JPH0627194A - テストハンドラー用のローダー・アンローダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 集積回路（ＩＣ）や半導体チップ等の電子部
品を取り扱う為のオ−トマティックテスト装置と共に利
用されるロ−ダ−・アンロ−ダ−を提供する。 【構成】 ロ−ダ−５０はテストするＩＣ３６を多数含
んだトレイ４８を取り扱い、ＩＣ３６をテストするため
にそのＩＣ３６をトレイ４８から迅速かつ正確に取り出
すためのハンドラ−２０上の位置にそのトレイ４８を移
動させる。アンロ−ダ−６０は、テストの後に、そのテ
スト結果に基づき様々なカテゴリ−に分類したＩＣ３６
を受けるためのトレイ４８を取り扱う。本発明は又、ロ
−ダ−アンドアンロ−ダ−の様々な構成部品の間にトレ
イを往復させる２つのリセプタクルを有するトランスフ
ァ−ア−ム４０を含む。これらの機能部品は、移動距離
と動作時間を減らし、それにより、本発明のロ−ダ−・
アンロ−ダ−が用いられるオ−トマティックテストハン
ドラ−の生産性を上げるように構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は集積回路（ＩＣ）や半導
体チップ等の電子部品のオ−トマティックテストハンド
リングに用いるロ−ダ−とアンロダ−に関し、特にその
ようなＩＣを有するトレイを、各種の機械装置を有する
テストハンドラ−内の、ある位置から他のある位置へ、
迅速且つ効率的に移動できるロ−ダ−とアンロ−ダ−に
関する。

【０００２】

【従来の技術】電子産業界では、集積回路や半導体チッ
プ等の電子部品を、より安く又小型化する為の要求が絶
えない。それらの電子デバイスの生産性を高め、ユニッ
トコストを減少させる為の１つの方法は、それら電子部
品を同時に複数個テストすることにより、テストスピ−
ドを上げることである。

【０００３】多数の電子部品をテストトレイにのせて、
多数の対応するテストコンタクタ−（試験用接触子）の
ついたテストヘッドプレイトと位置合わせして接触させ
て試験することは、試験技術の標準になってきた。１個
のデバイスがキャリアモジュ−ルのシ−ト（空席）に備
えられ、それぞれのキャリアモジュ−ルには１また２以
上のデバイスシ−トが備えられている。テストトレイに
は多数のキャリアモジュ−ルが縦横に配置されている。
多数のキャリアモジュ−ルを有したテストトレイは、テ
ストフィクスチャに対し垂直（上部または下部のいずれ
か）に整列するように配置される。

【０００４】テストフィクスチャは、テストコンタクタ
−（テストピン）を備えており、テストコンタクタ−
は、被試験デバイスのピンと接触して試験信号を供給
し、そのデバイスからの試験結果信号を受信する。テス
トトレイ又はテストフィクスチャ−が垂直方向に動作す
ると、それぞれのモジュ−ルは、そのキャリヤ−モジュ
−ルに備えられた電子部品とテストコンタクタ−が接触
するように、テストコンタクタ−と対応して位置合わせ
される。コンタクタ−には多数のテストピンすなわちリ
−ドが設けられ、電子部品の試験の為にその電子部品の
リ−ドと電気的接触される。オ−トマティックテストハ
ンドラ−は電子部品試験システム、例えばＩＣテスタ
−、に電気的に接続される。電子部品試験システムは、
被試験電子部品にテスト信号を供給するテスト信号発生
器と、試験結果を分析する信号比較器を有している。そ
れらの結果を基に電子部品は試験プロセス上の次の位置
に移動され、適切な次の操作のために分類される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来技術におけるテス
トハンドリング装備では、多数の不具合が明らかにされ
ている。第１に、そのようなオ−トマチックハンドリン
グ装置でも、個々のＩＣやチップに対し個別に広範囲な
テストハンドリングをする必要がある事である。例え
ば、テストの前に、テストトレイ上の適切な場所に設置
する為に、デバイスの容器から、テストするデバイスを
移す必要がある。又。テストの終了後、テストトレイか
らテスト済のデバイスを取り出し、テスト結果に基づき
分類し、顧客やその他の適当な目的地へ出荷する為に元
の容器に詰め替える必要がある。

【０００６】電子産業界の最近の要求により、様々な新
タイプのＩＣパッケ−ジが発達した。その上、その様な
新しいＩＣパッケ−ジ用の容器も発達し、外形も時と共
に変化している。そのような例として、水平面に整列さ
れた、多数のＩＣデバイスを持つカスタマ−トレイが挙
げられ、それは上記したようなテストトレイと類似して
いる。とはいえカスタマ−トレイは規格化されておら
ず、サイズや型、収容力、シ−トとデバイス間の隙間は
メ−カ−によって著しく異なる。カスタマ−トレイ内の
間隔もテストトレイに必要なものと異なりうる。取り分
けテストトレイは、テストコンタクタ−とＩＣデバイス
リ−ド間の完全な接触を確実にするために、より正確な
間隔を有することが必要である。カスタマ−トレイ自身
は規格化されていないが、産業界では内部に貯蔵と輸送
の為のカスタマ−トレイを入れる容器を「カセット」又
は「マガジン」と称して、標準的に使用している。

【０００７】カスタマ−トレイはハンドラ−と基本的に
２つの方法で相互作用する。第１に、テストしてないＩ
Ｃで一杯のカスタマ−トレイは、それぞれのマガジンか
ら取り出され、ＩＣがテストトレイにアクセスされ、そ
れに続くテストが行えるように、所定の位置に設置する
ようにしなくては成らない。このＩＣハンドリングの段
階は一般に「ロ−ディング」と呼ばれる。第２にテスト
済の又、分類済のＩＣを様々なテストカテゴリ−に従っ
て受け取る為に、空のカスタマ−トレイをハンドラ−の
所定位置に置かなくては成らない。さらに、テストカテ
ゴリ−に従い、カスタマ−トレイは再びそれぞれ適当な
マガジンへ戻されなくてはならない。この操作の段階は
普通「アンロ−ディング」と呼ばれる。ロ−ディングと
アンロ−ディングを達成するテストハンドラ−の機械装
置は、ハンドラ−の効率的な操作に極めて重要である。
いずれかの段階で遅れが生じると、スル−プットそして
ハンドラ−の生産性が低下する。とりわけ、アンロ−ド
段階では遅れが生じやすい。というのはテスト済のＩＣ
を分類する必要が有るためである。ロ−ド段階ではＩＣ
は全て同様に扱われ、ＩＣ移動の為のテストトレイへの
機械動作は最短にでき、したがって必要な時間が短縮さ
れる。一方では、テスト済のＩＣ分類は複雑で、より多
くの機械運動を必要とするため、ハンドリング時間が加
重される。

【０００８】従って、集積回路産業にとり、カスタマ−
トレイに関する上記のロ−ディングとアンロ−ディング
についての問題や不具合を、克服出来るオ−トマチック
ハンドラ−が切実に求められている。

【０００９】

【課題を解決するための手段、および、作用】本発明は
従来技術のＩＣテストハンドラ−におけるこのようなニ
−ズを、トレイを迅速かつ効率的に操作させながら、カ
スタマ−トレイの構成の違いを調節することができるロ
−ダ−・アンロ−ダ−を設けることにより、満足させる
ことができる。本発明のロ−ダ−・アンロ−ダ−は、そ
のロ−ダ−とアンロ−ダ−の両方に有益な仕事する、独
自のトランスファ−ア−ムにより多大な援助を受ける。
本発明ではトランスファ−ア−ム及び、ロ−ダ−・アン
ロ−ダ−の様々な構成部分の動作を最小にして、ハンド
リングの時間を短縮する。その上、可能な場合は２つ以
上の機能を達成出来るように、それらの運動は能率的に
管理される。

【００１０】本発明のロ−ダ−は、キャッチャ−デバイ
ス、ロ−ドバッファ−、２つのロ−ドステ−ジで構成さ
れる。それぞれの構成部品は、様々の構成のカスタマ−
トレイと適応でき、それらをある位置から他の位置へ移
動させることが出来る。キャッチャ−は満杯のトレイを
トレイマガジンから受け取り、それをロ−ドバッファ−
へ移動させるように機能する。ロ−ドバッファ−は、カ
スタマ−トレイからＩＣテストの為の移動直前に、ロ−
ドステ−ジと隣接する位置へ、満杯のカスタマ−トレイ
を順次移動する。キャッチャ−とロ−ドバッファ−の双
方は、水平にも、上下にも移動できる。一方、ロ−ドス
テ−ジはそれぞれ上下にしか移動できない。上記したロ
−ドステ−ジと同一の方法で組み立てられた、対のアン
ロ−ドステ−ジの２組により本発明のアンロ−ダ−は構
成される。さらに、アンロ−ダ−は、分類動作ができる
ように、空のカスタマ−トレイをアンロ−ダ−の近くに
設置するための、アンロ−ドバッファ−を有している。
満杯のカスタマ−トレイの、ロ−ドバッファ−からロ−
ドステ−ジへの移動動作は、１組のカスタマ−トレイリ
セプタクルを有した、トランスファ−ア−ムにより達成
される。下記に詳しく説明する用に、多くの場合トラン
スファ−ア−ムは、一つの移動中に２つの機能を達成す
る。また又トランスファ−ア−ムは、アンロ−ドステ−
ジとマガジン間のカスタマ−トレイの移動や、アンロ−
ドステ−ジとアンロ−ドバファ−間のカスタマ−トレイ
の移動を能率良く実行する。このようにして、本発明の
アンロ−ダ−の効率的動作のために重要な分類工程が促
進される。

【００１１】本発明は、又、構成部分、特にトランスフ
ァ−ア−ムが、相互に最小の動きで作用できるように、
これらの構成部分の能率的な配置を実現している。ロ−
ディングとアンロ−ディングの機能が、不当な遅れなく
達成できるように、ロ−ダ−とアンロ−ダ−の種々の上
下運動は、トランスファ−ア−ムの２つのリセプタクル
の運動と、慎重に調和される。要約すれば、本発明のロ
−ダ−・アンロ−ダ−は、トランスファ−ア−ムの援助
により、ＩＣテストハンドラ−の大きな向上をもたらす
ことができる。

【００１２】

【実施例】本発明のロ−ダ−とアンロ−ダ−の詳細な説
明をする前に、そのようなロ−ダ−やアンロ−ダ−が組
み込まれる、オ−トマチックＩＣテストハンドラ−の概
要を、理解することが有用である。しかしながら、ロ−
ダ−とアンロ−ダ−に関する本発明の原理は、ここに記
した特定のテストハンドラ−に限らず、異なるテストシ
−ケンスを用いた、種々の構成のテストハンドラ−に対
しても、等しく適用できることを理解されたい。

【００１３】ハンドラ−の概要 まず図１、図２に関して、本発明のテストハンドラ−２
０の主な構成部分は次の様に説明される。ハンドラ−２
０は下部キャビネット２２と中間部２４、上部２６とで
構成される。下部キャビネット２２は、部分的にしか図
１には示されていないが、図２の背面図に完全に表わさ
れている。下部にキャビネット２２を構成するのは、電
力供給部、電気コネクションとそのケ−ブルである。こ
れら電気コネクションとそのケ−ブルは、主にテストハ
ンドラ−２０の中部２４と上部２６におけるテスト機能
とそのシ−ケンスを統制する。

【００１４】主に図１に関して、中間部２４の前の左側
には、マガジン入力エリア２８が示されており、それ
は、ハンドラ−の中間部２４の前の右側と中央部にまた
がるマガジン出力エリア３０と直接隣接している。これ
らマガジン入力と出力エリアは、ハンドラ−２０でテス
トするＩＣ３６を配列したカスタマ−トレイ３４を、積
み重ねたマガジンを受け取る為の多数のステ−ション３
１で構成される。そのようなカスタマ−トレイマガジン
３２とカスタマ−トレイ３４は図１（Ｂ）の展開図に示
されており、後に詳説する。説明と図示を簡易にする
為、図１（Ａ）はマガジン入力エリア２８に置かれたカ
スタマ−トレイマガジン３２を１つしか表示していない
が、様々なステ−ションのマガジン入力エリア２８と出
力エリア３０が、類似したマガジン３２を受け入れるの
に適合して用いられる。マガジン出力エリア３０のそれ
ぞれのステ−ション３１には、適当な時にそれぞれのマ
ガジン３２内にあるカスタマ−トレイ３４を持ち上げる
為の、カスタマ−トレイエレベ−タ３８が供給されてい
る。マガジン入力エリア２８はエレベ−タ−３８を１つ
しか有していない。マガジン入力エリア２８に受け取ら
れた２つのマガジン３２には、テストするＩＣ３６を搭
載したカスタマ−トレイ３４を有している。マガジン出
力エリア３０のステ−ション３１にそれぞれ置いてある
マガジン３２は、テストが終了してその結果により分類
してあるＩＣ３６を有したカスタマ−トレイ３４を受け
取る。図１の例では、出力エリア３０のステ−ション３
１が全部で１０個表示してある。ステ−ションのこの個
数により、例えば、８つの違ったカテゴリ−によるＩＣ
のテストをすると共に、再テスト用のステ−ション１つ
と、空のカスタマ−トレイ用のステ−ション１つとを残
すように構成できる。とはいえ、本発明の原理に従い、
広範囲のカスタマ−トレイ入力と出力の構成が可能であ
る。

【００１５】図１および図４に示すハンドラ−２０の中
間部２４において、トレイハンドラ−４２を２組を有す
るトランスファ−ア−ム４０が、マガジン出力エリア３
０に表されている。このトランスファ−ア−ム４０は上
下にも左右にも移動でき、ハンドラ−２０におけるカス
タマ−トレイ移動の仕事の大部分を実行するように、テ
ストハンドラ−２０の様々なセクションと相互作用す
る。このトランスファ−ア−ム４０の動作は極めて知能
的であり、ハンドラ−２０の中間部２４の右側に表され
ているディスプレイモ−タ−４４や制御モジュ−ル等の
手段からの、適切ソフトウェアコマンドにより制御され
る。ハンドラ−２０の上部２６は、主にカスタマ−トレ
イ３４からテストトレイ４８へのＩＣの移動、そしてそ
の繰り返し動作が行われる上部サ−フェス４６で成り立
つ。上部サ−フェス４６の左側は、ロ−ダ−部５０が表
されている。ロ−ダ−部５０はロ−ドキャッチャ−５２
とカスタマ−トレイバッファ−５４、２つのロ−ドステ
−ジ５６ａと５６ｂで構成される。ロ−ダ−部５０のす
ぐ右には、テストを受けた後分類したＩＣ３６を扱うア
ンロ−ダ−６０が設けられている。アンロ−ダ−６０
は、左と右にそれぞれ位置するアンロ−ドステ−ジ６４
ａとアンロ−ダ−ステ−ジ６４ｂによる２組の対のアン
ロ−ダ−ステ−ジで構成する。上部サ−フェス４６の右
端には、空のカスタマ−トレイ用のバッファ−６６があ
る。このバッファ−６６の目的と機能の詳細は後述す
る。

【００１６】又、図１において、ソ−クチャンバ−６８
はハンドラ−２０の中間部２４の左後方に位置し、上部
サ−フェス４６の上を少し突出している。ソ−クチャン
バ−６８は上部サ−フェス４６からテストトレイ４８を
受け取る。テストトレイ４８はテストするＩＣ３６をプ
リサイサ−７０から受け取る。プリサイサ−７０はロ−
ダ−部５０に位置するロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂから次
々にＩＣを受け取る。ＩＣ３６は、ハンドラ−２０の上
部サ−フェス４６上を行き来するロ−ドピックアンドプ
レイス７２によって、ロ−ドステ−ジ５６ａ、５６ｂか
らプリサイサ−７０、そしてテストトレイ４８に移され
る。ロ−ドピックアンドプレイス７２のすぐ右には、左
アンロ−ドピックアンドプレイス７４と、右アンロ−ド
ピックアンドプレイス７６を有する、１組のアンロ−ド
ピックアンドプレイス機構がある。アンロ−ドピックア
ンドプレイス機構７４、７６は、テスト結果によりＩＣ
３６を分類し、下部のマガジン出力エリア３０に備えた
適当なカテゴリ−のマガジン３２へ移送する為に、アン
ロ−ドステ−ジ６２、６４上のカスタマ−トレイにＩＣ
を移動する。テストしたＩＣ３６を含むテストトレイ４
８は、ハンドラ−２０の後部右側に位置するアンソ−ク
チャンバ−７８からアンロ−ドピックアンドプレイス機
構７４、７６に到着する。

【００１７】主に図２の背面図において、ソ−クチャン
バ−６８（今度は図２の右側に位置する）は、ハンドラ
−２０の上部サ−フェス４６からテストトレイ４８を受
取り、エレベ−タ−メカニズム８０により、少しずつハ
ンドラ−２０の中央部２４の下部サ−フェス８２へその
テストトレイ４８を降下させる。チャンバ−６８の目的
は、ＩＣ３６を適当な湿度と圧力環境に設置する事によ
り、テストすることである。それぞれのテストトレイ４
８は、そこからＩＣデバイス３６が任意のテストを受け
るための２つのテストチャンバ−８４ａ、ｂに移動す
る。テストトレイ４８は、その後アンソ−クチャンバ−
７８（図２の左に位置する）に入る。そこでは、ＩＣが
次第に周囲温度に戻されると共に、その間にハンドラ−
２０の上部サ−フェス４６まで上昇する。アンソ−クチ
ャンバ−７８を出ると、それぞれのテストトレイ４８
は、ロ−ドピックアンドプレイス機構７２の隣に表され
ている、２つのアンロ−ドピックアンドプレイス機構７
４、７６によってＩＣの分類が行われる。

【００１８】本発明のそれぞれの主な構成部分は以下に
詳述するが、種々の構成部分はまたこの出願人による特
許出願の主題となっており、ここに参照して組み入れ
る。本発明のロ−ダ−アンロ−ダ−システムを用いたテ
ストハンドラ−については、１９９１年１２月４日出願
の米国特許出願番号第８０３１５９号に、ロ−ダ−、ア
ンロ−ダ−ピックアンドプレイス機構は、１９９１年１
２月３日出願の米国特許出願番号第８０１８７５号に詳
述されている。其に加えて、テストチャンバ−内のテス
トヘッドは、１９９１年１２月３日出願の、米国特許出
願番号第８０１０５６号により詳述されている。

【００１９】ハンドラ−のテストシ−ケンスの概要を、
図３の略図に基づいて説明する。説明を容易かつ便宜に
するため、図３で使われる参照数字は、図１と図２に示
される本ハンドラ−２０の同様の部分と構造上対応す
る。図３に記してある矢印によって順々に各ステップの
方法の概要を示している。図３において、説明の便宜の
為、ＩＣデバイス１個しか示していないが、本発明の原
理に基づいて、複数のＩＣデバイスを便宜に且つ効率良
くテスト出来る。テストするＩＣデバイス３６を搭載し
たカスタマ−トレイを多数含むマガジン３２は、最初に
マガジン入力エリア２８に設置される。入力エリア２８
内のエレベ−タ−３８は、最上部のカスタマ−トレイ３
４がマガジン３２を越える高さに上昇するまで、カスタ
マ−トレイ３４を押し上げる。その後ロ−ド部５０のキ
ャッチャ−５２は降下し、テストするデバイス３６を有
するカスタマ−トレイ３４をとらえる。そこからキャッ
チャ−５２はカスタマ−トレイ３４を、バッファ−５４
に移動する。バッファ−５４はカスタマ−トレイがロ−
ドステ−ジ５６ａ、ｂの１方に受け取られる順番を待っ
ている。図１と図４に示してあるトランスファ−ア−ム
４０は、カスタマ−トレイ３４をバッファ−５４からロ
−ドステ−ジ５６ａ、ｂの一方に移動させる為に用いら
れる。ロ−ドピックアンドプレイス７２は吸引力によっ
て、テストするＩＣデバイス３６を吸着し、それをプリ
サイサ−７０内に配置する。プリサイサ−７０はハンド
ラ−２０、特にテストトレイ４８に関してデバイス３６
を正確に位置合わせする。その後ロ−ドピックアンドプ
レイス７２は、プリサイサ−７０から再びデバイス３６
を取上げ、テストトレイ４８上の正確な位置に置く。ロ
−ドピックアンドプレイス７２によるテストするデバイ
スの移動の後で、空のカスタマ−トレイはロ−ドステ−
ジ５６ａ、ｂから移動し、マガジン出力エリア３０の右
奥の空マガジンステ−ション３１、またはアンロ−ドセ
クションの右端に位置する空カスタマ−トレイバッファ
−６６に設置される。この動作と移動はトランスファ−
ア−ム４０によって達成される。

【００２０】次に、テストトレイ４８は、デバイス３６
が環境条件を受けるチャンバ−６８に移される。その後
テストトレイ４８は、テストヘッドチャンバ−８４ａ、
８４ｂに移され、電気テストが実行される。そしてテス
トトレイ４８はアンソ−クチャンバ−７８中を上昇し、
その後外部に出される。ハンドラ−２０はそこから、テ
ストトレイ４８を、アンロ−ドステ−ジ６４ａか６４ｂ
の一方の位置に移動させ、そこで右のアンロ−ドピック
アンドプレイス７６がテスト済のＩＣの約１／２を分析
できるようにする。もしそのＩＣデバイス３６が、右の
アンロ−ドピックアンドプレイス７６によって分類され
ない場合は（それはハンドラ−によって定められる階層
構造にもとづものであり、詳細は後述する）、アンロ−
ドステ−ジ６２ａか６２ｂの一方に置かれている右側の
アンロ−ドピックアンドプレイス７４の下の位置までテ
ストトレイ４８が移動され、そこにおいて残った全ての
ＩＣデバイスは、アンロ−ドピックアンドプレイス７４
により分類されれる。アンロ−ドステ−ジ６２と６４の
それぞれには、テスト結果と所望のカテゴリ−に従って
分類したＩＣを受け取るためにカスタマ−トレイ３４が
用意してある。カスタマ−トレイ３４が、満杯か又は分
類にはもう必要でない場合、トランスファ−ア−ム４０
はカスタマ−トレイ３４をアンロ−ドステ−ジ６２、６
４から移し、マガジン出力エリア３０内のハンドラ−２
０のサ−フェス４６の下に位置する、ソ−トマガジン３
２に配置する。その後テストトレイ４８は、その位置を
左アンロ−ドピックアンドプレイス７４の下から、テス
トするデバイス３６を再度受け取る為にロ−ドピックア
ンドプレイス７２下に位置に移動する。空になったテス
トトレイ４８に対し以上のプロセスを繰り返す。

【００２１】ロ−ダ−の説明 本発明のロ−ダ−５０を、図１と図５の正面図によって
詳細に説明する。これらの図に表示したように、ロ−ダ
−５０は、ハンドラ−２０の左側にあり、その右側にあ
るアンロ−ダ−部６０に隣接している。ロ−ダ−５０と
アンロ−ダ−６０のステ−ジ構成部分は、後により詳細
に説明するように、構成および作用が実質的に同一であ
る。本発明のロ−ダ−５０を構成するのは、図５の左か
ら順に、キャッチャ−５２、バッファ−５４、並んで配
置された２つのロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂである。ロ−
ドピイックアンドプレイス７２がＩＣ３６にアクセスし
て、それをテストトレイ４８に移動させられるように、
これらの構成部分は平行に並んでいる。下記に詳説する
ように、トランスファ−ア−ム４０の場合と同様に、こ
れらの構成部分は、それぞれの運動を最小にするように
相互に作用し、従ってＩＣテストの為の所定の位置にカ
スタマ−トレイ３４を能率的に入念に移動させる。

【００２２】キャッチャ− 最初にロ−ダ−５０の構成部分であるキャッチャ−５２
を説明する。図４、図５に示してあるように、一方のカ
スタマ−トレイマガジン３２の上に、平行にキャッチャ
−５２は配置してある。図１（Ｂ）の分解組立図で明確
に示してあるように、最上部のカスタマ−トレイ３４
が、マガジン３２の上部表面より少し上昇するよう、マ
ガジン３２内のカスタマ−トレイを、マガジンエベ−タ
−３８は持ち上げる。これによりカスタマ−トレイ３４
を、キャッチャ−５２が受け取れる位置へ配置する。キ
ャッチャ−５２の運動は次のように行われる。まずキャ
ッチャ−５２は、カスタマ−トレイ３４を受け取るため
に下降してその後元の位置に戻り、バッファ−５４の上
の位置に移動し（図５参照）、そしてカスタマ−トレイ
３４をバッファ−５４に配給するために下降する。キャ
チャ−５２の構造と動作を、図６から図８において詳し
く説明する。図６は、点線で示した水平レ−ル５３の長
さ方向に、水平移動するキャッチャ−５２を遠近的に示
している。図７は左の位置に示したキャッチャ−５２
を、上から見た平面図であり、図８は同位置の状態を前
から見た正面図である。キャッチャ−５２は、左と右の
２つの横方向の位置しかとらず、中間の位置では停止し
ない。

【００２３】図６、図７において、キャッチャ−５２は
トレイを側面から接触するように、カスタマ−トレイ３
４（図７に点線で表示）を跨ぐ。キャッチャ−５２は、
ブリッジ９２により互いに分離して結合されるた、平行
な２つのア−ム５７ａ、ｂで構成される。キャッチャ−
５２のこの構造は、キャッチャ−５２を正確にカスタマ
−トレイ３４に接触させる為の、本発明の重要な利点で
ある。即ち、カスタマ−トレイ入力マガジン３２の２つ
は、互いに近接して配置され、キャッチャ−の運動のた
めの空間を最小にする。その上、カスタマ−トレイ３４
は比較的薄くできており、その側面からのキャッチャ−
５２による結合は、正確でなくてはならない。キャッチ
ャ−５２のブリッジ９２は、Ｌ型のキャリッジ９４に接
続されている。キャリッジ９４はブリッジ９２の水平面
上に、ぎざぎざの付いた大きなつまみ９６を有してい
る。つまみ９６の目的は下記に詳しく述べる。ブリッジ
９２のフロントプレ−ト９７は、カスタマ−トレイ３４
より上に出なくてはならない。キャリッジ９４がブラケ
ット９８上に設けられ、そのブラケット９８にはキャリ
ッジ９４が上下に動作するためのレ−ル１００ａ、１０
０ｂ（図６に一方しか示してない）の１組が備えられ
る。

【００２４】キャッチャ−５２の上下運動は、図６、図
８に良く表される圧縮空気シリンダ−によって空気力で
達成される。対応する上下運動は、それぞれシリンダ−
上に備えてある圧縮空気バルブ１０４ａ、ｂによって達
成される。同様にキャッチャ−５２の左右の位置は、図
７、図９に示した、ブラケット９８の左にあるバルブ１
０６ａ、ｂの１組により空気圧により制御される。キャ
ッチャ−５２は４つのピン１０８により、カスタマ−ト
レイ３４と接触する。ピン１０８の各２つは第７図に表
示したように、それぞれのア−ムに設けられ、相互に対
抗して配列される。ピン１０８はア−ム５７ａ、ｂ上の
各ピン位置にそれぞれ設けられた、ハウンジング１１２
内に形成された、ホ−ル１１０内に備えつけられる。カ
スタマ−トレイ３４と結合するために、ピン１０８はホ
−ル１１０から突き出し、カスタマ−トレイ３４の側部
の対応するホ−ル（図には無い）に接触する。このよう
に、この構成により、内部に配置したＩＣ３６を落とさ
ないように、カスタマ−トレイ３４を、正確にかつ安全
に保つことができる。

【００２５】ピン１０８は、それぞれのピンハウンジン
グに備えた、バルブと供給ホ−ス（図には無い）によっ
て空気圧により作動する。ア−ム５７ａ、ｂはカスタマ
−トレイ３４の幅に対応する距離に隔てられている。し
かし、上記したようにＩＣメ−カ−によってカスタマ−
トレイの寸法が異なるため、このキャッチャ−５２は調
節手段が備えられている。キャリッジ９４上に備え付け
たつまみ９６は、ア−ム／ブリッジの結合の移動を可能
にする為に、手動で回転させる事ができる。したがっ
て、各種のカスタマ−トレイを正確に扱うために、他の
カスタマ−トレイに対応した寸法のア−ム／ブリッジ
を、キャッチャ−５２上に備え付ける。キャッチャ−５
２の運動は、オペレ−タ−とコントロ−ルモジュ−ルの
指示により、ＣＰＵ上で動作するソフトウェアによって
入念に制御される。ハンドラ−２０は様々な光学センサ
−によって、常にキャッチャ−５２の位置と状態を認識
している。光学センサ−の使用と機能についてはよく知
られている。例えば図８に示すように、右側のキャッチ
ャ−５２の位置はセンサ−１１４で検出される。同様に
左側と上下位置のキャッチャ−５２も、同様のセンサ−
（図には無い）で検出できる。センサ−で発生された信
号は、センサ−増幅器１１５（図６）で増幅され、そこ
からコントロ−ルモジュ−ルに伝達される。同様にし
て、キャッチャ−５２のア−ム５７ａ、ｂに挟まれたカ
スタマ−トレイ３４の存在は、ア−ム５７ａ、ｂ（図８
参照）の内部サ−フェス上にある、１組のセンサ−１１
６ａ、ｂにより検出される。

【００２６】バッファ− 本発明のロ−ダ−５０におけるバッファ−５４は、図１
と図５に示すように、キャッチャ−５２の右に位置して
いる。バッファ−５４の目的は、キャッチャ−５２から
カスタマ−トレイ３４を受け取り、２つのロ−ドステ−
ジ５６ａ、ｂの近接位置にそれを保持することである。
それによってステ−ジ５６ａ、ｂの一方へ、カスタマ−
トレイをトランスファ−ア−ム４９で敏速に、能率的に
積み込める。従ってキャッチャ−５２のように、バッフ
ァ−５４は、第５図に最も良く表されているように、キ
ャッチャ−５２に隣接する左の位置と、ロ−ドステ−ジ
５６ａに隣接する右の位置の間を、水平移動する。さら
にバッファ−５４は、後に詳しく触れるように、上下の
運動も行える。

【００２７】図９および図１０図において、バッファ−
５４は、図９の平面図と図１０の後部正面図に表してあ
る。図９はロ−ドステ−ジ５６ａに隣接する右側の位置
でのバッファ−５４を表す。バッファ−５４は水平ガ−
ドレ−ル５５上を左に水平移動するが、途中では止まら
ない。バッファ−５４の場合には、そのガイドレ−ル
は、キャッチャ−５２の為のガイドレ−ルのように、カ
スタマ−トレイ３４の反対側となるように、ハンドラ−
２０の前部に設けられる。この構成によって、後に詳述
するように、キャッチャ−５２とバッファ−５２は、そ
れぞれ右端と左端の位置で、重なり合うことができる。
バッファ−５４は、Ｌ型のキャリッジ１１８とカスタマ
−トレイ３４をその上に支える為のプレ−ト５８で成っ
ている。図９に示すようにプレ−ト５８は、キャリッジ
１１８の水平部１２０上に、４つのファスナ−１２２に
よって取り付けられている。したがって、各種のメ−カ
−のカスタマ−トレイを収容できる様に、プレイト５８
は他の寸法のプレ−トで置き換えることができる。バッ
ファ−５４のキャリッジ１１８は、図１０に示すように
ガイドレ−ル１２６上で垂直移動する、ブラケット１２
４上に取り付けられる。ブラケットは又、そのレ−ル上
の水平移動の為にも取り付けられる。キャッチャ−５２
と同様に、バッファ−５４も、水平、垂直方向に空気力
で作動する。即ちバッファ−５４の左右運動は、空気バ
ルブ１２８ｂによって起動され、バッファ−５４の垂直
運動は空気バルブ１３０ａ、ｂ（図１０参照）で起動さ
れる。ブラケットの位置も、光学センサ−で検出され
る。例えば、ブラケットの左側位置は図１０に示したセ
ンサ−１３２により検出される。同様のセンサ−（図に
は無い）により、バッファ−５４の右側位置、上下位置
を検出される。

【００２８】ロ−ドステ−ジ ロ−ダ−５０のロ−ドステ−ジは、図１と図５に示さ
れ、バッファ−５４の右側にバッファ−５４とほぼ同一
の平面上に設けられる。ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂの１
組は、互いに並んだ配列で示されている。ロ−ドステ−
ジの目的は、テストトレイ４８へＩＣ３６を移すための
ロ−ドピックアンドプレイス７２によって、アクセスで
きるように、ＩＣを満杯したカスタマ−トレイ３４を受
け取り保持することである。カスタマ−トレイ３４が空
になると、ロ−ドピックアンドプレイスは、ただちにロ
−ドステ−ジ５６ｂにある、カスタマ−トレイ３４から
ＩＣ３６を取り出す。この機能は遅延なく即時に行え
る。ロ−ドピックアンドプレイス７２が、ロ−ドステ−
ジ５６ｂにおいて作業している間に、トランスファ−ア
−ム４０は、ロ−ドステテ−ジ５６ａにあるカスタマ−
トレイ３４を、満載のトレイと交換する。従ってロ−ド
ステ−ジ５６ｂのカスタマ−トレイ３４が空になると、
直ちにロ−ドピックアンドプレイスは、ロ−ドステ−ジ
５６ａにおいて作業を続ることができる。

【００２９】図５にあるように、各ロ−ドステ−ジはそ
れぞれ、カスタマ−トレイ３４を受け取る為のプレ−ト
１３４で構成される。このプレ−トは横方向には移動で
きず、ハンドラ−２０の前部に備えられた、垂直レ−ル
１３６ａ、ｂに沿って、上下移動することが出来る。こ
れについては後に詳述する。ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂ
は、それぞれ図５に示したような調節機構１３８を備え
ており、それによって各種の寸法のカスタマ−トレイに
対応できる。

【００３０】ロードステージ５６ａ、ｂについて、図１
１の平面図と図１２の正面図において詳細に説明する。
ロ−ドステ−ジ５６ａは図１１の左側に対応し、ロ−ド
ステ−ジ５６ｂはその右側に対応する。説明を容易にす
るために、ロ−ドステ−ジ５６ｂのカスタマ−トレイプ
レ−トは取り除かれている。とはいえ、それぞれのロ−
ドステ−ジは全く同様に動作するが、その動作は互いに
独立している。カスタマ−トレイプレ−ト１３４は、Ｌ
型ブランケット１４０上に取り外せるように設置してあ
る。ブランケット１４０の水平ポ−ション１４２は、図
１１に表示してあり、ブラケット１４０の垂直部１４４
は、図１２の右側に示してある。このブラケット１４０
は、図１２の右部分に表した垂直レ−ルとガイド１３６
上で、垂直方向に上下運動できるように取り付けられて
いる。ロ−ドステ−ジ上のそれぞれのカスタマ−トレイ
プレ−ト１３４は、図１２によく示した１組の空気バル
ブ１４６ａ，ｂにより、起動されて垂直運動を行う。
又、図１２に示されたセンサ−１４８によってプレ−ト
１３４の位置が検出される。ロ−ドステ−ジ５６のプレ
−ト１３４上にあるカスタマ−トレイの存在は、図１１
に示した、プレ−ト１３４の両側に対抗する１組のセン
サ−１５０ａ、ｂにより検出される。センサ−１５０
ａ、ｂで発生した信号は、図１１に示した１組の増幅器
１５２ａ、ｂにより増幅される。図１１に示したクロス
バ−１５４によって、それぞれのロ−ドステ−ジ５６
ａ、ｂは調節できる。クロスバ−１５４は、左ガイドレ
−ル１５６と右グル−ブ１５８に沿った水平運動ができ
るように取り付けられている。様々なカスタマ−トレイ
の寸法に合うようにロ−ドステ−ジ５６を調節するため
に、クロスバ−１５４はプレ−ト１３４の後部方向へ動
くことが出来る。

【００３１】アンロ−ダ−の説明 図１と図５において、本発明のアンロ−ダ−６０は、ロ
−ダ−５０の右にある２組のアンロ−ドステ−ジ６２
ａ、ｂと６４ａ、ｂで構成される。アンロ−ダ−６０は
又、ハンドラ−２０の右端にあり、アンロ−ドステ−ジ
６４ｂに近接する位置に設けられた、アンロ−ドバッフ
ァ−６６を有する。上記したようにアンロ−ダ−６０の
目的は、テスト結果に基づいて分類したＩＣを受け取る
ために、空のカスタマ−トレイ３４をアンロ−ドピック
アンドプレイス機構に隣接するよう保つことである。ロ
−ドステ−ジ５６ａ、ｂの場合と同様に、アンロ−ドス
テ−ジ６２、６４はそれぞれ２つずつが互いに並んでい
る。それによってアンロ−ドステ−ジの一方のカスタマ
−トレイ３４が分類したＩＣで満杯のときに、アンロ−
ドピックアンドプレイス７４、７６は、すぐさま隣のロ
−ドステ−ジにあるカスタマ−トレイ３４へ、ＩＣ３６
を分配し始めることができる。これが行われている間、
隣接するカスタマ−トレイ３４が満杯になっても、ただ
ちに次の分類が続けられるように、トランスファ−ア−
ム４０は満杯のカスタマ−トレイ３４を取り出し、空の
トレイと交換する。アンロ−ダ−では、ロ−ドステ−ジ
５６ａ、ｂの１組だけの場合と異なり、２組のアンロ−
ドステ−ジ６２、６４が設けられている。これは、ＩＣ
３６の分類には、加重の時間が必要になるからである。
それ以外では、アンロ−ドステ−ジ６２、６４は、本発
明のロ−ダ−５０について上記したロ−ドステ−ジ５６
ａ、ｂと同様に構成され、動作する。よって、ここでは
このような説明は繰り返さない。加えて、アンロ−ドバ
ッファ−６６も又、水平運動を必要としないことを除け
ば、バッファ−５４と同様に機能する。

【００３２】アンロ−ダ−６０の、ロ−ダ−５０とトラ
ンスファ−ア−ム４０との相互作用については詳しく後
述する。

【００３３】トランスファ−ア−ムの説明 上記したように、本発明のトランスファ−ア−ム４０
は、カスタマ−トレイ３４をロ−ダ−５０とアンロ−ダ
−６０の様々な位置に移動させる上で、重要な機能を果
たす。トランスファ−ア−ムは、ロ−ダ−５０とアンロ
−ダ−６０の下にある、マガジン出力エリア３０の様々
なステ−ションにある、カスタマ−トレイ３２とも相互
作用する。トランスファ−ア−ム４０は、コントロ−ル
モジュ−ルによりその動作を管理され、ハンドラ−２０
のＣＰＵにおいて走るソフトウェアが、その機能とシ−
ケンスを実行する。図４に良く示してあるように、トラ
ンスファ−ア−ム４０は、１組のカスタマ−トレイリセ
プタクル４１ａ，ｂにより構成され、そのリセプタクル
は、ガイドレ−ル１６２に沿って水平運動できるよう
に、ブラケット１６０に取り付けられている。下記に詳
しく説明するように、トランスファ−ア−ム４０は、図
４に示したように、マガジン出力エリア３０の様々なス
テ−ションにあるカスタマ−トレイマガジン３２とも相
互作用出来る。トランスファ−ア−ム４０のトレイリセ
プタクル４１ａ、ｂは、上のロ−ドおよびアンロ−ドス
テ−ジ５６、６２、６４と、下のマガジン３２に一列に
なるよう平行平面上に並べられる。トランスファ−ア−
ム４０と、ロ−ダ−５０の様々な構成と、アンロ−ダ−
６０との相互作用は、図１６において詳述する。

【００３４】トランスファ−ア−ム４０の構成と動作
を、図１３および図１４において詳細に説明する。先ず
図１３において、トランスファ−ア−ム４０の２つのリ
セプタクル４１ａ、ｂが並んで示してある。各リセプタ
クルは、ブリッジ１６４に結合され、そのブリッジはガ
イドレ−ル１６２に沿って水平移動できるように、ブラ
ケット１６０上に取り付けられる。トランスファ−ア−
ム４０は、リニアステッパ−モ−タ−１６６により、水
平運動を行う。トランスファ−ア−ム４０の各リセプタ
クル４１ａ、ｂは構造および動作が同一だが、相互に独
立して機能する。それぞれのリセプタクル４１ａ、ｂ
は、カスタマ−トレイ３４を受け取るための、ア−ム４
２ａ、ｂの１組で構成される。カスタマ−トレイ３４の
側部に接触するように、ア−ム４２ａ、ｂは水平に並ん
でいる。カスタマ−トレイ３４は、図１３の右のリセプ
タクル上に点線で表示してある。リセプタクル４１ａ、
ｂの間隔は、ロ−ダ−５０あるいはアンロ−ダ−６０の
２つの隣接する部品に、垂直にトランスファ−ア−ム４
０を配置する為に入念に設定される。これについては詳
しく後述する。

【００３５】ハンドラ−２０の前部で前方に延びるよう
に、リセプタクル４１ａ、ｂは後部で片側支持されてい
る。従ってハンドラ−２０の後部へのトランスファ−ア
−ム４０の取付けは、カスタマ−トレイ３４の動作や、
特にハンドラ−前部の動作の為に取り付けてあるロ−ド
およびアンロ−ドステ−ジの働きとの接触を避けるため
に、都合良くなっている。リセプタクル４１ａは図１３
に表示してあるように、各ア−ム４２ａ、ｂ上に対抗し
て並んでいる４つのピン１６８によって、カスタマ−ト
レイ３４と結合する。ア−ム４２ａ、ｂ上にある１組の
センサ−１７０ａ、ｂの１組が、トレイが存在すること
を検出すると、ピン１６８はカスタマ−トレイ３４に結
合するように、空気力により突起する。

【００３６】図１４はそれぞれのリセプタクルが垂直に
動く様子を示したものである。それぞれのリセプタクの
ア−ム４２ａ、ｂは、垂直に配置した１組のガイドレ−
ル１７２ａ、ｂ上を移動するブラケット１７３上に取り
付けられる。ブラケット１７３はロ−タリ−空気シリン
ダ−（図には無い）に取り付けられた、ロッド１７４に
結合されている。ロ−タリ−空気シリンダ−はバルブ１
７５ａ、ｂにより起動される。トランスファ−ア−ム４
０の取り付けの為の空間は狭いために、ロ−タリ−空気
シリンダ−は、大きな空間を使わずにリセプタクル動作
を達成出来るようになっている。ロッド１７４の回転動
作により、カム１７６がブラケット１７３上のカムフォ
ロア−１７７を起動し、これによりリセプタクル４１ａ
のブラケット１７３を上下させる。ロッド１７４が水平
位置にあるときは、リセプタクル４１ａは下にあり、ロ
ッド１７４が９０度回転したときには、カムによりこの
回転が上下の運動に変換され、リセプタクル４１ａが上
昇する。リセプタクル容器４１の上下方向の位置は、第
１３図に示したセンサ−１７８によって検出される。下
記のように、リセプタクル容器４１ａはトレイマガジン
３２にアクセスする為に下の位置へ移動する。

【００３７】動作 本発明のロ−ダ−５０とアンロ−ダ−６０、トランスフ
ァ−ア−ム４０の動作を図１５、図１６および図１７に
おいて説明する。本発明の重要な利点は、これらの様々
な構成部分の構成により、トランスファ−ア−ム４０の
運動を最小にし、カスタマ−トレイ３４の取扱い時間を
減らすことである。さらに、これらの動作の抵触を避け
テスト時間を減らすために、これらの構成部分の相互の
動作は入念に調整されている。図１５はロ−ダ−５０と
アンロ−ダ−６０の構成部品の構造を、トランスファ−
ア−ム４０とカスタマ−トレイマガジン３２に関連して
表示したものである。この例では、２つのロ−ドステ−
ジ５６ａ，ｂと２組のアンロ−ドステ−ジ６２ａ，ｂ，
６４ａ，ｂが、対応するバッファ−５４、６６と共に表
してある。説明を容易にするために、トランスファ−ア
−ム４０がこれらのステ−ジの下部で、取りうる２つの
位置について示している。加えてテストカテゴリ−１か
ら８（トランスファ−ア−ム４０の分類時間と移動距離
を減らすために、右から左へ配列される。通常カテゴリ
−１にはより多くの量のＩＣが含まれる）を含め、全部
で１０個のマガジンステエ−ション３１がステ−ジの下
部に配列してある。さらに、マガジン出力エリア３０の
左端に再テストステ−ションが設けられ、右端には空ス
テ−ションＥが設けられている。マガジン３２と、エレ
ベ−タ−により少し持ち上げられたスタマ−トレイ３４
とが共に示されている。図１５に示された固有の時点に
おける、ＩＣの分類の状況に従い、カスタマ−トレイ３
４はＩＣが満杯または部分的に搭載されている。しか
し、各種の他の構成によるロ−ドステ−ジ、アンロ−ド
ステ−ジ、バッファ−、マガジン出力エリアが、本発明
の範囲内で可能である。

【００３８】トランスファ−ア−ム４０の移動距離を最
小にする為の、これらの様々な構成部品の垂直方向の構
成を図１５に示す。例えば、図１５の左部において、バ
ッファ−５４の右位置は、再テストマガジンステ−ショ
ンＲの真上に位置している。同様に左のロ−ドステ−ジ
５６ａは、マガジンカテゴリ−８にあるカスタマ−トレ
イ３の真上に位置している。従って、トランスファ−ア
−ム４０の２つのリセプタクル４１は、左のバッファ−
５４と右のロ−ドステ−ジ５６ａに対して、あるいは左
の再テストマガジンステ−ションＲと右のカテゴリ−８
のステ−ションに対して、同時にそれらの垂直方向に配
置される。従って、カスタマ−トレイの取扱い順序に従
い、トランスファ−ア−ム４０は、これらの４つの構成
部分のどれに対しても、ハンドラ−２０の左側の位置へ
の１回の移動のみで従事出来る。その上、トランスファ
−ア−ム４０は同一移動内の同一時間に少なくともこれ
らの構成部品の２つ以上に従事できる。トランスファ−
ア−ム４０と上記した４つの構成部分は相互作用に垂直
方向に機能するが、これらの機能はトランスファ−ア−
ム４０の最小の水平運動だけで達成される。この相互調
整運動は図１６において詳述する。

【００３９】例えば、図１５の左側に示したこの工程で
は、左のリセプタクル４１ａで捕らえたカスタマ−トレ
イを、再テスト用マガジンステ−ションＲのエレベ−タ
−４７に乗せ、リセプタクル４１ｂで捕らえた２つめの
カスタマ−トレイ３４を、テストカテゴリ−８に対応す
るマガジンステ−ション８に配置する。この同一の工程
におて、トランスファ−ア−ム４０の追加の運動なし
で、トランスファ−ア−ム４０の右リセプタクルは、空
のカスタマ−トレイ３４をロ−ドステ−ジ６２ａから取
り除き、バッファ−５４から満杯のカスタマ−トレイ３
４を受け取れる。この時点において、右方向に位置を１
つだけ移動することにより、トランスファ−ア−ム４０
は、バッファ−５４から受け取ったばかりであり、現在
は左のリセプタクルに結合している、満杯のカスタマ−
トレイ３４を配給し、これにより継続してロ−ディング
ができるように作用する。従って最小のトランスファ−
ア−ムの動作による、１回の移動工程により、多数の機
能が一度に達成される。その後トランスファ−ア−ム４
０は、右のリセプタクル４１ｂにより、空マガジンステ
−ションＥ、又は、アンロ−ドバッファ−６６に、空カ
スタマ−トレイ３４を置くように指示される。

【００４０】これらの構成部分による垂直運動は、トラ
ンスファ−ア−ム４０の水平運動よりもより迅速に正確
に行える。同様に、これらの利点は、トランスファ−ア
−ム４０と本発明の他の構成部品間との、相互作用によ
っても得らる。例えば、第１５図において、トランスフ
ァ−ア−ム４０は、アンロ−ドステ−ジ６４ａと６４ｂ
の下の右の部分に表示されている。この場合、トランス
ファ−ア−ム４０の左リセプタクル４１ａは、ロ−ドス
テ−ジ６４ａの下部に、右リセプタクルは、アンロ−ド
ステ−ジ６４ｂ下部に配置される。この例では、ロ−ド
ステ−ジ６４ａがその下方位置において、満杯又は部分
的に埋まったカスタマ−トレイ３４を、トランスファ−
ア−ム４０の左リセプタクルに引渡している様子を示し
ている。これが達成されるとすぐに、トランスファ−ア
−ム４０は左へ１つ移動し、トランスファ−ア−ム４０
の右リセプタクル４１ｂが、アンロ−ドステ−ジ６４ａ
と位置合わせできるようにする。そして、トランスファ
−ア−ム４０は、その右リセプタクル４１ｂ内のカスタ
マ−トレイ３４を、アンロ−ドステ−ジ６４ａへ置くこ
とが出来る。

【００４１】例として、アンロ−ドピックアンドプレイ
スが、テスト済のＩＣの分類を続けられるように、カス
タマ−トレイ３４は空になっているか、その前の分類の
カテゴリ−が、カスタマ−トレイを満たすのに十分でな
いために、カスタマ−トレイは部分的に埋まっていると
する。何れにしても、カスタマ−トレイ３４と右リセプ
タクル４１ｂが、アンロ−ドステ−ジ６４ａ上に置かれ
ると、すぐにトランスファ−ア−ム４０は次の仕事に取
りかかれることができる。その後アンロ−ドステ−ジ６
４ａは、分類を続けられるように、上部位置に戻ること
が出来る。取り分け、満杯又は部分的に埋まった左リセ
プタクル４１ａ内のカスタマ−トレイは、適切なマガジ
ンステ−ション３１にもどる必要がある。例として、も
しこれがカテゴリ−３だったなら、右リセプタクル４１
ｂは、直前にアンロ−ドステ−ジ６４ａと再配列された
為に、自動的にステ−ション３１と垂直に並ぶ。従っ
て、この仕事を達成する為に、トランスファ−ア−ム４
０の左リセプタクル４１ａは、マガジンステ−ション３
にあるエレベ−タ−４７上に、カスタマ−トレイ３４を
置くために、下部位置に降下するだけで良い。この左リ
セプタクル４１ａの運動は、図１５に矢印で示してあ
る。

【００４２】このように、本発明のロ−ダ−・アンロ−
ダ−の様々な構成部分が、垂直関係に配置され、且つそ
れらがマガジン入力エリア３０の様々なステ−ションと
垂直関係に提携して並べられるために、トランスファ−
ア−ム４０は敏速かつ能率良く多数の機能を達成出来
る。その上、本発明の構成部分間の動作は、処理時間を
短くする為に、入念に調節されている。このような本発
明の重要な特徴は図１６と関連して表してあり、特に図
１６および図１７の概要図に良く示されている。この一
連の図が示しているのは、トランスファ−ア−ム４０
が、カスタマ−トレイマガジン３２は勿論、様々なアン
ロ−ドステ−ジと提携して達成する、典型的なカスタマ
−トレイ処理順序を表している。とわいえ、これらは本
発明の機能の例示であり、本発明の原理はロ−ダ−・ア
ンロ−ダ−の広い種類の構成および取扱手順に適用出来
る。

【００４３】まず図１６（ａ）において、上にあるアン
ロ−ドステ−ジと、下にあるカスタマ−トレイマガジン
の間の、トランスファ−ア−ム４０の移動の為の、水平
レ−ンが示されている。第１３図に明確に示してあるよ
うに、リニヤステッパ−モ−タ−１６６とガイドレ−ル
１６２によって、トランスファ−ア−ム４０を、この水
平レ−ンに移動させることができる。この水平レ−ンの
目的は、処理時間を減らすために、トランスファ−ア−
ム４０の左右の動きを敏速に出来るようにすることであ
る。多数のＩＣ分類カテゴリ−があり得るため、このト
ランスファ−ア−ム４０の水平運動は、大幅な処理時間
を要するからである。従って、トランスファ−ア−ム４
０が左右に迅速に動けるように、妨げのない通路やレ−
ンを供給することにより、この処理時間を短縮すること
は、この発明の重要な特徴である。同時にトランスファ
−ア−ム４０から出入りするカスタマ−トレイの移動の
多くは、もっと短い距離による垂直方向に達成される。
例として、マガジンエレベ−タ−４７上へカスタマ−ト
レイ３４を置く場合の、トランスファ−ア−ム４０の１
つのリセプタクル４１ａ、ｂの垂直移動距離は、例えば
３０ミリメ−タ−程度である。この垂直方向の移動は、
図１４において示した空気圧ロ−タリ−シリンダ−によ
って達成される。従って、本発明のハンドラ−２０の垂
直運動は、操作時間を減らすために、極めて短く正確に
保たれている、トランスファ−ア−ム４０のリセプタク
ル４１ａ、ｂから出入りするための垂直移動は、図１３
に関して詳しく示したように、リセプタクル４１ａ，ｂ
の片側支持機構（カンチレバ−支持）と側方から挟み込
む動きにより達成される。すなわち、それぞれリセプタ
クルのア−ム４２ａ、ｂの開放構造により、リセプタク
ルは上方からも下方からでも、カスタマ−トレイ３４を
受け取ることができる。

【００４４】従って、本発明のこれらの利点を発揮させ
る為に、本発明のロ−ダ−・アンロ−ダ−の各構成部分
は、トランスファ−ア−ム４０と、正確に能率良く協調
し合う必要がある。この例を図１６および図１７におい
て説明する。この例では、図１６（ａ）に部分的に示し
たように、トランスファ−ア−ム４０はマガジンステ−
ション１と２に整合するように右側に位置されている。
トランスファ−ア−ム４０の左リセプタクル４１ａは、
「ｅ」の文字で示される空のカスタマ−トレイを有す
る。トランスファ−ア−ム４０の右リセプタクル４１ｂ
の中には、テストカテゴリ−４のＩＣを有し「４」の数
字で示されるカスタマ−トレイを有する。このカスタマ
−トレイは、満杯であるかまたはＩＣカテエゴリ−の分
類が終わったことにより、アンロ−ドステ−ジ６２ｂか
ら右リセプタクル４１ｂへ受け取られたものである。従
って、カスタマ−トレイマガジンのステ−ション４上
に、カテゴリ−４のカスタマ−トレイを置くように、ト
ランスファ−ア−ム４０はコントロ−ルモジュ−ルによ
り指示される。これを達成する為に、トランスファ−ア
−ム４０は、図１６（ａ）の矢印で示したように、左へ
移動をはじめる。

【００４５】図１６（ｂ）において、マガジンステ−シ
ョン４の上に適度に右リセプタクル４１ｂとが並ぶよう
に、マガジンステ−ション５と４上に、トランスファ−
ア−ム４０を左に移動する。その後、図１６にあるよう
に、リセプタクル４１ｂは、ステ−ション４のエレベ−
タ−上にカスタマ−トレイを置く為に、下方位置に降下
する。ほぼこの時又はその前に、コントロ−ルモジュ−
ルは、分類カテゴリ−３に相当する、アンロ−ドステ−
ジ６２ｂ上のカスタマ−トレイ３４が満杯であり、空の
カスタマ−トレイを交換する必要があることを検出す
る。従って、図１６（ｄ）にあるように、トランスファ
−ア−ム４０に格別の動作を付加することなく、トラン
スファ−ア−ム４０の右リセプタクル４１ｂとカテゴリ
−３のカスタマ−トレイが結合出来るように、アンロ−
ドステ−ジ６２ｂは下方位置に降下する。その後、図１
７（ａ）に示したように、カテゴリ−３マガジンステ−
ション上に、リセプタクル４１ｂが並ぶようにトランス
ファ−ア−ム４０は右へ１つ移動する。

【００４６】この位置では、図１７（ａ）に示したよう
に、アンロ−ドステ−ジ６２ｂはまだ下方位置にあるの
で、トランスファ−ア−ム４０の左リセプタクル４１ａ
は、空のカスタマ−トレイをアンロ−ドステ−ジ６２ｂ
上に離す。その後テスト済のＩＣの分類を続けられるよ
うに、アンロ−ドステ−ジ６２ｂは上方位置に上がる。
それと同時に、ステ−ション３のマガジン内のエレベ−
タ−４７上に、カテゴリ−３のカスタマ−トレイを置く
ために、トランスファ−ア−ム４０の右リセプタクル４
１ｂは下方位置へ降下する。最後に、図１７（ｃ）に示
したように、トランスファ−ア−ム４０の右リセプタク
ル４１ｂは、再び上方位置に上がり、次の命令の用意が
出来る。

【００４７】

【発明の効果】従って、本発明のロ−ダ−とアンロ−ダ
−は、比較的少ないハンドリング運動で多数の機能を達
成出来ることがわかる。図１６および図１７の例に示し
てあるように、トランスファ−ア−ム４０による単一の
工程において、様々な構成部分による多数の機能が達成
される。結論として、本発明のロ−ダ−アンドアンロ−
ダ−は、ＩＣテストハンドラ−産業に大きな前進をもた
らすものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のロ−ダ−・アンロ−ダ−を示
しており、図１（Ａ）はそのオ−トマチックテストハン
ドラ−の斜視図であり、図１（Ｂ）はカスタマ−トレイ
とそれに関連したカスタマ−トレイマガジン、およびト
レイエレベ−タ−の展開図である。

【図２】図２は、本発明のロ−ダ−・アンロ−ダ−が組
み入れられる、オ−トマティックテストハンドラ−の後
方から見た図である。

【図３】図３は、全体のテストプロセスの１部として
の、ロ−ダ−・アンロ−ダ−の機能を示す概念図であ
る。

【図４】図４は、ハンドラ−の正面図である。

【図５】図５は、ロ−ダ−・アンロ−ダ−部を有する、
テストハンドラ−を上から見た平面図である。

【図６】図６は、ハンドラ−におけるキャッチャ−の斜
視図である。

【図７】図７はキャッチャ−を上から見た平面図であ
る。

【図８】図８はキャッチャ−の正面図である。

【図９】図９は、ハンドラ−におけるバッファ−を上か
ら見た平面図である

【図１０】図１０は、バッファ−の正面図である。

【図１１】図１１は、ロ−ダ−およびアンロ−ド−と、
トレイストップを上から見た、展開した平面図である。

【図１２】図１２は、ロ−ダ−・アンロ−ダ−の正面図
である。

【図１３】図１３は、トランスファ−ア−ムとガイドト
レイを上から見た平面図である。

【図１４】図１４は、トランスファ−ア−ムのロッドと
カム機構を、詳細に表わした正面図である。

【図１５】図１５は、ロ−ダ−およびアンロ−ダ−の、
様々な機構部品間の空間的位置関係を示す概要図であ
る。

【図１６】図１６は、ロ−ダ−およびアンロ−ダ−の、
機構部品の動作のシ−ケンスを示す部分概要図である。

【図１７】図１７は、ロ−ダ−およびアンロ−ダ−の、
機構部品の動作のシ−ケンスを示す図１６の残りの部分
の部分概要図である。

【符号の説明】

２０・・ハンドラ− ２２・・下部キャビネット ２４・・・中間部 ２６・・上部 ２８・・マガジン入力エリア ３０・・マガジン出力エリア ３１・・ステ−ション ３２・・カスタマ−トレイマガジン ３４・・カスタマ−トレイ ３６・・ＩＣ ３８・・カスタマ−トレイエレベ−タ ４０・・トランスファ−ア−ム ４２・・トレイハンドラ− ４４・・ディスプレイモ−タ− ４６・・上部サ−フェス ４８・・テストトレイ ５０・・ロ−ダ−部 ５２・・キャッチャ− ５４・・カスタマ−トレイバッファ− ５６ａと５６ｂ・・ロ−ドステ−ジ ６０・・アンロ−ダ− ６４ａ、６４ｂ・・アンロ−ドステ−ジ ６６・・空カスタマ−トレイバッファ− ６８・・ソ−クチャンバ− ７０・・プリサイサ− ７２・・ロ−ドピックアンドプレイス機構 ７４・・左アンロ−ドピックアンドプレイス ７６・・アンロ−ドピックアンドプレイス ７８・・アンソ−クチャンバ− ８２・・下部サ−フェス ８４ａ、８４ｂ・・テストヘッドチャンバ− ９２・・ブリッジ ９４・・キャリッジ ９６・・つまみ ９７・・フロントプレ−ト ９８・・ブラケット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷 充晃 埼玉県北埼玉郡大利根町新大利根１−５ 株式会社アドバンテスト 大利根Ｒ＆Ｄセ ンタ内

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】集積回路（ＩＣ）を試験するためのオ−ト
   マチックテストハンドラ−のトレイを取り扱う装置であ
   って、そのトレイはテストすべきＩＣを有し、そのトレ
   イは上記ハンドラ−に受け取られるようにロ−ダ−マガ
   ジンに積み重ねられ、そのテストされたＩＣは試験結果
   に基づいて分類され、上記トレイは試験結果に基づいて
   複数のアンロ−ダ−マガジンに分類される装置におい
   て、 上記装置は、 試験すべき複数のＩＣを有する上記トレイを上記テスト
   ハンドラ−に積み込むためのロ−ダ−であり、そのロ−
   ダ−は上記ロ−ダ−マガジンからロ−ダマガジンの上昇
   位置から上記トレイを受け取る為のトレイキャッチャ−
   と、 そのトレイキャッチャ−と隣接し、上記トレイを一時的
   に受け取るためのるバッファ−と、 そのバッファ−隣接し、上記トレイを受け取ためのロ−
   ドステ−ジと、 により構成され、 試験結果に基づいて分類されたＩＣを有する上記トレイ
   を上記アンロ−ダ−マガジンに分類するアンロ−ダ−
   と、そのアンロ−ダ−は試験したＩＣを受け取るための
   上記トレイを受け取るための１組のアンロ−ダ−ステ−
   ジで構成され、 ２つのリセプタクルを有し、（１）上記バッファ−上の
   トレイを上記トレイに移送し、（２）試験をした上記Ｉ
   Ｃを含む上記アンロ−ドステ−ジ上のトレイを試験結果
   に基づいて上記アンロ−ダ−マガジンに移送するための
   トランスファ−ア−ムとにより構成される装置。
2. 【請求項２】試験をする集積回路（ＩＣ）を有する複数
   のトレイを、オ−トマチックテストハンドラ−のロ−ダ
   −マガジンから試験のために積込み、試験したＩＣを有
   するトレイを試験結果に基づいてアンロ−ダ−マガジン
   に積み込む方法において、 上記方法は、 上記ロ−ダ−マガジンからロ−ダマガジンの上昇位置か
   ら上記トレイを受け取るステップと、 上記トレイを一時的にバッファ−に乗せるステップと、 そのバッファ−隣接したロ−ドステ−ジに上記トレイを
   移送するステップと、 １組のアンロ−ダ−ステ−ジに試験結果に基づいて分類
   されたＩＣを受け取るために空のトレイを供給するステ
   ップと、 そのアンロ−ダ−ステ−ジ上の上記トレイを上記アンロ
   −ダ−マガジンに試験結果に基づいて移送するステップ
   とによりなることを特徴とする方法。
3. 【請求項３】上記トレイキャッチャ−は上記ロ−ダ−マ
   ガジンの上部に位置し、そのトレイはロ−ダ−マガジン
   内にあるエレベ−タ−によりロ−ダ−マガジン内に上昇
   され、それにより上記トレイキャッチャ−により再上部
   のトレイを受け取るように構成された、請求項１記載の
   装置。
4. 【請求項４】上記トレイキャッチャ−は上記トレイを運
   ぶための１組のア−ムと、上記トレイを側方からその上
   に支持しるための上記ア−ムから水平方向に可動できる
   ピンとにより構成される、請求項１記載の装置。
5. 【請求項５】上記トレイキャッチャ−は上記ア−ムによ
   り上方から上記トレイをまたぎ、上記ピンにより側方か
   らそのトレイの下部に接触し、かつそのピンを引き込め
   ることによりそのトレイを上記バッファ−上に設置す
   る、請求項３記載の装置。
6. 【請求項６】上記トレイキャッチャ−における上記ピン
   は圧縮空気により発生された空気力により取り出しおよ
   び引き込みを行う、請求項４記載の装置。
7. 【請求項７】上記バッファ−は、上記トレイを受け取る
   ためのプレ−トと、そのバッファ−を垂直および水平方
   向に駆動するための駆動機構により構成される、請求項
   １記載の装置。
8. 【請求項８】上記バッファ−は、上記トレイキャッチャ
   −と上下方向に並ぶ第１の位置と、上記ロ−ドステ−ジ
   に並ぶ第２の位置の２つの位置を取る、請求項７記載の
   装置。
9. 【請求項９】上記ロ−ドテ−ジは、側方に互いに並んだ
   複数のロ−ドステ−ジにより構成される、請求項１記載
   の装置。
10. 【請求項１０】上記アンロ−ダ−は、上記ロ−ダ−のロ
    −ドステ−ジから上記トランスファ−ア−ムにより運ば
    れてきた空のトレイを配置するための複数の対のアンロ
    −ドステ−ジにより構成される、請求項１記載の装置。
11. 【請求項１１】上記アンロ−ダ−は、試験結果に基づき
    上記ＩＣを分類するために、その試験したＩＣを持ち上
    げて空のトレイに分配するためのピックアンドプレイス
    機構と相互作用する、請求項１０記載の装置。
12. 【請求項１２】上記ロ−ドテ−ジは、上記各アンロ−ド
    ステ−ジ対は、他のアンロ−ドステ−ジ対と比例した量
    の試験したＩＣを受け取る、請求項１１記載の装置。
13. 【請求項１３】上記アンロ−ダ−は更に、上記ロ−ダ−
    において空にされたトレイを一時的に受け取り、かつ上
    記試験したＩＣを受け取るために上記空トレイを上記ア
    ンロ−ドステ−ジに供給するための空トレイバッファ−
    を備える、請求項１記載の装置。
14. 【請求項１４】上記アンロ−ダ−とピックアンドプレイ
    ス機構は、上記試験したＩＣの分類において、少ないＩ
    Ｃの量のカテゴリ−の分類を大きな量のＩＣのカテゴリ
    −の分類に優先させるように相互作用する、請求項１１
    記載の装置。
15. 【請求項１５】上記トランスファ−ア−ムはさらに、上
    記ロ−ダ−で空にされたトレイを上記試験したＩＣをそ
    の空トレイに受け取るために上記アンロ−ダ−に搬送す
    る、請求項１記載の装置。
16. 【請求項１６】上記トランスファ−ア−ムは、上記トレ
    イを受け取ることができる複数のリセプタクルにより構
    成され、その各リセプタクルは互いに独立に駆動され
    る、請求項１記載の装置。
17. 【請求項１７】上記トランスファ−ア−ムは、上記リセ
    プタクル上に水平に動作できる複数のピンを含む、請求
    項１記載の装置。
18. 【請求項１８】上記トランスファ−ア−ムは、上記トレ
    イに対し上方または下方からアクセスでき、上記リセプ
    タクルは上記トレイに対し側方から上記トレイの下に上
    記ピンを延ばして接触する、請求項１７記載の装置。
19. 【請求項１９】上記方法はさらに、上記オ−トマチック
    テストハンドラ−のピックアンドプレ−ス機構により試
    験したＩＣを空のトレイに分類するステップを含む、請
    求項２記載の方法。
20. 【請求項２０】上記分類ステップは、少ないＩＣの量の
    カテゴリ−の分類を大きな量のＩＣのカテゴリ−の分類
    に優先させるように行われる、請求項１９記載の方法。