JPH05108264A - タツチ入力装置の電極形成方法及びタツチ入力装置 - Google Patents

タツチ入力装置の電極形成方法及びタツチ入力装置

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JPH05108264A
JPH05108264A JP26387291A JP26387291A JPH05108264A JP H05108264 A JPH05108264 A JP H05108264A JP 26387291 A JP26387291 A JP 26387291A JP 26387291 A JP26387291 A JP 26387291A JP H05108264 A JPH05108264 A JP H05108264A
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Masao Shibayama
政雄 柴山
Fumihiko Nakazawa
文彦 中沢
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 タッチ入力装置の電極形成方法及びタッチ入
力装置に関し、電極基板の透明電極の引き出し線と接続
ケーブルとの接続抵抗を小さくできる電極形成方法及び
製造工程を簡略化したタッチ入力装置を実現することを
目的とする。 【構成】 透明フィルムに抵抗膜となる透明電極が設け
られた2枚の電極基板を、透明電極が対面するように配
置したタッチ入力装置において、前記電極基板30の端
部に構成される前記透明電極31の引き出し端子列36
の各端子37上に金属膜34を形成した後、入力パネル
領域の透明電極パターンと、引き出し端子列36の金属
膜34及び透明電極31を同時にエッチングして形成す
るように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はタッチ入力装置に関す
る。詳しくは、液晶表示装置等の表示装置の表示面上に
重ね、表示位置と入力位置を対応させた手書入力用の入
出力一体型装置に適したタッチ入力装置に関する。
【0002】
【従来の技術】入力パネルや表示パネルには各種のもの
が使用されているが、図4に従来のタッチ入力表示装置
の1例を斜視図により示す。同図において、1は表示パ
ネルであり、従来はCRTディスプレイが多く使用され
てきたが、最近の小型形態装置に対してPDP(プラズ
マディスプレイパネル)、LCD(液晶ディスプレイパ
ネル)などが使用されるようになってきた。特に携帯用
のディスプレイパネルとしても利用可能なLCDが低電
力で価格も安いという特徴から最も多く用いられるよう
になってきている。
【0003】例えば、A4版程度の大きさの液晶ディス
プレイパネルの場合、厚さ1.1mmの2枚のガラス製の
基板を用い、その上にストライプ状の透明電極、例え
ば、ITO電極を形成した後、例えばポリイミド樹脂か
らなる配向膜を被覆し、両配向膜を10μm程度の空間
が形成されるように対面させ、その空間に液晶を注入封
止する。そして両基板のストライプ状の透明電極を互い
に直交させてマトリクス電極構成を取るように配置すれ
ば、そのマトリクス交点が各画素を形成して、例えば、
グラフィック表示が行われるようになっている。
【0004】また、入力装置としては一般にキーボード
が最も多く用いられているが、最近はタッチ入力装置も
好んで使用されるようになってきた。図中2はタッチ入
力シートで指タッチあるいはペンタッチの何れかで入力
できるようになっている。タッチ入力シート2は、たと
えばITO膜(In23 −S n 2)からなる抵抗膜を形
成した厚さ125μmの例えばポリエステルフィルム等
よりなる2枚のフィルム基板3,3′を両抵抗膜が対面
するようにドットスペーサを挟んで重ねたもので、抵抗
膜の抵抗値は、例えば300Ω/□程度である。
【0005】なお一方のフィルム基板3上の抵抗膜の相
対する、たとえばX方向の2辺にX列電極端子が形成さ
れ、他方のフィルム基板3′上の抵抗膜の相対する、た
とえばY方向の2辺にはY列電極端子が形成されてお
り、各列電極端子は接続ケーブル4により制御回路基板
5の配線端子6に接続されている。7は駆動制御回路用
ICなどの電子部品である。そして、指先あるいは入力
ペンでタッチ入力シート2の表面にタッチすると、両抵
抗膜が接触し、たとえば接触抵抗が数100Ω程度の導
通状態となり、そのタッチ部の座標が制御回路基板5の
制御回路で検出され、必要に応じて図示した一点鎖線で
囲まれた入力表示部上に表示される。
【0006】図5は他のタッチ入力装置を分解斜視図に
より示す図である。これは、2枚の絶縁フィルム8,9
上に、それぞれITO膜よりなる抵抗膜10,11を蒸
着し、その両端に接続して直流電圧印加用電極12,1
3又は14,15及び引き出し線16,17又は18,
19を設けた電極基板20,21を互いの抵抗膜10,
11が対面し、且つ互いの電圧印加用電極12,13と
14,15とが直交するようにしてドットスペーサを挟
んで重ね合わせたものである。
【0007】図5に示したタッチ入力装置は図6の如く
構成された回路により座標検出信号が取り出される。同
図において、トランジスタTr1〜Tr5はいずれも、図示
しない制御回路からのパルスがベースに印加され、互い
に独立してスイッチング動作を行うことにより、抵抗膜
10と抵抗膜11とに交互に互いに直交する直流電圧を
印加し、直流電圧が印加されていない方の抵抗膜を検出
電極として両抵抗膜10,11の接触位置に応じた検出
電圧を座標検出信号として取り出すことができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図4により説明した従
来のタッチ入力装置において、電極基板の引き出し端子
と接続ケーブルとの接続構造は図7に示すようになって
いる。同図(a)は平面図、(b)は(a)図のb−b
線における断面図、(c)は(a)図のc−c線におけ
る断面図である。図中22は電極基板23上に形成され
た透明電極、たとえばITOからなる幅300μm、ギ
ャップ30μm程度の引き出し端子である。24は接続
ケーブルで、例えばフレキシブル配線基板であり、たと
えばポリイミドフィルム25の上にCu,Au,Alな
どの金属端子26が設けられている。
【0009】そして電極基板23の引き出し端子22と
接続ケーブル24の金属端子26とは、導電接着剤2
7、例えばよく知られている異方性導電フィルム27を
間に挟んで加熱加圧し、電気的機械的に接続している。
このような接続方法では次の様な問題を生ずる。 引き出し端子22のITOと接続ケーブル24とを
異方性導電フィルム27を介して接続すると、ITOと
異方性導電フィルムとの間の接続抵抗が大となり、入力
位置ずれを生ずる。また、特に、最近の高密度配線を要
する装置においては、時に数MΩのレベルに達すること
があって駆動ICが高価になる。 透明な引き出し端子列が見えにくくなるので、接続
ケーブル端子列との位置合わせが困難になって組立歩留
りが低下する。
【0010】また、図5により説明した従来のタッチ入
力装置においては、電極基板20,21の作成は、絶縁
フィルム8,9上に蒸着したITO膜を入力有効範囲を
残してエッチングしたあと、電圧印加用の電極を形成し
ている。このためエッチングの工程が、ITO膜の上に
レジスト塗布しエッチング液にて不要部を除去した後、
溶剤にてレジストを除去するといった多数の工程が必要
となるという問題があった。
【0011】本発明は、電極基板の透明電極の引き出し
線と接続ケーブルとの接続抵抗が小さくできるタッチ入
力装置の電極形成方法、及び製造工程を簡略化したタッ
チ入力装置を実現しようとする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明のタッチ入力装置
の電極形成方法に於いては、透明フィルムに抵抗膜とな
る透明電極が設けられた2枚の電極基板を、透明電極が
対面するように配置したタッチ入力装置において、前記
電極基板30の端部に構成される前記透明電極31の引
き出し端子列36の各端子37上に金属膜34を形成し
た後、入力パネル領域の透明電極パターンと、引き出し
端子列36の金属膜34及び透明電極31を同時にエッ
チングして形成することを特徴とする。
【0013】また、それに加えて、前記金属膜34とし
てInを用い、前記透明電極31としてITO(In2
3 −Sn 2)を用い、エッチング液として塩化第2鉄水
溶液を用いることを特徴とする。
【0014】また、本発明のタッチ入力装置において
は、絶縁基板43の片面に直流電圧印加用電極45,4
6を両端に有する抵抗膜44が設けられた第1の電極基
板40と、絶縁基板47の片面に直流電圧印加用電極4
9,50を両端に有する抵抗膜48が設けられた第2の
電極基板41と、絶縁基板53の一方の面に前記第1の
電極基板40の直流電圧印加用電極45,46に電気的
接続する電極54,55及び引き出し線56が設けら
れ、他方の面に前記第2の電極基板41の直流電圧印加
用電極49,50に電気的接続する電極57,58及び
引き出し線59が設けられ、さらにタッチ入力領域部分
に窓51が設けられた電極引き出し用基板42とを具備
し、該電極引き出し用基板42を挟んで前記第1,第2
の電極基板40,41を対向させて成ることを特徴とす
る。
【0015】また、それに加えて、上記第1,第2の電
極基板40,41と電極引き出し用基板42として透明
な絶縁フィルムを用い、且つ第1,第2の電極基板4
0,41の抵抗膜44,48として透明電極を用いたこ
とを特徴とする。また、それに加えて、上記第1,第2
の電極基板40,41は専用のタッチ入力用の治具にて
加圧されたときのみ、互いの抵抗膜44,48が接触し
電気的接続を行うように形成された絶縁膜により絶縁さ
れていることを特徴とする。この構成を採ることによ
り、電極基板の透明電極の引き出し線と接続ケーブルと
の接続抵抗が小さくできるタッチ入力装置の電極形成方
法、及び製造工程を簡略化したタッチ入力装置が得られ
る。
【0016】
【作用】本発明のタッチ入力装置の電極形成方法では、
引き出し端子37上に金属膜34を設け、これを入力パ
ネル領域の透明電極パターンと同時にエッチングするこ
とにより作製プロセス工程が少なくなり、且つ形成され
た金属膜34により、導電性接着剤を用いて接続ケーブ
ルと接続したときの接続部の電気抵抗が極めて小さくな
る。
【0017】また、本発明のタッチ入力装置では、第1
及び第2の電極基板40,41に電極引出し用基板42
を追加することにより第1と第2の電極基板40,41
の抵抗膜44,48をエッチングする工程が不要となり
製造工程が簡略化される。
【0018】
【実施例】図1は本発明のタッチ入力装置の電極形成方
法により形成される電極を示す斜視図である。同図にお
いて、36は引き出し端子列である。該引き出し端子列
36は、フィルム基板30に形成された透明電極31の
引き出し端子部37の上に金属膜34を形成したもので
ある。なお該金属膜34としては、たとえば厚さ300
nmのIn,Cr,Cu,AlあるいはAuを用い端部
から10mm程度の長さに被着して構成している。
【0019】図2はこの金属膜を形成する本発明のタッ
チ入力装置の電極形成方法を説明するための図である。
本実施例は先ず(a)図に示すように、フィルム基板3
0、例えば厚さ125μmのポリエステルフィルム上
に、透明電極31として、例えば、厚さ30nmのIT
O膜をスパッタ法で形成する。次に、(b)図に示すよ
うに上記透明電極31の上にホトレジスト膜を塗布乾燥
し、露光マスクを用いて入力パネルの有効エリア内(引
き出し電極以外のエリア)のみにレジスト膜32が残る
ように露光・現像処理を行う。次いで(c)図に示すよ
うに、上記レジスト膜32上をマスク33で覆った後、
金属膜34、例えば、厚さ300nmのIn膜を抵抗加
熱蒸着法で形成する。
【0020】次いで(d)図の如く、マスク33を外
し、レジスト32をレジスト剥離液で除去する。その際
マスク33の端から回り込んで被覆したIn膜もレジス
ト32を除去する際に同時に取り除かれる。次いで
(e)図の如く上記処理基板上にホトレジスト膜を塗布
乾燥し、露光マスクを用いて幅0.3mm、ギャップ0.
03mmのレジスト膜35が残るように露光現像する。次
いで(f)図の如く上記処理基板を、例えば塩化第2鉄
水溶液で、In膜とITO膜を同時にエッチング除去
し、最後にレジストをレジスト剥離液で除去する。以上
により透明電極の引き出し端子部上に金属膜34が形成
される。
【0021】以上の本実施例によれば、金属膜及び透明
電極パターンを同時にエッチングして形成できるので、
作製工程を削減できる。またマスクを用いたリフトオフ
工程で引き出し電極パターンを形成することにより入力
パネル内に金属膜を被覆せずに、容易に引き出し電極を
形成できる。
【0022】さらに透明電極上に金属膜を被覆したこと
により、接続ケーブルとの接続抵抗が極めて小さくなる
ため、入力位置ずれが軽減され、且つ駆動用ICには安
価なものが使用できる。また接続作業時に透明電極から
の引き出し端子列がよく見えるので高密度配線端子列で
あっても接続作業は容易である。また金属膜の介在によ
り接続強度が上がり信頼性も向上し、タッチ入力表示装
置の小型・軽量化及び品質・信頼性の向上が可能とな
る。
【0023】次に本発明のタッチ入力装置の実施例を図
3により説明する。同図は分解斜視図である。本実施例
は、第1の電極基板40と第2の電極基板41と電極引
き出し用基板42からなり、第1の電極基板40は透明
なガラス基板(又は絶縁フィルム)43の上面に抵抗膜
となる透明電極44がITOを蒸着して設けられ、該透
明電極44の両端には直流電圧印加用電極45,46
が、例えばAgペーストをスクリーン印刷のあと熱処理
を行って形成されている。
【0024】また、第2の電極基板41は、例えばポリ
エチレンテレフタレート(PET)またはポリエステル
サルフォン(PES)等の可撓性フィルムからなる絶縁
フィルム47の下面に、第1の電極基板40と同様にし
て透明電極48及び直流電圧印加用電極49,50が設
けられている。
【0025】また、第1又は第2の電極基板40,41
の一方には、双方の透明電極44,48がタッチ入力時
のみ電気的に接続されるような図示なき絶縁膜が設けら
れている。絶縁膜は例えばスクリーン印刷で形成され、
材料としては、熱硬化型シリコン系樹脂、あるいは紫外
線硬化型のウレタン系樹脂を含む樹脂が望ましい。絶縁
膜の形状は、入力専用治具による加圧で両透明電極4
4,48が接触し、且つ掌による加圧では接触しない様
に、多数の微小開口を有し、その開口長と厚さを専用入
力治具のペン先の半径と、絶縁フィルム47の厚さ及び
ヤング率を考慮して設定する。1例として、ペン先の半
径を0.25mmとしたとき、絶縁膜の開口長は50μ
m、膜厚は0.9μmで良い。
【0026】電極引き出し用基板42は、タッチ入力領
域に形成された窓51と、電極引き出しテール52とが
設けられた絶縁基板53の下面に、前記第1の電極基板
40の直流電圧印加用電極45,46と対向する位置に
電極54,55が設けられ、該電極54,55から電極
引き出しテール52に電極引き出し線56が布線されて
いる。
【0027】また、絶縁基板53の上面には、前記第2
の電極基板41の直流電圧印加用電極49,50に対向
し、且つ下面の電極54,55と直交して電極57,5
8が設けられ、該電極57,58から電極引き出しテー
ル52に電極引き出し線59が布線されている。そし
て、第1の電極基板40と第2の電極基板41とは、互
いの透明電極44,48を対向させ、電極引き出し用基
板42を挟んで重ね合わされ、接着剤もしくは両面テー
プ等ではり合わされる。
【0028】このように構成された本実施例は、第1,
第2の電極基板40,41の直流電圧印加用電極45,
46,49,50はそれぞれ電極引き出し用基板42に
設けられた電極54,55,57,58を介して電極引
き出し線56,59によって外部に引き出すことができ
る。
【0029】
【発明の効果】本発明のタッチ入力装置の電極形成方法
によれば、電極基板の透明電極からの引き出し端子列に
極めて簡単に金属膜を形成することができ、且つ該金属
膜により接続ケーブルとの接続抵抗を極めて小さくで
き、従って入力位置ずれが軽減され、また駆動用ICの
安価なものが使用できる。さらに接続作業時に透明電極
からの引き出し端子列が金属膜で良く見えるので高配線
端子列であっても作業は容易となる。
【0030】また本発明のタッチ入力装置によれば、電
極基板の作成にエッチングプロセスを必要とせず、製造
工程の簡略化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のタッチ入力装置の電極形成方法により
形成される電極を示す斜視図である。
【図2】本発明のタッチ入力装置の電極形成方法の実施
例を説明するための図である。
【図3】本発明のタッチ入力装置の実施例を示す分解斜
視図である。
【図4】従来のタッチ入力表示装置の1例を示す図であ
る。
【図5】従来のタッチ入力装置の他の例を示す分解斜視
図である。
【図6】図5に示すタッチ入力装置の座標検出信号を取
り出す回路を示す図である。
【図7】従来のタッチ入力装置における引き出し端子と
接続ケーブルの接続構造を示す図であり、(a)は平面
図、(b)は(a)図のb−b線における断面図、
(c)は(a)図のc−c線における断面図である。
【符号の説明】
30…フィルム基板 31…透明電極 32,35…フォトレジスト 33…マスク 34…金属膜 36…引き出し端子列 37…引き出し端子部 40…第1の電極基板 41…第2の電極基板 42…電極引き出し用基板 43…絶縁基板(ガラス又は絶縁フィルム) 44,48…抵抗膜(透明電極) 45,46,49,50…直流電圧印加用電極 47…絶縁基板(絶縁フィルム) 51…窓 52…電極引き出しテール 53…絶縁基板 54,55,57,58…電極 56,59…電極引き出し線

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明フィルムに抵抗膜となる透明電極が
    設けられた2枚の電極基板を、透明電極が対面するよう
    に配置したタッチ入力装置において、 前記電極基板(30)の端部に構成される前記透明電極
    (31)の引き出し端子列(36)の各端子(37)上
    に金属膜(34)を形成した後、入力パネル領域の透明
    電極パターンと、引き出し端子列(36)の金属膜(3
    4)及び透明電極(31)を同時にエッチングして形成
    することを特徴とするタッチ入力装置の電極形成方法。
  2. 【請求項2】 上記金属膜(34)としてInを用い、
    前記透明電極(31)としてITO(In23 −Sn
    2)を用い、エッチング液として塩化第2鉄水溶液を用い
    ることを特徴とする請求項1のタッチ入力装置の電極形
    成方法。
  3. 【請求項3】 絶縁基板(43)の片面に、直流電圧印
    加用電極(45,46)を両端に有する抵抗膜(44)
    が設けられた第1の電極基板(40)と、 絶縁基板(47)の片面に、直流電圧印加用電極(4
    9,50)を両端に有する抵抗膜(48)が設けられた
    第2の電極基板(41)と、 絶縁基板(53)の一方の面に前記第1の電極基板(4
    0)の直流電圧印加用電極(45,46)に電気的接続
    する電極(54,55)及び引き出し線(56)が設け
    られ、他方の面に前記第2の電極基板(41)の直流電
    圧印加用電極(49,50)に電気的接続する電極(5
    7,58)及び引き出し線(59)が設けられ、さらに
    タッチ入力領域部分に窓(51)が設けられた電極引き
    出し用基板(42)とを具備し、該電極引き出し用基板
    (42)を挟んで前記第1,第2の電極基板(40,4
    1)を対向させて成ることを特徴とするタッチ入力装
    置。
  4. 【請求項4】 上記第1,第2の電極基板(40,4
    1)と電極引き出し用基板(42)として透明な絶縁フ
    ィルムを用い、且つ第1,第2の電極基板(40,4
    1)の抵抗膜(44,48)として透明電極を用いたこ
    とを特徴とする請求項3のタッチ入力装置。
  5. 【請求項5】 上記第1,第2の電極基板(40,4
    1)は専用のタッチ入力用の治具にて加圧されたときの
    み、互いの抵抗膜(44,48)が接触し電気的接続を
    行うように形成された絶縁膜により絶縁されていること
    を特徴とする請求項3のタッチ入力装置。
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