또 최소 드릴 비트 직경도 0.105 ㎜ 에서 0.075 ㎜ 로 이행하고 있고, 레이저 구멍뚫기 기술에 대항하여, 극히 일부에서는, 0.05 ㎜ 의 드릴 구멍뚫기가 시도되고 있다. 또, 0.2 ㎜, 0.15 ㎜ 의 드릴 비트 직경으로의 프린트 배선판 가공에 있어서도, 구멍 위치 정밀도의 향상에 대한 요구가 강하다. 나아가서는, 글로벌화에 의한 경쟁과 신흥국 수요의 유입 때문에, 생산성 향상 및 비용 저감 요구도 또한, 그칠 줄을 모른다.

종래의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 사용한 가공에 있어서는, 드릴 비트와 적층판 또는 다층판의 마찰열에 의해, 드릴 비트 주위의 수용성 수지 등을 함유하는 수지 조성물이 용융됨으로써, 윤활성이 발현된다. 그러나, 종래의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트에 있어서는, 수지 조성물의 층의 윤활성의 효과는 반드시 충분한 것이 아니어서, 구멍 위치 정밀도의 향상에 대한 요구에 충분히 부응할 수 없었다. 즉, 보다 고도의 구멍 위치 정밀도의 요구에 부응하는 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트의 개발이 요망되고 있다.

또 한편으로, 생산성 향상 및 비용 저감 요구의 관점에서는, 상기와 같이, 드릴 비트 직경이 작은 드릴을 사용한 경우에 있어서도, 내드릴 비트 절손성 (折損性) 이 우수할 것이 요구되고, 그 밖에, 드릴 비트에 대하여 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트 유래의 부스러기가 잘 부착되지 않을 것도 요구된다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 드릴 비트 직경이 작은 드릴을 사용한 경우에 있어서도, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 우수하고, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트 유래의 부스러기의 감김이 적은 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트, 및 그것을 사용한 드릴 구멍뚫기 가공 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해 다양한 검토를 실시한 결과, 수지 조성물층의 전단 저장 탄성률을 조정함으로써, 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 알아내어, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.

즉, 본 발명은 이하와 같다.

〔1〕

금속박과, 그 금속박 상의 적어도 편면에 형성된 수지 조성물층을 갖고,

그 수지 조성물층의 전단 저장 탄성률이, 하기 식 (ⅰ), (ⅱ) 로 나타내는 관계를 만족하는, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.

-3.0 ≤ △G' ≤ -1.0 … (ⅰ)

4.5 × 10⁵ ≤ G'(56) ≤ 100 × 10⁵ … (ⅱ)

(상기 식 중, △G' ＝ log₁₀(G'(62)) － log₁₀(G'(56)) 이고, G'(56), G'(62) 는, 각각 상기 수지 조성물의 56 ℃, 62 ℃ 에 있어서의 전단 저장 탄성률 (단위 : ㎩) 을 나타낸다)

〔2〕

상기 수지 조성물층이, 하기 식 (ⅲ) 으로 나타내는 관계를 추가로 만족하는,〔1〕에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.

0.005 × 10⁵ ≤ G'(70) ≤ 80 × 10⁵ … (ⅲ)

(상기 식 중, G'(70) 은 상기 수지 조성물의 70 ℃ 에 있어서의 전단 저장 탄성률 (단위 : ㎩) 을 나타낸다)

〔3〕

상기 수지 조성물이, 수용성 수지 (A) 를 함유하는,〔1〕또는〔2〕에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.

〔4〕

상기 수지 조성물이, 충전재 (B) 를 함유하는,〔1〕∼〔3〕중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.

〔5〕

상기 충전재 (B) 가, 탤크 및/또는 이황화몰리브덴인,〔4〕에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.

〔6〕

상기 수용성 수지 (A) 가, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드, 폴리테트라메틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리옥시에틸렌의 모노에테르 화합물, 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리글리세린모노스테아레이트 화합물, 및 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종류 또는 2 종류 이상인,〔3〕∼〔5〕중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.

〔7〕

상기 수지 조성물층이, 0.02 ∼ 0.3 ㎜ 의 범위의 두께를 갖는,〔1〕∼〔6〕중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.

〔8〕

상기 금속박이, 0.05 ∼ 0.5 ㎜ 의 범위의 두께를 갖는,〔1〕∼〔7〕중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.

〔9〕

〔1〕∼〔8〕중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 사용하여, 적층판 또는 다층판에 구멍을 형성하는 구멍 형성 공정을 갖는, 드릴 구멍뚫기 가공 방법.

본 발명에 의하면, 드릴 비트 직경이 작은 드릴을 사용한 경우에 있어서도, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 우수하고, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트 유래의 부스러기의 감김이 적은 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트, 및 그것을 사용한 드릴 구멍뚫기 가공 방법을 제공할 수 있다.

도 1 은, 실시예 2, 3 및 5, 그리고, 비교예 1, 2, 및 3 의 전단 저장 탄성률의 측정 결과를 나타낸다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태 (이하,「본 실시형태」라고 한다) 에 대해 상세하게 설명하는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능하다.

[드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트]

본 실시형태의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트 (이하, 간단히「엔트리 시트」라고도 한다) 는, 금속박과, 그 금속박 상의 적어도 편면에 형성된 수지 조성물층을 갖고, 그 수지 조성물층의 전단 저장 탄성률이, 하기 식 (ⅰ), (ⅱ) 로 나타내는 관계를 만족하는 것이다.

-3.0 ≤ △G' ≤ -1.0 … (ⅰ)

4.5 × 10⁵ ≤ G'(56) ≤ 100 × 10⁵ … (ⅱ)

수지 조성물층은, 금속박의 편면에 형성된 형태여도 되고, 양면에 형성된 형태여도 된다. 양면에 수지 조성물층을 형성하는 경우, 층의 수지 조성물의 조성은 동일해도 되고 상이해도 된다.

[수지 조성물층]

본 실시형태에 있어서의 수지 조성물층은, 전단 저장 탄성률이, 상기 식 (ⅰ), (ⅱ) 로 나타내는 관계를 만족하는 층이다. 본 실시형태의 엔트리 시트는, 절삭시에 피가공물의 절삭 부분과 절삭 공구가 접촉하는 부분에 있어서, 윤활성의 부여나, 절삭 공구에 대한 과도한 부담의 경감에 의한 내드릴 비트 절손성의 향상, 절삭성의 향상에 의한 구멍 위치 정밀도의 향상과 같은 같은 기능을 하는 것이 기대되고, 또, 수지 조성물층의 부스러기가 절삭 공구에 감기지 않는 것이 바람직하다. 엔트리 시트가 기능하는 절삭 가공은 동적인 프로세스로서, 사용시에 있어서 수지 조성물층은 고속 회전하는 드릴의 날에 접촉하고 있는 상태이다. 이와 같은 상태에 있어서 여러 기능이 발휘되는 구성을 특정하는 관점에서, 본 실시형태에 있어서는, 저장 탄성률 중에서도, 전단 저장 탄성률을 규정한다. 특히, 온도를 높였을 때에 저장 탄성률이 급강하하는 시점에서는, 수지 조성물층이 고체 상태에서 겔 상태가 되고, 겔 상태의 수지 조성물층이 엔트리 시트의 여러 기능의 발휘에 기여하고 있는 것으로 생각된다. 이 때, 겔 상태가 되는 온도가 지나치게 높은 경우에는, 엔트리 시트의 윤활성의 발휘 전에 절삭 공구에 부하가 걸려, 연속 가공에 있어서는 구멍 위치 정밀도, 드릴 비트 절손에도 영향을 주는 것으로 생각된다. 또, 겔 상태가 되었다고 하더라도, 겔 상태시의 저장 탄성률이 높으면 윤활성이 부족해지고, 겔 상태시의 저장 탄성률이 지나치게 낮으면 윤활막이 형성되기 어려워져, 어느 경우에도 윤활성이나, 드릴 비트 절손 등을 초래하는 절삭 공구의 부담, 및 구멍 위치 정밀도의 관점에서 바람직하지 않은 것으로 생각된다. 또, 고체 상태시의 저장 탄성률이 낮을수록 수지 조성물층의 부스러기가 절삭 공구에 감기기 쉬워지는 것으로 생각된다. 단, 작용 기전에 대해서는 상기 관점에 제한되는 것은 아니다.

식 (ⅰ) 에 있어서의 △G' 는, 62 ℃ 에 있어서의 전단 저장 탄성률 (G'(62)) 의 상용 로그 (log₁₀(G'(62))) 와 56 ℃ 에 있어서의 전단 저장 탄성률 (G'(56)) 의 상용 로그 (log₁₀(G'(56))) 의 차를 나타내는 것이고, 식 (ⅰ) 은 △G' 의 범위를 규정하는 것이다. 일반적으로, 전단 저장 탄성률은, 온도 상승과 함께 감소하는 경향을 나타내는데, 식 (ⅰ) 은, log₁₀(G'(62)) 와 log₁₀(G'(56)) 의 차에 의해 전단 저장 탄성률이 소정의 경향을 나타내는 것을 규정하는 것이다.

△G' 는 -3.0 ∼ -1.0 이고, 바람직하게는 -2.8 ∼ -1.0 이고, 보다 바람직하게는 -2.6 ∼ -1.0 이고, 더욱 바람직하게는 -2.4 ∼ -1.0 이고, 특히 바람직하게는 -2.2 ∼ -1.0 이다. △G' 가 -3.0 이상임으로써, 수지 조성물층의 부스러기의 절삭 공구에 대한 감김이 보다 억제된다. 또, △G' 가 -1.0 이하임으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상된다.

식 (ⅱ) 는 G'(56) 의 범위를 나타내는 것이다. G'(56) 은 4.5 × 10⁵ ∼ 100 × 10⁵ 이고, 바람직하게는 20 × 10⁵ ∼ 100 × 10⁵ 이고, 보다 바람직하게는 30 × 10⁵ ∼ 100 × 10⁵ 이고, 더욱 바람직하게는 35 × 10⁵ ∼ 100 × 10⁵ 이고, 특히 바람직하게는 40 × 10⁵ ∼ 100 × 10⁵ 이다. G'(56) 이 4.5 × 10⁵ 이상임으로써, 수지 조성물층의 부스러기의 절삭 공구에 대한 감김이 보다 억제된다. 또, G'(56) 이 100 × 10⁵ 이하임으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상된다.

또, G'(62) 는, 바람직하게는 0.010 × 10⁵ ∼ 4.4 × 10⁵ 이고, 보다 바람직하게는 0.10 × 10⁵ ∼ 4.4 × 10⁵ 이고, 더욱 바람직하게는 0.20 × 10⁵ ∼ 4.4 × 10⁵ 이고, 특히 바람직하게는 0.40 × 10⁵ ∼ 4.4 × 10⁵ 이다. G'(62) 가 0.010 × 10⁵ 이상임으로써, 수지 조성물층의 부스러기의 절삭 공구에 대한 감김이 보다 억제되는 경향이 있다. 또, G'(62) 가 4.4 × 10⁵ 이하임으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되는 경향이 있다.

수지 조성물층은, 하기 식 (ⅲ) 으로 나타내는 관계를 추가로 만족하는 것이 바람직하다.

0.005 × 10⁵ ≤ G'(70) ≤ 80 × 10⁵ … (ⅲ)

(상기 식 중, G'(70) 은 수지 조성물의 70 ℃ 에 있어서의 전단 저장 탄성률 (단위 : ㎩) 을 나타낸다)

식 (ⅲ) 은 G'(70) 의 범위를 나타내는 것이다. G'(70) 은, 바람직하게는 0.005 × 10⁵ ∼ 80 × 10⁵ 이고, 보다 바람직하게는 0.020 × 10⁵ ∼ 40 × 10⁵ 이고, 더욱 바람직하게는 0.150 × 10⁵ ∼ 10 × 10⁵ 이다. G'(70) 이 0.005 × 10⁵ 이상임으로써, 수지 조성물층의 부스러기의 절삭 공구에 대한 감김이 보다 억제되는 경향이 있다. 또, G'(70) 이 80 × 10⁵ 이하임으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되는 경향이 있다.

△G' 의 값은, G'(56) 및 G'(62) 의 값을 제어함으로써, 조정할 수 있다. 또, G'(56), G'(62), 및 G'(70) 은, 사용하는 수지의 종류 및 함유량, 그리고, 충전재의 종류 및 함유량에 의해 조정할 수 있다. 예를 들어, 충전재를 함유하는 경우와 함유하지 않는 경우에서 비교하면, 충전재를 함유함으로써, 전체적으로 전단 저장 탄성률이 향상된다. 또, 충전재의 함유량이 많아짐에 따라, 전체적으로 전단 저장 탄성률이 향상되는데, 특히, 고온측의 전단 저장 탄성률의 상승률이 높아지는 경향이 있다. 또, 충전재의 함유량을 변경하지 않고 그 입자경을 작게 하면, 입자경이 큰 경우와 비교하여, 전체적으로 전단 저장 탄성률이 낮아지는데, 그 저하율은 고온측의 쪽이 높아지는 경향이 있다.

본 실시형태에 있어서 전단 저장 탄성률의 측정은, 실시예에 기재된 방법에 의해 실시할 수 있다.

〔수지 조성물층의 조성〕

수지 조성물층을 구성하는 성분으로는, 수용성 수지 (A) 가 바람직하고, 필요에 따라, 충전재 (B) 가 함유되어도 된다. 이하, 각 성분에 대해 상세하게 설명한다.

(수용성 수지 (A))

수용성 수지 (A) 로는, 그 분자량의 차이에 따라 추가로, 중량 평균 분자량이 1.0 × 10⁵ ∼ 2.0 × 10⁶ 인 고분자 수용성 수지, 중량 평균 분자량이 3.0 × 10³ ∼ 7.0 × 10⁴ 인 중분자 수용성 수지, 및 중량 평균 분자량이 1.0 × 10² ∼ 2.5 × 10³ 인 저분자 수용성 수지로 분류할 수 있다. 고분자 수용성 수지는, 수지 조성물층의 성형성, 전단 저장 탄성률의 전체적인 향상에 기여하고, 피절삭물과의 밀착성의 향상과 그에 따른 구멍 위치 정밀도의 향상에 기여할 수 있다. 또, 중분자 수용성 수지 및 저분자 수용성 수지는, 윤활성이나, 절삭 부스러기의 배출성, 구멍 위치 정밀도의 향상에 기여할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서,「수용성」이란, 25 ℃, 1 기압에 있어서, 물 100 g 에 대하여, 1 g 이상 용해되는 성질을 말한다.

수용성 수지 (A) 로는, 특별히 제한되지 않지만, 예를 들어, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드, 폴리테트라메틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리옥시에틸렌의 모노에테르 화합물, 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리글리세린모노스테아레이트 화합물, 및 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종류 또는 2 종류 이상을 들 수 있다. 이와 같은 수용성 수지 (A) 를 사용함으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되고, 감김이 억제되는 경향이 있다.

(고분자 수용성 수지 (a-1))

고분자 수용성 수지 (a-1) 로는, 특별히 제한되지 않지만, 예를 들어, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드를 들 수 있다. 고분자 수용성 수지 (a-1) 은, 1 종 단독으로 사용해도 되고, 또는 2 종류 이상을 조합하여 사용해도 된다.

고분자 수용성 수지 (a-1) 의 중량 평균 분자량은, 1.0 × 10⁵ ∼ 2.0 × 10⁶이고, 바람직하게는 1.0 × 10⁵ ∼ 1.0 × 10⁶ 이고, 보다 바람직하게는 1.0 × 10⁵ ∼ 6.0 × 10⁵ 이다. 고분자 수용성 수지 (a-1) 의 중량 평균 분자량이 상기 범위 내임으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되고, 감김이 억제되는 경향이 있다.

고분자 수용성 수지 (a-1) 의 함유량은, 수지 조성물 중의 수지 성분의 총량 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 3 ∼ 15 질량부이고, 보다 바람직하게는 5 ∼ 12 질량부이고, 더욱 바람직하게는 7 ∼ 10 질량부이다. 고분자 수용성 수지 (a-1) 의 함유량이 상기 범위 내임으로써, 수지 조성물층의 제막성 (製膜性) 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되는 경향이 있다.

(중분자 수용성 수지 (a-2))

중분자 수용성 수지 (a-2) 로는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리테트라메틸렌글리콜 등의 글리콜 화합물 ; 폴리옥시에틸렌올레일에테르, 폴리옥시에틸렌세틸에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르 등의 폴리옥시에틸렌의 모노에테르 화합물 ; 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리글리세린모노스테아레이트 화합물, 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 폴리테트라메틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜이 바람직하다. 중분자 수용성 수지 (a-2) 는, 1 종 단독으로 사용해도 되고, 또는 2 종류 이상을 조합하여 사용해도 된다.

중분자 수용성 수지 (a-2) 의 중량 평균 분자량은, 3.0 × 10³ ∼ 7.0 × 10⁴ 이고, 바람직하게는 3.0 × 10³ ∼ 3.0 × 10⁴ 이고, 보다 바람직하게는 3.0 × 10³ ∼ 1.0 × 10⁴ 이다. 중분자 수용성 수지 (a-2) 의 중량 평균 분자량이 상기 범위 내임으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되고, 감김이 억제되는 경향이 있다.

중분자 수용성 수지 (a-2) 의 함유량은, 수지 조성물 중의 수지 성분의 총량 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 40 ∼ 85 질량부이고, 보다 바람직하게는 55 ∼ 85 질량부이고, 더욱 바람직하게는 65 ∼ 80 질량부이다. 중분자 수용성 수지 (a-2) 의 함유량이 상기 범위 내임으로써, 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되는 경향이 있다.

(저분자 수용성 수지 (a-3))

저분자 수용성 수지 (a-3) 으로는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리테트라메틸렌글리콜 등의 글리콜 화합물 ; 폴리옥시에틸렌올레일에테르, 폴리옥시에틸렌세틸에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르 등의 폴리옥시에틸렌의 모노에테르 화합물 ; 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리글리세린모노스테아레이트 화합물, 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 폴리옥시에틸렌의 모노에테르 화합물, 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리글리세린모노스테아레이트 화합물, 및 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체가 바람직하다. 저분자 수용성 수지 (a-3) 은, 1 종 단독으로 사용해도 되고, 또는 2 종류 이상을 조합하여 사용해도 된다.

저분자 수용성 수지 (a-3) 의 함유량은, 수지 조성물 중의 수지 성분의 총량 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 3 ∼ 25 질량부이고, 보다 바람직하게는 5 ∼ 20 질량부이고, 더욱 바람직하게는 10 ∼ 20 질량부이다. 저분자 수용성 수지 (a-3) 의 함유량이 상기 범위 내임으로써, 수지 조성물층의 윤활성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되는 경향이 있다.

(충전재 (B))

충전재 (B) 로는, 특별히 제한되지 않지만, 예를 들어, 실리카, 탤크, 카올린, 마이카, 베마이트, 몰리브덴 화합물 (이황화몰리브덴, 산화몰리브덴, 몰리브덴산아연) 을 들 수 있다. 이 중에서도, 탤크 및/또는 이황화몰리브덴이 바람직하다. 이와 같은 충전재를 사용함으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되고, 감김이 억제되는 경향이 있다.

충전재 (B) 의 메디안 직경 (평균 입자경) 은, 바람직하게는 0.3 ㎛ 이상 10 ㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 0.3 ㎛ 이상 8 ㎛ 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.5 ㎛ 이상 6 ㎛ 이하이다. 충전재 (B) 의 메디안 직경이 상기 범위 내임으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되고, 감김이 억제되는 경향이 있다. 여기서, 메디안 직경이란, 예를 들어, 레이저 회절법 등의 입자경의 측정 방법으로 측정되는, 입자경의 누적 분포 곡선 (개수 기준) 에 있어서, 50 ％ 의 높이가 되는 입자 직경 (D50) 을 말한다.

충전재 (B) 의 함유량은, 수지 조성물 중의 수지 성분의 총량 100 질량부에 대하여, 바람직하게는 10 ∼ 150 질량부이고, 보다 바람직하게는 30 ∼ 125 질량부이고, 더욱 바람직하게는 50 ∼ 100 질량부이다. 충전재 (B) 의 함유량이 상기 범위 내임으로써, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도가 보다 향상되고, 감김이 억제되는 경향이 있다.

충전재 (B) 의 형상은, 특별히 제한되지 않지만, 예를 들어, 판상인 것이 바람직하다. 실리콘 레진 파우더 등의 대략 구형을 갖는 것과 비교하여, 판상의 충전재 (B) 는, 전단시의 저항이 커진다. 그 때문에, 충전재 (B) 의 함유량을 상기 범위로 함으로써, △G' 등을 본 실시형태의 범위로 조정하는 것이 가능해진다. 한편으로, 충전재 (B) 의 형상이 구형에 가까울수록, 전단시의 저항이 작아, △G' 등을 조정하기 어려운 경향이 있다.

이와 같은 관점에서, 충전재 (B) 로는 판상을 갖는 탤크 및/또는 이황화몰리브덴이 바람직하고, 이것들의 함유량을 상기 범위로 함으로써, 내드릴 비트 절손성이 더욱 향상되는 경향이 있다.

(그 밖의 성분)

수지 조성물층은, 필요에 따라, 첨가제를 함유하고 있어도 된다. 첨가제의 종류는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 표면 조정제, 레벨링제, 대전 방지제, 유화제, 소포제, 왁스 첨가제, 커플링제, 레올로지 컨트롤제, 방부제, 방미제, 산화 방지제, 광 안정제, 포름산 Na 등의 핵제, 열 안정화제, 및 착색제를 들 수 있다.

수지 조성물층의 두께는, 드릴 구멍뚫기 가공할 때에 사용하는 드릴 비트 직경이나, 가공하는 구멍뚫기 대상물 (예를 들어, 적층판 또는 다층판 등의 프린트 배선판 재료) 의 구성 등에 따라 적절히 선택된다. 이 중에서도, 수지 조성물층의 두께는, 바람직하게는 0.02 ∼ 0.3 ㎜ 이고, 보다 바람직하게는 0.02 ∼ 0.2 ㎜ 이고, 더욱 바람직하게는 0.02 ∼ 0.1 ㎜ 이다. 수지 조성물층의 두께가 0.02 ㎜ 이상임으로써, 보다 충분한 윤활 효과가 얻어지고, 드릴 비트에 대한 부하가 경감되므로, 드릴 비트의 절손을 더욱 억제할 수 있는 경향이 있다. 또, 수지 조성물층의 두께가 0.3 ㎜ 이하임으로써, 드릴 비트에 대한 수지 조성물의 감김을 억제할 수 있는 경향이 있다.

〔금속박〕

본 실시형태의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트에 사용되는 금속박은, 특별히 한정되지 않지만, 상기 수지 조성물층과의 밀착성이 높고, 드릴 비트에 의한 충격에 견딜 수 있는 금속 재료이면 바람직하다. 금속박의 금속종으로는, 입수성, 비용 및 가공성의 관점에서, 예를 들어 알루미늄을 들 수 있다. 알루미늄박의 재질로는, 순도 95 ％ 이상의 알루미늄이 바람직하다. 그러한 알루미늄박으로는, 예를 들어, JIS-H4160 에 규정되는, 5052, 3004, 3003, 1N30, 1N99, 1050, 1070, 1085, 8021 을 들 수 있다. 금속박에 알루미늄 순도 95 ％ 이상의 알루미늄박을 사용함으로써, 드릴 비트에 의한 충격의 완화, 및 드릴 비트 선단부와의 달라붙음성이 향상되고, 수지 조성물에 의한 드릴 비트의 윤활 효과와 함께, 가공 구멍의 구멍 위치 정밀도를 더욱 높일 수 있다.

금속박의 두께는, 바람직하게는 0.05 ∼ 0.5 ㎜ 이고, 보다 바람직하게는 0.05 ∼ 0.3 ㎜ 이고, 더욱 바람직하게는 0.05 ∼ 0.2 ㎜ 이다. 금속박의 두께가 0.05 ㎜ 이상임으로써, 드릴 구멍뚫기 가공시의 구멍뚫기 대상물 (예를 들어, 적층판) 의 버의 발생을 보다 억제할 수 있는 경향이 있다. 또, 금속박의 두께가 0.5 ㎜ 이하임으로써, 드릴 구멍뚫기 가공시에 발생하는 절삭분 (粉) 의 배출이 보다 용이해지는 경향이 있다.

본 실시형태의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 구성하는 각 층의 두께는, 다음과 같이 하여 측정한다. 먼저, 크로스섹션 폴리셔 (니혼 전자 데이텀 주식회사 제조, 상품명「CROSS-SECTION POLISHER SM-09010」), 또는 울트라마이크로톰 (Leica 사 제조, 품번「EMUC7」) 을 사용하여, 엔트리 시트를 각 층의 적층 방향으로 절단한다. 그 후, SEM (주사형 전자 현미경 (Scanning Electron Microscope), KEYENCE 사 제조의 품번「VE-7800」) 을 사용하여, 절단하여 나타난 단면에 대하여 수직 방향으로부터 그 단면을 관찰하고, 구성하는 각 층, 예를 들어, 금속박 및 수지 조성물층의 두께를 측정한다. 1 시야에 대하여, 5 개 지점의 두께를 측정하고, 그 평균값을 각 층의 두께로 한다.

〔드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트의 제조 방법〕

본 실시형태의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트의 제조 방법은, 특별히 한정되지 않으며, 예를 들어, 금속박의 적어도 편면 상에 수지 조성물층을 형성하여 제조된다. 금속박 상에 수지 조성물층을 형성시키는 방법은 특별히 한정되지 않고, 공지된 방법을 사용할 수 있다. 그러한 방법으로는, 예를 들어, 수지 등을 용매에 용해 또는 분산시킨 수지 조성물의 용액을, 코팅법 등의 방법으로 금속박 상에 도공하고, 추가로 건조시키는 및/또는 냉각 고화시키는 방법을 들 수 있다.

코팅법 등에 의해, 수지 조성물의 용액을 금속박 상에 도공하고, 건조시켜 수지 조성물층을 형성하는 경우, 수지 조성물의 용액에 사용하는 용매는, 물과 물보다 비점이 낮은 용매로 이루어지는 혼합 용액인 것이 바람직하다. 물과 물보다 비점이 낮은 용매로 이루어지는 혼합 용액을 사용하는 것은, 수지 조성물층 중의 잔류 기포의 저감에 기여한다. 물보다 비점이 낮은 용매의 종류는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 에탄올, 메탄올이나 이소프로필알코올 등의 알코올 화합물을 들 수 있고, 메틸에틸케톤이나 아세톤 등의 저비점 용제도 사용하는 것이 가능하다. 그 밖의 용매로서, 물이나 알코올 화합물에 수지 조성물과의 상용성이 높은 테트라하이드로푸란이나 아세토니트릴을 일부 혼합시킨 용매 등을 사용하는 것이 가능하다.

〔드릴 구멍뚫기 가공 방법〕

본 실시형태의 드릴 구멍뚫기 가공 방법은, 상기 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 사용하여, 적층판 또는 다층판에 구멍을 형성하는 구멍 형성 공정을 갖는다. 또, 그 드릴 구멍뚫기 가공에 사용하는 드릴 비트의 직경 (드릴 비트 직경) 은, 바람직하게는 0.10 ㎜φ 이하이고, 보다 바람직하게는 0.080 ㎜φ 이하이다. 이와 같은 드릴 비트는, 가늘기 때문에 특히 절손되기 쉽고, 또, 구멍 위치 정밀도도 필요시된다. 이에 대하여, 본 실시형태의 엔트리 시트를 사용함으로써, 특히, 내드릴 비트 절손성 및 구멍 위치 정밀도, 그리고, 수지 조성물층의 부스러기의 절삭 공구에 대한 감김의 억제 효과가 보다 효과적으로 발휘된다. 또한, 직경 0.30 ㎜φ 초과의 드릴 비트를 사용하는 드릴 구멍뚫기 가공에, 본 실시형태의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 채용해도 문제 없다.

본 실시형태의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트는, 예를 들어, 프린트 배선판 재료, 보다 구체적으로는, 적층판 또는 다층판을 드릴 구멍뚫기 가공할 때에 바람직하게 사용할 수 있다. 구체적으로는, 적층판 또는 다층판을 1 장 또는 복수 장 중첩시킨 것 (프린트 배선판 재료) 의 적어도 최상면에, 금속박측이 프린트 배선판 재료에 접하도록 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 배치하고, 그 엔트리 시트의 상면 (수지 조성물층측) 으로부터, 드릴 구멍뚫기 가공을 실시할 수 있다.

실시예

이하에, 본 발명의 실시예의 효과를, 본 발명의 범위에서 벗어나는 비교예와 비교하여 설명한다.

＜전단 저장 탄성률＞

실시예 및 비교예에 있어서의 수지 조성물층의 전단 저장 탄성률은, TA 인스트루먼츠사 제조의 동적 점탄성 측정 장치「DISCOVER HR-2」를 사용하여 측정하였다. 이하에 측정 시료의 준비 방법에 대해 기재한다. 실시예 1 에 기재된 방법으로 제조한 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를, 170 ℃ 에서 수지 조성물층을 연화시켜 수지 조성물층만을 취출한 후, 냉각시켜 고화시킨 것을 측정 시료로 하였다. 또 동적 점탄성 측정 장치의 측정 전 준비 방법으로서, 상기 동적 점탄성 측정 장치의 측정대 상에 측정 시료를 설치하고, 측정대를 170 ℃ 로 가온시킨 후, 동적 점탄성 측정 장치에 부속된 직경 20 ㎜ 패럴렐 플레이트와 측정대에 의해, 그 패럴렐 플레이트와 측정대 간의 갭이 0.2 ㎜ 가 될 때까지 수지 조성물층을 협지하고, 측정대를 30 ℃ 까지 냉각시켜 온도가 안정된 후에 측정하였다. 측정 조건으로서 하기 측정 조건에서 측정을 실시하였다.

〔측정 조건〕

모드 : 전단 모드

승온 속도 : 10 ℃/분

온도 범위 : 30 ∼ 150 ℃

주파수 : 1.0 ㎐

변형 : 0.01 ％

〔구멍 위치 정밀도, 평균 절손 구멍수 (내드릴 비트 절손성) 의 평가에 있어서의 가공 조건〕

두께 0.04 ㎜ 의 구리 피복 적층판 (상품명 : HL832NS-L, 동박 두께 5 ㎛, 양면판, 미츠비시 가스 화학 주식회사 제조) 을 6 장 중첩시켜 적층한 구리 피복 적층판의 상면에, 실시예 및 비교예에서 제조한 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 그 수지 조성물층측이 상면이 되도록 배치하고, 중첩시켜 적층한 구리 피복 적층판의 최하판의 이면 (하면) 에 두께 1.5 ㎜ 의 덧댐판 (종이 페놀 적층판 PS1160-G, 리쇼 주식회사 제조) 을 배치하였다. 그리고, 0.060 ㎜φ 드릴 비트 (유니온 툴 주식회사 제조) 5 개를 사용하여, 하기 가공 조건에서 드릴 비트 1 개에 대해 10,000 구멍의 설정으로, 하기의 조건에서 각 드릴 비트가 절손될 때까지 구멍뚫기 가공을 실시하였다.

회전수 : 330,000 rpm

이송 속도 : 2.94 m/min

드릴 비트 1 개의 구멍뚫기 횟수 : 10,000 구멍 설정

〔구멍 위치 정밀도의 평가 방법〕

드릴 1 개분의 가공 구멍에 대해, 중첩시켜 적층한 구리 피복 적층판의 최하판의 이면 (하면) 에 있어서의 구멍 위치와 지정 좌표의 어긋남을, 홀 애널라이저 (형번 : HA-1AM, 히타치 비아 메카닉스 주식회사 제조) 를 사용하여 측정하였다. 드릴 비트 1 개분마다, 그 어긋남에 대해, 평균값 및 표준 편차 (σ) 를 계산하고,「평균값 ＋ 3σ」를 산출하였다. 그 후, 드릴 구멍뚫기 가공 전체의 구멍 위치 정밀도로서, 사용한 5 개의 드릴 비트에 대해 각각의「평균값 ＋ 3σ」의 값에 대한 평균값을 산출하고, 하기 평가 기준에 의해 구멍 위치 정밀도를 평가하였다. 구멍 위치 정밀도의 산출에 사용한 식은, 하기와 같다.

(여기서, n 은 사용한 드릴 비트의 개수를 나타낸다)

(평가 기준)

5 : 구멍 위치 정밀도가 15 ㎛ 미만

4 : 구멍 위치 정밀도가 15 ㎛ 이상 17 ㎛ 미만

3 : 구멍 위치 정밀도가 17 ㎛ 이상 25 ㎛ 미만

2 : 구멍 위치 정밀도가 25 ㎛ 이상 35 ㎛ 미만

1 : 구멍 위치 정밀도가 35 ㎛ 이상

〔평균 절손 구멍수 (내드릴 비트 절손성) 의 평가 방법〕

상기 가공 조건에서, 각 드릴 비트가 절손될 때까지의 구멍뚫기 횟수를 카운트하여, 5 개의 평균값을 산출하고, 얻어진 평균값 (평균 절손 구멍수) 에 기초하여, 하기 기준에 의해 내드릴 비트 절손성을 평가하였다.

(평가 기준)

5 : 평균 절손 구멍수가 8000 이상

4 : 평균 절손 구멍수가 7000 이상 8000 미만

3 : 평균 절손 구멍수가 6000 이상 7000 미만

2 : 평균 절손 구멍수가 5000 이상 6000 미만

1 : 평균 절손 구멍수가 5000 미만

〔감김〕

두께 0.06 ㎜ 의 구리 피복 적층판 (상품명 : HL832NS-L, 동박 두께 3 ㎛, 양면판, 미츠비시 가스 화학 주식회사 제조) 을 8 장 중첩시켜 적층한 구리 피복 적층판의 상면에, 실시예 및 비교예에서 제조한 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 그 수지 조성물층측이 상면이 되도록 배치하고, 중첩시켜 적층한 구리 피복 적층판의 최하판의 이면 (하면) 에 두께 1.5 ㎜ 의 덧댐판 (종이 페놀 적층판 SPB-W, 니혼 데코락 주식회사 제조) 을 배치하였다. 그리고, 0.080 ㎜φ 드릴 비트 (상품명 : KMWM476EWU, 유니온 툴 주식회사 제조) 3 개를 사용하여, 하기 조건에서 드릴 비트 1 개에 대해 10,000 구멍, 합계 30,000 구멍의 드릴 구멍뚫기 가공을 실시하였다.

회전수 : 280,000 rpm

이송 속도 : 1.4 m/min

드릴 비트 1 개의 구멍뚫기 횟수 : 10,000 구멍

회수한 드릴 비트를, 배율 100 배의 현미경으로 관찰하였다. 드릴 비트에 수지 조성물층의 부스러기가 감긴 상태의 부분에 대해, 드릴 비트 직경 방향에서 가장 큰 직경 (이하,「가공 부스러기 감김의 최대 직경」이라고 한다) 을 구하여, 하기 기준에 의해 감김을 평가하였다.

(평가 기준)

3 : 수지 조성물층의 감김의 최대 직경이, 드릴 비트 직경의 1.2 배 미만

2 : 수지 조성물층의 감김의 최대 직경이, 드릴 비트 직경의 1.2 배 이상 2.0 배 미만

1 : 수지 조성물층의 감김의 최대 직경이, 드릴 비트 직경의 2.0 배 이상

＜원재료＞

표 1 에 실시예 및 비교예의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트의 제조에 사용한 원재료를 나타냈다.

〔실시예 1〕

고분자 수용성 수지 (a-1) 로서 중량 평균 분자량 560,000 의 폴리에틸렌옥사이드 (메이세이 화학 공업 주식회사 제조, 알콕스 E-45) 8 질량부와, 중분자 수용성 수지 (a-2) 로서 중량 평균 분자량 3,300 의 폴리에틸렌글리콜 (산요 화성 공업 주식회사 제조, PEG4000S) 77 질량부와, 저분자 수용성 수지 (a-3) 으로서 중량 평균 분자량 1,540 의 폴리에틸렌글리콜-모노스테아르산에스테르 (니치유 주식회사 제조, 논이온 S15.4) 15 질량부를, 수지 조성물 용액의 고형분 농도가 30 ％ 가 되도록 물/메탄올 혼합 용매에 용해시켰다. 물/메탄올 혼합 용매의 혼합 비율은 50/50 으로 하였다. 이 수지 조성물 용액을 알루미늄박 (사용 알루미늄박 : JIS-A1100H, 두께 0.07 ㎜, 미츠비시 알루미늄 주식회사 제조) 의 편면에, 바 코터를 사용하여 건조 후의 수지 조성물의 층의 두께가 50 ㎛ 가 되도록 도포하고, 건조기로 90 ℃, 5 분간 건조시키고, 상온까지 냉각시켜, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 제조하였다.

＜실시예 2 ∼ 6, 비교예 1 ∼ 4＞

사용한 원료를 표 2 에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 제조하였다.

표 2 에 각 평가 결과를 나타내고, 도 1 에 실시예 2, 3 및 5, 그리고, 비교예 1, 2, 및 3 의 전단 저장 탄성률의 측정 결과를 나타낸다.

본 출원은, 2018년 3월 30일에 일본 특허청에 출원된 일본 특허출원 (일본 특허출원 2018-69169호) 에 기초하는 것으로서, 그 내용은 여기에 참조로서 받아들여진다.

본 발명은, 적층판이나 다층판의 드릴 구멍뚫기 가공 등의 때에 사용되는 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트로서 산업상 이용가능성을 갖는다. 특히, 본 발명에 의하면, 종래의 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트에 비해, 구멍 위치 정밀도가 우수하고, 금속박과 수지 조성물층의 박리에 의한 드릴 절손이 적고, 종래 필요하였던 접착층이 불필요하기 때문에 경제성도 우수한 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 제공할 수 있다.

Claims

금속박과, 그 금속박 상의 적어도 편면에 형성된 수지 조성물층을 갖고,
그 수지 조성물층의 전단 저장 탄성률이, 하기 식 (ⅰ), (ⅱ) 로 나타내는 관계를 만족하는, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
-3.0 ≤ △G' ≤ -1.0 … (ⅰ)
4.5 × 10⁵ ≤ G'(56) ≤ 100 × 10⁵ … (ⅱ)
(상기 식 중, △G' ＝ log₁₀(G'(62)) － log₁₀(G'(56)) 이고, G'(56), G'(62) 는, 각각 상기 수지 조성물의 56 ℃, 62 ℃ 에 있어서의 전단 저장 탄성률 (단위 : ㎩) 을 나타낸다)
제 1 항에 있어서,
상기 수지 조성물층이, 하기 식 (ⅲ) 으로 나타내는 관계를 추가로 만족하는, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
0.005 × 10⁵ ≤ G'(70) ≤ 80 × 10⁵ … (ⅲ)
(상기 식 중, G'(70) 은 상기 수지 조성물의 70 ℃ 에 있어서의 전단 저장 탄성률 (단위 : ㎩) 을 나타낸다)
제 1 항에 있어서,
상기 수지 조성물이, 수용성 수지 (A) 를 함유하는, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
제 1 항에 있어서,
상기 수지 조성물이, 충전재 (B) 를 함유하는, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
제 4 항에 있어서,
상기 충전재 (B) 가, 탤크 및/또는 이황화몰리브덴인, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
제 3 항에 있어서,
상기 수용성 수지 (A) 가, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드, 폴리테트라메틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리옥시에틸렌의 모노에테르 화합물, 폴리옥시에틸렌모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리글리세린모노스테아레이트 화합물, 및 폴리옥시에틸렌프로필렌 공중합체로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종류 또는 2 종류 이상인, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
제 1 항에 있어서,
상기 수지 조성물층이, 0.02 ∼ 0.3 ㎜ 의 범위의 두께를 갖는, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
제 1 항에 있어서,
상기 금속박이, 0.05 ∼ 0.5 ㎜ 의 범위의 두께를 갖는, 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 드릴 구멍뚫기용 엔트리 시트를 사용하여, 적층판 또는 다층판에 구멍을 형성하는 구멍 형성 공정을 갖는, 드릴 구멍뚫기 가공 방법.