JPH04264613A - 入力パネルとそれの製造方法 - Google Patents
入力パネルとそれの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は入力パネルとそれの製造
方法に係わり、特に静電容量型の入力パネルを製造する
に際して、誘電体フィルムの両面に同時にパターニング
して電極を設け、安定した容量分布を有する入力パネル
とそれの効率的な製造方法に関する。
方法に係わり、特に静電容量型の入力パネルを製造する
に際して、誘電体フィルムの両面に同時にパターニング
して電極を設け、安定した容量分布を有する入力パネル
とそれの効率的な製造方法に関する。
【０００２】近年、情報処理機器の進展に伴い、人間と
機械のインタフェースに用いられる入出力装置の普及が
目覚ましいが、その中で特に誰でもが容易に利用できる
ように工夫されている入力装置に入力パネルがある。
機械のインタフェースに用いられる入出力装置の普及が
目覚ましいが、その中で特に誰でもが容易に利用できる
ように工夫されている入力装置に入力パネルがある。
【０００３】入力パネルは透明なシート状をなしている
のでパネルといわれる所以であるが、ＣＲＴなどの表示
装置に載置して一体構成をなし、表示装置によって必要
な項目を表示し、その表示をパネルを透して見ながら指
で触れたり入力ペンで簡単に入力できるようになってい
る。
のでパネルといわれる所以であるが、ＣＲＴなどの表示
装置に載置して一体構成をなし、表示装置によって必要
な項目を表示し、その表示をパネルを透して見ながら指
で触れたり入力ペンで簡単に入力できるようになってい
る。
【０００４】入力パネルにはいろいろな方式があるが、
本発明は静電容量型の入力パネルの構成の改善に係わる
ものである。
本発明は静電容量型の入力パネルの構成の改善に係わる
ものである。
【０００５】
【従来の技術】図５は従来の静電容量型入力パネルの一
例の構成断面図である。図において、１ａは上部シート
、１ｂは下部シート、２は上部電極、３は下部電極、９
は誘電体層、１０は検出電極、２０は入力パネルである
。
例の構成断面図である。図において、１ａは上部シート
、１ｂは下部シート、２は上部電極、３は下部電極、９
は誘電体層、１０は検出電極、２０は入力パネルである
。
【０００６】上部シート１ａと下部シート１ｂには、例
えば、厚さが１００μｍ程度のポリエステルフィルムの
表面全面にＩＴＯ（酸化インジウム／酸化すず）膜が被
着されたいわゆる透明導電フィルムがよく用いられる。 そして、上部電極２や下部電極３は、それぞれこのＩＴ
Ｏ膜をホトリソグラフィによって縞状にパターニングし
て構成されている。
えば、厚さが１００μｍ程度のポリエステルフィルムの
表面全面にＩＴＯ（酸化インジウム／酸化すず）膜が被
着されたいわゆる透明導電フィルムがよく用いられる。 そして、上部電極２や下部電極３は、それぞれこのＩＴ
Ｏ膜をホトリソグラフィによって縞状にパターニングし
て構成されている。
【０００７】一方、誘電体層９は、例えば、下部電極３
を覆うように下部シート１ｂの上にシリコーン系の樹脂
をスクリーン印刷などによって例えば５０μｍの膜厚に
塗布して構成されている。そして、上部電極２と下部電
極３が誘電体層９を挟んで対向して交差するように重ね
合わせて、入力パネル２０ができあがる。
を覆うように下部シート１ｂの上にシリコーン系の樹脂
をスクリーン印刷などによって例えば５０μｍの膜厚に
塗布して構成されている。そして、上部電極２と下部電
極３が誘電体層９を挟んで対向して交差するように重ね
合わせて、入力パネル２０ができあがる。
【０００８】検出電極１０はペンのように手で持てる形
状になっている。この検出電極１０で上部シート１ａを
押圧すると、上部電極２と下部電極３に挟まれた誘電体
層９の静電容量が変化する。そこで、その容量変化を検
出電極１０を介して図示してない検出回路で座標に変換
し、位置の読み取りが行われる。
状になっている。この検出電極１０で上部シート１ａを
押圧すると、上部電極２と下部電極３に挟まれた誘電体
層９の静電容量が変化する。そこで、その容量変化を検
出電極１０を介して図示してない検出回路で座標に変換
し、位置の読み取りが行われる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の静電
容量型入力パネルは、縞状の電極を上下のシートに別々
に形成し、一方のシートに誘電体層を設け、その誘電体
層を挟むように上下シートを重ね合わせた構成になって
おり、製造工程が煩雑であった。
容量型入力パネルは、縞状の電極を上下のシートに別々
に形成し、一方のシートに誘電体層を設け、その誘電体
層を挟むように上下シートを重ね合わせた構成になって
おり、製造工程が煩雑であった。
【００１０】しかも、静電容量にばらつきが生じないよ
うに誘電体層の膜厚を均一に設ける必要があるが、検出
電極の押圧によって厚みが変化する数十μｍの厚い膜を
ばらつきがないように設けることは厄介であった。
うに誘電体層の膜厚を均一に設ける必要があるが、検出
電極の押圧によって厚みが変化する数十μｍの厚い膜を
ばらつきがないように設けることは厄介であった。
【００１１】そこで本発明は、厚みの均一な誘電体フィ
ルムからなるシートの両面に上部電極と下部電極を同時
にパターニングしてシート自体を誘電体層となした入力
パネルを提供することを目的としている。
ルムからなるシートの両面に上部電極と下部電極を同時
にパターニングしてシート自体を誘電体層となした入力
パネルを提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上で述べた課題は、シー
トと、上部電極と、下部電極と、保護膜を有し、前記シ
ートは、透明で厚さの均一な誘電体フィルムからなり、
前記上部電極と下部電極は、それぞれ縞状にパターニン
グされた透明導電膜からなり、かつシートを挟んで互に
交差するように被着されているものであり、前記保護膜
は、透明な有機高分子材料からなり、かつシートの上面
に被着されているものであるように構成された入力パネ
ルと、両面の全面に透明導電膜を具えた上記のシートの
それぞれの面に遠紫外線レジストからなるレジスト膜を
塗布し、次いで、前記シートのそれぞれの面をホトマス
クで挟んで、シートを透過しない短波長領域の遠紫外線
によって、レジスト膜のそれぞれを露光し、次いで、前
記レジスト膜を同時に現像し、透明導電膜を同時にエッ
チングするように構成された入力パネルの製造方法とに
よって解決される。
トと、上部電極と、下部電極と、保護膜を有し、前記シ
ートは、透明で厚さの均一な誘電体フィルムからなり、
前記上部電極と下部電極は、それぞれ縞状にパターニン
グされた透明導電膜からなり、かつシートを挟んで互に
交差するように被着されているものであり、前記保護膜
は、透明な有機高分子材料からなり、かつシートの上面
に被着されているものであるように構成された入力パネ
ルと、両面の全面に透明導電膜を具えた上記のシートの
それぞれの面に遠紫外線レジストからなるレジスト膜を
塗布し、次いで、前記シートのそれぞれの面をホトマス
クで挟んで、シートを透過しない短波長領域の遠紫外線
によって、レジスト膜のそれぞれを露光し、次いで、前
記レジスト膜を同時に現像し、透明導電膜を同時にエッ
チングするように構成された入力パネルの製造方法とに
よって解決される。
【００１３】
【作用】従来の入力パネルは、縞状の上部電極と下部電
極をそれぞれ上部シートと下部シートに別々に形成し、
一方のシートに誘電体層を設け、その誘電体層を挟むよ
うに上部シートと下部シートを重ね合わせて構成してい
たのに対して、本発明においては、厚みの均一な誘電体
フィルムからなる１枚のシートの両面にそれぞれ上部と
下部の電極を設けるようにしている。そして、シート自
体を誘電体層として用いるようにしている。
極をそれぞれ上部シートと下部シートに別々に形成し、
一方のシートに誘電体層を設け、その誘電体層を挟むよ
うに上部シートと下部シートを重ね合わせて構成してい
たのに対して、本発明においては、厚みの均一な誘電体
フィルムからなる１枚のシートの両面にそれぞれ上部と
下部の電極を設けるようにしている。そして、シート自
体を誘電体層として用いるようにしている。
【００１４】そうすると、静電容量型の入力パネルにお
いて欠かせない条件となっている誘電体層の厚みのばら
つきを極力小さくすることができる。一方、電極のパタ
ーニングに際しては、シートを透過しない短波長領域の
遠紫外線を用いて、一方の面に塗布したレジスト膜を露
光する際、他方の面に塗布したレジスト膜が感光しない
ようにしている。
いて欠かせない条件となっている誘電体層の厚みのばら
つきを極力小さくすることができる。一方、電極のパタ
ーニングに際しては、シートを透過しない短波長領域の
遠紫外線を用いて、一方の面に塗布したレジスト膜を露
光する際、他方の面に塗布したレジスト膜が感光しない
ようにしている。
【００１５】そうすると、上部電極と下部電極をシート
の両面にそれぞれ設ける工程を同時に行うことができる
ので、パターニング工程が簡潔になる。また、２枚のシ
ートを重ね合わせの煩わしい組立作業も不要となり、入
力パネル製造の生産性を向上させることができる。
の両面にそれぞれ設ける工程を同時に行うことができる
ので、パターニング工程が簡潔になる。また、２枚のシ
ートを重ね合わせの煩わしい組立作業も不要となり、入
力パネル製造の生産性を向上させることができる。
【００１６】
【実施例】実施例：１
図１は本発明の実施例の断面構成図、図２は図１の製造
工程図、図３は図２の補足説明図、図４は本発明の他の
実施例の要部の製造工程図である。図において、１はシ
ート、２は上部電極、３は下部電極、４は保護膜、５は
透明導電膜、６はレジスト膜、７はホトマスク、８は遠
紫外線である。
工程図、図３は図２の補足説明図、図４は本発明の他の
実施例の要部の製造工程図である。図において、１はシ
ート、２は上部電極、３は下部電極、４は保護膜、５は
透明導電膜、６はレジスト膜、７はホトマスク、８は遠
紫外線である。
【００１７】図１において、シート１には、例えば、厚
みが５０〜 １００μｍのポリエーテルフィルム例えば
ＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン）とかポリエステルフ
ィルム例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）な
どの誘電体フィルムを用いる。そして、このシート１の
両面には、ＩＴＯ膜をホトリソグラフィによって縞状と
なした上部電極２と下部電極３を、互いに直交するよう
にパターニングする。
みが５０〜 １００μｍのポリエーテルフィルム例えば
ＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン）とかポリエステルフ
ィルム例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）な
どの誘電体フィルムを用いる。そして、このシート１の
両面には、ＩＴＯ膜をホトリソグラフィによって縞状と
なした上部電極２と下部電極３を、互いに直交するよう
にパターニングする。
【００１８】さらに、保護膜４は、シート１の上面に例
えばシリコーン系の樹脂をスクリーン印刷などによって
例えば５０μｍの膜厚に被着して設け、上部電極２の保
護を行う構成になっている。
えばシリコーン系の樹脂をスクリーン印刷などによって
例えば５０μｍの膜厚に被着して設け、上部電極２の保
護を行う構成になっている。
【００１９】このような構成をなす入力パネルの製造工
程は、まず、図２（Ａ）において、ＩＴＯ膜からなる透
明導電膜５が両面に被着されたシート１の両面に、例え
ばディップ（浸漬）コートによってレジスト膜６を塗布
する。このレジスト膜６には、シート１が透過しない遠
紫外線領域に感光するレジストを用いる。
程は、まず、図２（Ａ）において、ＩＴＯ膜からなる透
明導電膜５が両面に被着されたシート１の両面に、例え
ばディップ（浸漬）コートによってレジスト膜６を塗布
する。このレジスト膜６には、シート１が透過しない遠
紫外線領域に感光するレジストを用いる。
【００２０】ところで、シート１の光透過率をＰＥＳ製
のフィルムに例を採ると、図３に示したようにほゞ ３
００ｎｍ以下の遠紫外線（Ｄｅｅｐ ＵＶ）領域は透過
しない。 そこで、この遠紫外線領域で感光する遠紫外線レジスト
（Ｄｅｅｐ ＵＶレジスト）例えば ２５０ｎｍで感光
するピリミジン塩基系のレジストとか ２００〜 ３０
０ｎｍの波長領域で感光するグルタル酸イミド系のレジ
ストなどを用いる。
のフィルムに例を採ると、図３に示したようにほゞ ３
００ｎｍ以下の遠紫外線（Ｄｅｅｐ ＵＶ）領域は透過
しない。 そこで、この遠紫外線領域で感光する遠紫外線レジスト
（Ｄｅｅｐ ＵＶレジスト）例えば ２５０ｎｍで感光
するピリミジン塩基系のレジストとか ２００〜 ３０
０ｎｍの波長領域で感光するグルタル酸イミド系のレジ
ストなどを用いる。
【００２１】次いで、図２（Ｂ）において、レジスト膜
６を塗布したシート１に遠紫外線８を透過する例えば石
英ガラス製のホトマスク７を重ね、遠紫外線８を照射し
てシート１の上面のレジスト膜６と下面のレジスト膜６
をそれぞれ露光する。
６を塗布したシート１に遠紫外線８を透過する例えば石
英ガラス製のホトマスク７を重ね、遠紫外線８を照射し
てシート１の上面のレジスト膜６と下面のレジスト膜６
をそれぞれ露光する。
【００２２】次いで、上下のレジスト膜６を同時に現像
し、透明導電膜５を同時にエッチングし、レジスト膜６
を剥離して、図２（Ｃ）に示したように縞状の上部電極
２と、上部電極２に直交する縞状の下部電極３を形成す
る。
し、透明導電膜５を同時にエッチングし、レジスト膜６
を剥離して、図２（Ｃ）に示したように縞状の上部電極
２と、上部電極２に直交する縞状の下部電極３を形成す
る。
【００２３】次いで、図２（Ｄ）において、スクリーン
印刷などによって、シート１の上面に例えばシリコーン
系の樹脂を被着して保護膜４を形成すれば、入力パネル
の基本構成ができあがる。
印刷などによって、シート１の上面に例えばシリコーン
系の樹脂を被着して保護膜４を形成すれば、入力パネル
の基本構成ができあがる。
【００２４】実施例：２
図４において、遠紫外線８はシート１を透過しないので
、シート１の両面をホトマスク７で挟んで、両面に塗布
されているレジスト膜６を同時に露光する。こうすると
、ホトマスク７の位置合わせも容易であり、露光工程を
より効率的に行うことができる。
、シート１の両面をホトマスク７で挟んで、両面に塗布
されているレジスト膜６を同時に露光する。こうすると
、ホトマスク７の位置合わせも容易であり、露光工程を
より効率的に行うことができる。
【００２５】シートを構成する誘電体フィルム材料や遠
紫外線レジスト材料、ホトマスクの材料、保護膜の材料
などには、種々の変形が可能である。
紫外線レジスト材料、ホトマスクの材料、保護膜の材料
などには、種々の変形が可能である。
【００２６】
【発明の効果】本発明においては、厚みの均一な誘電体
フィルムの両面に遠紫外線レジストを用いたホトリソグ
ラフィによって同時に上下の電極を設け、シート自体を
誘電体層として用いた構成になっている。従って、静電
容量型の入力パネルにおいて欠かせない誘電体層の均一
性が保てるとともに、製造工程の効率化も図れる。
フィルムの両面に遠紫外線レジストを用いたホトリソグ
ラフィによって同時に上下の電極を設け、シート自体を
誘電体層として用いた構成になっている。従って、静電
容量型の入力パネルにおいて欠かせない誘電体層の均一
性が保てるとともに、製造工程の効率化も図れる。
【００２７】従って、今後ますます汎用的に普及するこ
とが期待される入力パネルの生産性の向上に対して、本
発明は寄与するところが大である。
とが期待される入力パネルの生産性の向上に対して、本
発明は寄与するところが大である。
【図１】 本発明の実施例の断面構成図である。
【図２】 図１の製造工程図である。
【図３】 図２の補足説明図である。
【図４】 本発明の他の実施例の要部の製造工程図で
ある。
ある。
【図５】 従来の静電容量型入力パネルの一例の構成
断面図である。
断面図である。
１ シート
２ 上部電極
３ 下部電極
４ 保護膜
５ 透明導電膜
６ レジスト膜
７ ホトマスク
８ 遠紫外線
Claims (3)
- 【請求項１】 シート（１） と、上部電極（２）
と、下部電極（３） と、保護膜（４） を有し、前記
シート（１） は、透明で厚さの均一な誘電体フィルム
からなり、前記上部電極（２） と下部電極（３） は
、それぞれ縞状にパターニングされた透明導電膜からな
り、かつ前記シート（１） を挟んで互に交差するよう
に被着されているものであり、前記保護膜（４） は、
透明な有機高分子材料からなり、かつ前記シート（１）
の上面に被着されているものであることを特徴とする
入力パネル。 - 【請求項２】 両面の全面に透明導電膜（５） を具
えた請求項１記載のシート（１） のそれぞれの面に遠
紫外線レジストからなるレジスト膜（６） を塗布し、
次いで、前記シート（１） のそれぞれの面をホトマス
ク（７） で挟んで、前記シート（１） を透過しない
波長領域の遠紫外線（８） によって、前記レジスト膜
（６） のそれぞれを露光し、次いで、前記レジスト膜
（６） を同時に現像し、前記透明導電膜（５） を同
時にエッチングすることを特徴とする入力パネルの製造
方法。 - 【請求項３】 前記レジスト膜（６） のそれぞれを
同時に露光する請求項２記載の入力パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3024314A JPH04264613A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 入力パネルとそれの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3024314A JPH04264613A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 入力パネルとそれの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04264613A true JPH04264613A (ja) | 1992-09-21 |
Family
ID=12134725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3024314A Withdrawn JPH04264613A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 入力パネルとそれの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04264613A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010072584A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 表示装置用基板、および、表示装置 |
| JP2011154737A (ja) * | 2011-05-20 | 2011-08-11 | Dainippon Printing Co Ltd | タッチパネルセンサ、タッチパネルセンサを作製するための積層体、および、タッチパネルセンサの製造方法 |
| JP2012138028A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Dainippon Printing Co Ltd | タッチパネル部材の製造方法およびタッチパネル部材 |
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| JP2013101709A (ja) * | 2013-03-01 | 2013-05-23 | Dainippon Printing Co Ltd | タッチパネルセンサ、タッチパネルセンサを作製するための積層体、および、タッチパネルセンサの製造方法 |
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