KR101913872B1 - 터치 패널 센서 필름 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

[과제] 본 발명은 후속 가공 정밀도를 향상시킬 수 있는 제품 정보 또는 얼라이먼트 마크로 마감된 터치 패널 센서 필름을 제공하는 것이다. [해결수단] 이 터치 패널 센서 필름(70)은 투명한 기재 필름(32), 및 기재 필름(32)의 적어도 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전체 패턴을 포함하는 터치 패널 센서용 센서 필름이고, 상술한 문제점은 센서 필름의 비활성 영역에 제품 정보(78, 79) 또는 얼라이먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77)를 형성함으로써 해결된다.

Description

터치 패널 센서 필름 및 그의 제조 방법{TOUCH PANEL SENSOR FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME}
<관련 출원의 상호 참조>
본 출원은 2010년 9월 29일에 출원된 일본 특허 출원 제2010-219774호 및 2011년 6월 27일에 출원된 일본 특허 출원 제2011-141603호의 우선권을 주장하고, 이들의 모든 내용은 참조로 본원에 삽입된다. 또한, 2009년 3월 31일에 출원된 일본 특허 출원 제2009-86477호 및 2009년 12월 1일에 출원된 일본 특허 출원 제2009-273798호의 모든 내용도 참조로 본원에 삽입된다.
본 발명은, 터치스크린 패널 센서 필름 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
오늘날, 입력 수단으로서, 터치스크린 패널 장치가 널리 사용되고 있다. 터치스크린 패널 장치는, 터치스크린 패널 센서, 터치스크린 패널 센서 상에서 대상물의 접촉 위치를 검출하는 제어 회로, 배선 및 플렉시블 프린트 기판(FPC)을 포함한다. 터치스크린 패널 장치는, 많은 경우, 액정 디스플레이 또는 플라즈마 디스플레이와 같은 표시 장치가 내장된 다양한 유형의 장치(예를 들어, 매표기, 자동 창구기(ATM), 휴대 전화 또는 게임기)에 대한 입력 수단으로서, 표시 장치와 함께 사용되고 있다. 이러한 장치에 있어서, 터치스크린 패널 센서는 표시 장치의 표시면 상에 배치되고, 이에 의해 터치스크린 패널 장치는 표시 장치에 대한 매우 직접적인 입력을 수행할 수 있다. 터치스크린 패널 센서 중 표시 장치의 표시 영역에 대면하는 영역은 투명하고, 터치스크린 패널 센서의 이 영역이, 접촉 위치(접근 위치)를 검출할 수 있는 활성 영역(active area)을 구성하게 된다.
터치스크린 패널 장치는, 터치스크린 패널 센서 상에서 대상물의 접촉 위치 또는 접근 위치를 검출하는 원리에 따라, 다양한 형식으로 구분될 수 있다. 현재, 광학적 밝기, 디자인 품질, 구조 단순성, 기능 우수성 등의 이유로, 용량 결합 방식의 터치스크린 패널 장치가 주목받고 있다. 용량 결합 방식의 터치스크린 패널 장치에서, 위치를 검출해야 하는 외부 도체(전형적으로는, 손가락)는 유전체를 통해 터치 센서에 접촉 또는 접근함으로써, 새로운 기생 용량을 발생시킨다. 터치스크린 패널은 이 용량의 변화를 이용하여, 센서 상의 대상물의 위치를 검출한다. 용량 결합 방식에는 표면형과 투영형이 있다. 일본 특허 제2007-533044T호에 기재된 바와 같이, 이들 두 유형 중에서 멀티 터치의 인식(다점 인식)의 대응 또는 요건에 적합하기 때문에, 특히 투영형이 주목을 받고 있다.
투영형 용량 결합 방식의 터치스크린 패널 센서는, 유전체, 유전체의 양측에 다른 패턴으로 각각 형성된 제1 센서 전극 및 제2 센서 전극을 포함한다. 전형적으로는, 제1 센서 전극 및 제2 센서 전극은, 각각 격자 형상으로 배열된 도전체를 포함하고, 외부 도체(전형적으로는, 손가락)가 터치스크린 패널 센서에 접촉 또는 접근했을 때에 발생하는, 전자기적인 변화 또는 정전 용량의 변화에 기초하여, 도전체의 위치를 검출한다.
일본 특허 제1992-264613A호에 기재된 바와 같이, 이러한 투영형 용량 결합 방식의 터치스크린 패널 센서는 일반적으로 제1 센서 전극이 형성된 제1 기재 필름과 제2 센서 전극이 형성된 제2 기재 필름을 접착층에 의해 접합함으로써, 제작된다. 이와 같이 제작된 터치스크린 패널 센서에서, 제1 센서 전극 및 제2 센서 전극은 각 기재 필름의 활성 영역 밖의 영역에 형성된 취출(lead-out) 배선(취출용 도전체)을 통해 외부 제어 회로에 접속된다. 터치스크린 패널 장치가 표시 장치와 함께 사용되는 경우, 제1 센서 전극 및 제2 센서 전극은 전기 전도율이 낮은 투명 도전 재료로부터 형성된다. 한편, 활성 영역 밖에 배치되는 취출 배선은, 투명할 필요는 없고, 높은 전기 전도율을 갖는 금속 재료를 스크린 인쇄에 의해 기재 필름 위에 각각 형성된다.
현재, 디자인 품질을 향상시키고 표시 장치의 표시 영역을 확대시키기 위해서, 표시 영역의 주위를 둘러싸는 영역(프레임 영역 또는 베젤(bezel) 영역이라고 불림)의 표면적을 줄이도록 요구되고 있다. 이러한 경향에 따라, 또한 터치스크린 패널 센서의 활성 영역 이외의 비활성 영역의 표면적을 줄이도록 요구되고 있다. 이러한 요구는 취출용 배선을 비활성 영역에 충분히 고정밀로 형성하는 경우, 만족될 수 있다. 비활성 영역의 표면적의 감소 및 취출용 배선의 고정밀 형성은 웹 상 또는 시트 상에 제작된 터치스크린 패널 센서의 정밀한 절단, 터치스크린 패널 센서의 터치스크린 패널 장치 상의 정확한 위치 및 FPC 기재와의 정확한 접합이 요구된다. 그러나, 현재 사용되고 있는 다양한 제조 방법, 예를 들어, 상술한 스크린 인쇄에서는, 이러한 정밀도 요건을 만족시키기 어렵다.
본 발명은 이러한 점을 고려해서 이루어진 것이며, 본 발명의 목적은 웹 상 또는 시트 상에 제작된 작은 비활성 영역을 포함하는 신뢰성이 높은 터치스크린 패널 센서용 센서 필름을 제공하는 것이다. 센서 필름은 터치스크린 패널 센서를 구성하는 미리 절단된 개별 조각을 생성하기 위한 가공 정밀도의 향상, 고정밀 배선과 FPC 기재 사이의 접속 정밀도의 향상, 및 터치스크린 패널 장치에 대한 위치 정렬 정밀도의 향상을 가능하게 하도록 형성된다. 본 발명의 또 다른 목적은 표면적이 감소된 상기 비활성 영역에 제품 정보를 기록한 터치스크린 패널 센서 필름 및 센서 필름의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 양태에 따른 터치스크린 패널 센서 필름은 투명한 기재 필름 및 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전체 패턴을 포함한다. 센서 필름의 비활성 영역에 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가 제공된다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는, 기재 필름 위에 투명 도전층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 2층 필름, 또는 기재 필름 위에 투명 도전층, 중간층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 3층 필름을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는, 기재 필름 위에 투명 도전층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 2층 필름 또는 기재 필름 위에 투명 도전층, 중간층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 3층 필름을 포함할 수 있고, 기재 필름의 양면에 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는, 기재 필름 위에 투명 도전층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 2층 필름, 또는 기재 필름 위에 투명 도전층, 중간층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 3층 필름을 포함할 수 있다. 또한, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는, 투명 도전체의 일부분 위에 기재 필름으로부터 이격하여 제공된 중간층, 및 중간층 위에 제공된 고 도전층을 포함할 수 있다. 이 경우, 고 도전층은, 투명 도전체 및 중간층을 형성하는 재료보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료로부터 형성될 것이고, 중간층은 투명 도전체와의 접착력이 고 도전층보다 큰 재료로부터 형성될 것이다. 고 도전층은, 은 합금으로부터 형성될 수 있고, 중간층은 MoNb 합금으로부터 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에 있어서, 개개의 제품을 단위로서 구성하는 단위 패턴이 스텝-앤-리피트 정판(step-and-repeat imposition)에 의해 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는, 단위 패턴마다 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는, 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트마다 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에서, 얼라인먼트 마크를 사용하는 목적은 시트 절단, 개별 조각 절단, 개별 조각 펀칭, FPC 부착, 또는 표시 패널과의 위치 정렬일 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에서, 얼라인먼트 마크는, 목적마다 형성될 수 있다. 별법으로, 적어도 1개의 얼라인먼트 마크는, 목적 중 2 이상을 충족시키도록 형성될 수 있다. 또한, 별법으로 얼라인먼트 마크는, 목적 중 오직 하나만을 충족시키도록 형성된 얼라인먼트 마크, 및 목적 중 2 이상을 충족시키도록 형성된 얼라인먼트 마크를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에서, 제품 정보는 제품명 정보, 로트 번호 정보, 제조일 정보 및 제품 등급 정보 중 하나 이상의 정보를 포함할 수 있다. 제품 정보는, 바코드 형식으로 형성될 수 있다.
본 발명의 제2 양태는
투명한 기재 필름,
기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공되고, 일부분은 선형으로 형성된 투명 도전체 패턴, 및
비활성 영역에 형성된 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 포함하는 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법이다.
본 발명의 제2 양태에 따른 제조 방법은,
기재 필름, 상기 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 및 투명 도전층 위에 제공된 피복 도전층을 포함하는 적층체의 한 표면에 감광성을 갖는 감광층을 형성하는 공정 - 감광층은 피복 도전층 위에 형성됨 -,
감광층을 노광하는 공정,
감광층을 현상함으로써 상기 감광층을, 각각 후에 형성되는 센서부, 단자부, 및 취출 배선 뿐만 아니라, 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보에 대응하는 패턴으로 전사하는 공정,
패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 피복 도전층을 에칭함으로써 피복 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층 및 패터닝된 피복 도전층을 마스크로 사용하여 투명 도전층을 에칭함으로써 투명 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 제거하는 공정,
패터닝된 피복 도전층 위에 다른 감광층을 형성하는 공정,
다른 감광층을 노광하는 공정,
다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정,
패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 피복 도전층을 에칭함으로써 패터닝된 피복 도전층의 일부를 제거하여 센서부를 형성하는 공정, 및
패터닝된 다른 감광층을 제거함으로써, 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 포함하는 터치스크린 패널 센서 필름을 얻는 공정을 포함한다.
본 발명의 제3 양태는
투명한 기재 필름,
기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공되고, 일부분은 선형으로 형성된 투명 도전체 패턴, 및
비활성 영역에 형성된 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 포함하는 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법이다.
본 발명의 제3 양태에 따른 제조 방법은,
기재 필름, 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 투명 도전층 위에 제공된 중간층, 중간층 위에 제공된 피복 도전층, 및 중간층 위에 제공된 피복 도전층을 포함하는 적층체의 한 표면에 감광성을 갖는 감광층을 형성하는 공정 - 감광층은 적층체의 표면을 마주보는 피복 도전층 위에 형성됨 -,
감광층을 노광하는 공정,
감광층을 현상함으로써 감광층을, 각각 후에 형성되는 센서부, 단자부, 및 취출 배선뿐만 아니라, 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보에 대응하는 패턴으로 전사하는 공정,
패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 피복 도전층과 중간층을 에칭함으로써 피복 도전층과 중간층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층, 패터닝된 피복 도전층 및 중간층을 마스크로 사용하여 투명 도전층을 에칭함으로써 투명 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 제거하는 공정,
패터닝된 피복 도전층 위에 다른 감광층을 형성하는 공정,
다른 감광층을 노광하는 공정,
다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정,
패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 피복 도전층과 중간층을 에칭함으로써 패터닝된 피복 도전층과 중간층의 일부를 제거하여 센서부를 형성하는 공정, 및
패터닝된 다른 감광층을 제거하여, 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 포함하는 터치스크린 패널 센서 필름을 얻는 공정을 포함한다.
본 발명의 제4양태는 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법이다. 본 발명의 제4 양태에 따른 제조 방법은, 투명한 기재 필름, 기재 필름의 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 및 투명 도전층 위에 제공된 피복 도전층을 포함하는 적층체의 표면에 감광성을 갖는 감광층을 형성하는 공정 - 감광층은 피복 도전층 위에 형성됨 -; 감광층을 노광하는 공정; 감광층을 현상하여 패터닝하는 공정; 패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 피복 도전층을 에칭함으로써 피복 도전층을 패터닝하는 공정; 패터닝된 감광층 및 패터닝된 피복 도전층을 마스크로 사용하여 투명 도전층을 에칭함으로써 투명 도전층을 패터닝하는 공정; 패터닝된 감광층을 제거하는 공정; 패터닝된 피복 도전층 위에 다른 감광층을 형성하는 공정; 다른 감광층을 노광하는 공정; 다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정; 패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 피복 도전층을 에칭함으로써 패터닝된 피복 도전층의 일부분을 제거하는 공정; 및 패터닝된 다른 감광층을 제거하는 공정을 포함한다. 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는, 상기 공정 중에서 터치스크린 패널 센서 패턴과 동시에 생성된다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법에서, 피복 도전층은 투명 도전층을 형성하는 재료보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료로부터 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법은, 어닐링(annealing) 처리를 함으로써 무정형 형상의 투명 도전층의 결정화를 가속하는 공정을 더 포함할 수 있다. 투명 도전층의 결정화를 가속하는 공정은, 투명 도전층을 패터닝하는 공정보다 후에 수행될 수 있으며, 동시에 패터닝된 피복 도전층의 일부분을 제거하는 공정보다 이전에 실시된다. 본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법에서, 피복 도전층은 은을 주성분으로서 함유할 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서의 제조 방법에서, 피복 도전층은, 투명 도전층 위에 제공된 중간층, 및 중간층 위에 제공된 고 도전층을 포함할 수 있다. 이 경우, 고 도전층은 투명 도전체 및 중간층을 형성하는 재료보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료로부터 형성되고, 중간층은 투명 도전체에 대한 접착력이 고 도전층보다 큰 재료로부터 형성된다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법에서, 고 도전층은 은 합금으로부터 형성될 수 있고, 중간층은 MoNb 합금으로부터 형성될 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따르면, 적층체는 터치스크린 패널 센서 필름을 제작하기 위해서 사용된다. 본 발명에 따른 적층체는 투명한 기재 필름, 기재 필름의 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 및 투명 도전층 위에 제공된 피복 도전층을 포함한다.
본 발명에 따른 적층체에 있어서, 피복 도전층은 투명 도전층을 형성하는 재료보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료로부터 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 적층체에 있어서, 피복 도전층은 투명 도전층 위에 제공된 중간층, 및 중간층 위에 제공된 고 도전층을 포함할 수 있다. 이 경우, 고 도전층은 투명 도전체 및 중간층을 형성하는 재료보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료로부터 형성되고, 중간층은 투명 도전층에 대한 접착력이 고 도전층보다 큰 재료로부터 형성된다.
본 발명에 따른 적층체에 있어서, 피복 도전층은 은 합금으로부터 형성될 수 있고, 중간층은 MoNb 합금으로부터 형성될 수 있다.
본 발명의 제6 양태에서, 투명한 기재 필름, 및 기재 필름의 양면 위에 제공된 투명 도전체 패턴를 갖는 터치스크린 패널 센서 필름은 한 쌍의 지표부 중 한쪽이 한 쌍의 지표부의 다른쪽에 대하여 소정의 근접 관계를 갖도록 구성된, 센서 필름의 양면의 비활성 영역에 형성된 한 쌍의 지표부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에 있어서, 지표부 쌍은 기재 필름 위에 투명 도전층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 2층 필름, 또는 기재 필름 위에 투명 도전층, 중간층, 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 3층 필름을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에 있어서, 한 쌍의 지표부의 한쪽은 그 내측에 투광부를 획정하도록 형성된 내측 윤곽을 포함하고, 한 쌍의 지표부의 다른쪽은 내측 윤곽에 의해 획정되는 투광부 내에 적어도 부분적으로 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서 필름에 있어서, 한 쌍의 지표부는 각각 한 방향을 따라서 소정의 피치(pitch)로 배열된 복수의 단위 지표부를 포함하고, 한 쌍의 지표부의 한쪽의 단위 지표부의 피치는 한 쌍의 지표부의 다른쪽의 단위 지표부의 피치와 상이할 수 있다.
본 발명의 제7 양태에 따른 터치스크린 패널 센서 필름은,
투명한 기재 필름,
기재 필름의 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전체, 및
투명 도전체의 일부분 위에 기재 필름으로부터 이격하여 제공된 취출 도전체를 포함하고,
투명 도전체의 일부분은 선형으로 형성되고, 취출 도전체는 투명 도전체의 표면을 따라 선형으로 연장되고,
선형으로 연장되는 취출 도전체의 폭은 취출 도전체가 겹쳐져 있는 투명 도전체의 폭보다 좁다.
본 발명의 제8 양태에 따른 터치스크린 패널 센서 필름은
터치 위치를 검출할 수 있도록 형성된 영역에 대응하는 활성 영역, 및 활성 영역에 인접하는 비활성 영역을 갖는 투명한 기재 필름,
기재 필름의 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전체이며, 기재 필름의 활성 영역에 배치된 센서부, 및 센서부에 결합되고 기재 필름의 비활성 영역에 배치된 단자부를 포함하는 투명 도전체, 및
투명 도전체의 단자부의 일부분 위에 기재 필름으로부터 이격하여 제공된 취출 도전체를 포함하고,
투명 도전체의 일부분은 선형으로 형성되고, 취출 도전체는 투명 도전체의 표면을 따라 선형으로 연장되고,
취출 도전체는, 그 단부가 활성 영역에 배치된 투명 도전체의 센서부의 단부에 인접한 단부를 갖지 않도록, 비활성 영역에 배치된 투명 도전체의 단자부의 일부분 위에 배치되고,
투명 도전체의 단자부는, 투명 도전체의 센서부와 동일한 재료로부터 일체적으로 형성된다.
본 발명의 제9 양태에서, 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법은,
투명한 기재 필름, 기재 필름의 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 및 투명 도전층 위에 제공된 피복 도전층을 포함하는 적층체의 한 표면에 감광성을 갖는 감광층을 형성하는 공정 - 감광층은 피복 도전층 위에 형성됨 - ,
감광층을 노광하는 공정,
감광층을 현상하여 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 피복 도전층을 에칭함으로써 피복 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층 및 패터닝된 피복 도전층을 마스크로 사용하여 투명 도전층을 에칭함으로써 투명 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 제거하는 공정,
패터닝된 피복 도전층 위에 다른 감광층을 형성하는 공정,
다른 감광층을 노광하는 공정,
다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정,
패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 피복 도전층을 에칭함으로써 패터닝된 피복 도전층의 일부분을 제거하는 공정, 및
패터닝된 다른 감광층을 제거하는 공정을 포함한다.
본 발명의 제10 양태에서, 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법은,
투명한 기재 필름, 기재 필름의 한쪽 면 위에 제공된 제1 투명 도전층, 기재 필름의 다른쪽 면 위에 제공된 제2 투명 도전층, 및 제1 투명 도전층 및 제2 투명 도전층 중 적어도 한쪽의 투명 도전층 위에 제공되고 차광성 및 도전성을 갖는 차광 도전층을 포함하는 적층체의 한쪽 면 위에 감광성을 갖는 제1 감광층을 형성하고, 적층체의 다른쪽 면 상에 감광성을 갖는 제2 감광층을 형성하는 공정,
제1 감광층 상에 제1 마스크를 배치하고 제2 감광층 상에 제2 마스크를 배치한 상태에서, 제1 감광층 및 제2 감광층을 서로 다른 패턴으로 동시에 노광하는 공정,
제1 감광층 및 제2 감광층을 현상하여 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 차광 도전층을 에칭함으로써 차광 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층 및 패터닝된 차광 도전층을 마스크로 사용하여 제1 투명 도전층 및 제2 투명 도전층을 에칭함으로써 제1 투명 도전층 및 제2 투명 도전층을 서로 다른 패턴으로 패터닝하는 공정,
패터닝된 제1 감광층 및 제2 감광층을 제거하는 공정,
패터닝된 차광 도전층 상에 다른 감광층을 형성하는 공정,
다른 감광층을 노광하는 공정,
다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정,
패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 차광 도전층을 에칭함으로써 패터닝된 차광 도전층의 일부분을 제거하는 공정, 및
패터닝된 다른 감광층을 제거하는 공정을 포함한다.
본 발명의 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가 형성된 것을 특징으로 하는 터치스크린 패널 센서 필름은 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보의 위치 정밀도를 향상시키고, 시트 절단, 개별 조각 절단, 개별 조각 펀칭, 및 FPC 부착과 같은 후속 공정에서의 가공 정밀도를 향상시킴으로써, 제품 정보, 특히 바코드 정보의 기계 판독 정밀도를 향상시킨다.
또한, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는, 기재 필름 위에 투명 도전층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 2층 필름, 또는 기재 필름 위에 투명 도전층, 중간층, 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 3층 필름으로 이루어진다. 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는 피복 도전층을 형성하는 공정과 동일한 공정에서 생성된다. 따라서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보의 위치는 이동하지 않고, 이로써 후속 공정에서의 가공 정밀도를 향상시킨다. 또한 기재 필름의 양면에 형성되어 있는 경우에서도, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는 피복 도전층을 형성하는 공정과 동일한 공정에서 생성되어서, 투명 도전층 또는 투명 도전체에 대해 위치 이동 없이 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보를 형성할 수 있다.
또한, 얼라인먼트 마크들은 각각 하나의 얼라인먼트 마크가 복수의 사용 목적을 겸하도록 형성되기 때문에, 얼라인먼트 마크를 배치하기 위한 표면적은 보다 더 좁은 프레임 또는 베젤 영역을 위해 최소화된다.
또한, 제품 정보는 제품명 정보, 로트 번호 정보, 제조일 정보, 및 제품 등급 정보 중 1개 이상을 포함하여, 개별 조각 절단, 및 터치스크린 패널 장치에 탑재 후 제품 정보를 확인할 수 있다. 또한, 바코드와 같은 기계 판독가능한 정보가 형성되어 있어서, 터치스크린 패널 장치에 탑재와 같은 후속 가공 공정에서의 제품 관리가 가능하게 된다.
본 발명의 추가 양태는 투명한 기재 필름, 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공되고, 일부분은 기재 필름의 표면 위에 선형으로 형성된 투명 도전체 패턴, 또는/및 비활성 영역에 형성된 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 포함하는 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법이다.
상기 방법은
투명한 기재 필름, 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 및 투명 도전층 위에 제공된 피복 도전층을 포함하는 적층체의 한 표면에 감광성을 갖는 감광층을 형성하는 공정 - 감광층은 피복 도전층 위에 형성됨 -,
감광층을 노광하는 공정,
감광층을 현상하여, 센서부, 단자부, 취출 배선, 및 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 피복 도전층을 에칭함으로써 피복 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층 및 패터닝된 피복 도전층을 마스크로 사용하여 투명 도전층을 에칭함으로써 투명 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 제거하는 공정,
패터닝된 피복 도전층 위에 다른 감광층을 형성하는 공정,
다른 감광층을 노광하는 공정,
다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정,
패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 피복 도전층을 에칭함으로써 패터닝된 피복 도전층의 일부를 제거하여 센서부를 형성하는 공정, 및
패터닝된 다른 감광층을 제거하는 공정을 포함한다.
상기 방법으로 인해, 새로운 공정을 필요로 하지 않고, 터치스크린 패널 센서의 공정과 동일한 공정으로 높은 위치 정밀도를 갖는 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 형성한 터치스크린 패널 센서 필름을 제조할 수 있다.
본 발명의 추가 양태는 투명한 기재 필름, 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공되고, 일부분은 선형으로 형성된 투명 도전체 패턴, 및 비활성 영역에 형성된 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 포함하는 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법이다.
상기 방법은
기재 필름, 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 투명 도전층 위에 제공된 중간층, 및 중간층 위에 제공된 피복 도전층을 포함하는 적층체의 한 표면에 감광성을 갖는 감광층을 형성하는 공정 - 감광층은 피복 도전층 위에 형성됨 -,
감광층을 노광하는 공정,
감광층을 현상하여 센서부, 단자부, 취출 배선, 및 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 피복 도전층과 중간층을 에칭함으로써 피복 도전층과 중간층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층, 패터닝된 피복 도전층 및 중간층을 마스크로 사용하여 투명 도전층을 에칭함으로써 투명 도전층을 패터닝하는 공정,
패터닝된 감광층을 제거하는 공정,
패터닝된 피복 도전층 위에 다른 감광층을 형성하는 공정,
다른 감광층을 노광하는 공정,
다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정,
패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 피복 도전층과 중간층을 에칭함으로써 패터닝된 피복 도전층과 중간층의 일부를 제거하여 센서부를 형성하는 공정, 및
패터닝된 다른 감광층을 제거하는 공정을 포함한다.
상기 방법으로 인해, 새로운 공정을 필요로 하지 않고, 터치스크린 패널 센서의 공정과 동일한 공정으로 높은 위치 정밀도를 갖는 얼라인먼트 마크 또는/및 제품 정보를 형성한 터치스크린 패널 센서 필름을 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 제1 실시양태를 설명하기 위한 도면이고, 터치스크린 패널 장치를 표시 장치와 함께 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 터치스크린 패널 장치의 터치스크린 패널 센서를 표시 장치와 함께 도시하는 단면도이고, 도 2의 단면도는 도 1의 II-II 선을 따라 연장된 단면에 거의 대응한다.
도 3a는 터치스크린 패널 장치의 터치스크린 패널 센서를 도시하는 상면도이다.
도 3b은 도 3a의 III-III 선을 따라 취한 단면도이다.
도 4의 (a) 및 도 4의 (b)는 터치스크린 패널 센서에 포함되는 기재 필름의 보다 구체적인 예를 도시하는 단면도이다.
도 5a는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5b는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5c는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5d는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5e는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5f는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5g는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5h는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5i는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5j는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5k는 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5l은 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 3a 및 도 3b에 도시한 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7은 도 5f에 나타낸 공정에서의 에칭의 진행을 설명하기 위한 도면이다.
도 8a는 도 5i의 (a)에 대응하는 도면이며, 터치스크린 패널 센서의 제조 방법의 하나의 변형예를 설명한다.
도 8b는 도 5j의 (a)에 대응하는 도면이며, 터치스크린 패널 센서의 제조 방법의 하나의 변형예를 설명한다.
도 9의 (a) 및 도 9의 (b)는 도 5c의 (a) 및 도 5c의 (b)에 각각 대응하고, 터치스크린 패널 센서의 제조 방법의 또 다른 변형예를 설명한다.
도 10은 도 3a에 대응하는 도면이고, 투명 도전체의 변형예를 설명한다.
도 11은 도 3b에 대응하는 도면이며, 종래의 터치스크린 패널 센서를 도시하는 단면도이다.
도 12의 (a)는 또한 제1 실시양태에 있어서의 도 3b에 대응하는 도면이고, 본 발명의 제2 실시양태에 있어서의 제1 취출 도전체를 도시하는 단면도이며, 도 12의 (b)는 본 발명의 제2 실시양태에 있어서의 제2 취출 도전체를 도시하는 단면도이다.
도 13은 본 발명의 제2 실시양태에 있어서의 적층체를 도시하는 단면도이다.
도 14는 본 발명의 터치스크린 패널 센서용 센서 필름의 전체도이다.
도 15는 본 발명의 센서 필름의 시트 절단 후에 얻어진 터치스크린 패널 센서 필름의 도면이다.
도 16은 본 발명의 터치스크린 패널 센서용 센서 필름 상에 제작된 터치스크린 패널 센서의 단위 패턴의 도면이다.
도 17은 취출 도전체의 패턴을 이용한 위치 정렬의 예를 나타내고, 터치스크린 패널 센서의 상면도이다.
도 18a는 제3 실시양태에 있어서의 터치스크린 패널 센서의 단위 패턴을 도시하는 상면도이다.
도 18b는 도 18a에 나타낸 터치스크린 패널 센서의 단면도이다.
도 19의 (a), 도 19의 (b), 및 도 19의 (c)는 도 18a 및 도 18b에 나타낸 한 쌍의 지표부를 이용하여 터치스크린 패널 센서의 패턴의 위치 정밀도를 평가하는 방법을 도시하는 도면이다.
도 20은 한 쌍의 지표부의 층 구성의 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 21은 도 20에 나타낸 한 쌍의 지표부를 이용하여 터치스크린 패널 센서의 패턴의 정밀도를 평가하는 방법을 도시하는 도면이다.
도 22의 (a) 및 도 22의 (b)는 도 20에 나타낸 한 쌍의 지표부를 이용하여 터치스크린 패널 센서의 패턴의 위치 정밀도를 평가하는 다른 방법을 도시하는 도면이다.
도 23의 (a) 내지 도 23의 (d)는 각각 한 쌍의 지표부의 특정한 기하학적 형상의 변형예를 도시하는 도면이다.
도 24는 한 쌍의 지표부의 패턴의 변형예를 도시하는 도면이다.
도 25는 도 24에 나타낸 한 쌍의 지표부를 이용하여 터치스크린 패널 센서의 패턴의 정밀도를 평가하는 방법을 도시하는 도면이다.
도 26은 도 24에 나타낸 한 쌍의 지표부의 변형예를 도시하는 도면이다.
도 27은 복수의 단위 패턴이 스텝-앤-리피트 정판에 의해 생성된 터치스크린 패널 센서에 한 쌍의 지표부가 형성되는 예를 도시하는 상면도이다.
제1 실시양태
이하, 수반하는 도면을 참조하여 본 발명의 제1 실시양태에 대해서 설명할 것이다.
본 명세서에 첨부된 도면에서, 본 발명의 예시의 편의성 및 용이한 이해를 위해 축척 및 종횡의 치수비는 실물의 것들에 대해 변경 및 과장된다.
본원에서 나타나는 "시트", "필름", 및 "판"이라는 용어는 호칭의 차이에만 기초한 것이고, 서로 구별되는 것이 아니다. 따라서, 예를 들어 "시트"라는 용어는 필름, 판 등이라고도 불릴 수 있는 것 같은 부재 및 일부분을 포함하는 개념을 의미한다.
도 1 내지 도 6은 본 발명에 따른 제1 실시양태를 도시한다. 이 도면 중 도 1은 터치스크린 패널 장치를 표시 장치와 함께 개략적으로 도시하는 도면이고, 도 2는 도 1의 터치스크린 패널 장치의 터치스크린 패널 센서를 표시 장치와 함께 도시하는 단면도이고, 도 3a 및 도 3b는 각각 터치스크린 패널 장치의 터치스크린 패널 센서를 도시하는 상면도 및 단면도이고, 도 4의 (a) 및 도 4의 (b)는 터치스크린 패널 센서에 포함된 기재 필름의 보다 구체적인 예를 나타내는 도면이다. 또한, 도 5a 내지 도 5l은 도 3a 및 도 3b에 나타낸 터치스크린 패널 센서를 제조하기 위한 방법을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 6은 도 3a 및 도 3b에 나타낸 터치스크린 패널 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 1 내지 도 3b에 나타낸 터치스크린 패널 장치(20)는 투영형 정전 용량 결합 방식으로서 구성되어, 터치스크린 패널 장치에 대한 외부 도체(예를 들어, 인간의 손가락)의 접촉 위치를 검출하도록 구성되어 있다. 정전 용량 결합 방식의 터치스크린 패널 장치(20)의 검출 감도가 우수할 경우에는, 외부 도체가 터치스크린 패널 장치에 단순히 접근한 것으로 외부 도체가 장치의 어느 영역에 접근하고 있는지를 장치가 검출할 수 있게 한다. 이러한 현상에 따라, 본원에서 사용된 "접촉 위치"란 단어는 실제로 접촉한 위치를 의미하는 것이 아니라 검출가능한 접근 위치를 포함하는 개념을 의미한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 터치스크린 패널 장치(20)는 표시 장치(예를 들어, 액정 표시 장치)(15)와 조합하여 사용되고, 이로써 입력/출력 장치(10)를 구성한다. 도시된 표시 장치(15)는 플랫 패널 디스플레이로서 구성된다. 표시 장치(15)는 표시면(16a)를 갖는 표시 패널(16), 및 표시 패널(16)에 접속된 표시 제어부(17)를 포함한다. 표시 패널(16)은 영상을 표시할 수 있는 표시 영역(A1), 및 표시 영역(A1)을 둘러싸고 표시 영역(A1)의 외측에 배치된 비표시 영역(프레임 영역 또는 베젤 영역이라고도 부름)(A2)을 포함한다. 표시 제어부(17)는 표시되어야 할 영상에 관한 영상 정보를 처리하고, 영상 정보에 따라 표시 패널(16)을 구동한다. 표시 패널(16)은 표시 제어부(17)로부터의 제어 신호를 수신하고, 소정의 영상을 표시면(16a)에 표시한다. 즉, 표시 장치(15)는 문자, 도면/그래픽 및 다른 정보를 영상으로서 출력하는 출력 장치로서 역할을 한다.
터치스크린 패널 장치(20)는 표시 장치(15)의 표시면(16a) 상에 배치된 터치스크린 패널 센서(30), 및 터치스크린 패널 센서(30)에 접속된 검출 제어부(25)를 포함한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 터치스크린 패널 센서(30)는 표시 장치(15)의 표시면(16a) 상에 접착층(19)을 통해 접착된다. 상술한 바와 같이, 터치스크린 패널 장치(20)는 투영형 용량 결합 방식으로서 구성되고, 정보를 입력하는 입력 장치로서 역할을 한다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 터치스크린 패널 장치(20)는 터치스크린 패널 센서(30)의 관찰자측, 즉 표시 장치(15)와 반대측에 투광성을 갖는 보호 커버(12)를 포함한다. 커버(12)는 유전체로서 기능한다. 보호 커버(12)는 터치스크린 패널 센서(30)의 표면에 접착층(14)을 통해 접착된다. 보호 커버(12)는 터치스크린 패널 장치(20)에 대한 입력면(터치면, 접촉면)으로서 기능한다. 이는 보호 커버(12)에 도체, 예를 들어 인간의 손가락(5)을 접촉시킴으로써 터치스크린 패널 장치(20)에 대하여 외부로부터 정보를 입력할 수 있게 한다는 것을 의미한다. 보호 커버(12)는 통상 관찰자 측면에 대한 모든 요소 중 가장 근접한 것인 입력/출력 장치(10)의 표면을 형성한다. 입력/출력 장치(10)에서, 커버(12)는 터치스크린 패널 장치(20) 및 표시 장치(15)를 외부로부터 보호하는 커버로서 기능하기도 한다.
상술한 접착층(14, 19)은 각각 접착 성질을 갖는 다양한 재료로부터 형성된 층일 수 있다. 또한, 본 명세서에서 "부착" 및 "접착(층)"이라는 단어는 "점착/부착" 및 "점착/감압(층)"을 포함하는 개념을 표기하는데 사용된다.
터치스크린 패널 장치(20)의 검출 제어부(25)는 터치스크린 패널 센서(30)에 접속되고, 보호 커버(12)를 통해 입력된 정보를 처리한다. 보다 구체적으로는, 검출 제어부(25)는 보호 커버(12)에 도체(전형적으로는, 인간의 손가락)(5)가 접촉하고 있는 경우, 도체(5)가 커버와 접촉하는 보호 커버(12) 상의 접촉 위치를 인식할 수 있도록 구성된 검출 회로를 포함한다. 또한, 검출 제어부(25)는 표시 장치(15)의 표시 제어부(17)에 접속되어, 처리된 입력 정보를 표시 제어부(17)에 송신한다. 이 경우, 표시 제어부(17)는 입력 정보에 기초한 영상 정보를 생성하고, 이 영상을 표시 패널(16)에 표시할 수 있다.
본 발명에서 "용량 결합 방식" 및 "투영(형의) 용량 결합 방식"이라는 용어는 터치스크린 패널의 기술 분야에서 사용되는 바와 실질적으로 동일한 의미를 의미하는데 사용된다. "용량 결합" 방식은 터치스크린 패널의 기술 분야에서 "정전 용량 방식", "정전 용량 결합 방식" 등이라고도 불린다. 본 발명에서, "용량 결합" 방식은 "정전 용량 방식", "정전 용량 결합 방식" 등과 동의어로서 취급된다. 전형적인 정전 용량 결합 방식의 터치스크린 패널 장치는 도전체층을 포함하고, 외부의 도체(전형적으로는 인간의 손가락)가 터치스크린 패널에 접촉하게 될 경우, 외부의 도체와 터치스크린 패널 장치의 도전체층 사이에서 정전 용량을 형성한다. 그리고, 이 정전 용량의 형성을 인한 전기적인 상태의 변화는 터치스크린 패널 상에 외부 도체가 접촉하고 있는 위치의 위치 좌표를 인식하기 위한 기초로서 사용된다. 또한, "투영형" 용량 결합 방식은, 터치스크린 패널의 기술 분야에서 "투영 형태"의 용량 결합 방식 등이라고도 불린다. 본 발명에서, "투영식" 용량 결합 방식은 "투영 형태"의 용량 결합 방식이라는 용어 등에 대해 동의어로서 취급된다. "투영형" 용량 결합 방식은 전형적으로는 격자 형상으로 배열된 센서 전극뿐만 아니라 필름 형상 전극을 갖는 "표면형" 용량 결합 방식과 대비될 수 있다.
도 2 및 도 3a에 잘 나타낸 바와 같이, 터치스크린 패널 센서(30)는 기재 필름(32), 관찰자에 가까운 기재 필름(32)의 한쪽 면(32a) 위에 소정의 패턴으로 제공된 제1 투명 도전체(40), 및 표시 장치(15)에 가까운 기재 필름(32)의 다른쪽 면(32b) 위에 소정의 패턴으로 제공된 제2 투명 도전체(45)를 포함한다. 또한, 도 3a에 도시된 바와 같이, 터치스크린 패널 센서(30)는 제1 투명 도전체(40)의 한 영역 위에 제공된 제1 취출 도전체(43), 및 제2 투명 도전체(45)의 한 영역 위에 제공된 제2 취출 도전체(48)를 더 포함한다.
기재 필름(32)은, 터치스크린 패널 센서(30)에서 유전체로서 기능하고, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름으로 구성될 수 있다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 기재 필름(32)은 터치 위치가 검출될 수 있는 영역에 대응하는 활성 영역(Aa1), 및 활성 영역(Aa1)에 인접하는 비활성 영역(Aa2)을 포함한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 터치스크린 패널 센서(30)의 활성 영역(Aa1)은 표시 장치(15)의 표시 영역(A1)에 대면하는 영역을 차지한다. 비활성 영역(Aa2)은 직사각형의 활성 영역(Aa1)을 사방에서 또는 모든 측면으로부터 둘러싸도록 형성된다. 바꾸어 말하면, 비활성 영역(Aa2)은 프레임 형태 또는 베젤 형태이다. 비활성 영역(Aa2)은 표시 장치(15)의 비표시 영역(A2)에 대면하는 영역에 형성된다.
기재 필름(32)의 활성 영역(Aa1) 상에는 외부 도체(5)와 작업하여 둘 사이에 용량 결합을 형성할 수 있는 센서 전극(37a)이 제공된다. 기재 필름(32)의 비활성 영역(Aa2) 상에는, 센서 전극(37a)에 접속된 취출 배선(37b)이 제공된다. 취출 배선(37b)은 그의 일 단부에서 센서 전극(37a)에 전기적으로 접속되고, 그의 타 단부에서 외부 도체의 표시면(12)에 대한 접촉 위치를 검출하도록 구성된 검출 제어부(25)의 검출 회로에 전기적으로 접속되어 있다. 본 실시양태에서, 도 3a에 도시된 바와 같이, 기재 필름(32)의 활성 영역(Aa1) 위에 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)의 일부분만이 위치된다. 이 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)의 일부분은 센서 전극(37a)을 형성한다. 기재 필름(32), 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)는 투광성을 갖고, 관찰자는 이들을 통해 표시 장치(15)에 표시된 영상을 관찰할 수 있다.
본 실시양태에서, 단일체로서 작용하는 필름은 기재 필름(32)을 형성한다. 여기서 "단일체"는 필름이 2부분 이상으로 분리불가능한 것을 의미한다. 따라서, 단일체로서의 필름은 접착층을 통해 필름을 함께 접합시켜 형성되는 복수매의 필름의 접합 구조를 포함하지 않는다. 한편, 기재 필름은 필름 본체, 및 필름 본체의 한쪽 면 상에 또는 양쪽 면 상에 예를 들어 스퍼터링에 의해 분리불가능(단, 제거는 가능)하도록 퇴적된 기능성 필름을 포함한다. 기재 필름은 본원에서 언급된 단일체의 필름에 해당한다. 도 4의 (a) 및 도 4의 (b)에는 기능성 필름 및 필름 본체를 포함하는 기재 필름의 예가 도시되어 있다.
도 4의 (a)의 예에서, 기재 필름(32)은 수지(예를 들어, PET)로부터 형성된 필름 본체(33), 및 필름 본체(33)의 한쪽 또는 양쪽 면 상에 형성된 굴절률 정합 필름(34)을 포함한다. 굴절률 정합 필름(34)은 교대로 배치된 복수의 고굴절률 필름(34a) 및 저굴절률 필름(34b)을 포함한다. 굴절률 정합 필름(34)은 기재 필름(32)의 필름 본체(33)와 투명 도전체(40, 45)의 굴절률이 크게 상이한 경우에도, 기재 필름(32) 상의 투명 도전체(40, 45)를 갖는 영역과 이 도체들을 갖지 않는 영역 사이에서 반사율이 상당히 변하는 것을 방지한다.
도 4의 (b)의 예에서, 기재 필름(32)은 수지(예를 들어, PET)로부터 형성되는 필름 본체(33), 및 필름 본체(33)의 한쪽 또는 양쪽 면 상에 형성된 저굴절률 필름(35)을 포함한다. 저굴절률 필름(35)은 기재 필름(32)의 필름 본체(33)와 투명 도전체(40, 45)의 굴절률이 크게 상이한 경우에도, 기재 필름(32) 상의 투명 도전체(40, 45)를 갖는 영역과 이 도체들을 갖지 않는 영역 사이에서 투과율의 스펙트럼 특성이 상당히 변하는 것을 방지한다. 따라서, 다양한 파장 영역에서 균일한 투과율을 달성할 수 있다.
이어서, 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)를 보다 상세하게 설명할 것이다.
제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)는 도전성 재료, 예를 들어 산화인듐주석(ITO)으로부터 형성되고, 표시면(12)에 대해 외부 도체(5)의 접촉 위치를 검출하도록 검출 제어부(25)의 검출 회로에 전기적으로 접속된다. 제1 투명 도전체(40)는 기재 필름(32)의 활성 영역(Aa1)에 배치된 다수의 제1 센서부(제1 센서 도전체, 센서 전극)(41), 및 제1 센서부(41) 중 특정한 것에 각각 연결되어 기재 필름(32)의 비활성 영역(Aa2)에 배치된 다수의 제1 단자부(제1 단자 도전체)(42)를 갖는다. 마찬가지로, 제2 투명 도전체(45)는 기재 필름(32)의 활성 영역(Aa1)에 배치된 다수의 제2 센서부(제2 센서 도전체, 센서 전극)(46), 및 제2 센서부(46) 중 특정한 것에 각각 연결되어 기재 필름(32)의 비활성 영역(Aa2)에 배치된 다수의 제2 단자부(제2 단자 도전체)(47)를 갖는다.
제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41) 각각은 관찰자에 가까운 기재 필름(32)의 한쪽 면(32a) 위에 소정의 패턴으로 배치된다. 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46) 각각은 표시 장치(15)에 가까운 기재 필름(32)의 다른쪽 면(32b) 위에 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)의 패턴과 상이한 소정의 패턴으로 배치된다. 보다 구체적으로는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)는, 기재 필름(32)의 필름면을 따라 한 방향으로 서로 이웃하여 배열된 선형 도전체로서 구성된다. 또한, 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)는 상기 배열 방향과 교차하는, 기재 필름(32)의 필름면을 따라 다른 방향으로 서로 이웃하여 배열된 선형 도전체로서 구성된다. 본 실시양태에 있어서, 제1 센서부(41)의 배열 방향인 한 방향, 및 제2 센서부(46)의 배열 방향인 다른 방향은 기재 필름(32)의 필름면 상에서 직교한다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 제1 센서부(41)를 형성하는 선형 도전체 각각은 이들 도전체의 배열 방향(즉, 한 방향)과 교차하는 방향에 선형으로 연장한다. 마찬가지로, 제2 센서부(46)를 형성하는 선형 도전체 각각은 이들 도전체의 배열 방향(즉, 다른 방향)과 교차하는 방향에 선형으로 연장한다. 특히 도시된 예에서, 제1 센서부(41)는 구성 도전체의 배열 방향(한 방향)에 대해 직교하는 방향(다른 방향)으로 선형으로 연장한다. 제2 센서부(46)는 구성 도전체의 배열 방향(다른 방향)에 대해 직교하는 방향(한 방향)으로 선형으로 연장한다.
본 실시양태에 있어서, 제1 센서부(41)는, 선형으로 연장하는 선형부(41a), 및 선형부(41a)로부터 팽출한 팽출부(41b)를 포함한다. 도시된 예에서, 선형부(41a)는 제1 센서부(41)의 배열 방향과 교차하는 방향으로 선형으로 연장한다. 팽출부(41b)는, 기재 필름(32)의 필름면을 따라 선형부(41a)로부터 팽출된다. 따라서, 제1 센서부(41)의 폭은 팽출부(41b)를 갖는 부분에서 크다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 본 실시양태에 있어서, 제1 센서부(41)는 팽출부(41b)에서 평면 보기로 대략 정사각형 형상의 외측 윤곽을 갖는다.
제2 투명 도전체(45)에 포함되는 제2 센서부(46)는 제1 투명 도전체(40)에 포함되는 제1 센서부(41)와 유사하게 구성되어 있다. 즉, 제2 투명 도전체(45)에 포함되는 제2 센서부(46)는 선형으로 연장하는 선형부(46a), 및 선형부(46a)로부터 팽출한 팽출부(46b)를 포함한다. 도시된 예에서, 선형부(46a)는 제2 센서부(46)의 배열 방향과 교차하는 방향으로 선형으로 연장한다. 팽출부(46b)는 기재 필름(32)의 필름면을 따라 선형부(46a)로부터 팽출된다. 따라서, 제2 센서부(46)의 폭은 팽출부(46b)를 갖는 부분에서 크다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 본 실시양태에 있어서, 제2 센서부(46)는 팽출부(46b)에서 평면 보기로 대략 정사각형 형상의 외측 윤곽을 갖는다.
또한, 도 3a에 도시된 바와 같이, 제1 투명 도전체(40)에 포함되는 제1 센서부(41)를 기재 필름(32)의 필름면의 법선 방향으로부터 관찰한 경우 (즉, 평면 보기), 제1 센서부(41)는 제2 투명 도전체(45)에 포함되는 다수의 제2 센서부(46)와 교차한다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 제1 투명 도전체(40)의 팽출부(41b)는, 제1 센서부(41) 상에서 인접하는 2개의 제2 센서부(46)에 관한 교차점 사이에 배치된다. 마찬가지로, 기재 필름(32)의 필름면의 법선 방향으로부터 관찰한 경우, 제2 투명 도전체(45)에 포함되는 제2 센서부(46)는 제1 투명 도전체(40)에 포함되는 다수의 제1 센서부(41)와 교차한다. 제2 투명 도전체(45)의 팽출부(46b)는 제2 센서부(46) 상에서, 인접하는 2개의 제1 센서부(41)에 관한 교차점 사이에 배치된다. 또한, 본 실시양태에 있어서, 제1 투명 도전체(40)에 포함되는 제1 센서부(41)의 팽출부(41b), 및 제2 투명 도전체(45)에 포함되는 제2 센서부(46)의 팽출부(46b)는 기재 필름(32)의 필름면의 법선 방향으로부터 관찰된 경우 서로 겹치지 않도록 배열된다. 달리 말하면, 기재 필름(32)의 필름면의 법선 방향으로부터 관찰된 경우, 제1 투명 도전체(40)에 포함되는 제1 센서부(41), 및 제2 투명 도전체(45)에 포함되는 제2 센서부(46)는 각 센서부(41, 46)의 선형부(41a, 46a)에서만 서로 교차한다.
상술한 바와 같이, 제1 투명 도전체(40)는, 이러한 제1 센서부(41)에 연결된 제1 단자부(42)를 갖고 있다. 제1 센서부(41)의 각각에 대하여, 접촉 위치의 검출 방법에 따라서 1개 또는 2개의 제1 단자부(42)가 제공된다. 제1 단자부(42)는 대응하는 제1 센서부(41)의 단부로부터 각각 선형으로 연장한다. 마찬가지로, 제2 투명 도전체(45)는 제2 센서부(46)에 연결된 제2 단자부(47)를 갖는다. 제2 센서부(46)의 각각에 대하여, 접촉 위치의 검출 방법에 따라서 1개 또는 2개의 제2 단자부(47)가 제공된다. 제2 단자부(47)는, 대응하는 제2 센서부(46)의 단부로부터 각각 선형으로 연장한다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 본 실시양태에 있어서, 제1 단자부(42)는 제1 센서부(41)와 동일한 재료로부터 일체적으로 형성되고, 제2 단자부(47)는 제2 센서부(46)와 동일한 재료로부터 일체적으로 형성된다.
이어서, 제1 취출 도전체(43) 및 제2 취출 도전체(48)를 하기에 상세하게 설명한다. 상술한 바와 같이, 제1 취출 도전체(43)는 제1 투명 도전체(40)의 한 부분 위에 배치되고, 제2 취출 도전체(48)는 제2 투명 도전체(45)의 한 부분 위에 배치된다. 보다 구체적으로는, 제1 취출 도전체(43)는 제1 투명 도전체(40)의 제1 단자부(42)의 한 부분 위에 배치되고, 제2 취출 도전체(48)는 제2 투명 도전체(45)의 제2 단자부(47)의 한 부분 위에 배치되어 있다. 달리 말하면, 제1 취출 도전체(43)는 기재 필름(32)의 한쪽 면(32a) 상의 비활성 영역(Aa2)에 배치되고, 제2 취출 도전체(48)는 기재 필름(32)의 다른쪽 면(32b) 상의 비활성 영역(Aa2)에 배치된다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 제1 투명 도전체(40)의 제1 단자부(42) 및 제2 투명 도전체(45)의 제2 단자부(47)는 선형으로 형성된다. 제1 취출 도전체(43)는 선형으로 형성된 제1 단자부(42) 중 제1 센서부(41)의 접속 개소의 인접부 이외의 부분과 동일한 패턴으로 선형으로 연장한다. 마찬가지로, 제2 취출 도전체(48)는 선형으로 형성된 제2 단자부(47) 중 제2 센서부(46)의 접속 개소의 인접부 이외의 부분과 동일한 패턴으로 선형으로 연장한다.
또한, 도 3b에 도시된 바와 같이, 제1 취출 도전체(43)는 기재 필름(32)으로부터 이격되고, 제1 투명 도전체(40) 위에 배치되어 있다. 즉, 제1 취출 도전체(43)는 기재 필름(32)에 접촉하지 않고 있다. 이 결과, 제1 투명 도전체(40)의 제1 취출 도전체(43)에 의해 덮어져 있는 부분은, 기재 필름(32)과 제1 취출 도전체(43) 사이에서 측면 방향으로 노출된다. 특히, 본 실시양태에서, 제1 취출 도전체(43)의 폭은 제1 취출 도전체(43)에 의해 덮어져 있는 제1 투명 도전체(40)의 제1 단자부(42)의 부분의 폭과 동일하거나 또는 약간 좁다.
도시하지 않았지만, 제2 취출 도전체(48)도 제1 취출 도전체(43)와 유사하게 구성되어 있다. 즉, 제2 취출 도전체(48)는 기재 필름(32)으로부터 이격되고, 제2 투명 도전체(45) 위에 배치되고, 기재 필름(32)에는 접촉하지 않고 있다. 이 결과, 제2 투명 도전체(45)의 제2 취출 도전체(48)에 의해 덮어져 있는 부분은, 기재 필름(32)과 제2 취출 도전체(48) 사이에서 측면 방향으로 노출된다. 특히, 본 실시양태에서는, 제2 취출 도전체(48)의 폭이 제2 취출 도전체(48)에 의해 덮어져 있는 제2 투명 도전체(45)의 제2 단자부(47)의 부분의 폭과 동일하거나 또는 약간 좁다.
제1 취출 도전체(43)는 센서 전극(37a)를 검출 제어부(25)에 접속시키기 위한 취출 배선(37b)을 제1 투명 도전체(40)의 제1 단자부(42)와 함께 구성한다. 센서 전극(37a)은 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)를 포함한다. 제2 취출 도전체(48)는 센서 전극(37a)를 검출 제어부(25)에 접속시키기 위한 취출 배선(37b)을, 제2 투명 도전체(45)의 제2 단자부(47)와 함께 구성한다. 센서 전극(37a)은 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)를 포함한다. 이러한 제1 취출 도전체(43) 및 제2 취출 도전체(48)는 비활성 영역(Aa2)에 배열되기 때문에, 투광성을 갖는 재료로부터 형성될 필요는 없고, 우수한 도전성을 갖는 재료로부터 형성될 수 있다. 본 실시양태에서, 제1 취출 도전체(43) 및 제2 취출 도전체(48)는 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)를 형성하는 재료보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료로부터 형성된다. 보다 구체적으로는, 차광성을 갖고 ITO 또는 다른 재료로부터 형성된 투명 도전체보다 더 높은 전기 전도율을 갖는 금속 재료, 예를 들어 알루미늄, 몰리브덴, 은, 크롬 또는 구리를 사용하여, 제1 취출 도전체(43) 및 제2 취출 도전체(48)를 형성할 수 있다.
상기 구성을 갖는 터치스크린 패널 센서(30)에서, 취출 도전체(43, 48) 및 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)에 의해 형성되는 취출 배선(37b)은 도시되지 않은 외부 접속 배선을 통해 검출 제어부(25)에 접속된다. 또한, 상기 구성을 갖는 터치스크린 패널 센서(30)에 따라, 터치스크린 패널 센서(30)가 예를 들어 휨 압력이 가해져 변형된 경우라도, 하기에 설명한 바와 같이, 취출 도전체(43, 48) 및 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)가 서로 연결된 상태로 유지된다. 따라서, 센서 전극(37a)과 검출 제어부(25) 사이에 안정된 전기적 연속성을 확보한다.
높은 전기 전도율을 갖는 금속 또는 다른 재료로 제조된 취출 도전체(43, 48)는 투명 도전체(40, 45)에 대하여 어느 정도의 접착력을 갖지만, 수지, 유리 등으로 형성된 기재 필름(32)에 대하여 접착 강도가 낮다. 따라서, 예를 들어 도 11에서와 같이, 높은 전기 전도율의 도전체가 수지, 유리 등으로 형성된 기재에 접촉하는 경우, 이 접촉 위치가 박리의 기점을 형성하고, 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이 기재가 변형되는 경우, 높은 전기 전도율의 도전체가 기재로부터 박리하기 쉬워진다. 특히, 높은 전기 전도율의 도전체로 투명 도전체가 전체적으로 피복된 경우, 높은 전기 전도율의 도전체 및 투명 도전체의 강성이 전체적으로 높아진다. 이는 두 도전체가 기재의 변형에 추종하기 때문에 변형되기 어려워진다. 부분적으로 이로 인해, 높은 전기 전도율의 도전체가 기재로부터 박리하기 쉬워진다.
한편, 본 실시양태에 따르면, 취출 도전체(43, 48)가 기재 필름(32)으로부터 이격되어 있기 때문에, 취출 도전체(43, 48)의 기재 필름(32)으로부터의 박리의 기점은 형성되지 않는다. 또한, 취출 도전체(43, 48)는 투명 도전체(40, 45) 위에 적재되어 있을 뿐이고, 투명 도전체(40, 45)를 측면 방향으로부터 피복하지 않는다. 이는 투명 도전체(40, 45)가 기재 필름(32)의 변형에 추종해서 변형되기 쉬워지게 하고, 또한 투명 도전체(40, 45)도 기재 필름(32)으로부터 박리되기 어려워지게 한다. 이러한 이유에 대해서, 본 실시양태의 터치스크린 패널 센서(30)에 따르면, 예를 들어 터치스크린 패널 센서(30)에 휨 압력이 가해져 변형된 경우에도, 취출 도전체(43, 48) 및 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)가 서로 연결된 상태로 유지된다. 따라서, 센서 전극(37a)과 검출 제어부(25) 사이에 안정된 전기적 연속성을 확보한다.
또한, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 구성을 갖는 터치스크린 패널 센서(30)에서, 취출 도전체(43, 48)는 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47) 위에 배치되어 있을 뿐이고, 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)의 측면 영역으로 연장하지 않는다. 따라서, 취출 도전체(43, 48) 및 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)로부터 형성되는 전체 취출 배선(37b)은 선폭이 감소될 수 있다. 이에 의해, 동일한 전기 전도율의 취출 배선(37b)을 보다 짧은 피치로 배열하는 것이 가능하게 되고, 취출 배선(37b)의 배열 공간, 즉 비활성 영역(Aa2)의 표면적이 감소될 수 있다.
이어서, 상기 구성의 터치스크린 패널 센서(30)를 도 6에 나타낸 흐름도에 따라 제조하는 방법을 도 5a 내지 도 5l을 참조하면서 하기에 설명한다. 도 5a 내지 도 5l의 각 도면에서, 단면도 (a)는 도 3a의 V-V 선을 따라 도시된 부분에 대응하는 제작 중의 터치스크린 패널 센서(적층체)를 나타낸다. 또한, 도 5a 내지 도 5l의 각 도면에서, 상면도 (b)는 한쪽의 측면(각 단면도 (a)의 지면에 있어서의 상측)으로부터 보여지는 바와 같은 제작중의 터치스크린 패널 센서(적층체)를 나타낸다.
우선, 도 6 및 도 5a에 도시된 바와 같이, 터치스크린 패널 센서(30)를 제조하기 위한 기재로서의 적층체("블랭크"라고도 불림)를 제공한다(공정 S1). 이 적층체(50)에 필름 퇴적, 패터닝 및/또는 다른 가공을 수행함으로써 터치스크린 패널 센서(30)가 얻어진다.
도 5a의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 실시양태에서 제공되는 적층체(50)는 투명한 기재 필름(32), 기재 필름(32)의 한쪽 면 (32a) 위에 적층된 제1 투명 도전층(52a), 기재 필름(32)의 다른쪽 면(32b) 위에 적층되고 투광성을 갖는 제2 투명 도전층(52b), 제1 투명 도전층(52a) 위에 적층된 제1 피복 도전층(54a), 및 제2 투명 도전층(52b) 위에 적층된 제2 피복 도전층(54b)을 포함한다. 즉, 본 실시양태의 얼라인먼트 마크 및 제품 정보는, 취출 도전체(43, 48)와 마찬가지로, 기재 필름(32) 각각의 면(32a ,32b) 위에 투명 도전층(52a, 52b) 및 피복 도전층(54a, 54b)을 적층함으로써 얻어진 2층 필름 상에 형성된다. 또한, 본 실시양태의 얼라인먼트 마크 및 제품 정보는 취출 도전체(43, 48)와 마찬가지로, 기재 필름(32)의 양면(32a, 32b) 상에 형성될 수 있다. 제품 정보는 제품명, 로트 번호, 제조일, 제품 등급 중 1개 이상을 포함하고, 개별 조각 절단 및 터치스크린 패널 장치에의 장착 후에 제품 정보를 확인하는 것을 가능하게 한다. 또한, 바코드와 같은 기계 판독가능한 정보가 형성되고, 특히 터치스크린 패널 장치에의 장착과 같은 후속 가공 공정 동안 제품 관리/제어를 가능하게 한다.
상술한 바와 같이, 기재 필름(32)은 PET 필름과 같은 수지 필름일 수 있다. 별법으로, 도 4의 (a) 및 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 기재 필름(32)은 PET와 같은 수지로부터 형성된 필름 본체(33), 및 필름 본체(33)의 한쪽 면 또는 양쪽 면 위에 형성된 기능성 필름(34, 35)을 포함할 수 있다.
제1 투명 도전층(52a) 및 제2 투명 도전층(52b)은, 본원에서 후술하는 바와 같이, 패터닝되어 투광성을 갖는 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)를 각각 형성한다. 따라서, 제1 투명 도전층(52a) 및 제2 투명 도전층(52b)은 투광성 및 도전성을 갖는 재료로부터 형성된다. 예로서, 제1 투명 도전층(52a) 및 제2 투명 도전층(52b)은 스퍼터링에 의해 기재 필름(32)의 표면(32a ,32b)에 퇴적된 ITO 필름으로서 형성될 수 있다.
제1 피복 도전층(54a) 및 제2 피복 도전층(54b)은, 본원에서 후술하는 바와 같이, 패터닝되어 높은 전기 전도율을 갖는 제1 취출 도전체(43, 48)를 각각 형성한다. 따라서, 제1 피복 도전층(54a) 및 제2 피복 도전층(54b)은 투명 도전층(52a, 52b)을 형성하는 재료보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료로부터 적절하게 형성된다.
또한, 제1 피복 도전층(54a) 및 제2 피복 도전층(54b)은 본원에서 후술하는 감광층(56a, 56b)의 노광에 사용되는 광에 대한 차광성을 갖는 층이다. 즉, 제1 피복 도전층 및 제2 피복 도전층은 노광광을 투과시키지 않는다. 그러나, 본 실시양태에서, 제1 피복 도전층 및 제2 피복 도전층은 감광층(56a, 56b)의 노광광뿐만 아니라 다른 파장 영역의 광에 대하여 차광성을 갖는 층으로서 형성된다. 보다 구체적으로는, 제1 피복 도전층 및 제2 피복 도전층은 자연광에 함유되는 가시광, 자외선, 적외선 및 다른 방사선에 대한 차광성을 갖는 층으로서 형성된다. 이러한 층을 피복 도전층(54a, 54b)으로서 사용하면, 보다 확실하게 노광광을 차광하는 것을 기대할 수 있다.
이러한 제1 피복 도전층(54a) 및 제2 피복 도전층(54b)을 형성하는데 사용될 수 있는 것으로 다양한 재료가 알려져 있다. 비용, 작업성/가공성 및 다른 인자를 고려하면, 알루미늄, 몰리브덴, 은, 크롬, 구리 또는 다른 금속을 사용할 수 있다. 금속으로 제조된 차광층(54)은 스퍼터링에 의해 제1 도전층(52a)의 한쪽 면, 즉 기재 필름(32)의 반대쪽 면 상에 형성될 수 있다.
시트 형상의 적층체(50), 또는 연신된 웹 형상의 적층체(50), 예를 들어 롤에 권취된 적층체(50)가 제공될 수 있다는 점에 주목한다. 그러나, 생산 효율을 고려하면, 적층체(50)는 다른 장소에서 제작된 후 제공되기 전에 롤에 권취되는 것이 바람직하다. 또한, 웹 형태로 공급된 롤 형상의 적층체(50)를 취출하는 것이 바람직하며, 이후 공급된 웹 형태의 적층체(50) 상에서 하기 기재된 공정을 실시하는 것이 바람직하다. 별법의 바람직한 제조 방법은 롤로부터 기재 필름(32)을 취출한 후 롤로부터 기재 필름(32)을 전달하거나, 또는 기재 필름(32) 및 제1 및 제2 투명 도전층(52a, 52b)을 포함하는 중간 적층체를 롤로부터 취출한 후 중간 적층체를 롤로부터 전달한 후 기재 필름(32) 또는 중간 적층체로부터 적층체(50)를 제작하여 하기 기재되는 공정으로 제작된 적층체(50)를 제공하는 것이다.
이어서, 도 6 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 적층체(50)의 한쪽 면(50a) 상에 제1 감광층으로서 제1 감광층(56a)을 형성하고, 적층체(50)의 다른쪽 면(50b) 상에 제2 감광층(56b)을 형성한다(공정 S2). 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)은, 특정 파장 영역의 광, 예를 들어 자외선에 대해 감광성을 갖는다. 보다 구체적으로는, 코터를 사용하여 적층체(50)의 표면을 감광성 재료로 코팅함으로써, 감광층(56a, 56b)을 각각 형성할 수 있다.
그 후, 도 6 및 도 5c에 도시된 바와 같이, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)을 동시에 노광한다(공정 S3).
보다 구체적으로는, 우선, 도 5c의 단면도 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 감광층(56a) 위에 제1 마스크(58a)를 배치하고, 제2 감광층(56b) 아래에 제2 마스크(58b)를 배치한다. 제1 마스크(58a)는 형성되는 제1 투명 도전체(40)의 패턴에 대응한 소정의 패턴을 갖고, 제2 마스크(58b)는 형성되는 제2 투명 도전체(45)의 패턴에 대응한 소정의 패턴을 갖는다. 또한, 제1 마스크(58a)의 패턴과 제2 마스크(58b)의 패턴은 서로 상이하다.
제1 마스크(58a) 및 제2 마스크(58b)의 위치 결정은 제1 마스크(58a) 및 제2 마스크(58b) 각각에 제공된 얼라인먼트 마크(59a)를 기준으로 하여 수행된다. 이 방법에서, 제1 마스크(58a) 및 제2 마스크(58b)는 서로에 대하여, 예를 들어 미크론/마이크로미터의 단위로 매우 정밀하고, 매우 용이하게(따라서, 신속하게) 위치 결정된다.
이어서, 도 5c의 단면도 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 감광층(58a) 및 제2 감광층(58b)은 감광층(56a, 56b)의 감광 특성에 부합하는 노광광(예를 들어, 자외선)으로 마스크(58a, 58b)를 통해 각각 조사된다. 그 결과, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)은 서로 다른 패턴으로 동시에 노광된다.
도시된 예에서, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)은 포토 포지티브(photo-positive)형이다. 따라서, 제1 감광층(56a)은 제1 투명 도전체(40)를 형성하기 위해서 에칭에 의해 제거되는 부분의 패턴에 대응하는 패턴으로 노광광이 조사되고, 제2 감광층(56b)은 제2 투명 도전체(45)를 형성하기 위해서 에칭에 의해 제거되는 부분의 패턴에 대응하는 패턴으로 노광광이 조사된다. 도 5c의 단면도 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 감광층(56a)에 방출된 노광광은 제1 감광층(56a)을 투과하여 적층체(블랭크)(50)에 도달하고, 제2 감광층(56b)에 방출된 노광광은 제2 감광층(56b)을 투과하여 적층체(50)에 도달한다.
여기서, 적층체(50)는 노광광을 차광하는 제1 피복 도전층(54a) 및 제2 피복 도전층(54b)을 갖는다. 이러한 이유로, 노광 광원으로부터 방출되어 제1 감광층(56a)을 투과한 광은 제1 피복 도전층(54a)에 의해 차광되어 제2 감광층(56b)에 도달하지 않는다. 마찬가지로, 노광 광원으로부터 방출되어 제2 감광층(56b)을 투과한 광은 제2 피복 도전층(54b)에 의해 차광되어 제1 감광층(56a)에 도달하지 않는다. 달리 말하면, 제1 감광층(56a)을 노광하기 위해서 소정의 패턴으로 방출된 노광광이 제1 피복 도전층(54a)에 의해 차광되기 때문에, 소정의 패턴의 노광광은 제2 감광층(56b)에 방출되지 않는다. 마찬가지로, 제2 감광층(56b)을 노광하기 위해서 소정의 패턴으로 방출되는 노광광이 제2 피복 도전층(54b)에 의해 차광되기 때문에, 소정의 패턴의 노광광은 제1 감광층(56a)에 방출되지 않는다. 이는 노광 공정 S3에서 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)을 각각 원하는 패턴으로 고정밀도로 동시에 노광하게 한다.
이어서, 도 6 및 도 5d에 도시된 바와 같이, 공정 S4에서 노광된 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)을 현상한다. 보다 구체적으로는, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)에 부합하는 현상액을 제공하고, 이 현상액을 사용하여 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)을 현상한다. 이에 의해, 도 5d에 도시된 바와 같이, 제1 마스크(58a) 및 제2 마스크(58b)에 의해 차광되지 않으면서 노광 광원으로부터의 광으로 조사된 부분이 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)으로부터 제거된다. 그 결과, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)은 각각 소정의 패턴을 갖는다.
그 후, 도 6 및 도 5e에 도시된 바와 같이, 패터닝된 제1 감광층(56a)을 마스크로 사용하여 제1 피복 도전층(54a)을 에칭하고, 패터닝된 제2 감광층(56b)을 마스크로 사용하여 제2 피복 도전층(54b)을 에칭한다(공정 S5). 이와 같이 에칭된 제1 피복 도전층(54a) 및 제2 피복 도전층(54b)은 각각 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)의 패턴과 실질적으로 동일한 패턴을 갖는다. 예를 들어, 피복 도전층(54a, 54b)이 알루미늄 또는 몰리브덴으로 제조되는 경우, 인산, 질산, 아세트산 및 물을 5:5:5:1의 비율로 혼합하여 형성되는 인산-질산-아세트산 수용액을 에칭액으로서 사용할 수 있다. 피복 도전층(54a, 54b)이 은으로 제조되는 경우, 인산, 질산, 아세트산 및 물을 4:1:4:4의 비율로 혼합하여 형성되는 인산-질산-아세트산 수용액을 에칭액으로서 사용할 수 있다. 피복 도전층(54a, 54b)이 크롬으로 제조되는 경우, 질산 세륨 암모늄, 과염소산 및 물을 17:4:70의 비율로 혼합하여 형성되는 에칭액을 사용할 수 있다.
그 후, 도 6 및 도 5f에 도시된 바와 같이, 패터닝된 제1 감광층(56a) 및 제1 피복 도전층(54a)을 마스크로 사용하여 제1 투명 도전층(52a)를 에칭하고, 패터닝된 제2 감광층(56b) 및 제2 피복 도전층(54b)을 마스크로 사용하여 제2 투명 도전층(52b)을 에칭한다(공정 S6). 예를 들어, 염화 제2철을 에칭액으로서 사용하는 경우, ITO로부터 형성되는 제1 투명 도전층(52a)은 제1 감광층(56a) 및 제1 피복 도전층(54a)의 패턴과 실질적으로 동일한 패턴을 갖고, ITO로부터 형성되는 제2 투명 도전층(52b)은 제2 감광층(56b) 및 제2 피복 도전층(54b)의 패턴과 실질적으로 동일한 패턴을 갖는다. 달리 말하면, 제1 투명 도전층(52a) 및 제2 투명 도전층(52b)은 동시에 각각의 표면 둘다에 에칭된다.
그 후, 도 6 및 도 5g에 도시된 바와 같이, 패터닝된 제1 피복 도전층(54a) 위에 남아 있는 제1 감광층(56a) 및 패터닝된 제2 피복 도전층(54b) 위에 남아 있는 제2 감광층(56b)을 공정 S7에서 제거한다. 2％ 수산화칼륨와 같은 알칼리액을 사용함으로써, 잔류하는 제1 감광층(56a)를 제거하여, 패터닝된 제1 피복 도전층(54a)을 노출시킨다. 또한 상기는 잔류하는 제2 감광층(56b)을 제거하여, 패터닝된 제2 피복 도전층(54b)을 노출시킨다.
이어서, 도 6 및 도 5h에 도시된 바와 같이, 패터닝된 제1 피복 도전층(54a) 위에 다른 감광층으로서 제3 감광층(56c)을 형성하고, 패터닝된 제2 피복 도전층(54b)에 다른 감광층으로서 제4 감광층(56d)을 형성한다(공정 S8). 도시된 예에서, 제작 중의 터치스크린 패널 센서(30)(적층체(50))를 한 방향으로부터 덮도록 제3 감광층(56c)이 형성되고, 제작 중의 터치스크린 패널 센서(30)(적층체(50))를 다른쪽 방향으로부터 덮도록 제4 감광층(56d)이 형성된다. 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)은, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)과 마찬가지로, 특정 파장 영역의 광, 예를 들어 자외선에 대해 감광성을 갖는다. 또한, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)과 마찬가지로, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)은 코터를 사용하여 적층체(50)의 표면을 감광성 재료로 코팅함으로써 각각 형성될 수 있다.
그 후, 도 6 및 도 5i에 도시된 바와 같이, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)을 동시에 노광한다(공정 S9).
공정 S9에서는, 우선 도 5i의 (a)에 도시된 바와 같이, 제3 감광층(56c) 위에 제3 마스크(58c)를 배치하고, 제4 감광층(56d) 아래에 제4 마스크(58d)를 배치한다. 제3 마스크(58c)는 패터닝된 제1 피복 도전층(54a) 중, 제1 취출 도전체(43)를 형성하기 위해서 제거되어야 할 부분에 대응하는 소정의 패턴을 갖고, 제3 마스크(58c)는 패터닝된 제2 피복 도전층(54b) 중, 제2 취출 도전체(48)를 형성하기 위해서 제거되어야 할 부분에 대응하는 소정의 패턴을 갖는다. 도시된 예에서, 제3 마스크(58c)는 활성 영역(Aa1)에 부합하도록 형성된 패턴, 보다 상세하게는 활성 영역(Aa1)보다도 조금 큰 투광 영역을 갖는다. 또한, 도시된 예에서, 제4 마스크(58d)는 제3 마스크(58c)와 동일한 패턴을 갖는다.
제1 피복 도전층(54a)을 패터닝하기 전에 위치 결정을 위한 얼라인먼트 마크를 형성할 수 있다. 이 경우, 제3 마스크(58c)의 위치 결정은 제1 피복 도전층(54a)으로부터 형성된 이 얼라인먼트 마크를 기준으로 하여 실시될 수 있다. 이 방법을 사용함으로써, 제1 피복 도전층(54a) 및 제1 투명 도전층(52a)의 패턴에 대해 제3 마스크(58c)를 매우 정밀하게 위치 결정할 수 있다. 실질적으로 동일한 방법을 제4 마스크(58d)를 위치 결정하기 위해 채용할 수 있다. 따라서, 제2 피복 도전층(54b) 및 제2 투명 도전층(52b)의 패턴에 대해 제4 마스크(58d)를 매우 정밀하게 위치 결정할 수 있다.
이어서, 도 5i의 단면도 (a)에 도시된 바와 같이, 제3 마스크(58c) 및 제4 마스크(58d)를 배치한 후, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)의 감광 특성에 부합하는 노광광(예를 들어, 자외선)으로 마스크(58c, 58d)를 통해 감광층(56c, 56d)이 조사된다. 이 결과, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)은 동일한 패턴으로 동시에 노광된다. 도시된 예에서, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)은 포토-포지티브형이다. 제3 마스크(58c) 및 제4 마스크(58d)는, 활성 영역(Aa1)에 대면하는 영역을 포함하는 투광 영역을 갖는다. 따라서, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)은 활성 영역(Aa1)에 대면하는 영역 및 그 주위의 영역에 노광광으로 조사된다. 제3 감광층(56c)으로 노광 광원으로부터 방출되는 광의 패턴은, 제4 감광층(56d)으로 방출되는 노광광의 패턴과 동일하다. 따라서, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)을 예정한 패턴으로 정밀하게 동시에 노광시킬 수 있다.
이어서, 도 6 및 도 5j에 도시된 바와 같이, 노광된 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)을 공정 S10에서 현상한다. 보다 구체적으로는, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)에 부합하는 현상액을 제조하고, 이어서 이 현상액을 사용하여 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)을 현상한다. 이에 의해, 도 5j에 도시된 바와 같이, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)으로부터, 제3 마스크(58c) 및 제4 마스크(58d)에 의해 차광되지 않으면서 노광광으로 조사된 부분이 제거된다. 즉, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d) 중, 활성 영역(Aa1)에 대면하는 영역 및 그 주위의 영역이 제거되고, 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)은 비활성 영역(Aa2)에 대면하는 영역만에 잔류하게 된다.
그 후, 도 6 및 도 5k에 도시된 바와 같이, 패터닝된 제3 감광층(56c)을 마스크로 사용하여 패터닝된 제1 피복 도전층(54a), 및 패터닝된 제4 감광층(56d)을 마스크로 사용하여 패터닝된 제2 피복 도전층(54b)에 대해서 에칭을 수행한다(공정 S11). 이 공정에서 사용된 에칭액은 피복 도전층(54a, 54b)에 대하여 부식성을 갖고, 투명 도전층(52a, 52b)에 대하여 부식성을 나타내지 않거나, 또는 투명 도전층(52a, 52b)에 대하여 약한 부식성을 나타낼 수 있다. 이러한 에칭액은 피복 도전층(54a, 54b)을 제거하는 것으로 인해 노출된 투명 도전층(52a, 52b)의 패턴을 보호한다. 간략하게, 공정 S11에서 사용되는 에칭액은 원하는 층(피복 도전층(54a, 54b))을 선택적으로 에칭할 수 있도록 선택된다. 보다 구체적인 예에서, 상술한 인산-질산-아세트산 수용액 또는 질산 세륨을 함유하는 수용액과 같은 에칭액은, 소정의 금속으로 형성되는 피복 도전층(54a, 54b)에 대하여 에칭성을 갖지만, ITO 등으로부터 형성되는 투명 도전층(52a, 52b)에 대하여 에칭성을 갖지 않기 때문에, 공정 S11에서 적절하게 사용된다.
공정 S11에서의 에칭에 의해, 패터닝된 제1 피복 도전층(54a) 중, 적어도 활성 영역(Aa1)에 대면하는 위치에 배치된 부분이 제거되고, 마찬가지로 공정 S11에서의 에칭에 의해, 패터닝된 제2 피복 도전층(54b) 중, 적어도 활성 영역(Aa1)에 대면하는 위치에 배치된 부분이 제거된다. 따라서, 도 5k의 (b)에 도시된 바와 같이, 기재 필름(32) 및 투명 도전층(52a, 52b)만이 활성 영역(Aa1)에 잔류하게 된다. 따라서, 활성 영역(Aa1)은 전체 영역에 걸쳐서 투광성을 갖게 된다.
이와 같이 하여, 제1 피복 도전층(54a) 중 제3 감광층(56c)에 의해 덮어져 있지 않은 부분이 제거되고, 따라서 제1 투명 도전층(52a)이 노출된다. 노출된 제1 투명 도전층(52a)은 활성 영역(Aa1)에 대면하는 영역 및 그 주위에 위치된다. 활성 영역(Aa1)에 대면하는 영역에 위치하는 제1 투명 도전층(52a)은 소정의 패턴을 갖고 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)를 형성한다. 비활성 영역(Aa2)에 노출된 제1 투명 도전층(52a)은 소정의 패턴을 갖고 제1 투명 도전체(40)의 제1 단자부(42)의 일부를 형성한다.
마찬가지로, 제2 피복 도전층(54b) 중 제4 감광층(56d)에 의해 덮어져 있지 않은 부분이 제거되고, 따라서 제2 투명 도전층(52b)이 노출된다. 노출된 제2 투명 도전층(52b)은, 활성 영역(Aa1)에 대면하는 영역 및 그 주위에 위치된다. 활성 영역(Aa1)에 대면하는 영역에 위치되는 제2 투명 도전층(52b)은, 소정의 패턴을 갖고 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)를 형성한다. 비활성 영역(Aa2)에 노출된 제2 투명 도전층(52b)은 소정의 패턴을 갖고 제2 투명 도전체(45)의 제2 단자부(47)의 일부를 형성한다.
이어서, 도 6 및 도 5l에 도시된 바와 같이, 패터닝된 제1 피복 도전층(54a) 위에 잔류하는 제3 감광층(56c), 및 패터닝된 제2 피복 도전층(54b) 위에 잔류하는 제4 감광층(56b)을 공정 S12에서 제거한다. 상술한 알칼리액을 사용함으로써, 잔류하는 제3 감광층(56c)이 제거되어, 패터닝된 제1 피복 도전층(54a)을 노출시킨다. 또한, 상기는 잔류하는 제4 감광층(56d)을 제거하여, 패터닝된 제2 피복 도전층(54b)을 노출시킨다.
노출된 제1 피복 도전층(54a)은 소정의 패턴을 갖고, 제1 취출 도전체(43)를 형성한다. 형성된 제1 취출 도전체(43)와 기재 필름(32) 사이에는, 제1 투명 도전층(52a)을 포함하는 제1 투명 도전체(40)의 제1 단자부(42)가 형성된다. 상술한 바와 같이, 도 3b에 도시된 바와 같이, 이렇게 하여 형성된 제1 취출 도전체(43)는 기재 필름(32)으로부터 이격하여 제1 단자부(42) 위에 위치된다. 이로 인해, 제1 단자부(42)는 제1 취출 도전체(43)와 기재 필름(32) 사이에서 측면 방향으로 노출된다.
마찬가지로, 노출된 제2 피복 도전층(54b)은 소정의 패턴을 갖고, 제2 취출 도전체(48)를 형성한다. 형성된 제2 취출 도전체(48)와 기재 필름(32) 사이에는, 제2 투명 도전층(52b)을 포함하는 제2 투명 도전체(45)의 제2 단자부(47)가 형성된다. 이렇게 하여 형성된 제2 취출 도전체(48)는 기재 필름(32)으로부터 이격하여 제2 단자부(47) 위에 위치된다. 이로 인해, 제2 단자부(47)는 제2 취출 도전체(48)와 기재 필름(32) 사이에서 측면 방향으로 노출된다. 즉, 본 실시양태의 얼라인먼트 마크 및 제품 정보는 취출 도전체(43, 48)와 마찬가지로, 기재 필름(32) 각각의 면(32a, 32b) 위에 각각 투명 도전층(52a, 52b) 및 피복 도전층(54a, 54b)을 적층함으로써 얻어지는 2층 필름 위에 형성된다. 또한, 본 실시양태의 얼라인먼트 마크 및 제품 정보는 취출 도전체(43, 48)와 마찬가지로, 기재 필름(32)의 양면(32a, 32b) 위에 형성될 수 있다. 제품 정보는 제품명, 로트 번호, 제조일, 및 제품 등급 중 1개 이상을 포함하고, 개별 조각 절단, 터치스크린 패널 장치에의 장착 후에 제품 정보를 확인하는 것을 가능하게 한다. 또한, 바코드와 같은 기계 판독가능한 정보가 형성되어, 특히 터치스크린 패널 장치에의 장착과 같은 후속 가공 공정 동안 제품 관리/제어를 가능하게 한다.
도 14, 도 15, 도 16에, 본 발명에 따른 얼라인먼트 마크 및 제품 정보를 갖는 터치스크린 패널 센서 필름의 실시양태를 나타낸다. 도 14, 도 15, 도 16에 도시된 바와 같이, 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 및 제품 정보(78), 바코드(79)를 포함하는 제품 정보는 터치스크린 패널 센서 필름의 접촉 위치(또는 접근 위치)를 검출할 수 있는 활성 영역(Aa1) 이외의 비활성 영역(Aa2)(도 1 및 도 3a 참조)에 형성된다. 도 14는 웹 상에 형성된 터치스크린 패널 센서(70)의 개략도이다. 센서 필름 상에 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트를 시트 절단하기 위한 얼라인먼트 마크(71)가 형성된다. 여기에서 단위 패턴은 도 16에 나타낸 독립적인 터치스크린 패널 센서 조각(75)을 형성하기 위한 각각의 패턴이다. 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트는 도 15에 나타낸 터치스크린 패널 센서가 형성된 웹으로부터 단위 패턴의 세트 중 어느 하나를 절단하기 위한 각각의 세트이다. 도 15에서는, 각 세트가 5줄, 5열의 형식으로 형성된, 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된, 단위 패턴의 소정의 수의 세트를 나타낸다. 도 15는 본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서용 센서 필름의 시트 절단 후 얻어진 터치스크린 패널 센서 필름 시트(72)의 개략도이다. 시트 상에 개별 조각을 절단하거나 또는 사전 절단된 개별 조각을 생성하기 위한 얼라인먼트 마크(73, 74)가 형성된다. 도 16은, 본 발명의 터치스크린 패널 센서용 센서 필름 상에 제작된 터치스크린 패널 센서의 단위 패턴(터치스크린 패널 센서 조각)(75)을 나타낸다. 단위 패턴에 터치스크린 패널 장치와의 위치 정렬용 얼라인먼트 마크(76), FPC 부착용 얼라인먼트 마크(77), 및 제품 정보(78) 및 바코드(79)를 포함하는 제품 정보가 형성된다. 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77)의 형상 및 위치는 도면에 나타낸 형상 및 위치에 제한되지 않으며, 이들 얼라인먼트 마크의 실제 형상 및 위치는 각각 위치 정렬을 가능하게 한다면, 임의의 형상 및 위치일 수 있다. 바코드를 포함하는 제품 정보는 2차원 바코드 또는 다른 기계 판독가능한 정보와 같은 임의의 형태의 정보일 수 있다. 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 및 제품 정보(78, 79)는 취출 도전체(43, 48)에 사용된 것과 동일한 공정으로 형성된다. 시트 절단용 얼라인먼트 마크(71), 사전 절단된 개별 조각(75)을 생성하기 위한 얼라인먼트 마크, 펀칭용 얼라인먼트 마크(73, 74), FPC 부착용 얼라인먼트 마크(77), 또는 센서 장치와의 위치 정렬용 얼라인먼트 마크(76)를 센서부 및 배선부에 대하여 이러한 유형의 얼라인먼트 마크의 위치에 영향을 받지 않으면서 제작할 수 있다. 제품 정보에 관해서는, 특히 정보의 기계 판독 시에 그의 위치 관계가 중요하고, 센서 조각에서의 제품 정보의 위치를 매우 정밀하게 설정하면서 제품 정보를 생성할 수 있다.
이상과 같은 방식으로 상술한 구성의 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)를 갖는 터치스크린 패널 센서(30)를 얻을 수 있다. 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77)는 시트 절단, 개별 조각 절단, 개별 조각 펀칭, FPC 부착, 및 표시 패널과의 위치 정렬을 포함하는, 소정의 개별 목적을 위해 형성된다. 여기에서 시트 절단 얼라인먼트 마크는 웹 상에 형성된 터치스크린 패널 센서 필름(70)(도 14 참조)로부터, 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트 중 하나인 단위 패턴 세트(72)(도 15)를 추출을 위해 절단하는 경우, 위치 정렬용 얼라인먼트 마크를 지칭한다. 사전 절단된 센서 조각(75)을 생성하기 위한 얼라인먼트 마크 및 개별 조각 펀칭용 얼라인먼트 마크는 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트 중 단위 패턴 세트(72)(도 15 참조)로부터, 터치스크린 패널 센서 조각(75)을 절단하거나 또는 펀칭하는 경우 위치 정렬을 하기 위해 사용되는 것을 지칭한다. FPC 부착용 얼라인먼트 마크는 FPC 기판의 단부와 가까운 취출 배선의 단부가 기판에 접속하는 경우 위치 정렬을 하기 위해 사용되는 것을 지칭한다. 표시 패널과의 위치 정렬용 얼라인먼트 마크는 터치스크린 패널 센서 조각(75)을 표시 장치의 표시면 상에 배치 또는 접착하는 경우 위치 정렬을 하기 위해 사용되는 것을 지칭한다. 각 유형의 얼라인먼트 마크는 1개의 사용 목적을 충족시키도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 각 유형의 얼라인먼트 마크는 시트 절단을 위한 특정 유형으로서, 개별 조각 절단을 위한 특정 유형으로서, 또는 FPC 부착을 위한 특정 유형으로서 하나의 목적을 충족시키도록 형성될 수 있다. 센서 필름의 비활성 영역의 표면적을 더 감소시키기 위해서, 얼라인먼트 마크 중 한 유형이 복수의 목적(즉, 2개 이상의 목적)을 충족시키도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 개별 조각 절단용 얼라인먼트 마크(74), 및 표시 패널과의 위치 정렬용 얼라인먼트 마크(76)가 공용으로 사용될 수 있다. 별법으로, FPC 부착용 얼라인먼트 마크(77) 중 하나, 및 표시 패널과의 위치 정렬용 얼라인먼트 마크(76) 중 하나를 하나의 목적을 위해 공유할 수 있다. 또한, 상술한 다수의 목적 중 하나를 위한 얼라인먼트 마크, 및 복수의 목적(2개 이상의 목적)을 위한 얼라인먼트 마크가 형성될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)는 새로운 공정을 제공하지 않으면서 피복 도전층을 형성하는 공정과 동일한 공정에서 생성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)는 감광층을 노광하기 위한 패턴을 정확하게 추종하고, 따라서 터치스크린 패널 센서부에 대한 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보의 위치가 균일하게 유지되어, 필요로 하는 위치 정밀도를 얻을 수 있다.
이러한 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 및 제품 정보(78, 79)의 위치 정밀도의 향상에 의해, 시트 절단, 개별 조각 절단, 개별 조각 펀칭, 및 FPC 부착과 같은 후속 공정에서의 가공 정밀도가 향상되고, 따라서 제품 정보(78, 79), 특히 바코드 정보(79)의 기계 판독의 정밀도가 향상된다.
본 발명의 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)는 피복 도전층을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 생성되기 때문에, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보의 위치 정밀도는 감광층을 노광하기 위한 마스크 패턴의 정밀도 수준과 실질적으로 동일한 수준이다. 본원에서 상술한 스크린 인쇄 공정을 사용하여 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77)를 생성하는 경우, 이는 얼라인먼트 마크의 충분한 위치 정밀도를 얻는 것을 어렵게 한다. 이러한 이유는 스크린 인쇄에 사용되는 인쇄판의 신축이 얼라인먼트 마크의 정밀도(수 마이크로미터 이상), 및 선폭의 정밀도(수 마이크로미터 내지 수십 마이크로미터)를 감소시키는 경향이 있고, 거의 30 마이크로미터까지의 최대 달성가능한 선 두께를 제한하기 때문이다. 또한, 얼라인먼트 마크를 사용하지 않는 필름 단부 위치 정렬에 의해 얻어질 수 있는 최대 정밀도는 수 마이크로미터이다.
기재 필름(32), 적층체(50), 또는 기재 필름(32) 및 제1 및 제2 투명 도전층(52a, 52b)을 포함하는 중간 적층체(등)를 위한 원재료로서 롤 상에 권취된 웹형 재료가 제공되는 경우, 롤로부터 웹형 원재료를 취출하고 전달할 수 있고, 전달된 원재료에 대해 상술한 각 공정을 수행할 수 있다. 이 경우, 다수의 터치스크린 패널 센서(30)가 기재 필름(32)을 통해 서로 접속된 상태에서 형성될 것이다. 이어서, 이렇게 하여 제작된 웹형 터치스크린 패널 센서(30)는 취급(이송, 출하 등)시 편의/사용을 제공하기 위해, 패널 센서의 2매마다 중첩되는 사이에 보호용 합지(slip sheet) 또는 간지(interleaf)를 사용하여 롤 상에서 각각 권취될 수 있다. 터치스크린 패널 센서(30)는, 필요에 따라, 롤로부터 전달되면서, 동시에 시트 형태로 절단될 수 있다.
웹형 터치스크린 패널 센서(30)를 롤에 권취하는 경우, 웹형 터치스크린 패널 센서(30)의 양측에 합지 또는 간지를 배치할 수 있다. 별법으로, 합지 또는 간지는 웹형 터치스크린 패널 센서(30)의 한쪽에만 배치할 수 있다.
상술한 제조 방법에서, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)은 둘다 동시에 노광된다. 이러한 양면 동시 노광 공정에서, 도 5c의 단면도 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 마스크(58a) 및 제2 마스크(58b) 각각에 얼라인먼트 마크(59a)를 제공함으로써, 제1 마스크(58a) 및 제2 마스크(58b)를 서로에 대하여, 예를 들어 마이크로미터 단위에서 매우 정밀하게, 또한 매우 용이하게 (따라서, 신속하게) 배치할 수 있다. 이는 터치스크린 패널 센서(30)에서 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45) 둘다가 기재 필름(32) 위에 매우 정밀하고 효율적으로 배치되게 한다.
한편, 독립적으로, 이 경우, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)을 순차적으로 노광하는 경우, 정밀하고 용이하게, 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)를 제작할 수 없다. 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45) 둘다를 정밀하게 제작하기 위해서, 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45) 중 하나를 얼라인먼트 마크와 함께 기재 필름(32) 위에 형성하고, 그 후 기재 필름(32) 위에 형성된 얼라인먼트 마크에 대하여, 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45) 중 다른 것을 형성하기 위해 사용되는 마스크를 배치한다. 이는 적어도 노광 공정 및 현상 공정을 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)에 대하여 독립적으로 실행할 필요가 있다는 것을 의미한다. 이로 인해, 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)를 효율적으로 또는 신속하게 또는 용이하게 형성할 수 없다.
얼라인먼트 마크를 사용하는 대신에, 예를 들어 기재 필름(32)의 단부를 기준으로 하여 제1 마스크(58a) 및 제2 마스크(58b)를 위치 결정하면서 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)를 노광할 수 있다. 이 방법에서, 제1 감광층(56a) 및 제2 감광층(56b)에 대한 노광 공정 및 현상 공정을 동시에 실행할 수 있다. 그러나, 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)의 위치 결정 정밀도는 기재 필름(32)의 외형 정밀도에 의존할 것이다. 일반적으로, 이 방법을 사용함으로써 얻을 수 있는, 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)의 위치 결정 정밀도는 최대한으로 잡아서 수십 마이크로미터 단위이다.
이러한 이유로, 상기 기재된 본 실시양태의 제조 방법은 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)를 서로에 대하여 용이하고 정밀하게 위치 결정할 수 있게 한다. 보다 구체적으로는, 본 실시양태에 따르면, 터치스크린 패널 센서(30)의 상면에서, 즉, 터치스크린 패널 센서(30)를 그의 법선 방향으로부터 관찰한 경우, 제1 센서부(41)의 대략 정사각형 형상인 팽출부(41b)와 제2 센서부(46)의 대략 정사각형 형상인 팽출부(46b) 사이에 서로 평행한 외측 윤곽의 간극(G)(패턴 갭이라고도 불림, 도 3a 참조)을 안정하게 100μm 미만로 제어한다. 한편, 종래의 2매의 필름을 서로 접합하는 방법에서는, 패턴 갭(G)은 200μｍ 이상만큼 크다. 그 결과, 본 실시양태에서, 터치스크린 패널 센서(30)의 접촉 위치(또는 접근 위치)를 검출할 수 있는 활성 영역(Aa1)의 전체 영역에 대한, 터치스크린 패널 센서(30)를 그의 법선 방향으로부터 관찰한 경우 제1 센서부(41) 및 제2 센서부(46) 중 적어도 한쪽이 배치되어 있는 영역의 상대 비율은 95％ 이상으로 증가된다.
또한, 취출 배선(37b)은 전기 전도율이 낮은 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)뿐만 아니라, 전기 전도율이 높은 취출 도전체(43, 48)를 포함한다. 이는 취출 배선(37b)의 선폭이 감소되게 하고, 따라서 취출 배선(37b)용 배치 공간, 즉, 비활성 영역(Aa2)의 표면적이 감소되게 한다.
특히, 상술한 방법에서, 도 3b에 도시된 바와 같이, 취출 도전체(43, 48)는 단지 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47) 위에 배열되어 있고, 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)의 측방까지 연장하지 않고, 이는 특별한 위치 결정 처리 없이 수행할 수 있다. 한편, 예를 들어 종래 빈번히 사용되어 온 스크린 인쇄에 의해, 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)위에 높은 도전성 재료의 취출 도전체(43, 48)를 형성한 경우, 도 11에 도시된 바와 같이, 투명 도전체(40, 45)는 단자부(42, 47)의 측면측으로부터 기재 필름(32)의 상부면까지 연장한다. 이러한 종래 기술의 취출 배선과 비교하면, 본 실시양태의 취출 배선(37b)이 동일한 양의 높은 도전성 재료를 사용하여 형성되는 경우, 취출 배선(37b)은 그의 전도율을 동일한 수준으로 유지하면서 선폭을 상당히 좁게 한다.
또한, 본 실시양태에서 취출 도전체(43, 48)뿐만 아니라 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)는 포토리소그래피에 의해 형성되고, 스크린 인쇄와 같은 종래의 방법을 사용하여 형성된 것과 비교시 매우 정밀하게 원하는 위치에 원하는 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 본 실시양태에 따르면, 도 11에 나타낸 종래의 취출 배선과는 달리, 높은 도전율의 취출 도전체(43, 48)가 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)에 걸쳐 측면으로 배열되지 않고, 기재 필름(32)의 상부면까지 연장하지 않아서, 일렉트로마이그레이션이 덜 발생한다. 이러한 특성은 취출 배선(37b)의 배열 피치를 대폭 감소하게 한다. 이에 의해, 취출 배선(37b)의 배열 공간, 즉 비활성 영역(Aa2)의 표면적을 감소시킬 수 있다.
상기 기재된 본 실시양태의 제조 방법은 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)가 취출 도전체(43, 48)에 의해 각 측방으로부터 피복되는 것을 방지할 수 있게 한다. 또한, 본 실시양태의 제조 방법은, 도 3b에 도시된 바와 같이, 취출 도전체(43, 48)의 폭이, 취출 도전체(43, 48)에 의해 덮어져 있는 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)의 폭과 비교하여 좁아지도록 할 수 있다. 즉, 기재 필름(32)의 필름면의 법선 방향으로부터 취출 도전체(43, 48)를 관찰한 경우, 취출 도전체(43, 48)는 투명 도전체(40, 45) 상에만 배열될 수 있다. 달리 말하면, 취출 도전체(43, 48)는, 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)가 배열되는 영역 내에만 배열될 수 있다. 이러한 구성에서, 센서 전극(37a)과 검출 제어부(25) 사이의 전기적 연속성은 보다 안정하게 확보된다. 또한, 일렉트로마이그레이션이 덜 발생하기 때문에, 취출 배선(37b)의 배열 피치를 더 짧게 해서, 비활성 영역(Aa2)의 면적을 보다 작게 할 수 있다.
이어서, 본 발명의 제조 방법을 사용하여 취출 배선(37b)을 형성한 경우, 취출 배선(37b)의 취출 도전체(43, 48)의 폭이, 취출 도전체(43, 48)에 의해 덮어져 있는 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)의 폭에 대해 좁아지도록 추정되는 이유 및 방법을 주로 도 7을 참조하여 기재할 것이다. 그러나, 본 발명은 이 메커니즘에 한정되는 것은 아니다.
종래의 2매의 필름을 접합해서 터치스크린 패널 센서를 제작하는 방법에서, 포토리소그래피에 의해 필름 위에 투명 도전체의 단자부를 형성하는 경우, 투명 도전체를 형성하는 투명 도전층 위에 감광층이 직접 배열된다. 한편, 본 실시양태에 따르면, 투명 도전체(40, 45)를 형성하는 투명 도전층(52a, 52b) 위에 피복 도전층(54a, 54b)이 배열된다. 일반적으로, 투명 도전층을 에칭하기 위해 사용되는 에칭액(예를 들어, 염화 제2철)에 대하여, 감광층(레지스트층)은 강한 부식성을 갖는다. 금속 등으로부터 형성된 피복 도전층(54a, 54b)은 ITO 등으로부터 형성된 투명 도전층(52a, 52b)을 위한 특정 에칭액에 의해 에칭될 수 있다.
따라서, 도 7 에 도시된 바와 같이, 투명 도전층(52a, 52b)을 에칭하는 공정 S6에서, 투명 도전층(52a, 52b)이 세로 방향(기재 필름(32)의 법선 방향)으로 에칭되는 경우, 피복 도전층(54a, 54b)은 감광층(56a, 56b)에 의해 덮어져 있지 않은 측면으로부터 가로 방향(기재 필름(32)의 시트면에 따른 방향)으로 에칭될 수 있다. 동시에, 감광층은 공정 S6에서 사용되는 에칭액에 대하여 강한 부식성을 갖기 때문에, 가로 방향으로 광범위하게 에칭되지 않는다. 이러한 이유로, 본 실시양태의 제조 방법을 사용하여 제작된 터치스크린 패널 센서(30)에서, 취출 도전체(43, 48)의 폭을, 취출 도전체(43, 48)에 의해 덮어져 있는 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)의 폭에 비해 좁게 할 수 있다.
또한, 제1 감광층(52a) 및 제2 감광층(52b)을 다른 패턴으로 동시 노광하는 경우, 제1 감광층(52a) 및 제2 감광층(52b)의 노광광 패턴이 서로 영향을 미치는 것을 피하기 위해서 사용된 차광층(피복 도전층)(54a, 54b)으로부터 취출 도전체(43, 48)가 제작된다. 차광층 (피복 도전층)(54a, 54b)의 공정과 동일한 공정에서 동시에 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보도 생성된다. 이러한 방법을 사용함으로써, 터치스크린 패널 센서(30)의 제작에 요구되는 재료 비용을 줄일 수 있다. 또한, 터치스크린 패널 센서(30)의 제작 효율을 효과적으로 향상시킬 수 있고, 특히 터치스크린 패널 센서(30)의 제작 비용을 더 줄인다. 결과적으로, 우수한 터치스크린 패널 센서(30)(터치스크린 패널 장치(20))를 높은 생산 효율 및 저렴한 제조 비용으로 제작할 수 있다.
상기 방식으로 얻어진 터치스크린 패널 센서(30)를 표시 장치(15)에 접착층(19)을 통해 접합하고, 보호 커버(12)를 터치스크린 패널 센서(30)에 접착층(14)을 통해 접합한다. 도 1 및 도 2에 도시된 입력/출력 장치(10)가 이와 같이 얻어진다. 이어서, 입력/출력 장치(10)의 사용시 존재하는 작용에 대해서 설명할 것이다.
우선, 입력/출력 장치(10)는 표시 장치(15)의 표시 패널(16) 위에 영상을 표시함으로써, 관찰자는 보호 커버(12) 및 터치스크린 패널 센서(30)를 통해 영상을 관찰하게 한다.
또한, 입력/출력 장치(10)에서, 터치스크린 패널 센서(30) 및 보호 커버(12)는 터치스크린 패널 장치(20)의 일부를 구성한다. 따라서, 보호 커버(12) 위에 외부 도체(5)(전형적으로는 인간의 손가락(5))의 접촉(접근), 및 보호 커버(12) 위에 외부 도체(5)의 접촉(접근) 위치를 검출할 수 있다.
보다 구체적으로는, 우선, 외부의 도체 (예를 들어, 인간의 손가락)(5)이 보호 커버(12)에 접촉하는 경우, 외부 도체(5), 및 보호 커버(12)에 대한 외부 도체(5)의 접촉 위치의 근방에 위치하는 전극부(40, 45)의 도전체(41, 46)가 전극으로서 기능하여 전계를 형성한다. 이때, 센서 전극(37a)를 구성하는 투명 도전체(40, 45)의 센서부(41, 46) 사이에 위치하는 보호 커버(12) 이외에 기재 필름(32) 등은 유전체로서 기능한다. 이는 외부 도체(5)의 보호 커버(12)에의 접촉이 센서부(41, 46)와 외부 도체(5)를 전극으로 사용하는 콘덴서를 형성하는 것을 의미한다.
터치스크린 패널 장치(20)의 검출 제어부(25)의 검출 회로는 센서부(41, 46)에 접속되고, 센서부(41, 46)와 외부 도체(5) 사이의 정전 용량을 검출하도록 구성된다. 검출 제어부(25)가, 센서부(41, 46)와 외부 도체(5) 사이의 정전 용량의 변화를 검출함으로써, 외부 도체(5)가 어느 쪽의 제1 센서부(41)에 대면하는지, 및 외부 도체(5)가 어느 쪽의 제2 센서부(46)에 대면하는지를 식별한다.
즉, 검출 제어부(25)의 검출 회로는, 활성 영역(Aa1)에서 상기 방향으로 선형으로 배열된 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41) 중 외부 도체(5)와 대면하는 제1 센서부(선형 도전체)를 식별함으로써, 상기 방향으로 연장되는 좌표축 상에 있어서의 외부 도체(5)의 위치를 식별한다. 마찬가지로, 검출 제어부(25)의 검출 회로는, 활성 영역(Aa1)에서 다른 방향으로 선형으로 배열된 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46) 중 외부 도체(5)와 대면하는 제2 센서부(선형 도전체)를 식별함으로써, 다른 방향으로 연장되는 좌표축 상에 있어서의 외부 도체(5)의 위치를 식별한다. 이와 같이 하여, 터치스크린 패널 장치(20)(보호 커버(12))의 접촉 위치에 대한 외부 도체(5)의 접촉 위치를 2개의 상이한 방향으로 검출하기 때문에, 터치스크린 패널 장치(20)의 표면과 접촉하는 외부 도체(5)의 위치 좌표를 터치스크린 패널 장치(20)의 표면 상에서 정밀하게 식별한다. 투영형 용량 결합 방식의 터치스크린 패널에 있어서 접촉 위치를 검출하는 여러 가지 방법(원리)가 다양한 문헌에 개시되고 있어, 본원에서는 이러한 방법(원리)에 대해 더 이상의 설명을 생략한다.
본 실시양태에 따른 제조 방법을 사용하여 제작된 터치스크린 패널 센서(30)에서, 각각의 센서 전극(37a) 및 취출 배선(37b)은 단일체로서 기재 필름(32)의 양측에 형성된다. 즉, 접착제 등을 통해 접합된 복수매의 필름을 포함하는 접합체 등을 기재 필름으로서 사용하지 않는다. 이 결과, 터치스크린 패널 센서(30) 전체적으로의 투광 계수를 향상시킨다. 조명 또는 다른 환경광(외광), 영상광 및 다른 광을 반사할 수 있는 계면의 수를 또한 감소시키고, 특히 환경광의 반사를 억제하고 표시 장치(15)에 표시되는 영상의 콘트라스트를 향상시킨다. 또한, 이러한 특성은 터치스크린 패널 센서(30)를 표시 장치(15)의 표시면(16) 상에 배치한 경우, 표시 장치(15)의 표시 영상을 상당히 악화시키는 것을 방지할 수 있다. 또한, 터치스크린 패널 센서(30) 및 입력/출력 장치(10)의 총 두께를 감소시킨다.
본 실시양태에 따른 위치 정밀도가 높은 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)는 시트 절단, 개별 조각 절단, 개별 조각 펀칭, 및 FPC 부착과 같은 후속 공정에서의 가공 정밀도를 향상시키고, 따라서 제품 정보(78, 79), 특히 바코드 정보(79)의 기계 판독시 정밀도를 향상시킨다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41) 및 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)는 센서 전극(37a)을 구성하고, 제1 부분 및 제2 부분(41, 46)은 터치스크린 패널 센서(30)(보호 커버(12))의 법선 방향을 따라서 상이한 위치에 배치된다. 보다 구체적으로는, 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)는, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)에 대해 보호 커버(12)로부터 기재 필름(32)의 두께에 대해 이격된 위치에 배치되어 있다. 그러나, 상술한 바와 같이, 본 실시양태에 있어서의 기재 필름(32)은 단일체의 필름으로서 구성된다. 또한, 기재 필름(32)은, 특허문헌 2(JP-1992-264613A)에 개시된 기재 필름과 상이하고, 원자외선 차광과 같은 특별한 기능을 갖도록 요구되지 않는다. 간단하게, 기재 필름(32)은 두께가 얇은 단일체의 필름으로부터 구성될 수 있다. 따라서, 외부 도체(5)가 보호 커버(12)에 접촉하게 된 경우, 외부 도체(5)와 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46) 사이에서 콘덴서는 안정하게 형성될 수 있다. 이에 의해, 보호 커버(12)에 대한 외부 도체(5)의 접촉 위치(터치 위치)를, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)뿐만 아니라, 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)를 통해서 매우 높은 감도로 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 본 실시양태에 따르면, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)는 각각 선형부(41a)와 팽출부(41b)를 갖고, 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)는 각각 선형부(46a)와 팽출부(46b)를 갖는다. 센서부(41, 46)에서, 각 팽출부(41b, 46b)의 폭은, 각 선형부(41a, 46a)의 폭과 비교하여 매우 크다. 상술한 바와 같이, 제1 투명 도전체(40)에 포함되는 제1 센서부(41)의 팽출부(41b), 및 제2 투명 도전체(45)에 포함되는 제2 센서부(46)의 팽출부(46b)는 기재 필름(32)의 필름면의 법선 방향으로부터 관찰한 경우에 겹치지 않도록 배치된다. 이로 인해, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)가 접촉 위치의 검출 정밀도에 영향을 줄 수 있는 정도가 넓은 표면적에서 외부 도체(5)와 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46) 사이에 개재하는 것을 방지한다. 이러한 배치는 특히 외부 도체(5)와 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46) 사이에 콘덴서가 유효하게 형성되지 않게 되는 것을 방지한다.
또한, 상술한 바와 같이, 표시 장치(15)의 표시 제어부(17)와 터치스크린 패널 장치(20)의 검출 제어부(25)는 서로 접속된다. 검출 제어부(25)는 외부 도체(5)가 보호 커버(12) 상의 소정의 위치에 접촉하는 경우 입력된 정보를 표시 제어부(17)에 송신한다. 표시 제어부(17)는, 검출 제어부(25)에 의해 판독된 입력 정보에 기초하여, 입력 정보에 대응한 적절한 영상을 표시 장치(15)의 표시 패널(16)에 표시할 수 있다. 달리 말하면, 출력 수단으로서의 표시 기능 및 입력 수단으로서의 터치 위치 검출 기능에 의해, 입력/출력 장치(10)와 그의 사용자(조작자) 사이에 대화 형식의 정보의 직접적인 주고받기를 허용한다. 예를 들어, 상기는 사용자가 표시 장치(10)에 대한 지시를 부여하고 표시 장치(10)가 지시를 실행하도록 한다.
상술한 바와 같이, 제1 투명 도전체(40) 및 제2 투명 도전체(45)는 감광층(56a, 56b)의 양면 동시 노광 프로세스 공정 S3을 거쳐 기재 필름(32) 상에 패터닝된 경우, 센서 전극(37a)를 구성하는 제1 센서부(41) 및 제2 센서부(46)가 서로에 대하여 정밀하게 위치 결정된다. 결과적으로, 제1 투명 도전체(40)의 각 제1 센서부(41) 및 제2 투명 도전체(45)의 각 제2 센서부(46)의 양쪽을, 표시 장치(15)에 대하여 정밀하게 위치 결정된다. 이 경우, 보호 커버(12)에 대한 외부 도체(5)의 접촉 위치를 표시 장치(15)를 기준으로 하여 정밀하게 검출한다. 이 결과, 표시 장치(15)에 표시되는 영상 정보에 적절한 입력을 고 분해능에서 매우 정밀하게 검출함으로써 입력/출력 장치(10)와 그의 사용자(조작자) 사이에 대화형 정보교환이 매우 원활하게 진행되게 한다.
상술한 바와 같은 본 실시양태에 따르면, 투명 도전층(52a, 52b) 상에 배치되고 패터닝된 피복 도전층(54a, 54b)은 취출 배선(37b)의 일부로서 사용된다. 보다 구체적으로는, 취출 도전체(43, 48)는 투명 도전층(52a, 52b)과 동일한 패턴을 갖도록 각각 패터닝된 후 일부분이 제거된 피복 도전층(54a, 54b)으로부터 형성된다. 취출 도전체(43, 48)는 패터닝된 투명 도전층(52a, 52b)으로부터 형성된 투명 도전체(40, 45)와 함께 작업함으로써 취출 배선(37b)을 형성한다.
이러한 방법을 사용하여 제작된 취출 배선(37b)은, 취출 도전체(43, 48)를 통해 높은 전기 전도율을 확보한다. 또한, 스크린 인쇄 등에 의해 제작된 종래의 취출 배선(도 11 참조)과는 달리, 취출 도전체(43, 48)는 투명 도전층(52a, 52b) 위에 배치되고, 그의 측면부까지 연장하지 않는다. 이에 의해, 취출 배선(37b)의 선폭을 상당히 감소시킨다. 또한, 상술한 실시양태에서, 스크린 인쇄와 같은 종래의 제작 방법과는 대조적으로 포토리소그래피 기술을 사용해서 취출 도전체(43, 48)가 형성되어, 원하는 패턴의 취출 배선(37b)을 안정하고 고 정밀도로 제작한다. 이에 의해, 일렉트로마이그레이션이 덜 발생하게 된다. 이러한 이유로, 본 실시양태에서, 취출 배선(37b)을 짧은 피치로 나란히 모두 형성할 수 있고, 이러한 특성은 취출 배선(37b)의 배치에 요구되는 표면적, 즉 비활성 영역(Aa2)의 표면적을 상당히 감소시킬 수 있게 한다.
또한, 취출 도전체(43, 48)는, 낮은 접착력만을 나타낼 수 있는 기재 필름(32)에는 접촉하고 있지 않고, 높은 접착력을 나타낼 수 있는 투명 도전체(40, 45)에만 접합한다. 따라서, 터치스크린 패널 센서(30)가 사용 중에 변형되는 경우에도, 취출 도전체(43, 48)가 터치스크린 패널 센서(30)로부터 박리될 수 있는 기점이 형성되기 어렵게 한다. 또한, 투명 도전체(40, 45)의 단자부(42, 47)는 취출 도전체(43, 48)로 인해 각 측면까지 덮이지 않고, 기재 필름(32)과 취출 도전체(43, 48) 사이에서 측면 방향으로 노출된다. 오히려, 취출 도전체(43, 48)에 의한 단자부(42, 47)의 변형시 구속은 약하고, 단자부(42, 47)는, 터치스크린 패널 센서(30)의 변형 시에, 기재 필름(32)의 변형에 추종해서 변형될 수 있다. 이러한 인자들은 취출 도전체(43, 48)가 투명 도전체(40, 45) 또는 기재 필름(32)으로부터 박리하는 것, 및 취출 도전체(43, 48)와 함께 단자부(42, 47)가 기재 필름(32)으로부터 박리하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다. 이는 터치스크린 패널 센서(30)의 검출 기능을 현저하게 향상시킨다.
또한, 취출 도전체(43, 48)의 형성에 사용되는 피복 도전층(54a, 54b)은 양면 동시 노광 공정 S3에서 차광층으로서 사용된다. 이러한 제작 방법을 사용함으로써, 상술한 바와 같이 우수한 성능을 갖는 터치스크린 패널 센서(30)를 매우 효율적으로 저렴하게 제작할 수 있게 된다. 취출 도전체(43, 48)와 동일한 공정에서 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보를 생성함으로써, 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)가 감광층을 노광하기 위한 패턴을 정확하게 추종하게 된다. 따라서, 터치스크린 패널 센서 영역에 대한 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보의 위치는 균일하게 유지되고, 필요로 하는 위치 정밀도를 얻을 수 있다. 웹(70)을 시트(72)로 절단하기 위한 얼라인먼트 마크(71), 개별 센서 조각(75)을 절단 또는 펀칭하기 위한 얼라인먼트 마크(73, 74), 센서 장치에 대한 위치 정렬용 얼라인먼트 마크(76), 및 FPC 기재에 부착시키기 위한 얼라인먼트 마크(77)가 센서부에 대한 각 위치가 영향 없이 유지되면서 생성된다. 제품 정보는, 특히 기계 판독 동안 그의 위치 관계가 가장 중요하고, 하나의 센서 조각에서의 이러한 정보의 위치는 제작 동안 매우 정밀하게 유지된다.
상기 실시양태에서 여러 가지 변경을 도입할 수 있다. 이하, 그 변형의 일례에 대해서 설명한다.
상술한 실시양태에 있어서, 패터닝된 피복 도전층(54a, 54b)의 일부를 제거하는 공정에서, 피복 도전층(54a, 54b) 중 활성 영역(Aa1)과, 활성 영역(Aa1) 근방의 둘러싸는 영역 둘다를 포함하는 영역이 제거되는 예를 기술하였다. 그러나, 이 예는 제거된 부분을 한정하지 않는다. 활성 영역(Aa1)의 투명성을 확보하기 위해서 차광성을 갖는 피복 도전층(54a, 54b)의 일부를 제거하는 관점으로 보면, 활성 영역(Aa1) 내의 영역만이 제거될 수 있다. 이러한 예에서, 터치스크린 패널 센서(30)의 활성 영역(Aa1)에 있어서의 투명성을 확보하면서 취출 도전체(43, 48)가 배치 영역을 확대함으로써, 취출 배선(37b)의 전기 전도율을 향상시킬 수 있다. 제3 및 제4 감광층(56c, 56d)의 노광 정밀도 및 현상 정밀도의 변동을 허용가능하게 하고, 터치스크린 패널 센서(30)의 신뢰성을 향상시키는 관점에서는, 상술한 실시양태가 상기 예보다 우수하다. 당연히, 피복 도전층(54a, 54b)이 제거되는 부분을 변경하는 경우에는, 제3 마스크(58c) 및 제4 마스크(58d)의 투과 영역의 패턴을 변경할 필요가 없다.
또한, 다른 감광층(56c, 56d)을 현상하고 패터닝하는 공정에서, 활성 영역(Aa1)을 사방에서 또는 측면에서 둘러싸는 프레임 또는 베젤 영역의 형태로 제3 및 제4 감광층(56c, 56d)을 패터닝하는 것을 예로서 기술하였지만, 이 예는 본 발명을 한정하지 않는다. 예를 들어, 투명 도전층(52a, 52b) (투명 도전체(40,45)) 위에 잔류되는 패턴에 대응한 패턴으로, 제3 및 제4 감광층(56c, 56d)을 노광(도 8a 참조) 및 현상(도 8b 참조)할 수 있다. 도 8a에 도시된 바와 같이, 이러한 변형예에서도, 차광성을 갖는 피복 도전층(54a, 54b)은 노광 광원의 다른 측으로부터 소정의 패턴으로 방출되는 광을 차광함으로써 제3 감광층(56c) 및 제4 감광층(56d)을 다른 패턴으로 매우 정밀하게 양면 동시 노광할 수 있게 된다. 그러나, 제3 및 제4 감광층(56c, 56d)의 노광 정밀도 및 현상 정밀도의 변동을 허용가능하게 하고, 터치스크린 패널 센서(30)의 신뢰성을 향상시키는 관점에서는, 상술한 실시양태가 상기 변형예보다 우수하다. 또한, 도 8a 및 도 8b에 나타낸 변형예에서, 다른 구성 요소는 상술한 실시양태의 것과 유사하게 구성될 수 있다. 도 8a 및 도 8b를 참조하여, 상술한 실시양태와 실질적으로 동일하게 구성될 수 있는 요소는 각각 동일한 부호를 배정하고, 중복하는 설명을 생략한다.
또한, 상술한 실시양태에 있어서, 터치스크린 패널 센서(30)의 제조 방법의 예를 설명했지만, 제조 방법은 이 예에 한정되지 않는다. 예를 들어, 투명 도전층(52a, 52b)을 어닐링하고, 그의 결정화(미세결정화)를 가속하는 공정을 도중에 제공할 수 있다.
통상, ITO 등으로부터 형성되는 투명 도전층은, 스퍼터링 등에 의한 필름 퇴적 동안 가속된 결정화를 위해 적절히 조절된 그의 퇴적 온도를 갖는다. 일반적으로, 터치스크린 패널 센서(30)를 제작하기 위한 적층체(블랭크)에 포함된 투명 도전층(52a, 52b)의 결정화는 이미 가속되어, 적절한 내화학성을 갖는다. 그러나, 동시에 투명 도전층의 결정화(미결정화라고도 불림)는 마찬가지로 무정형 상태에서 이러한 투명 도전층을 퇴적하고, 퇴적 후 140℃ 정도의 온도로 어닐링함으로써 가능하다.
투명 도전층(52a, 52b)을 어닐하는 공정은, 상술한 투명 도전층(52a, 52b)을 패터닝하는 공정 S6에 후속하고, 동시에 패터닝된 피복 도전층(54a, 54b)의 일부를 제거하는 공정 S11보다 이전인 것이 바람직하다. 예를 들어, 어닐링 공정은 제3 및 제4 감광층(58c, 58d)을 현상하는 공정 S10과 피복 도전층(54a, 54b)의 일부를 제거하는 공정 S11 사이에서 실시되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 피복 도전층(54a, 54b)의 내화학성이 약하고, 투명 도전층(52a, 52b)을 패터닝하는 공정 S6에서 패터닝된 피복 도전층(54a, 54b)이 에칭될 가능성이 있는 경우, 어닐링 공정을 추가하는 것은 유효하다.
보다 구체적으로는, 투명 도전층(52a, 52b)을 패터닝하는 공정 S6에서, 내화학성이 낮은 무정형 투명 도전층(52a, 52b)을 부식성이 약한 에칭액, 예를 들어 옥살산으로 에칭한다. 부식성이 약한 에칭액을 사용하는 경우, 내화학성이 약한 재료(예를 들어 은)로부터 형성되는 피복 도전층(54a, 54b)이, 투명 도전층(52a, 52b)과 감광층(56a, 56b) 사이에서 가로 방향(즉, 기재 필름(32)의 시트면에 따른 방향)으로 부식되는 것을 방지한다. 따라서, 투명 도전층(52a, 52b)을 매우 정밀하게 패터닝하는 것이 달성된다. 또한, 피복 도전층(54a, 54b)의 일부를 제거하는 공정 S11 전에, 피복 도전층(54a, 54b)을 어닐링하여 투명 도전층(52a, 52b)의 내화학성을 향상시킴으로써, 피복 도전층(54a, 54b)의 일부를 제거하는 동안 원하는 형상으로 패터닝된 투명 도전층(52a, 52b)의 패턴의 손상을 효과적으로 방지한다.
또한, 상술한 실시양태에 있어서, 터치스크린 패널 센서(30)를 제조하기 위해서 사용되는 원재료로서의 적층체(블랭크)(50)에 있어서, 제1 피복 도전층(54a)이 제1 투명 도전층(52a) 위에 형성되고, 제2 피복 도전층(54a)이 제2 투명 도전층(52b) 위에 형성되는 예를 도시하고 기술하였다. 그러나, 퇴적 형태는 이 예에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 투명 도전층(52a) 및 제2 투명 도전층(52b) 중 하나 위에만 하나의 피복 도전층이 형성될 수 있다. 도 9의 단면도 (a) 및 상면도 (b)가 도시하는 예에서는, 제1 피복 도전층(54a)이 생략되어 있다. 즉, 원재료로서의 적층체(블랭크)(50)는 기재 필름(32), 기재 필름(32) 위에 배치된 제1 및 제2 투명 도전체(52a, 52b), 및 제2 투명 도전체(52b) 위에 배치된 제2 피복 도전층(54b)을 포함한다. 도 9의 단면도 (a) 및 상면도 (b)는 각각 도 5c의 단면도 (a) 및 상면도 (b)에 대응하고, 제1 투명 도전체(52a) 위에 배치된 제1 감광층(56a), 및 제2 피복 도전층(54b) 위에 배치된 제2 감광층(56b)을 양면 동시 노광하는 공정 S3을 나타낸다. 도 9의 단면도 (a)에 도시된 바와 같이, 소정의 패턴으로 제1 감광층(56a)을 노광하기 위해 사용된 노광광은 제2 피복 도전층(54b)에 의해 차광되어, 제2 감광층(56b)에 방출되지 않는다. 또한, 소정의 패턴으로 제2 감광층(56b)을 노광하기 위해 사용된 노광광은 제2 피복 도전층(54b)에 의해 차광되어, 제1 감광층(56a)에 방출되지 않는다. 이에 의해, 실시양태에서와 마찬가지로, 피복 도전층(54a, 54b)을 다른 패턴으로 매우 정밀하게 양면 동시 노광을 수행한다. 또한, 실시양태에서 형성된 것과 실질적으로 동일한 투명 도전체(40, 45) 및 제2 취출 도전체를 얻을 수 있다. 제1 투명 도전층(52a) 위에 피복 도전층(54b)이 형성되지 않기 때문에, 제1 투명 도전체(40) 위에 제1 취출 도전체(43)가 형성되지 않는다.
또한, 상술한 실시양태에서, 적층체(블랭크)(50)에 있어서, 기재 필름(32)의 각 측 위에 투명 도전층(52a, 52b) 및 피복 도전층(54a, 54b)을 제공하는 예를 도시하고 기술하였다. 그러나, 적층 형태는 이 예에 한정되지 않는다. 기재 필름(32)의 하나의 면 상에만 투명 도전층 및 피복 도전층을 제공할 수 있다. 이 경우, 기재 필름(32)의 하나의 표면 상에, 실시양태의 취출 배선(37b)을 얻을 수 있다. 이 변형예에서, 감광층을 노광하는 공정 S3에서는, 적층체(50)의 하나의 측으로부터만 노광광이 방출될 수 있다. 또한, 이 변형예에서, 피복 도전층은 차광성을 갖지 않은 재료로부터 형성될 수 있다.
또한, 상술한 실시양태에 있어서, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41) 각각은 선형부(41a) 및 팽출부(41b)를 포함하고, 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46) 각각은 선형부(46a) 및 팽출부(46b)를 포함하는 예를 도시하고 기술하였다. 또한, 실시양태에서, 팽출부(41b, 46b)를 평면 보기로 대략 정사각형 형상으로 형성하는 예를 도시하고 기술하였다. 그러나, 이러한 예들은 제한적이지 않고, 일례로서 팽출부(41b, 46b)를 평면 보기로 마름모와 같은 정사각형 이외 사각형 형상을 갖거나, 또는 심지어 다각형 형상, 원 형상 등을 가질 수 있다. 또한, 센서부(41, 46)는 팽출부(41b, 46b)를 포함하는 대신에, 선형 윤곽을 포함할 수 있다.
또한, 상술한 실시양태에 있어서, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)와 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)가 동일한 기하학적 구조를 갖도록 구성되는 예를 도시하고 기술하였다. 그러나, 이 예는 제한적이지 않다. 예를 들어, 도 10 에 도시된 바와 같이, 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)의 선폭 w2가 보호 커버(12)(관찰자 측면)에 보다 가까운 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)의 선폭 w1보다 클 수 있다. 이러한 변형예에서, 외부 도체(5)는 보호 커버(12)에 접촉한 경우, 보호 커버(12)(관찰자 측면)로부터 비교적으로 떨어진 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)와 외부 도체(5) 사이에 콘덴서를 안정되게 형성할 수 있다. 또한, 보호 커버(12)에 접촉하는 외부 도체(5)와 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41) 사이에 형성되는 콘덴서의 정전 용량과 비교하여, 보호 커버(12)에 접촉하는 외부 도체(5)와 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46) 사이에 형성되는 콘덴서의 정전 용량이 감소되는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 외부 도체(5)의 보호 커버(12)에 대한 접촉 위치(터치 위치)를, 제1 투명 도전체(40)의 제1 센서부(41)뿐만 아니라 제2 투명 도전체(45)의 제2 센서부(46)에 의해서, 매우 민감하고 정확하게 검출하는 것이 가능하게 된다. 도 10의 변형에서, 다른 구성 요소가 실시양태의 것과 유사하게 구성될 수 있다. 도 10에 있어서, 실질적으로 동일한 기하학적 구조를 갖도록 구성될 수 있는 요소는 동일 참조 부호를 부여하고, 이들 요소의 중복하는 설명을 본원에서 생략한다.
실시양태에 대한 다수의 변형예를 설명하였지만, 명백하게 이러한 복수의 변형예를 적절하게 조합하여 적용할 수 있다.
제2 실시양태
하기 도 12의 (a), 도 12의 (b) 및 도 13을 참조하여, 본 발명의 제2 실시양태에 대해서 설명한다. 도 12의 (a)는 제1 실시양태에 제공된 도 3b에 대응하는 도면이고, 본 발명의 제2 실시양태에 제공된 제1 취출 도전체를 도시하는 단면도이고, 도 12의 (b)는 본 발명의 제2 실시양태에 제공된 제2 취출 도전체를 도시하는 단면도이다. 도 13은 본 발명의 제2 실시양태에 제공된 적층체를 도시하는 단면도이다.
도 12의 (a), 도 12의 (b) 및 도 13에 나타낸 제2 실시양태는, 각 취출 도전체가 투명 도전체의 일부분 위에 기재 필름으로부터 이격하여 제공된 중간층, 및 중간층 위에 제공된 고 도전층을 포함하고; 고 도전층이 투명 도전체 및 중간층을 형성하는 재료보다 전도율이 높은 재료로부터 형성되고, 중간층이 투명 도전체에 대해 접착력이 큰 재료로 형성되고; 중간층의 두께가 고 도전층의 두께보다 작은 점에서만 제1 실시양태와 상이하다. 다른 구조 인자는 도 1 내지 도 10에 도시된 제1 실시양태와 실질적으로 동일하다. 보다 구체적으로는, 기재 필름(32)의 면 (32a 및 32b)은 각각 투명 도전층(52a 또는 52b) 위에 적층된 중간층(61 또는 66), 및 중간층(61 또는 66) 위에 더 적층된 피복 도전층(63 또는 68)을 갖는다. 이에 의해 3층 필름이 형성된다. 도 12의 (a), 도 12의 (b) 및 도 13이 나타내는 제2 실시양태에서, 도 1 내지 도 10에 도시된 제1 실시양태와 동일 요소는 각각 동일한 참조 부호를 부여하고, 이들 요소의 상세한 설명은 여기서 생략한다.
취출 도전체
도 12의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 실시양태에 있어서, 제1 취출 도전체(43) 각각은 제1 투명 도전체(40)의 일부분 위에 기재 필름(32)으로부터 이격하여 제공된 제1 중간층(61), 및 제1 중간층(61) 위에 제공된 제1 고 도전층(63)을 포함한다. 마찬가지로, 도 12의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 취출 도전체(48) 각각은 제2 투명 도전체(45)의 일부분 위에 기재 필름(32)으로부터 이격하여 제공된 제2 중간층(66), 및 제2 중간층(66) 위에 제공된 제2 고 도전층(68)을 포함한다. 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 고 도전층(63) 위에 제1 보호층(62)이 제공될 수 있다. 마찬가지로, 도 12의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 고 도전층(68) 위에 제2 보호층(67)이 제공될 수 있다.
본 실시양태에서의 각 취출 도전체(43, 48)에서, 고 도전층(63,68) 각각은 각 투명 도전체(40, 45) 및 각 중간층(61, 66)을 형성하는 재료보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료로부터 형성된다. 보다 구체적으로는, 고 전도층(63, 68)은 예를들어 ITO 등으로부터 형성된 투명 도전체(40, 45)보다 전기 전도율이 매우 높은 재료를 사용하여 형성된다. 고 전도층(63, 68)의 재료는 알루미늄, 몰리브덴, 팔라듐, 은, 크롬, 및 구리와 같은 금속, 또는 이들 금속을 2종 이상 혼합하여 얻어진 합금, 예를 들어 은 합금이다. 이들 후보군 중에서, 은 합금은 일반적으로 배선 재료로서 사용되는 크롬보다 비저항이 작아서, 고 도전층(63, 68)의 재료로서 바람직하다. 이러한 은 합금의 예로는 은, 팔라듐, 및 구리를 함유하는 APC 합금을 들 수 있다.
은 합금으로 제조된 고 도전층(63, 68)과 ITO와 같은 투명 도전체로부터 형성되는 투명 도전체(40, 45) 사이의 접착력은 일반적인 배선 재료인 크롬과 투명 도전체(40, 45) 사이의 접착력보다 대체로 작다. 따라서, 은 합금으로 제조된 고 도전층(63, 68)을 투명 도전체(40, 45) 위에 직접 제공하는 경우, 고 도전층(63, 68)과 투명 도전체(40, 45) 사이의 접착성이 부족해질 수 있다. 이 경우, 취출 도전체(43, 48)에 일부 유형의 충격이 가해지는 경우, 고 도전층(63, 68)은 투명 도전체(40, 45)로부터 박리될 수 있다고 생각된다. 따라서, 취출 도전체(43, 48)가 은 합금으로 제조된 고 도전층(63, 68)을 포함하는 경우, 투명 도전체(40, 45)와 고 도전층(63, 68) 사이에, 투명 도전체(40, 45) 및 고 도전층(63, 68)에 대하여 어느 정도의 접착력을 갖는, 도전층을 개재시키는 것이 바람직하다. 본 실시양태에서, 투명 도전체(40, 45)와 고 도전층(63, 68) 사이에 중간층(61, 66)이 개재되고, 중간층(61, 66)을 형성하는 재료는, 중간층(61, 66)과 투명 도전체(40, 45) 사이의 접착력이 고 도전층(63, 68)과 투명 도전체(40, 45) 사이의 접착력보다도 커지도록 선택된다. 또한, 중간층(61, 66)의 두께는 고 도전층(63, 68)의 두께보다도 작다.
중간층
이어서, 제1 및 제2 중간층(61, 66)을 하기에 상세하게 설명한다. 우선 중간층(61, 66)의 접착력을 설명한다. 제1 중간층(61)과 제1 투명 도전체(40) 사이의 접착력, 및 제1 중간층(61)과 제1 고 도전층(63) 사이의 접착력은 제1 투명 도전체(40)와 제1 고 도전층(63) 사이의 접착력보다 크다. 마찬가지로, 제2 중간층(66)과 제2 투명 도전체(45) 사이의 접착력, 및 제2 중간층(66)과 제2 고 도전층(68) 사이의 접착력은 제2 투명 도전체(45)와 제2 고 도전층(68) 사이의 접착력보다 크다.
"접착력"은 예를 들어 일본 공업 표준 JIS K5600-5-7에 기재된 풀-오프(pull-off)법에 의해 평가되는 점에 주목한다.
예를 들어, 처음에, JIS K5600-5-7에 기재된 방법에 부합하는 인장 시험기를 제공한다. 이어서, 투명 도전체(40, 45) 위에 중간층(61, 66)을 갖는 시험판을 제조하고, 인장 시험기를 사용하여 투명 도전체(40, 45)와 중간층(61, 66) 사이의 접착성(접착력)을 측정한다. 이와 같이 측정된 접착성을 A로 표시한다.
이어서, 중간층(61, 66) 위에 고 도전층(63, 68)을 갖는 시험판을 제조하고, 인장 시험기를 사용하여 중간층(61, 66)과 고 도전층(63, 68) 사이의 부착력(접착력)을 측정한다. 이와 같이 측정된 부착력을 B로 표시한다.
이어서, 투명 도전체(40, 45) 위에 고 도전층(63, 68)을 갖는 시험판을 제조하고, 인장 시험기를 사용하여 투명 도전체(40, 45)와 고 도전층(63, 68) 사이에 존재하는 부착력(접착력)을 측정한다. 이와 같이 측정된 부착력을 C로 표시한다.
본 실시양태에 있어서, 투명 도전체(40, 45)와 중간층(61, 66) 사이의 부착력 A, 및 중간층(61, 66)과 고 도전층(63, 68) 사이의 부착력 B는 투명 도전체(40, 45)와 고 도전층(63, 68) 사이의 부착력 C보다 크다. 이는 본 실시양태에서 투명 도전체(40, 45)와 고 도전층(63, 68) 사이에 중간층(61, 66)을 개재시킴으로써 투명 도전체(40, 45)와 고 도전층(63, 68) 사이의 접착력을 향상시키는 것을 나타낸다.
다음에 중간층(61, 66)의 전기 전도성을 설명한다. 취출 도전체(43, 48)에서, 고 도전층(63, 68)은 주로 전기 신호를 전도하는 역할을 한다. 이로 인해, 중간층(61, 66)은 고 도전층(63, 68)보다 우수한 전기 전도성을 가질 필요가 없고, 중간층이 투명 도전체(40, 45)와 고 도전층(63, 68)을 낮은 저항에서 전기적으로 접속하는 도전성 수준을 가질 필요만 있다. 이로 인해, 중간층(61, 66)의 비저항은 고 도전층(63, 68)의 비저항보다 크다. 또한, 바람직하게는, 중간층(61, 66)의 두께는 고 도전층(63, 68)의 두께보다 작고, 예를 들어 고 도전층(63, 68)의 두께가 50 내지 250nm의 범위 내에 있을 경우, 중간층(61, 66)의 두께는 3 내지 8nm의 범위 내에 있다. 이렇게 작은 중간층(61, 66)의 두께는 투명 도전체(40, 45)와 고 도전층(63, 68) 사이에서 저 저항에서 전기적으로 접속할 수 있게 하고, 취출 도전체(43, 48) 전체의 두께를 감소할 수 있게 한다.
중간층(61, 66)을 형성하는 재료의 종류는, 재료가 투명 도전체(40, 45) 및 고 도전층(63, 68)에 대한 충분한 접착력을 나타내는 경우에만 특별히 한정되지 않고, 몰리브덴(Mo) 합금과 같은 금속이 재료로서 사용된다. 이 Mo 합금은 예를 들어 Mo와 니오븀(Nb)의 합금인 MoNb이다.
보호층
이어서, 제1 고 도전층(63) 위에 제공된 제1 보호층(62) 및 제2 고 도전층(68) 위에 제공된 제2 보호층(67)을 하기에 상세하게 설명한다. 보호층(62, 67)은, 고 도전층(63, 68)이 산화하는 것을 방지하기 위해서 제공되고, 내산성, 내수성 등을 갖는다. 보호층(62, 67)을 형성하는 재료의 종류는 적당한 내산성을 갖는 재료인 경우에만 특별히 한정되지 않고, Mo 합금과 같은 금속이 재료로서 사용된다. 이 Mo 합금은 예를 들어 Mo와 Nb의 합금인 MoNb이다. 보호층(62, 67)의 두께는 예를 들어 10 내지 30nm의 범위 내에 있다.
적층체
하기에 도 13을 참조하여, 본 발명의 제 2 실시양태에 있어서 터치스크린 패널 센서(30)를 제조하기 위한 원재료로서 제공된 적층체(50)를 설명한다. 적층체(50)는 투명한 기재 필름(32), 기재 필름(32)의 한쪽 면(32a) 위에 적층된 제1 투명 도전층(52a), 기재 필름(32)의 다른쪽 면(32b) 위에 적층된, 투광성을 갖는 제2 투명 도전층(52b), 제1 투명 도전층(52a) 위에 적층된 제1 피복 도전층(54a), 및 제2 투명 도전층(52b) 위에 적층된 제2 피복 도전층(54b)을 포함한다.
피복 도전층(54a, 54b)은, 도 13에 도시된 바와 같이, 투명 도전층(52a, 52b) 위에 제공된 중간층(61, 66), 중간층(61, 66) 위에 제공된 고 도전층(63, 68), 및 고 도전층(63, 68) 위에 제공된 보호층(62, 67)을 포함한다. 피복 도전층(54a, 54b)을 패터닝하여 취출 도전체(43, 48)를 형성한다.
도 14, 도 15, 및 도 16은 본 발명에서 얼라인먼트 마크 및 제품 정보가 어떻게 배치되는지를 나타낸다. 도 14, 도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77), 및 제품 정보(78) 및 바코드(79)를 함유하는 제품 정보는 터치스크린 패널 센서 필름의 접촉 위치(접근 위치)를 검출할 수 있는 활성 영역(Aa1) 밖의 비활성 영역(Aa2)(도 1 및 도 3a 참조)에 생성된다. 도 14는 웹 상에 형성된 터치스크린 패널 센서(70)의 개략도이다. 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트를 시트 절단하기 위한 얼라인먼트 마크(71)가 센서 필름 위에 형성된다. 여기에서 단위 패턴은 도 16에 나타낸 독립적인 터치스크린 패널 센서 조각(75)을 형성하기 위한 각각의 패턴이다. 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트는, 도 15에 도시된 터치스크린 패널 센서가 형성된 웹으로부터 시트 형태로 각각 절단하기 위한 단위 패턴의 세트 중 어느 하나이다. 도 15는 각 세트가 5줄, 5열의 형식으로 형성된, 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트를 도시한다. 도 15는 본 실시양태에 따른 터치스크린 패널 센서용 센서 필름의 시트 절단 후 얻어지는 터치스크린 패널 센서 필름 시트(72)의 개략도이다. 시트 상에 개별 조각 절단용 또는 사전 절단된 개별 조각을 생성하기 위한 얼라인먼트 마크(73, 74)가 형성된다. 도 16은 본 발명에 따른 터치스크린 패널 센서용 센서 필름 상에 제작된 터치스크린 패널 센서의 단위 패턴(터치스크린 패널 센서 조각)(75)을 도시한다. 단위 패턴 내에 터치스크린 패널 장치와의 위치 정렬용 얼라인먼트 마크(76), FPC 부착용 얼라인먼트 마크(77), 및 제품 정보(78) 및 바코드(79)를 포함하는 제품 정보가 형성된다. 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77)의 형상 및 위치는 도면에 나타낸 형태 및 위치에 한정되지 않으며, 이들 얼라인먼트 마크의 실제 형태 및 위치는 형태 및 위치가 위치 정렬을 실현할 수 있을 정도인 경우에만, 각각 임의의 형태 및 위치일 수 있다. 바코드를 포함하는 제품 정보는 2차원 바코드 또는 다른 기계 판독가능한 정보일 수 있다. 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77), 및 제품 정보(78, 79)는 취출 도전체(43, 48)에 사용되는 것과 동일한 공정으로 형성된다. 즉, 본 발명의 제2 실시양태의 얼라인먼트 마크 및 제품 정보는, 취출 도전체(43, 48)와 마찬가지로, 기재 필름(32) 각각의 면(32a, 32b)에 있어서, 투명 도전층(52a, 52b) 위에 중간층(61 또는 66)을 적층하고, 중간층(61 또는 66) 위에 피복 도전층(63 또는 68)을 더 적층함으로써 얻어지는 3층 필름으로부터 형성된다. 3층 필름 위에 보호층(62, 67)이 추가로 제공될 수 있다. 또한, 본 발명의 제2 실시양태의 얼라인먼트 마크 및 제품 정보는 취출 도전체(43, 48)와 마찬가지로, 기재 필름(32)의 양면(32a, 32b) 위에 형성될 수 있다.
적층체(50)에 필름 퇴적, 패터닝 및/또는 다른 가공을 수행함으로써 터치스크린 패널 센서(30), 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 및 제품 정보(78, 79)가 형성된다. 본 실시양태에서, 고 도전층(63, 68)이 APC 합금으로 제조되고 중간층(61, 66) 및 보호층(62, 67)이 MoNb로부터 제조되는 경우, 고 도전층(63, 68), 중간층(61, 66) 및 보호층(62, 67)은 동일한 에칭액, 예를 들어 인산-질산-아세트산 수용액 등으로 에칭될 수 있다. 이로 인해, 중간층(61, 66), 고 도전층(63, 68) 및 보호층(62, 67)을 포함하는 피복 도전층(54a, 54b)은 단일 에칭액을 사용하여 패터닝될 수 있다. 다른 유형의 가공, 예를 들어 필름 퇴적 및 패터닝은 도 1 내지 도 10에 도시된 제1 실시양태에서 사용되는 것과 실질적으로 동일하고, 따라서 이러한 유형의 가공의 보다 상세한 설명은 여기서 생략한다.
이렇게 하여, 본 실시양태에 따르면, 본 발명의 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)는 새로운 공정을 제공하지 않고도, 피복 도전층(54a, 54b)를 형성하는 공정과 동일한 공정으로 생성될 수 있다. 따라서, 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)는 감광층을 노광하기 위한 패턴에 정확하게 따라 생성되고, 터치스크린 패널 센서부에 대한 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보의 위치가 균일하게 유지되어, 요구되는 위치 정밀도를 얻을 수 있다.
이러한 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 및 제품 정보(78, 79)의 위치 정밀도의 향상에 의해, 시트 절단, 개별 조각 절단, 개별 조각 펀칭, FPC 부착 및 표시 패널과의 위치 정렬과 같은 후속 공정에서의 가공 정밀도가 향상되고, 따라서 제품 정보, 특히 바코드 정보의 기계 판독시 정밀도가 향상된다.
또한, 본 실시양태에 의하면, 취출 도전체(43, 48)는 투명 도전체(40, 45)의 일부분 위에 기재 필름(32)으로부터 이격하여 제공된 중간층(61, 66), 및 제1 중간층(61, 66) 위에 제공된 고 도전층(63, 68)을 포함한다. 이들 요소 중 고 도전층(63, 68)은 투명 도전체(40, 45) 및 중간층(61, 66)을 형성하는 재료(들)보다 높은 전기 전도율을 갖는 재료, 예를 들어 은 합금으로부터 형성되고, 중간층(61, 66)은 투명 도전체(40, 45)에 대한 접착력이 큰 재료, 예를 들어 MoNb 합금으로부터 형성된다. 따라서, 일반적인 배선 재료인 크롬과 같은 재료를 사용하여 취출 도전체를 형성하는 방법과 비교하여, 취출 도전체(43, 48)를 형성하는 상기 방식은 취출 도전체(43, 48)의 전기 전도율을 향상시키고, 취출 도전체(43, 48)와 투명 도전체(40, 45) 사이에 적절한 접착성을 제공한다.
본 실시양태에서, 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)는 투명 도전체(40, 45)의 일부분 위에 기재 필름(32)으로부터 이격하여 제공된 중간층(61, 66), 및 중간층(61, 66) 위에 제공된 피복 도전층(54a, 54b)을 사용하여 생성된다. 이 경우, 중간층(61, 66)의 존재는 접착성을 향상시키고, 상당한 박리에 대한 방지 효과를 제공한다. 가요성 투명 필름 기재를 사용하기 때문에, 가공 공정에서의 박리 방지는 중요하다. 박리 방지 효과는 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)를 형성하는 층의 박리를 방지하고, 이로써 센서 필름의 가공 정밀도뿐만 아니라, 제품의 신뢰성을 향상시킨다.
또한, 본 실시양태에서, 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79) 위에 보호층(62, 67)을 형성함으로써, 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)의 가공 동안의 손상을 피하고, 제품이 제조된 후 고 도전층(63, 68)의 산화를 방지한다. 예를 들어, 고 도전층(63, 68)에 은 또는 그의 합금을 사용한 경우, 이는 고 전도층의 산화뿐만 아니라, 황화, 반사율의 안정화, 광택의 유지, 및 흑색화를 방지하도록 도움을 준다. 따라서, 얼라인먼트 마크(71, 73, 74, 76, 77) 또는 제품 정보(78, 79)의 기계 판독 정밀도의 저하를 방지하여 제품의 신뢰성이 향상한다.
상술한 제1 및 제2 실시양태에서, 위치 정렬을 행하기 위한 얼라인먼트 마크가 취출 도전체(43, 48)와는 별개로 형성되는 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 위치 정렬의 방식은 이들 예에 한정되지 않고, 취출 도전체(43, 48)의 패턴의 부분 배치에 기초하여 실시될 수 있다. 즉, 취출 도전체(43, 48)가 추가로 얼라인먼트 마크와 동일한 역할을 할 수 있다. 이 경우의 위치 정렬 방법을 하기에 도 17을 참조하여 설명한다.
일반적으로, 상술한 터치스크린 패널 센서(70)를 절단하는 공정, 및 시트 절단에 의해 얻어진 터치스크린 패널 센서 필름 시트(72)에 FPC 또는 다른 부품을 부착하는 공정에서는, 터치스크린 패널 센서(70) 또는 터치스크린 패널 센서 필름 시트(72) 상의 적어도 2개의 점의 좌표를 검출하도록 요구된다. 이러한 위치 정렬용의 좌표는 비활성 영역에 형성된 취출 도전체(43, 48)의 일부분에 기초하여 산출될 수 있다. 예를 들어, 도 17에서 점선(81a ,81b)에 의해 나타낸 바와 같이, 취출 도전체(43, 48)의 패턴의 코너부가 위치 정렬용의 좌표로서 사용될 수 있다. 취출 도전체(43, 48)의 패턴의 코너부는, 패턴이 연장하는 방향을 변화시키는 부분이기 때문에, 비교적 용이하게 검출된다.
또한, 취출 도전체(43, 48)의 패턴의 코너부를 위치 정렬용의 좌표로서 사용하는 예를 도시하고 설명하였지만, 위치 정렬용 좌표를 얻는 방식은 이 예에 한정되지 않고, 취출 도전체(43, 48)의 패턴 중 소정의 방향성을 갖는 부분에 기초할 수 있다. 도 17에 있어서, 취출 도전체(43, 48) 중 점선(82a, 82b)으로 둘러싸여 있는 부분은 제1 방향(도 17에서의 수평 방향)으로 연장하는 부분이다. 반대로, 취출 도전체(43, 48) 중 점선(83a, 83b)으로 둘러싸여 있는 부분은, 제1 방향에 직교하는 제2 방향, 즉 도 17에서의 수직 방향으로 연장하는 부분이다. 이 경우, 취출 도전체(43, 48)에서, 점선(82a, 82b)으로 둘러싸여 있는 부분 및 점선(83a, 83b)으로 둘러싸여 있는 부분을 검출함으로써, 제1 방향으로 연장하는 부분과 제2 방향으로 연장하는 부분 사이의 교점을 산출할 수 있다. 따라서, 터치스크린 패널 센서(70) 또는 터치스크린 패널 센서 필름 시트(72) 상의 소정의 점의 좌표를 산출할 수 있고, 산출된 좌표를 사용하여 FPC 및 다른 부품의 위치 정렬을 실시할 수 있다.
또한, 제1 및 제2 실시양태에 있어서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가 기재 필름(32) 위에 투명 도전층(52a, 52b) 및 피복 도전층(54a, 54b)을 이 순서대로 포함하는 2층 필름을 포함하는 예를 도시하고 설명하였다. 또한, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가 기재 필름(32) 위에 투명 도전층(52a, 52b), 중간층(61, 66), 및 피복 도전층(54a, 54b)을 이 순서대로 포함하는 3층 필름을 포함하는 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 이들 예는 본 발명을 한정하지 않고, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보를, 기재 필름(32) 위에 제공된 투명 도전층(52a, 52b)으로 구성할 수 있다. 제1 및 제2 실시양태에서 상술한 바와 같이, 투명 도전층(52a, 52b)(투명 도전체(40,45))은 가시광에 대한 투광성을 갖도록 구성된다. 따라서, 투명 도전층(52a, 52b)으로 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가 구성되는 경우, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는 가시광 이외의 광을 사용하여 검출될 것이고, 이 검출 광은 투명 도전층(52a, 52b)에 의해 반사 또는 흡수될 수 있다. 예를 들어 검출광은 자외선일 것이다.
제3 실시양태
이어서, 하기에 도 18a 내지 도 20을 참조하여, 본 발명의 제3 실시양태를 설명한다. 도 18a 내지 도 20에 나타낸 제3 실시양태는, 터치스크린 패널 센서의 한쪽 측면 및 다른쪽 측면에서의 패턴의 위치 정밀도를 평가하기 위한 한 쌍의 지표부가 제공되어 있는 점만 제1 또는 제2 실시양태와 상이하고, 다른 모든 구성 인자는 제1 또는 제2 실시양태와 실질적으로 동일하다. 도 18a 내지 도 20의 제3 실시양태에서, 제1 또는 제2 실시양태에서 사용되는 모든 동일한 요소는 동일한 참조 부호를 부여하고 이들의 더 상세한 설명은 여기서 생략한다.
우선 도 18a 및 도 18b를 참조하여, 한 쌍의 지표부의 형상 및 층 구조를 설명한다. 도 18a는 본 실시양태에서 사용되는 터치스크린 패널 센서 조각(75)을 도시하는 상면도이고, 도 18b는 본 실시양태에서 사용되는 단면도이다.
도 18a에 도시된 바와 같이, 본 실시양태에 따른 터치스크린 패널 센서 조각(75)에는 한 쌍의 지표부(85)가 제공된다. 한 쌍의 지표부(85)는 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 한쪽 면 상의 비활성 영역(Aa2)에 형성된 제1 지표부(90), 및 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 다른쪽 면 상의 비활성 영역(Aa2)에 형성된 제2 지표부(95)를 포함한다.
한 쌍의 지표부(85)는 지표부의 한쪽이 다른쪽 지표부에 대하여 소정의 근접 관계를 갖도록 구성된다. 예를 들어, 한 쌍의 지표부(85)는 제1 지표부(90)가 제2 지표부(95)에 대하여 소정의 근접 관계를 갖도록 구성된다. 여기에서 "소정의 근접 관계"는 제1 지표부(90)의 위치에 대한 제2 지표부(95)의 위치가 설계값으로부터 어긋나 있는 경우, 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)가 적어도 한 방향에서의 어긋남의 정도가 육안에 의해 평가될 수 있도록 결정된 형상 및 배치를 갖는 것을 의미한다.
하기에 도 18b를 참조하여, 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)의 형상, 위치 및 층 구조에 대해서 상세하게 설명한다. 또한 도 18b에 나타낸 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)는 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 한쪽 면 상의 패턴의 위치와 그의 다른쪽 면 상의 패턴의 위치 사이에 제조에 기인한 오차가 없는 것을 가정한다.
우선 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)의 층 구조를 하기에 설명한다. 도 18b에 도시된 바와 같이, 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)는 각각 제1 실시양태에 있어서의 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보와 마찬가지로, 기재 필름(32) 위에 투명 도전층(52a, 52b), 및 피복 도전층(54a, 54b)을 이 순서대로 포함하는 2층 필름을 포함한다. 그러나, 제2 실시양태에 있어서의 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보와 마찬가지로, 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)는 각각 기재 필름(32) 위에 투명 도전층(52a, 52b), 중간층(61, 66), 및 피복 도전층(54a, 54b)을 이 순서대로 포함하는 3층 필름으로 포함할 수 있다.
도 18a 및 도 18b에 도시된 바와 같이, 제1 지표부(90)에는, 제1 투명 도전층(52a) 및 제1 피복 도전층(54a)을 부분적으로 제거하여 남겨진 영역이 형성된다. 본원에 상술한 바와 같이, 기재 필름(32)은 투광성을 갖는 재료로부터 형성된다. 따라서, 제1 지표부(90) 중 상기 영역에 입사하는 광은 기재 필름(32)을 투과해서 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 다른쪽 면에 도달한다. 이하, 제1 지표부(90) 중 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 다른쪽 면에 광이 도달하도록 구성되는 부분을 투과부(92)라고 칭한다.
도 18b에 나타낸 실시양태에서는, 피복 도전층(54a, 54b)에 의해 반사되는 광에 관련된 정보(즉, 피복 도전층(54a, 54b)으로부터의 반사광의 정보, 또는 피복 도전층(54a, 54b)에 의해 광이 차폐된다는 것을 지시하는 정보)에 기초하여, 지표부(90, 95)의 패턴을 검출 또는 시인하기 위해 사용된다고 가정한다. 따라서, 도 18b의 실시양태에서는, 검출된 지표부(90, 95)의 윤곽은, 피복 도전층(54a, 54b)의 윤곽에 의해 정해진다. 이하의 설명에 있어서, 지표부(90, 95) 중 검출 또는 시인되는 패턴을 획정하는 부분을 작용부(91, 96)라고 칭한다. 도 18b에서는, 제1 지표부(90)의 작용부(91)의 외측 윤곽은 참조 부호 91a로 표기되고, 제1 지표부(90)의 작용부(91)의 내측 윤곽은 참조 부호 91b로 표기된다. 또한, 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 외측 윤곽은 참조 부호 96a로 표기되고, 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 내측 윤곽은 참조 부호 96b로 표기된다. 제1 지표부(90)의 투과부(92)는 내측 윤곽(91b)의 내측 부분으로서 획정된다.
제2 지표부(95)는 기재 필름(32)의 법선 방향(이하, 이 방향은 편의상 법선 방향으로 부름)으로부터 볼 경우 제2 지표부(95)가 제1 지표부(90)의 작용부(91)의 내측 윤곽(91b)보다 내측 위치에, 즉 투과부(92) 내에 적어도 부분적으로 배치된다. 예를 들어 도 18b에 도시된 바와 같이, 제조에 기인한 오차가 없는 경우, 제1 지표부(90)의 작용부(91)의 내측 윤곽(91b)과 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 외측 윤곽(96b)이 실질적으로 서로 일치하도록, 제2 지표부(95)가 구성된다. 달리 말하면, 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)를 포함하는 한 쌍의 지표부(85)는 한 쌍을 구성하는 요소 중 하나가 다른 요소가 획정하는 폐쇄 영역의 내측에 배치되는, 소위 박스-인-박스(box-in-box) 형태를 갖는다.
이어서, 한 쌍의 지표부(85)가 제공된 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 작용 특성을 도 19의 (a), 도 19의 (b) 및 도 19의 (c)를 참조하여 설명한다. 우선, 하기에 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 한쪽 면 위에 형성된 패턴의, 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 다른쪽 면 위에 형성된 패턴에 대한 위치 정밀도를 평가하는 방법을 설명한다.
도 19의 (a)는 제조에 기인한 오차가 없는 경우에 얻어지는 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)를 도시하는 상면도이다. 이 경우, 도 19(a)에 도시된 바와 같이, 제1 지표부(90)의 투과부(92)와 제2 지표부(95)의 작용부(96)가 실질적으로 서로 일치한다. 즉, 기재 필름(32)의 법선 방향으로부터 본 경우에, 제1 지표부(90)의 작용부(91)의 내측의 전체 영역에 걸쳐 제2 지표부(95)의 작용부(96)가 시인된다. 따라서, 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 한쪽 면 상의 패턴은 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 다른쪽 면 상의 패턴에 대해 정확하게 사전 설계된 바와 같이 형성된다는 것을 육안으로 확인할 수 있다.
도 19의 (a)를 참조하면, 부호 w1 및 d1은 제1 방향에 있어서의 제1 지표부(90)의 투과부(92) 및 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 폭을 표기하고, 부호 w2 및 d2는 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서의 제1 지표부(90)의 투과부(92) 및 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 폭을 표기한다. 제1 지표부(90)의 투과부(92) 및 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 폭은 허용가능한 제조 오차에 따라 각각 적절한 값으로 설정된다. 예를 들어, 제1 방향 및 제2 방향 둘다에서 허용가능한 제조 오차가 0.5mm인 경우, 폭 w1 및 폭 d1뿐만 아니라 폭 w2 및 폭 d2는 둘다 0.5mm로 설정된다.
도 19의 (b)는 제조에 기인한 오차가 허용가능한 범위 내인 경우에 얻어지는 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)를 도시하는 상면도이다. 도 19의 (b)를 참조하면, 제1 지표부(90)에 대한 제2 지표부(95)의 위치의 제조 관련 오차(즉, 설계 데이터로부터의 어긋남)이 화살표 "s"로 표현된다. 여기서 화살표 "s"는 제1 방향에서의 어긋남을 나타내는 화살표 s1과, 제2 방향에서의 어긋남을 나타내는 화살표 s2의 합성 벡터이다.
도 19의 (b)가 나타내는 예에서는, 기재 필름(32)의 법선 방향으로부터 본 경우에, 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 일부분이 제1 지표부(90)의 내측에 시인된다. 따라서, 제1 지표부(90)에 대한 제2 지표부(95)의 위치의 어긋남, 또는 설계 데이터로부터의 어긋남이 제1 방향 및 제2 방향 둘다에서 0.5mm보다 작은 것을 육안으로 확인할 수 있다.
도 19의 (c)는 제조에 기인한 오차가 허용가능한 범위 밖에 있는 경우 얻어지는 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)를 도시하는 상면도이다. 도 19의 (c)가 나타내는 예에서는, 기재 필름(32)의 법선 방향으로부터 본 경우에, 제2 지표부(95)의 작용부(96)가 제1 지표부(90)의 내측에 시인되지 않는다. 따라서, 제1 지표부(90)에 대한 제2 지표부(95)의 위치의 어긋남, 또는 설계 데이터로부터의 어긋남이 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 한 방향에서 0.5mm 이상인 것을 육안으로 확인할 수 있다.
도 5c 내지 도 5f에 나타낸 제1 실시양태의 설명으로부터 명백해진 바와 같이, 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 패턴 중 투명 도전층(52a, 52b)과 피복 도전층(54a, 54b) 사이의 폭이 실질적으로 일치하는 부분은 노광, 현상 및 에칭(공정 S3 내지 S7)의 제1 실행 주기에 의해 얻어지는 부분이다. 따라서, 도 18b 및 도 19의 (a) 내지 도 19의 (c)에 나타낸 예로부터 얻어진 평가 결과는 한쪽 면 상의 패턴을 생성하기 위해서 실시된 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정과 다른쪽 면 상의 패턴을 생성하기 위해서 실시되는 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정 사이의 상대적인 위치 정밀도를 나타낸다.
이렇게 하여, 본 실시양태에 따르면, 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 양면의 비활성 영역(Aa2)에, 한쪽 지표부가 다른쪽 지표부에 대하여 소정의 근접 관계를 갖도록 구성된 한 쌍의 지표부(85)가 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 양면 상의 비활성 영역(Aa2)에 제공된다. 이로 인해, 한쪽 면 상의 패턴의 다른쪽 면 상의 패턴에 대한 위치 정밀도를 육안으로 평가할 수 있다. 이것에 의해, 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 출하의 가부의 판정에 관한 검사를 용이하게 할 수 있게 한다. 또한, 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 출하처에서, 제품을 수령하는 고객이 그의 패턴의 위치 정밀도를 쉽게/용이하게 평가 또는 확인할 수 있다.
상술한 실시양태에서, 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)를 구성하는 투명 도전층(52a, 52b)의 폭과 피복 도전층(54a, 54b)의 폭이 실질적으로 일치하고 있는 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 이 예는 본 발명을 한정하지 않고, 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)를 구성하는 투명 도전층(52a, 52b)의 폭과 피복 도전층(54a, 54b)의 폭이 일치할 필요는 없다. 하기에 도 20 및 도 21을 참조하여, 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)를 구성하는 투명 도전층(52a, 52b)의 폭과 피복 도전층(54a, 54b)의 폭이 일치하지 않는 예를 설명한다.
도 20은 본 변형예에 따른 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 한 쌍의 지표부(85)를 도시하는 단면도이다. 도 20에 도시된 바와 같이, 제1 지표부(90)를 형성하는 제1 피복 도전층(54a)은 제1 투명 도전층(52a)보다 좁은 폭을 갖도록 구성된다. 마찬가지로, 제2 지표부(95)를 형성하는 제2 피복 도전층(54b)은 제2 투명 도전층(52b)보다 좁은 폭을 갖도록 구성된다. 이 경우, 지표부(90, 95) 중 피복 도전층(54a, 54b)이 존재하는 부분이 작용부(91, 96)이다.
여기서 "폭이 좁은"은 지표부(90, 95)의 피복 도전층(54a, 54b)이 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정에서 형성된 것을 의미한다. 달리 말하면, 도 20에 나타낸 지표부(90, 95)의 예에서는, 투명 도전층(52a, 52b)의 형상은 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정에 의해 획정되고, 한편 피복 도전층(54a, 54b)의 형상은 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정에 의해 획정된다. 도 20에서, 일점 쇄선으로 표기되는 부분은 2회째의 노광, 현상 및 에칭에 의해 제거된 피복 도전층(54a' 또는 54b')을 표기한다.
이어서, 도 20에 나타낸 한 쌍의 지표부(85)가 제공된 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 작용 특성을 도 21을 참조하여 설명한다.
도 21은 제조에 기인한 오차가 허용가능한 범위 내에 있는 경우에 얻어지는 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)를 도시하는 상면도이다. 도 21이 나타내는 예에서는, 제1 지표부(90)의 투과부(92)의 폭 및 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 폭은 도 19의 (a) 내지 도 19의 (c)의 예에서와 같이, 제1 방향 및 제2 방향에서 예를 들어 0.5mm로 설정된다. 도 21이 나타내는 예에서는, 기재 필름(32)의 법선 방향으로부터 본 경우에, 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 일부분이 제1 지표부(90)의 투과부(92) 내에 시인된다. 따라서, 제1 지표부(90)에 대한 제2 지표부(95)의 위치의 어긋남, 또는 설계 데이터로부터의 어긋남이 제1 방향 및 제2 방향 둘다에서 0.5mm보다 작은 것을 육안으로 확인할 수 있다.
상술한 바와 같이, 도 20 및 도 21이 나타내는 예에서는, 작용부(91, 96)를 구성하는 피복 도전층(54a, 54b)의 형상이 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정에서 획정된다. 따라서, 도 20 및 도 21에 나타낸 예로부터 얻어지는 평가 결과는 한쪽 면 상의 패턴을 생성하기 위해서 실시되는 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정과 다른쪽 면 상의 패턴을 생성하기 위해서 실시되는 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정 사이에서 얻어지는 상대적인 위치 정밀도를 나타낸다.
도 18b 내지 도 21에 나타낸 실시양태에서, 피복 도전층(54a, 54b)의 패턴 에 기초하여 지표부(90, 95)의 패턴 검출의 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 패턴 검출은 이 예에 한정되지 않고, 지표부(90, 95)의 패턴 검출은 투명 도전층(52a, 52b)의 패턴에 기초하여 구성될 수 있다. 즉, 지표부(90, 95)의 작용부(91, 96)는 투명 도전층(52a, 52b)에 의해 구성될 수 있다. 이 경우, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보는 투명 도전층(52a, 52b)으로 구성되는 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보의 경우에서와 같이 가시광 이외의 광을 사용하여 검출될 것이며, 검출 광은 투명 도전층(52a, 52b)에 의해 반사 또는 흡수될 수 있는 광이다. 예를 들어 검출 광은 자외선일 것이다.
도 20 및 도 21에 나타낸 실시양태에서, 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정에서 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 한쪽 면과 그의 다른쪽 면 위에 형성된 패턴들 사이의 상대적인 위치 정밀도를 평가하는 예를 도시하고 기술하였다. 또한, 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정에서 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 한쪽 면과 그의 다른쪽 면 위에 형성된 패턴들 사이의 상대적인 위치 정밀도를 평가하는 예를 도시하고 기술하였다. 그러나, 이들 예는 본 발명을 한정하지 않고, 도 20 및 도 21에 나타낸 제1 지표부(90) 또는 제2 지표부(95)를 이용하여, 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정에서 형성되는 패턴과, 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정에서 형성되는 패턴 사이의 상대적인 위치 정밀도를 평가할 수 있다. 이러한 평가의 예를 도 22의 (a) 및 도 22의 (b)를 참조하여 설명한다.
도 22의 (a)는 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정과 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정 사이에서 상대적인 제조 오차가 없는 경우에 얻어지는 제1 지표부(90)를 도시하는 상면도이다. 도 22의 (b)는 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정과 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정 사이에서 상대적인 제조 오차가 존재하는 경우에 얻어지는 제1 지표부(90)를 도시하는 상면도이다. 도 22의 (a), 도 22의 (b)의 제1 지표부(90)에서는, 도 20 및 도 21의 제1 지표부(90)에서와 마찬가지로, 제1 피복 도전층(54a)의 폭이 제1 투명 도전층(52a)의 폭보다 작다. 이 경우, 제1 피복 도전층(54a)의 형상으로부터, 참조 부호 91a로 표기되는 외측 윤곽을 검출할 수 있다. 자외선 등을 사용하는 경우, 제1 투명 도전층(52a)의 형상으로부터 참조 부호 91a'로 표기되는 외측 윤곽을 검출할 수 있다. 또한, 검출된 외측 윤곽(91a, 91a')으로부터 제1 방향 및 제2 방향 둘다에서 검출된 외측 윤곽(91a 및 91a') 사이의 거리(u1 및 u2)를 산출할 수 있다. 또한, 거리(u1, u2)의 각 설계 데이터로부터의 어긋남을 산출함으로써, 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정과 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정 사이의 상대적인 위치 정밀도를 평가할 수 있다.
도 18a 내지 도 22에 나타낸 실시양태에서, 제조에 기인한 오차가 없는 경우, 제1 지표부(90)의 작용부(91)의 내측 윤곽(91b)과 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 외측 윤곽(96a)이 실질적으로 일치하도록 지표부(90, 95)를 구성하는 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 지표부(90, 95)의 더 구체적인 형상은 한정되지 않고, 여러 가지 형상의 지표부(90, 95)가 적절히 사용될 수 있다. 예를 들어 도 23의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 지표부(90)의 작용부(91)과 제2 지표부(95)의 작용부(96) 사이에 소정의 간극이 존재하도록 지표부(90, 95)가 구성될 수 있다. 또한, 지표부(90, 95)의 작용부(91, 96)의 형상은 직사각형 형상에 한정되지 않고, 예를 들어 도 23의 (b)에 도시된 바와 같이, 지표부(90, 95)의 작용부(91, 96) 중 적어도 한쪽이 원형 형상일 수 있다. 별법으로, 도 23의 (c)에 도시된 바와 같이, 지표부(90, 95)의 작용부(91, 96)의 양쪽이 원형 형상일 수 있다. 이 경우, 제1 방향에서의 어긋남(즉, 화살표 s1에 대응하는 어긋남) 및 제2 방향에서의 어긋남(즉, 화살표 s2에 대응하는 어긋남)이 소정의 값보다 작은 것을 육안으로 확인할 수 있을 뿐만 아니라, 어긋남의 합계량(즉, 화살표 "s"에 대응하는 양)이 소정의 값보다 작은 것을 육안으로 확인할 수 있다. 도 23의 (c)이 나타내는 예에서, 제1 지표부(90)의 작용부(91)의 내측 윤곽과 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 외측 윤곽은 일치하거나 불일치할 수 있다.
또한, 도 18a 내지 도 22에 나타내 실시양태에서, 제1 지표부(90)의 작용부(91)의 내측 윤곽(91b)에 의해 획정되는 투과부(92)는 완전한 폐쇄 영역인 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 예는 본 발명을 한정하지 않고, 제1 지표부(90)의 작용부(91)에 대한 제2 지표부(95)의 작용부(96)의 위치의 변화를 육안에 의해 확인가능한 경우에는, 제1 지표부(90)의 투과부(92)가 완전한 폐쇄 영역이 될 필요가 없다. 예를 들어 도 23의 (d)에 도시된 바와 같이, 제1 지표부(90)에서, 부분적으로 또는 일부 분단된 작용부(91)에 의해 투과부(92)가 획정될 수 있다. 마찬가지로, 제2 지표부(95)는 부분적으로 또는 일부 분단된 작용부(96)를 가질 수 있다.
제3 실시양태의 변형예
이어서, 도 24 및 도 25을 참조하여, 본 발명의 제3 실시양태의 변형예를 설명한다.
도 18a 내지 도 23에 나타내는 제3 실시양태에 있어서, 제1 방향 및 제2 방향의 둘다에서의 패턴의 위치 정밀도를 평가할 수 있는 형태로 한 쌍의 지표부(85)를 구성하는 예를 도시하고 설명하였다. 보다 구체적으로는, 한 쌍의 지표부(85)가 소위 박스-인-박스의 형태를 갖는 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 이 예는 본 발명을 한정하지 않고, 오직 한 쌍의 지표부(85)만이 적어도 한 방향에서의 패턴의 위치 정밀도를 평가할 수 있게 하도록 구성될 필요가 있다. 하기에, 한쪽 면 상의 패턴의 다른쪽 면 상에 대한 패턴의 위치 정밀도를 한 방향에서 평가할 수 있도록 구성된 한 쌍의 지표부(85)의 예를, 도 24 및 도 25를 참조하여 설명한다.
도 24는 본 변형예에 있어서, 제조에 기인한 오차가 없는 경우에 얻어지는 한 쌍의 지표부(85)를 도시하는 한 쌍의 지표부(85)의 상면도이다. 도 24에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 지표부(85) 중 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 한쪽 면 위에 제공된 제1 지표부(90)는 제1 방향(도 24에서의 수평 방향)으로 피치(p1)로 배열된 복수의 제1 단위 지표부(90a)를 포함한다. 마찬가지로, 한 쌍의 지표부(85) 중 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 다른쪽 면 위에 제공된 제2 지표부(95)는 제1 방향으로 피치(p2)로 배열된 복수의 제2 단위 지표부(95a)를 포함한다.
각 제1 단위 지표부(90a) 및 각 제2 단위 지표부(95a)는 제1 방향에서 실질적으로 동일한 폭을 갖도록 구성된다. 또한 각 제1 단위 지표부(90a)는 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 각 제2 단위 지표부(95a) 중 하나와 대향하도록 배치된다. 또한, 제1 단위 지표부(90a)의 배치 피치(p1)와 제2 단위 지표부(95a)의 배치 피치(p2)는 서로 상이하게 설정된다. 이러한 구성을 갖는 제1 지표부(90) 및 제2 지표부(95)에서, 몇번째의 복수의 제1 단위 지표부(90a)의 제1 단위 지표부(90a)가 몇번째의 제2 단위 지표부(95a)의 제2 단위 지표부(95a)와 정렬되어 있는지를 육안으로 확인함으로써 제조 오차에 기인하는 위치 어긋남을 용이하게 평가할 수 있다. 따라서, 지표부(90, 95)는 소위 버니어(vernier)식 눈금 마크로서 구성된다.
제1 단위 지표부(90a)의 배치 피치(p1)가 0.9mm이고, 제2 단위 지표부(95a)의 배치 피치(p2)가 0.8mm인 예를 고려한다. 이 예에서, 제조 오차가 없는 경우, 도 24에 도시된 바와 같이, 제1 단위 지표부(90a) 및 제2 단위 지표부(95a)의 중앙에 위치하는 제1 단위 지표부(90a) 및 제2 단위 지표부(95a)가 일치한다. 여기서 "일치하는"이라는 용어는 단위 지표부(90a, 95a)가 배열된 방향(즉, 제1 방향)에서, 중앙에 위치하는 단위 지표부(90a, 95a)의 대향하는 선단부의 좌표가 동일한 것을 의미한다. 또 다른 예에서, 제조 오차에 기인하여 한 방향에서 다른쪽 면 상의 패턴에 대하여 한쪽 면 상의 패턴이 좌측으로 0.3mm 어긋나버린 경우, 도 25에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 단위 지표부(90a)의 좌측으로부터 2번째에 위치하는 제1 단위 지표부(90a)가 복수의 제2 단위 지표부(95a)의 좌측으로부터 2번째에 위치하는 제2 단위 지표부(95a)와 일치한다. 달리 말하면, 복수의 제1 또는 제2 단위 지표부의 좌측으로부터 두번째 위치는 중앙의 단위 지표부(90a, 95a)로부터 왼쪽으로 3번째 위치를 의미한다. 도 24 및 도 25에 나타낸 예에 따르면, 몇번째의 제1 단위 지표부(90a)가 몇번째의 제2 단위 지표부(95a)와 일치하는지를 육안으로 확인함으로써, 한쪽 면 상의 패턴의 다른쪽 면 상의 패턴에 대한 한 방향에서의 위치의 어긋남의 양을 용이하게 평가할 수 있다.
본 변형예에 있어서, 도 26에 도시된 바와 같이, 제1 방향으로 배열된 복수의 단위 지표부(90a, 95a)를 갖는 지표부(90, 95)를 포함하는 한 쌍의 지표부(85)과 함께, 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 배열된 복수의 단위 지표부(90a, 95a)를 갖는 지표부(90, 95)를 포함하는 또 다른 한 쌍의 지표부(85)가 제공될 수 있다. 이에 의해, 일 방향뿐만 아니라 다른 방향에 대해서도, 한쪽 면 상의 패턴의 다른쪽 면 상의 패턴에 대한 위치의 어긋남의 양을 용이하게 평가할 수 있다. 또한, 본 변형예에 있어서, 복수의 단위 지표부(90a, 95a)의 중앙에 위치하는 단위 지표부(90a, 95a)의 형상이 다른 위치에 존재하는 단위 지표부(90a, 95a)의 형상과 약간 상이할 수 있다. 예를 들어 도 26에 도시된 바와 같이, 복수의 단위 지표부(90a, 95a)의 중앙에 위치하는 단위 지표부(90a, 95a)는 다른 단위 지표부(90a, 95a)가 배열되는 방향과 직교하는 방향으로 다른 위치에 존재하는 단위 지표부(90a, 95a)보다 더 길 수 있다. 이에 의해, 중앙에 위치하는 단위 지표부(90a, 95a)를 용이하게 인식할 수 있게 하고, 이것에 의해, 한쪽 면 상의 패턴의 다른쪽 면 상의 패턴에 대한 위치의 어긋남의 양을 용이하게 평가할 수 있게 한다. 또한, 도 26에 도시된 바와 같이, 한쪽 면 상의 패턴의 다른쪽 면 상의 패턴에 대한 위치의 어긋남의 양을 평가하기 위한 지표로서 눈금 마크(90b)를 추가할 수 있다. 도 26의 예에서, 눈금 마크 "0", "+0.4", "-0.4"는 이 눈금 마크가 부여된 단위 지표부(90a, 95a)와 일치하는 경우에, 한쪽 면 상의 패턴의 다른쪽 면 위에 대한 위치의 어긋남의 양이 0, +0.4, 또는 -0.4인 것을 표기하고 있다.
또한, 본 변형예는 제1 단위 지표부(90a) 및 제2 단위 지표부(95a)의 구체적인 층 구성을 한정하지 않고, 다른 층 구성을 적절히 채용할 수 있다.
예를 들어, 도 18b에 나타낸 실시양태의 경우와 마찬가지로, 제1 단위 지표부(90a) 및 제2 단위 지표부(95a)는 투명 도전층(52a, 52b)의 폭과 실질적으로 일치하는 폭을 갖는 피복 도전층(54a, 54b)을 포함할 수 있다. 이 경우, 얻어지는 평가 결과는 한쪽 면 상의 패턴을 생성하기 위해서 실시되는 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정과, 다른쪽 면 상의 패턴을 생성하기 위해서 실시되는 1회째의 노광, 현상 및 에칭 공정 사이의 상대적인 위치 정밀도를 나타낼 것이다.
또한, 도 20에 나타낸 실시양태의 경우와 마찬가지로, 제1 단위 지표부(90a) 및 제2 단위 지표부(95a)는 투명 도전층(52a, 52b)의 폭보다 폭이 좁은 피복 도전층(54a, 54b)을 포함할 수 있다. 이 경우, 얻어지는 평가 결과는 한쪽 면 상의 패턴을 생성하기 위해서 실시되는 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정과, 다른쪽 면상의 패턴을 생성하기 위해서 실시되는 2회째의 노광, 현상 및 에칭 공정 사이의 상대적인 위치 정밀도를 반영할 것이다.
본 변형예에서, 각 지표부(90, 95)가 각각 한 방향으로 소정의 피치로 배열된 복수의 단위 지표부(90a, 95a)를 포함하는 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 이 예는 본 발명을 한정하지 않고, 제1 지표부(90)와 제2 지표부(95) 사이의 상대적인 위치 관계를 관찰함으로써 적어도 1개의 방향에서의 패턴의 위치 정밀도를 평가하는 것이 가능한 경우, 각 지표부(90, 95)는 여러 가지 형태로 구성될 수 있다. 예를 들어, 제1 지표부(90)는 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 선형으로 연장할 수 있고, 제2 지표부(95)는 제1 지표부(90)에 근접해서 점 형상으로 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 지표부(90)와 제2 지표부(95) 사이의 거리를 육안으로 확인하는 경우, 한쪽 면 상의 패턴의 다른쪽 면 상의 패턴에 대한 위치의 어긋남의 양을 용이하게 평가할 수 있다.
제3 실시양태 및 그의 변형예에서, 한 쌍의 지표부(85)를, 각 터치스크린 패널 센서 조각(75)의 비활성 영역(Aa2)에 형성하는 예를 도시하고 설명하였다. 그러나, 이들 예는 제한적이지 않고, 도 27에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 지표부(85)는 복수의 단위 패턴이 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 터치스크린 패널 센서 필름 시트(72)의 비활성 영역(Aa2)(외측 테두리 근방)에 제공될 수 있다.
상술한 실시양태에 대한 몇개의 변형예를 설명하였지만, 명백하게 복수의 변형예 또는 복수의 다른 변형예를 대신 조합하여 적용할 수 있다.
10: 입력/출력 장치
15: 표시 장치
20: 터치스크린 패널 장치
30: 터치스크린 패널 센서
32: 기재 필름
32a: 기재 필름의 한쪽 면
32b: 기재 필름의 다른쪽 면
33: 필름 본체
34: 기능성 필름(굴절률 정합 필름)
34a: 고 굴절률 필름
34b: 저 굴절률 필름
35: 기능성 필름(저 굴절률 필름)
37a: 센서 전극
37b: 취출 배선
40: 제1 투명 도전체
41: 제1 센서부
41a: 선형부
41b: 팽출부
42: 제1 단자부
43: 제1 취출 도전체
45: 제2 투명 도전체
46: 제2 센서부
46a: 선형부
46b: 팽출부
47: 제2 단자부
48: 제2 취출 도전체
50: 적층체(블랭크)
52a: 제1 투명 도전층
52b: 제2 투명 도전층
54a: 제1 피복 도전층(제1 차광층)
54b: 제2 피복 도전층(제2 차광층)
56a: 제1 감광층
56b: 제2 감광층
56c: 제3 감광층 (다른 감광층)
56d: 제4 감광층 (다른 감광층)
58a: 제1 마스크(제1 포토마스크)
58b: 제2 마스크(제2 포토마스크)
58c: 제3 마스크(제3 포토마스크)
58d: 제4 마스크(제4 포토마스크)
61: 제1 중간층
62: 제1 보호층
63: 제1 피복 도전층
66: 제2 중간층
67: 제2 보호층
68: 제2 피복 도전층
70: 웹 상에 형성된 터치스크린 패널 센서 필름
71: 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트를 시트 절단하기 위한 얼라인먼트 마크
72: 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트로 구성된 터치스크린 패널 센서 필름
73: 개별 조각 절단 또는 사전 절단된 개별 조각 생성용 얼라인먼트 마크
74: 개별 조각 절단 또는 사전 절단된 개별 조각 생성용 얼라인먼트 마크
75: 터치스크린 패널 센서 개별 조각
76: 터치스크린 패널 장치와의 위치 정렬용 얼라인먼트 마크
77: FPC 부착용 얼라인먼트 마크
78: 제품 정보
79: 바코드 제품 정보
85: 한 쌍의 지표부
90: 제1 지표부
90a: 제1 단위 지표부
91: 작용부
91a: 외측 윤곽
91b: 내측 윤곽
92: 투과부
95: 제2 지표부
95a: 제2 단위 지표부
96: 작용부
96a: 외측 윤곽
Aa1: 활성 영역
Aa2: 비활성 영역

Claims (18)

  1. 투명한 기재 필름; 및
    상기 기재 필름의 양면 위에 각각 제공된 투명 도전체 패턴을 포함하고,
    센서 필름의 양면의 비활성 영역 위에 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가 각각 형성되어 있고,
    얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가, 상기 기재 필름 위에 투명 도전층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 2층 필름, 또는 상기 기재 필름 위에 투명 도전층, 중간층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 3층 필름으로 형성되어 있는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  2. 제1항에 있어서, 각각 개별 제품을 단위로 하는 단위 패턴이 스텝-앤-리피트 정판(step-and-repeat imposition)에 의해 형성되는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  3. 제2항에 있어서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가 단위 패턴마다 형성되는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  4. 제2항에 있어서, 얼라인먼트 마크 또는 제품 정보가 스텝-앤-리피트 정판에 의해 형성된 단위 패턴의 소정의 수의 세트마다 형성되는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 얼라인먼트 마크가 시트 절단, 개별 조각 절단, 개별 조각 펀칭, FPC 부착, 또는 표시 패널과의 위치 정렬의 목적으로 사용되는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  6. 제5항에 있어서, 얼라인먼트 마크가 각각의 목적을 위해 형성되는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  7. 제5항에 있어서, 얼라인먼트 마크 중 적어도 1개가 2 이상의 목적을 충족시키도록 형성되는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  8. 제5항에 있어서, 얼라인먼트 마크가 목적 중 하나만을 충족시키도록 형성된 얼라인먼트 마크, 및 2 이상의 목적을 충족시키도록 형성된 얼라인먼트 마크를 포함하는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  9. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 제품 정보가 제품명 정보, 로트 번호 정보, 제조일 정보, 및 제품 등급 정보 중 하나 이상의 정보를 포함하는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  10. 제9항에 있어서, 제품 정보가 바코드 형식으로 형성되는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  11. 투명한 기재 필름,
    상기 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공되고, 일부분은 상기 기재 필름의 면 위에 선형으로 형성된 투명 도전체 패턴, 및
    비활성 영역에 형성된 얼라인먼트 마크와 제품 정보 중 하나 이상을 포함하는 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법이며,
    상기 기재 필름, 상기 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 및 투명 도전층 위에 제공된 피복 도전층을 포함하는 적층체의 한 표면에 감광성을 갖는 감광층을 형성하는 공정 - 감광층은 피복 도전층 위에 형성됨 -;
    감광층을 노광하는 공정;
    감광층을 현상함으로써 센서부, 단자부, 취출 배선, 및 얼라인먼트 마크와 제품 정보 중 하나 이상을 패터닝하는 공정;
    패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 피복 도전층을 에칭함으로써 피복 도전층을 패터닝하는 공정;
    패터닝된 감광층 및 패터닝된 피복 도전층을 마스크로 사용하여 투명 도전층을 에칭함으로써 투명 도전층을 패터닝하는 공정;
    패터닝된 감광층을 제거하는 공정;
    패터닝된 피복 도전층 위에 다른 감광층을 형성하는 공정;
    다른 감광층을 노광하는 공정;
    다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정;
    패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 피복 도전층을 에칭함으로써 패터닝된 피복 도전층의 일부를 제거하여 센서부를 형성하는 공정; 및
    패터닝된 다른 감광층을 제거하는 공정을 포함하는, 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법.
  12. 투명한 기재 필름,
    상기 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공되고, 일부분은 상기 기재 필름의 면 위에 선형으로 형성된 투명 도전체 패턴, 및
    비활성 영역에 형성된 얼라인먼트 마크와 제품 정보 중 하나 이상을 포함하는 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법이며,
    상기 기재 필름, 상기 기재 필름의 적어도 한쪽 면 위에 제공된 투명 도전층, 및 투명 도전층 위에 제공된 피복 도전층을 포함하는 적층체의 한 표면에 감광성을 갖는 감광층을 형성하는 공정 - 감광층은 피복 도전층 위에 형성됨 -;
    감광층을 노광하는 공정;
    감광층을 현상함으로써 센서부, 단자부, 취출 배선, 및 얼라인먼트 마크와 제품 정보 중 하나 이상을 패터닝하는 공정;
    패터닝된 감광층을 마스크로 사용하여 투명 도전층까지 적층체의 한 표면을 에칭함으로써 피복 도전층 및 투명 도전층을 패터닝하는 공정;
    패터닝된 감광층을 제거하는 공정;
    패터닝된 피복 도전층 위에 다른 감광층을 형성하는 공정;
    다른 감광층을 노광하는 공정;
    다른 감광층을 현상에 의해 패터닝하는 공정;
    패터닝된 다른 감광층을 마스크로 사용하여 패터닝된 피복 도전층을 에칭함으로써 패터닝된 피복 도전층의 일부를 제거하여 센서부를 형성하는 공정; 및
    패터닝된 다른 감광층을 제거하는 공정을 포함하는, 터치스크린 패널 센서 필름의 제조 방법.
  13. 투명한 기재 필름;
    상기 기재 필름의 양면 위에 제공된 투명 도전체 패턴; 및
    센서 필름의 양면의 비활성 영역에 형성된 한 쌍의 지표부로서, 한 쌍의 지표부의 한쪽이 한 쌍의 지표부의 다른쪽에 대하여 소정의 근접 관계를 갖도록 구성된 한 쌍의 지표부를 포함하고,
    한 쌍의 지표부가, 상기 기재 필름 위에 투명 도전층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 2층 필름, 또는 상기 기재 필름 위에 투명 도전층, 중간층 및 피복 도전층을 이 순서대로 포함하는 3층 필름을 포함하는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  14. 제13항에 있어서,
    한 쌍의 지표부의 한쪽은 내측 윤곽을 포함하고,
    한 쌍의 지표부의 다른쪽은 내측 윤곽보다 내측에 적어도 부분적으로 배치되는, 터치스크린 패널 센서 필름.
  15. 제13항에 있어서,
    한 쌍의 지표부는 각각 한 방향으로 소정의 피치로 배열된 복수의 단위 지표부를 포함하고,
    한 쌍의 지표부의 한쪽의 단위 지표부의 피치는 한 쌍의 지표부의 다른쪽의 단위 지표부의 피치와 상이한, 터치스크린 패널 센서 필름.
  16. 삭제
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