JPH10157849A - Ｉｃ収納容器供給方法及びｉｃ収納容器供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ゴムストッパ２の押込み工程を無くし、チョ
コ停を少なくする。 【解決手段】 マガジンストッパ３４−１−１，３４−
１−２を閉じ、シャフト４４−２を移動して、押板４０
をマガジンガイド３３−２から最も離間する。チューブ
マガジン１を搭載する。シリンダ４２−１にエアを供給
して、シャフト４２−２をマガジンガイド３３−２に最
も近接させ、押板４０によりゴムストッパ２を押圧す
る。押板４０をマガジンガイド３３−２から最も離間す
る。シリンダ３６−１，３６−２を上昇させて、シリン
ダ３６−１によりチューブマガジン１を支持する。マガ
ジンストッパ３４−１−１，３４−１−２を解放する。
シリンダ３６−１を下降させて、チューブマガジン１を
シリンダ３６−２に渡す。シリンダ３６−２を下降させ
て、ガイド３７−１に渡す。シャフト３７−４、ＬＭガ
イド３７−３を移動して、チューブマガジン１を搬送す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣパッケージの
特性選別装置などに用いられ、ＩＣ収納容器（以下、チ
ューブマガジンと呼ぶ）を供給する際のチューブマガジ
ン供給方法、及びチューブマガジン装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】ウェハプロセスが終了すると、ＬＳＩテ
スタを用いてウェハ状態で良品チップの選別が行われ
る。良品チップは切断され、ＩＣパッケージにマウント
された後、ボンディングされる。ＩＣパッケージにキャ
ップがかぶせられて、溶着密封される（以下、この状態
のＩＣパッケージを単にＩＣパッケージと呼ぶ）。そし
て、Ｉパッケーシの特性選別装置により、ＩＣパッケー
ジの最終テストが行われ、良品／不良品が判別されて、
外観検査などを経て、良品が出荷される。このＩＣパッ
ケージの特性選別装置は、ＩＣパッケージを収納したチ
ューブマガジンをハンドラに供給する供給部、ＩＣパッ
ケージを測定部に搬送するハンドラ、ＩＣパッケージの
電気特性や機能のテストをする測定部、良品／不良品を
空のチューブマガジンに収納する収納部により構成され
る。

【０００３】図２は、チューブマガジンとゴムストッパ
の斜視図である。特性選別装置で用いるチューブマガジ
ン１は、収納するＩＣパッケージが落下しないように、
一端がゴムストッパ２で閉塞され、他端が解放されてい
る。そして、解放された他端からＩＣパッケージを供給
／収納している。チューブマガジン１を供給部に一定量
搭載した状態でチューブマガジン１を下から１本ずつロ
ードし、搬送して、ＩＣパッケージをハンドラに供給す
る。ＩＣパッケージは、１個ずつハンドラのロボットハ
ンドなどで吸着して、搬送し、アライメントステージに
て位置決めする。そして、測定部に搬送して、良品／不
良品の判定を行った後、良品／不良品の毎に、収納部の
空のチューブマガジン１に収納して行き、チューブマガ
ジン１が一杯になると、一定量搭載された空のチューブ
マガジン１を下から１本ずつロードして、この空のチュ
ーブマガジン１に良品／不良品のＩＣパッケージを収納
して行く。このように供給部では、ＩＣパッケージが収
納されたチューブマガジン１を下から一本ずつロード
し、収納部では、空のチューブマガジン１を下から１本
ずつロードする。このようなチューブマガジン１を下か
らロードする装置をチューブマガジン供給装置と呼ぶ。

【０００４】図２は、従来のチューブマガジン供給装置
の側面図である。従来のチューブマガジン供給装置は、
筐体１１、ベース板１２、マガジンガイド１３−１，１
３−２、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−
２、センサ１５、シリンダ１６−１，１６−２、ガイド
１７−１、ＬＭガイド１７−２、シリンダ１７−３、及
びシャフト１７−４などを備えている。一端がゴムスト
ッパ２で閉塞され、他端が解放されたチューブマガジン
１が、ベース板１２に支持され、対向して配設された２
つのマガジンガイド１３−１，１３−２の側壁に沿っ
て、マガジンストッパ１２に支持されて一定量搭載され
ている。センサ１４により、チューブマガジン１が正し
く搭載されているかを確認した後、チューブマガジン１
のロードを開始する。ロードの際は、シリンダ１６−
１，１６−２のシャフトを共に上昇し、シリンダ１６−
１により最も下に位置したチューブマガジン１を支持し
た後、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２を
解放する。シリンダ１６−１のシャフトを下降して、チ
ューブマガジン１をシリンダ１６−２に載せると共に、
マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２により、
チューブマガジン１を支持する。シリンダ１６−２のシ
ャフトを下降して、チュープマガジン１をガイド１７−
１に沿って、ＬＭガイド１７−２に支持する。シリンダ
１７−３のシャフト１７−４を移動して、ＬＭガイド１
７−２をスライドさせて、マガジンガイド１３−１，１
３−２の側壁に沿って、チューブマガジン１を搬送して
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
チューブマガジン供給装置には、以下の課題があった。
図４は、従来の問題点を示す図である。チューブマガジ
ン１をロードする際、チューブマガジン１の一端に嵌め
込んであるゴムストッパ２が図４に示すようにマガジン
ガイド１３−１の側壁に引っ掛り、斜め状態になり、上
手く切り出すことがてきず、チョコ停の原因となる。こ
の状態で、チューブマガジン１を強引に供給すると、チ
ューブマガジン１が変形して、チューブマガジン１に収
容されたＩＣパッケージ（供給部の場合）のリードを変
形させてしまうという問題があった。リードが変形する
と外観検査により、ＩＣパッケージは不良品と判定され
てしまう。図５（ａ），（ｂ）は、不具合の改善方法を
示す図であり、特に、同図（ａ）は改善前、同図（ｂ）
は改善後を示す図である。上記不具合を改善するため、
チューブマガジン１がマガジンガイド１３−１に引っ掛
かりロードできない場合は、警告を出しており、この警
告に従って、作業者が図５（ｂ）に示すように、マガジ
ンガイド１３−１に引掛かったチューブマガジン１内に
ゴムストッパ２をチューブマガジン１に押し込む作業工
数が発生するという問題点があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、水平に配設された支持手段と、前記支持
手段に支持され、一方の端部がゴムストッパにより閉塞
され、他方の端部が解放されたＩＣ収納容器の前記一方
の端部及び両側面を内壁に沿ってガイドする第１のマガ
ジンガイドと、前記支持手段に支持され、前記他方の端
部及び前記両側面を内壁に沿ってガイドする第２のマガ
ジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの下部に設け
られた第１の欠損部を貫通して前記チューブマガジンを
支持する第１の位置と解放する第２の位置との間を水平
に移動する第１のマガジンストッパと、前記第２のマガ
ジンガイドの下部の前記第１の欠損部と同じ高さに設け
られた第２の欠損部を貫通して前記チューブマガジンを
支持する第３の位置と解放する第４の位置との間を水平
に移動する第２のマガジンストッパと、前記チューブマ
ガジンを水平方向に搬送する搬送手段と、前記チューブ
マガジンを下方から支持する第５の位置と第２の昇降手
段に渡す第６の位置との間を昇降する第１の昇降手段
と、前記第１の昇降手段に支持される前記チューブマガ
ジンの直ぐ上に搭載されるチューブマガジンを前記第１
と第２のマガジンストッパで支持する第７の位置と前記
搬送手段に渡す第８の位置との間を昇降する前記第２の
昇降手段とを備えたチューブマガジン供給装置におい
て、以下の手段を設けている。

【０００７】すなわち、前記チューブマガジンの一方の
端部に対向する前記第１のマガジンガイドの前記内壁に
近接して配設され、前記第２のマガジンガイドに最も近
接する部位の位置が前記ゴムストッパへの押圧を解除す
る第９の位置と前記ゴムストッパを押圧する第１０の位
置との間を水平に移動する押板と、前記第１のマガジン
ガイドの前記内壁の前記押板を押圧する位置に設けられ
た第３の欠損部を貫通し、先端部が前記押板に固定さ
れ、前記押板を前記第９の位置と前記第１０の位置との
間を移動させる押圧手段とを設けている。以上のように
発明を構成したので、押板を第９の位置にしてチューブ
マガジンを搭載して、ロードする際は、押圧手段によ
り、押板を第１０の位置にする。押板がゴムストッパを
押圧して、各チューブマガジンの解放される端部が第２
のマガジンガイドに沿って整列し、各チューブマガジン
が水平に搭載された状態になる。そして、押板を第９の
位置に移動して、ゴムストッパへの押圧を解放する。第
１と第２の昇降手段を上昇し、チューブマガジンを支持
する。第１と第２のマガジンストッパを解放して、チュ
ーブマガジンを第１の昇降手段により支持する。第１の
昇降手段を下降させて、第２の昇降手段にチューブマガ
ジンを渡す。この時、チューブマガジンが自重によって
下降するが、チューブマガジンが整列してあり、例え
ば、チューブマガジンゴムストッパと押板との間に間隙
が生じているので、ゴムストッパに第２のマガジンガイ
ドに引っ掛かることがない。第１と第２のマガジンスト
ッパによりチューブマガジンを支持する。第２の昇降手
段を下降させ、搬送手段にチューブマガジンを渡す。搬
送手段によりチューブマガジンを搬送する。

【０００８】

【発明の実施の形態】第１の実施形態 図１は、本発明の第１の実施形態を示すチューブマガジ
ン供給装置の側面図であり、図６は、図１のチューブマ
ガジン供給装置の平面図である。このチューブマガジン
供給装置３０は、筐体３１、ベース板３２、マガジンガ
イド３３−１，３３−２、マガジンストッパ３４−１−
１，３４−１−２、シリンダ３４−２、ＬＭガイド３４
−３、センサ３５、シリンダ３６−１，３６−２、ガイ
ド３７−１、シリンダ３７−２、ＬＭガイド３７−３、
シャフト３７−４、ストッパ３８、ガイド３９、押板４
０、支持板４１、シリンダ４２−１、シャフト４２−
２、エアチューブ４２−３、及び電磁弁４２−４を備え
ている。チューブマガジン１を収納するチューブマガジ
ン収納装置５０は、筐体３１、ベース板３２、マガジン
ガイド５１、シリンダ５２、チャック５３、シリンダ５
４、及びレール５５などを備えている。筐体３１には、
電源部、及び制御部などが収納されている。制御部は、
コンピュータを有し、チューブマガジン１をロードする
プログラムをコンピュータ上で実行することにより、チ
ューブマガジン１のロードは自動制御されるようになっ
ている。

【０００９】筐体３１上には、アルミニウムなどで構成
されるベース板３２（支持手段）が水平に配設されてい
る。ベース板３２には、前後に２つの第１のマガジンガ
イド３３−１と第２のマガジンガイド３３−２、第１の
マガジンストッパ３４−１−１、第２のマガジンストッ
パ３４−１−２、及びガイド３９が配設されている。第
１及び第２のマガジンガイド３３−１，３３−２は、
「コ」の字型になっており、「コ」の字の中央に沿っ
て、チューブマガジン１が搭載されるようになってい
る。第１のマガジンガイド３３−１には、ゴムストッパ
２により閉塞されたチューブマガジン１の端部が近接し
て搭載され、第２のマガジンガイドには、解放されたチ
ューブマガジン１の端部が密着して搭載される。マガジ
ンガイド３３−１，３３−２の「コ」の字型にチューブ
マガジン１の両端部及び両側面をガイドするものであ
り、その形状及びマガジンガイド３３−１，３３−２間
の距離は、チューブマガジン１の大きさにより決定され
るが、チューブマガジン１の温度による形状の変形、製
造上のばらつきや作業者がチューブマガジン１をマガジ
ンガイド３３−１，３３−２に搭載しやすいように、チ
ューブマガジン１を搭載した状態でのマガジンガイド３
３−１，３３−２との間隙のクリアランスを設けてい
る。

【００１０】第１のマガジンストッパ３４−１は、第１
のマガジンガイド３３−１の側壁に設けた第１の欠損部
に貫通し、ベース板３２に支持されている。第２のマガ
ジンストッパ３４−２は、第２のマガジンガイド３３−
１の側壁に設けた第２の欠損部に貫通し、ベース板３２
に支持されている。第１，第２のマガジンストッパ３４
−１，３４−２は、ＬＭガイド３４−３に連結され、Ｌ
Ｍガイド３４−３とともに、水平に移動するようになっ
ており、第１のマガジンストッパ３４−１−１は、チュ
ーブマガジン１を支持する第１の位置と解放する第２の
位置との間を移動し、第２のマガジンストッパ３４−１
−２は、チューブマガジン１を支持する第３の位置と解
放する第４の位置との間を移動するようになっている。
ＬＭガイド３４−３がシャフトに連結されて、シャフト
を内部に配設したシリンダ３４−２に連結される。シリ
ンダ３４−２にはエアが供給されて、シャフトが前後に
移動することにより、ＬＭガイド３４−３、マガジンス
トッパ３４−１−１，３４−１−２が移動するようにな
っている。センサ３５は、ベース板３１上に前後に２
つ、それぞれがチューブマガジン１の最下段の位置に合
わせて配設されている。

【００１１】シリンダ３６−１（第１の昇降手段）は、
筐体３１から突出するように、前後に２つ配設されてお
り、シリンダ３６−１に配設されたシャフトが内部に供
給されるエアによって、チューブマガジン１を支持する
第５の位置とシリンダ３６−２にチューブマガジン１を
渡す第６の位置との間を昇降するようになっている。シ
リンダ３６−２（第２の昇降手段）は、筐体３１から突
出するように、前後に２つ配設されており、シリンダ３
６−２に配設されたシャフトが内部に供給されるエアに
よって、シリンダ３６−１からチューブマガジン１を受
け取る第７の位置とガイド３７−１にチューブマガジン
１を渡す第８の位置との間を昇降するようになってい
る。ガイド３７−１は、ロードしたチューブマガジン１
をガイドするためのものであり、前後・左右に都合４
個、ベース板３２上の所定の高さに配設されている。こ
のガイド３７−１は、ＬＭガイド３７−３に連結されて
いる。ＬＭガイド３８−３は、シャフト３７−４に連結
されている。シャフト３７−４は、シリンダ３７−２内
に配設されている。

【００１２】シリンダ３７−２に供給されるエアによっ
て、シャフト３７−４が移動して、シャフト３７−４の
移動に伴い、ＬＭガイド３７−３がスライドして、チュ
ーブマガジン１が搬送されるようになっている。ガイド
３７−１、シリンダ３７−２、シャフト３７−３、及び
ＬＭガイド３７−４は、ロードしたチューブマガジン１
を搬送する搬送手段である。ストッパ３８は、ＬＭガイ
ド３７−３の停止位置を示すためのものであり、チュー
ブマガジン１を供給する側と供給される側にそれぞれ配
設されている。ガイド３９は、チューブマガジン１の搬
送時にガイドするためのものであり、ベース板に支持さ
れ、マガジンガイド３３−１，３３−２に隣接して配設
されている。図７は、図６中のＢ部拡大図である。図８
は、図１中のＡ部拡大図である。

【００１３】第１のマガジンガイド３３−１の側壁の中
央部に近接して、押板４０が配設されている。マガジン
ガイド３３−１の外側の壁には、支持板４１が図示しな
いがネジにより固定されている。支持板４１と第１のマ
ジジンガイド３３−１に設けた第３の欠損部を貫通し
て、第１のマガジンガイド３３−１の中央に、シリンダ
４２−１が配設されている。シリンダ４２−１は図示し
ないがネジにより支持板４１に固定されている。押板４
０は、ネジ４３によりシリンダ４２−１に配設されたシ
ャフト４２−２に固定されている。この押板４０は、チ
ューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３
−２に密着した状態で、シャフト４２−２が最も第２の
マガジンガイド３３−２に接近した時にゴムストッパ２
を押圧する第１０の位置とシャフト４２−２が第２のマ
ガジンガイド３３−２から最も離間した時、押板４０に
よるゴムストッパ２への押圧を解除する、例えば、押板
４０がゴムストッパ２の先端から離間して、ゴムストッ
パ２との間に、間隙（例えば、２〜３ｍｍ程度）が生じ
る第９の位置との間を移動するように配設されている。

【００１４】エアチューブ４２−３へのエアの供給は、
電磁弁４２−４の開閉により行われるようになってい
る。電磁弁４２−４の開閉は、筐体３１の内部に配設さ
れた制御部のコンピュータからの制御信号によって制御
されるようになっている。チューブマガジン１をガイド
するマガジンガイド５１が対向して、ベース板３２の上
に支持されている。空（測定部にＩＣパッケージを供給
する場合）又は満杯（測定部から測定済みのＣパッケー
ジが供給される場合）のチューブマガジン１をレール５
０側に移動して、チューブマガジン１をレール５６に接
触させるためのシリンダ５４が配設されている。チュー
ブマガジン１を持ち上げ、次のチューブマガジン１を受
け取るためのシリンダ５２が配設されている。チューブ
マガジン１を掴むためのチャック５３が前後、左右に４
個配設されている。図示しないハンドラからＩＣパッケ
ージを受け取る、又はハンドラにＩＣパッケージを渡す
ために、ＩＣパッケージを搬送するためのレール５６が
配設されている。以下、こららの図を参照しつつ、本発
明の第１の実施形態のチューブマガジン供給方法及びチ
ューブマガジン供給装置の動作の説明（ａ），（ｂ）を
する。

【００１５】（ａ） チューブマガジン１のマガジンガ
イド３３−１，３３−２への搭載 ロードする際のチューブマガジン１のよりも下の第６，
第８の位置にシリンダ３６−１，３６−２の先端がそれ
ぞれ位置するようにそれぞれ移動する。第１のマガジン
ストッパ３４−１−１を、第１の位置に、第２のマガジ
ンストッパ３４−１−２を、第３の位置にそれぞれ移動
し、電磁弁４２−４の開閉を制御して、エアチューブ４
２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御する
ことにより、シャフト４２−２を第２のマガジンガイド
３３−２から最も離間した位置にする。押板４０がシャ
フト４２−２と共に移動して、ゴムストッパ２への押圧
が解除されて、作業者がチューブマガジン１を搭載し易
い第９の位置まで来る。作業者は、一端がゴムストッパ
２により閉塞され、他端が解放されたチューブマガジン
１を、複数個、ゴムストッパ２を押板４０側にして搭載
する。最下段のチューブマガジン１は、マガジンストッ
パ３４−１−１，３４−１−２により支持され、上方に
チューブマガジン１が積み上げられる。

【００１６】（ｂ） チューブマガジン１のロード 作業者は、筐体３１に設けられた図示しないロードスイ
ッチを押す。センサ３５によってチューブマガジン１が
正しい位置に搭載されたかをチェックして、正しい位置
に搭載されていなければ、警告を出す。この警告に従っ
て、作業者は、チューブマガジン１の搭載のやり直しを
行う。チューブマガジン１が正しい位置に搭載される
と、電磁弁４２−４の開閉を制御して、エアチューブ４
２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御する
ことにより、シャフト４２−２を第２のマガジンガイド
３３−２に最も近づく位置にする。押板４０は、シャフ
ト４２−２と共に移動し、第１０の位置にて、チューブ
マガジン１を閉塞するゴムストッパ２を押圧する。この
時、ゴムストッパ２を押圧する力は、チューブマガジン
１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に密着して
整列するとともに、チューブマガジン１の端部に密着し
ていないようなゴムストッパ２がチューブマガジン１の
端部に密着する程度とする。これにより、搭載された各
チューブマガジン１は、第２のマガジンガイド３３−２
の側壁に沿って整列し、水平に搭載される。

【００１７】シリンダ３６−１は、ロードする最下段の
チューブマガジン１を持ち上げられる第５の位置に、シ
リンダ３６−２は、ロードするチューブマガジン１の直
ぐ上のチューブマガジン１がマガジンストッパ３４−１
−１，３４−１−２に支持される第７の位置にそれぞれ
上昇させる。シリンダ３４−２内のシャフトを移動させ
て、ＬＭガイド３４−２をスライドさせて、マガジンス
トッパ３４−１−１，３４−１−２を解放する。シリン
ダ３６−１をロード前の初期状態の第６の位置に下降さ
せ、シリンダ３６−１に支持したチューブマガジン１を
隣のシリンダ３６−２に移す。この時、搭載されたチュ
ーブマガジン１がマガジンガイド３３−１，３３−２に
沿って下降するが、各チューブマガジン１の解放端が第
２のマガジンガイド３３−２に沿って整列してあり、各
チューブマガジン１が水平に搭載された状態となってお
り、ゴムストッパ２への押圧を解除している、例えば、
ゴムストッパ２と押板４０との間には間隙が生じている
ので、チューブマガジン１が自重により下降する際に、
押板４０に引っ掛かることがなくなり、確実にチューブ
マガジン１をロードすることができる。

【００１８】マガジンストッパ３４−１−１，３４−１
−２を閉じて、チューブマガジン１を支持する。シリン
ダ３６−２をロード前の初期状態の第８の位置まで下降
させて、チューブマガジン１をガイド３７−１に支持す
る。シャフト３７−４を移動させ、ＬＭガイド３７−３
をスライドさせて、チューブマガジン１を、ガイド３９
に沿って、ストッパ３８の停止位置まで移動する。シリ
ンダ５４によりチューブマガジン１をレール５６側に移
動させて、チューブマガジン１とレール５６との隙間を
なくす。チャック５３を上昇させて、チューブマガジン
１を支持する。ハンドラにＩＣパッケージを供給する場
合は、片方のチャック５３を更に上昇させ、チューブマ
ガジン１を傾け、収容されていたＩＣパッケージを１個
ずつレール５６に載せる。レール５６に載せられたＩＣ
パッケージは、ハンドラのロボットなどにより測定部に
搬送され、良品／不良品の判別のテストが行われる。測
定部からＩＣパッケージを収納する収納部においては、
ＩＣバッケージをロードされた空のチューブマガジン１
に収容してゆき、チューブマガジン１にＩＣパッケージ
が一杯になると、シリンダ５２を上昇して、空のチュー
ブマガジンのロードに備える。

【００１９】チューブマガジン１がロードされると作業
者が、適宜、チューブマガジン１をマガジンガイド３３
−１，３３−２に搭載できるようするため、チューブマ
ガジン１をロードする前は、上述したように、押板４０
によりチューブマガジン１を押圧し、搭載したチューブ
マガジン１の解放端を第２のマガジンガイド３３−２の
側壁に沿って整列した後、上述したと同様に、押板４０
の解放、シリンダ３６−１，３６−２の上昇、マガジン
ストッパ３４−１−１，３４−１−２の解放などをし
て、最下段のチューブマガジン１をロードするという動
作を繰り返す。以上説明したように、本第１の実施形態
によれば、チューブマガジン１をロードする際は、シリ
ンダ４２−１のシャフト４２−２を移動して、押板４０
によりチューブマガジン１を閉塞したゴムストッパ２を
押圧してチューブマガジン１の解放端が第２のマガジン
ガイド３３−２に沿って整列し、押板４０とゴムストッ
パ２との間に間隙を生じさせるので、ゴムストッパ２が
マガジンガイド３３−１，３３−２に引っ掛かるような
ことがなく、確実にロードすることができる。そのた
め、チョコ停低減、ＩＣパッケージのリード曲り防止、
作業者によるゴムストッパ２押しこみの工数の削減が期
待できる。

【００２０】第２の実施形態 図９は、本発明の第２の実施形態を示すチューブマガジ
ン供給装置の構成図であり、図１中の要素に共通する要
素には共通の符号を付している。本第２の実施形態のチ
ューブマガジン供給装置が第１の実施形態のチューブマ
ガジン供給装置３０と異なる点は、第１の実施形態で
は、押板４０をシリンダ４２−１のシャフト４２−２に
ネジにより固定していたのに対して、第２の実施形態で
は、押板４０を、シリンダ４２−１のシャフト４２−３
からは分離し、支持板４１の上下の位置に、バネ６２が
周囲に巻かれたリニアブッシュ６１を設けて、そのリニ
アブッシュ６１の先端をネジ６３により、押板４０を支
持するようにしたことである。図１０は、図９中の拡大
平面図である。図１１は、図９中のＣ部拡大図である。
支持板４１の上下に、支持板４１及び第１のマガジンガ
イド３３−１に設けた欠損部を貫通して、リニアブッシ
ュ６１（移動手段）が支持板４１に図示しないネジによ
り固定されている。リニアブッシュ６１の外側の先端
に、バネ６２の一方の端部が固定されている。このバネ
６２（弾性手段）は、リニアブッシュ５１の周囲を取り
囲んで巻かれており、他方の端部は、支持板４１に固定
されている。リニアブッシュ６１の内側の先端は、ネジ
６２によって、押板４０と固定されている。

【００２１】バネ６２が弛緩した状態で、押板４０とチ
ューブマガジン１を閉塞したゴムストッパ２との間に間
隙（２〜３ｍｍ程度）が生じ、且つ、押板４０がシャフ
ト４４−２の先端により押されることにより、ゴムスト
ッパ２を押圧するように、リニアブッシュ６２及びリニ
アブッシュ６１の長さを決定している。支持板４１の中
央に、シリンダ４４−１が固定されている。シリンダ４
４−１には、シャフト４４−２が配設されているが、こ
のシャフト４４−２と押板４０とは分離されている。以
下、図９の動作説明をする。図９のチューブマガジン供
給装置の動作は、第１の実施形態のチューブマガジン供
給装置５０の動作とは、押板４０によって、ゴムストッ
パ２を押圧、押板４０の押圧の解放の動作が異なるの
で、この点を以下（ａ），（ｂ）に説明する。 （ａ） ゴムストッパ２への押圧 チューブマガジン１をロードする前は、電磁弁４４−４
の開閉を制御して、エアチューブ４４−３からシリンダ
４４−１に供給するエアを制御することにより、シャフ
トを最も内側の位置にする。シャフト４４−２が押板４
０に接触し、押板４０が内側に移動するとともに、押板
４０に固定されたリニアブッシュ６１がバネ６２を押し
縮めながら、内側に移動する。そして、押板４０がゴム
ストッパ２を押圧する。押板４０には、上下のリニアブ
ッシュ６１の先端からも力を受けるので、押板４０には
均一に力がかけられることになり、搭載されたチューブ
マガジン１を閉塞するゴムストッパ２を一様に押圧し
て、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイ
ド３３−２に沿って整列する。

【００２２】（ｂ） ゴムストッパ２への押圧の解放 エアチューブ４４−３からシリンダ４４−１に供給する
エアを制御することにより、シャフト４４−２を最も外
側の位置にして、押板４０への押圧を解放する。これに
より縮んでいたバネ６２は、定常状態に戻り、リニアブ
ッシュ６１が外側に移動し、押板４０がリニアブッシュ
６１と共に移動する。これによって、ゴムストッパ２へ
の押板４０による押圧が解放されて、例えば、ゴムスト
ッパ２と押板４０との間に間隙が生じる。そして、チュ
ーブマガジン１をロードする。以上説明したように、本
第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の利点
がある上に、リニアブッシュ６１によって押板４０の上
下に押圧をかけるので、押板が均一に押圧されて、全て
のゴムストッパ２が一様に押板４０によって押圧される
ため、より確実にチューブマガジン１をロードすること
ができる。

【００２３】第３の実施形態 図１２は、本発明の第３の実施形態を示すチューブマガ
ジン供給装置の構成図であり、図９中の要素に共通する
要素には共通の符号を付している。本第３の実施形態の
チューブマガジン供給装置が第２の実施形態のチューブ
マガジン供給装置と異なる点は、第２の実施形態の支持
板５１の中央に配設したシリンダ４２−１などを小型バ
イブレータ７１に代えたことである。図１３は、図１２
中のＤ部拡大図である。支持板４１の中央部に設けた欠
損部に貫通して、図示しないネジにより小型バイブレー
タ７１が固定されている。小型バイブレータ７１の先端
部と押板４０とは、分離されている。この小型バイブレ
ータ７１は、電磁振動と板バネ共振型のものであり、先
端部が前後に振動し、且つ、この先端部の板バネに力を
かけることによって、先端部が振動の際、最も外側に位
置する位置まで移動するように構成されている。

【００２４】その先端部が振動によって最も内側に位置
した時に、押板４０に押圧をかけて、押板４０を移動さ
せて、ゴムストッパ４０を押圧する振動となるよう小型
バイブレータ７１を設けている。小型バイブレータ７１
は、制御部からの制御信号によってオン／オフの制御が
なされるようになっている。以下、図１２の動作説明を
する。第２の実施形態のチューブマガジン供給装置の動
作とは、押板４０によって、ゴムストッパ２を押圧、押
板４０の押圧の解放の動作が異なるので、この点を、以
下（ａ），（ｂ）に説明する。

【００２５】（ａ） ゴムストッパ２への押圧 チューブマガジン１をロードする前は、小型バイブレー
タ７１を制御部からの制御信号によってオンする。小型
バイブレータ７１は、オンすることにより、振動を開始
する。この振動によって、押板４１及びバネ６２が振動
し、ゴムストッパ２がランダムに押圧されて、チューブ
マガジン１が解放端が第２のマガジンガイド３３−２の
側壁に沿って整列することになる。 （ｂ） ゴムストッパ２への押圧の解放 小型バイブレータ７１を制御部からの制御信号によって
オフする。バネ６２は、定常状態に戻ろうとする外側の
方向の力が働く。この力がリニアブッシュ６１及び押板
４１を通して、小型バイブレータ７１の先端部に加わ
り、先端が振動時の最も外側の位置に戻る。これによ
り、ゴムストッパ２への押板４０への押圧が解放され
て、例えば、押板４１とゴムストッパ２との間に間隙
（２〜３ｍｍ程度）が生じる。そして、チューブマガジ
ン１をロードする。

【００２６】以上説明したように、本第３の実施形態に
よれば、小型バイブレータ７１によって先端を振動さ
せ、ゴムストッパ２にランダムに押圧をかけるので、チ
ューブマガジン１が整列し、ロードの際は、小型バイブ
レータ７１をオフして、押板４０によるゴムストッパ２
への押圧を解放して、押板４０とゴムストッパ２との間
に間隙を生じさせるので第２の実施形態と同様の利点が
ある。なお、本発明は、上記実施形態に限定されず種々
の変形が可能である。その変形例としては、例えば次の
ようなものがある。 （１） 実施形態では、測定部にＩＣパッケージを供給
するためのチューブマガジンの供給、測定したＩＣパッ
ケージを収容するために、空のチューブマガジンの供給
する場合を例に説明したが、水平に複数段搭載したチュ
ーブマガジンを下からロードする場合には、適用可能で
ある。 （２） 図１では、シリンダ４４−２などは１個とした
が、複数個あってもよい。

【００２７】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第１の発明
によれば、第１と第２のストッパに支持されて第１と第
２のマガジンガイドに沿って搭載されたチューブマガジ
ンをロードする前は、ゴムストッパを押圧して、チュー
ブマガジンの解放端を第２のマガジンガイドに沿って整
列させた後、ゴムストッパの押圧を解放してロードする
ので、ゴムストッパが第１のマガジンガイドに引っ掛か
ることが少なくなる。そのため、チョコ停が少なくな
る。第２〜第６の発明によれば、第１のマガジンガイド
とゴムストッパとの間に押板、押板の押圧／解放する押
圧手段とを設けたので、チューブマガジンをロードする
前は、押圧手段により押圧した後、押圧を解放してロー
ドすることが可能となり、ゴムストッパが第１のマガジ
ンガイドに引っ掛かることが少なくなる。そのため、チ
ョコ停が少なくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態のチューブマガジン供
給装置の側面図である。

【図２】チューブマガジンとゴムストッパとを示す図で
ある。

【図３】従来のチューブマガジン供給装置の側面図であ
る。

【図４】従来の問題点を示す図である。

【図５】不具合の改善方法を示す図である。

【図６】図１のチューブマガジン供給装置の平面図であ
る。

【図７】図６中のＢ部拡大図である。

【図８】図１中のＡ部拡大図ある。

【図９】本発明の第２の実施形態のチューブマガジン供
給装置の側面図である。

【図１０】図９中の拡大平面図である。

【図１１】図９中のＣ部拡大図である。

【図１２】本発明の第３の実施形態のチューブマガジン
供給装置の側面図である。

【図１３】図１２中のＤ部拡大図である。

【符号の説明】

３１ 筐体 ３２ ベー
ス板 ３３−１ 第１
のマガジンガイド ３３−２ 第２
のマガジンガイド ３４−１−１ 第１
のマガジンストッパ ３４−１−２ 第２
のマガジンストッパ ３４一２，３６−１，３６−２ シリ
ンダ ３７−２，４２−１ シリ
ンダ ３４−３，３７−３，４２−２ ＬＭ
ガイド ４０ 押板 ４１ 支持
板 ４２−３ エア
チューブ ４２−４ 電磁
弁 ６１ リニ
アブッシュ ６２ バネ ７１ 小型
バイブレータ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平に配設された支持手段と、前記支持
   手段に支持され、一方の端部がゴムストッパにより閉塞
   され、他方の端部が解放されたＩＣ収納容器の前記一方
   の端部及び両側面を内壁に沿ってガイドする第１のマガ
   ジンガイドと、前記支持手段に支持され、前記他方の端
   部及び前記両側面を内壁に沿ってガイドする第２のマガ
   ジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの下部に設け
   られた第１の欠損部を貫通して前記ＩＣ収納容器を支持
   する第１の位置と解放する第２の位置との間を水平に移
   動する第１のマガジンストッパと、前記第２のマガジン
   ガイドの下部の前記第１の欠損部と同じ高さに設けられ
   た第２の欠損部を貫通して前記ＩＣ収納容器を支持する
   第３の位置と解放する第４の位置との間を水平に移動す
   る第２のマガジンストッパと、前記ＩＣ収納容器を水平
   方向に搬送する搬送手段と、前記ＩＣ収納容器を下方か
   ら支持する第５の位置と第２の昇降手段に渡す第６の位
   置との間を昇降する第１の昇降手段と、前記第１の昇降
   手段に支持される前記ＩＣ収納容器の直ぐ上に搭載され
   るＩＣ収納容器を前記第１と第２のマガジンストッパで
   支持する第７の位置と前記搬送手段に渡す第８の位置と
   の間を昇降する前記第２の昇降手段とを備えたＩＣ収納
   容器供給装置を用いたＩＣ収納容器供給方法において、 前記第１のマガジンストッパを前記第１の位置に、前記
   第２のマガジンストッパを前記第３の位置にそれぞれ移
   動して、前記ＩＣ収納容器の前記一方の端部を前記第１
   のマガジンガイドの前記内壁側に、前記ＩＣ収納容器の
   前記他方の端部を前記第２のマガジンガイドの前記内壁
   側にして、前記ＩＣ収納容器を搭載する工程と、 前記ＩＣ収納容器の前記一方の端部を閉塞する前記ゴム
   ストッパを前記第２のマガジンガイドの方向に押圧し
   て、前記他方の端部を前記第２のマガジンガイドの前記
   内壁に沿って整列する工程と、 前記ＩＣ収納容器の前記一方の端部を閉塞する前記ゴム
   ストッパへの前記押圧を解除する工程と、 前記第１の昇降手段を前記第５の位置に、前記第２の昇
   降手段を前記第７の位置にそれぞれ上昇して、前記第１
   の昇降手段により前記ＩＣ収納容器を支持するする工程
   と、 前記第１の昇降手段を前記第６の位置に下降して、前記
   第２の昇降手段により前記ＩＣ収納容器を支持し、前記
   第１のマガジンストッパを前記第１の位置に、前記第２
   のマガジンストッパを前記第３の位置にする工程と、 前記第２の昇降手段を前記第８の位置に下降して、前記
   ＩＣ収納容器を前記搬送手段に渡す工程と、 前記ＩＣ収納容器を搬送手段により搬送する工程とを、 実施することを特徴とするＩＣ収納容器供給方法。
2. 【請求項２】 水平に配設された支持手段と、前記支持
   手段に支持され、一方の端部がゴムストッパにより閉塞
   され、他方の端部が解放されたＩＣ収納容器の前記一方
   の端部及び両側面を内壁に沿ってガイドする第１のマガ
   ジンガイドと、前記支持手段に支持され、前記他方の端
   部及び前記両側面を内壁に沿ってガイドする第２のマガ
   ジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの下部に設け
   られた第１の欠損部を貫通して前記ＩＣ収納容器を支持
   する第１の位置と解放する第２の位置との間を水平に移
   動する第１のマガジンストッパと、前記第２のマガジン
   ガイドの下部の前記第１の欠損部と同じ高さに設けられ
   た第２の欠損部を貫通し前記ＩＣ収納容器を支持する第
   ３の位置と解放する第４の位置との間を水平に移動する
   第２のマガジンストッパと、前記ＩＣ収納容器を水平方
   向に搬送する搬送手段と、前記ＩＣ収納容器を下方から
   支持する第５の位置と第２の昇降手段に渡す第６の位置
   との間を昇降する第１の昇降手段と、前記第１の昇降手
   段に支持される前記ＩＣ収納容器の直ぐ上に搭載される
   ＩＣ収納容器を前記第１と第２のマガジンストッパで支
   持する第７の位置と前記搬送手段に渡す第８の位置との
   間を昇降する前記第２の昇降手段とを備えたＩＣ収納容
   器供給装置において、 前記ＩＣ収納容器の一方の端部に対向する前記第１のマ
   ガジンガイドの内壁に近接して配設され、前記第２のマ
   ガジンガイドに最も近接する部位の位置が前記ゴムスト
   ッパへの押圧を解放する第９の位置と前記ゴムストッパ
   を押圧する第１０の位置との間を水平に移動する押板
   と、 前記第１のマガジンガイドの前記内壁の前記押板を押圧
   する位置に設けられた第３の欠損部を貫通し、先端部が
   前記押板に固定され、前記押板を前記第９の位置と前記
   第１０の位置との間を移動させる押圧手段とを、 設けたことを特徴とするＩＣ収納容器供給装置。
3. 【請求項３】 水平に配設された支持手段と、前記支持
   手段に支持され、一方の端部がゴムストッパにより閉塞
   され、他方の端部が解放されたＩＣ収納容器の前記一方
   の端部及び両側面を内壁に沿ってガイドする第１のマガ
   ジンガイドと、前記支持手段に支持され、前記他方の端
   部及び前記両側面を内壁に沿ってガイドする第２のマガ
   ジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの下部に設け
   られた第１の欠損部を貫通して前記ＩＣ収納容器を支持
   する第１の位置と解放する第２の位置との間を水平に移
   動する第１のマガジンストッパと、前記第２のマガジン
   ガイドの下部の前記第１の欠損部と同じ高さに設けられ
   た第２の欠損部を貫通して前記ＩＣ収納容器を支持する
   第３の位置と解放する第４の位置との間を水平に移動す
   る第２のマガジンストッパと、前記ＩＣ収納容器を水平
   方向に搬送する搬送手段と、前記ＩＣ収納容器を下方か
   ら支持する第５の位置と第２の昇降手段に渡す第６の位
   置との間を昇降する第１の昇降手段と、前記第１の昇降
   手段に支持される前記ＩＣ収納容器の直ぐ上に搭載され
   るＩＣ収納容器を前記第１と第２のマガジンストッパで
   支持する第７の位置と前記搬送手段に渡す第８の位置と
   の間を昇降する前記第２の昇降手段とを備えたＩＣ収納
   容器供給装置において、 前記ＩＣ収納容器の一方の端部に対向する前記第１のマ
   ガジンガイドの内壁に近接して配設され、前記第２のマ
   ガジンガイドに最も近接する部位の位置が前記ゴムスト
   ッパへの押圧を解放する第９の位置と前記ゴムストッパ
   を押圧する第１０の位置との間を水平に移動する押板
   と、 前記第１のマガジンガイドの前記押板を押圧する位置に
   設けられた第３の欠損部を貫通し、先端部が前記押板を
   前記第９の位置まで移動せしめる第１１の位置と前記押
   板が前記第８の位置に戻るまでの第１２の位置との間を
   水平に移動する押圧手段と、 前記第１のマガジンガイドに設けられた第４の欠損部を
   貫通し、一方の端部が前記押板に固定され、他方の端部
   が前記第１のマガジンガイドから突出して、水平方向に
   移動する移動手段と、 一方の端部が前記第１のマガジンガイドに固定され、他
   方の端部が前記移動手段の前記第１のマガジンガイドか
   ら突出する部位に固定され、弛緩した状態において、前
   記押板が前記第９の位置に位置するように配設された弾
   性手段とを、 設けたことを特徴とするＩＣ収納容器供給装置。
4. 【請求項４】 前記押圧手段は、 前記第１のマガジンガイドに固定されたシリンダと、 前記シリンダ内に配設されたシャフトと、 前記シリンダ内にエアを供給するエアチューブと、 制御信号により開閉が制御され、前記エアチューブに前
   記エアの供給を制御する電磁弁とを、 有することを特徴とする請求項２又は３記載のＩＣ収納
   容器供給装置。
5. 【請求項５】 前記押圧手段は、 バイブレータで構成した、 ことを特徴とする請求項２又は３記載のＩＣ収納容器供
   給装置。
6. 【請求項６】 前記移動手段は、 前記第１のマガジンガイドに固定したリニアブッシュで
   構成し、 前記弾性手段は、 バネで構成した、 ことを特徴とする請求項３記載のＩＣ収納容器供給装
   置。