KR100891536B1 - 캐리어 기판 분리 모듈 및 이를 갖는 스트립 기판 공급장치 - Google Patents

캐리어 기판 분리 모듈 및 이를 갖는 스트립 기판 공급장치 Download PDF

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Abstract

캐리어 기판 분리 모듈 및 이를 갖는 스트립 기판 공급 장치가 개시되어 있다. 스트립 기판 공급 장치는 교대로 배치되며 제1 사이즈를 갖는 스트립 기판들 및 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈를 갖는 캐리어 기판들이 통과하는 개구를 갖는 테이블, 상기 스트립 기판 및 상기 캐리어 기판을 업-다운 시키는 업-다운 유닛 및 상기 테이블 상에 배치되며, 인접한 한 쌍의 상기 캐리어 기판들의 사이에 배치되어 상부 캐리어 기판을 서포트 하는 서포트 유닛 및 상기 서포트 유닛의 하부에 배치되며 서포트 유닛으로부터 서포트 된 상기 상부 캐리어 기판의 하부에 배치된 하부 캐리어 기판을 상기 상부 캐리어 기판으로부터 밀어내는 푸셔 유닛을 갖는 캐리어 기판 분리 모듈을 포함한다.

Description

캐리어 기판 분리 모듈 및 이를 갖는 스트립 기판 공급 장치{SEPERATE MODULE FOR SEPERATING CARRIER SUBSTRATES AND APPARATUS FOR SUPPLYING STRIP SUBSTRATE HAVING THE MODULE}
본 발명은 캐리어 기판 분리 모듈 및 이를 갖는 스트립 기판 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 패키지 분야에서 생산성을 향상시키기 위해 복수개의 반도체 칩들이 함께 실장 된 스트립 기판은 복수개가 적층 된 상태에서 가장 하부의 스트립 기판이 나머지 스트립 기판들로부터 분리되어 후속 공정으로 이송된다.
적층 된 스트립 기판들로부터 하부의 한 장의 스트립 기판을 분리하기 위해서 일반적으로 스트립 기판들 사이로 전진 및 후진 되는 분리 기구가 사용된다.
그러나, 단순하게 복수개가 적층 된 스트립 기판들로부터 하부의 한 장의 스트립 기판을 분리하는 분리 기구를 사용할 경우, 스트립 기판 분리 과정에서 빈번한 문제점이 발생 되고 있다.
종래 분리 기구를 이용하여 적층 된 스트립 기판들로부터 한 장의 스트립 기판을 분리할 때 빈번하게 발생 되는 문제점의 하나로는 스트립 기판의 낙하에 따른 손상 및 공정 지연을 들 수 있다. 이와 같은 문제점은 인접한 스트립 기판들이 이물질에 의하여 상호 부착되거나 스트립 기판들이 경사지게 배치될 때 빈번하게 발생 된다.
본 발명의 하나의 목적은 복수개의 캐리어 기판으로부터 하나의 캐리어 기판을 분리하기 위한 캐리어 기판 분리 모듈을 제공한다.
본 발명의 하나의 목적은 상기 캐리어 기판 분리 모듈을 이용하여 적층 된 스트립 기판들로부터 각 스트립 기판을 정확하게 분리하여 이송할 수 있는 스트립 기판 제공 장치를 제공한다.
캐리어 기판 분리 모듈은 관통공을 갖는 서포트 블록, 파이프 형상으로 상기 서포트 블록에 삽입되며, 단부에 지지편이 형성된 서포트 유닛, 상기 서포트 유닛의 내부에 삽입되는 탄성 부재 및 상기 탄성 부재에 의하여 상기 서포트 유닛의 내부에서 직선 왕복 운동하는 분리 핀을 포함하는 푸셔 유닛, 상기 서포트 유닛에 결합 된 링크 블록 및 상기 링크 블록과 결합 되어 상기 서포트 유닛을 상기 서포트 블록 내에서 직선 왕복운동시키는 실린더를 포함한다.
캐리어 기판 분리 모듈의 상기 푸셔 유닛은 상기 탄성 부재의 이탈을 방지하기 위해 상기 서포트 유닛의 내부에 결합된 결합 부재를 포함한다.
캐리어 기판 분리 모듈의 상기 분리 핀의 단부는 경사면을 갖는다.
스트립 기판 공급 장치는 교대로 배치되며 제1 사이즈를 갖는 스트립 기판들 및 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈를 갖는 캐리어 기판들이 통과하는 개구를 갖는 테이블, 상기 스트립 기판 및 상기 캐리어 기판을 업-다운 시키는 업-다운 유 닛 및 상기 테이블 상에 배치되며, 인접한 한 쌍의 상기 캐리어 기판들의 사이에 배치되어 상부 캐리어 기판을 서포트 하는 서포트 유닛 및 상기 서포트 유닛의 하부에 배치되며 서포트 유닛으로부터 서포트 된 상기 상부 캐리어 기판의 하부에 배치된 하부 캐리어 기판을 상기 상부 캐리어 기판으로부터 밀어내는 푸셔 유닛을 갖는 캐리어 기판 분리 모듈을 포함한다.
스트립 기판 공급 장치의 상기 캐리어 기판은 직육면체 플레이트 형상을 갖고, 상기 캐리어 기판 분리 모듈은 상기 캐리어 기판의 4개의 모서리 부분을 서포트 하기 위해 4 개로 이루어진다.
스트립 기판 공급 장치의 상기 테이블은 상기 캐리어 기판들을 가이드 하기 위해 상기 테이블에 대하여 수직 하게 배치된 가이드 레일들을 포함한다.
스트립 기판 공급 장치의 상기 캐리어 기판 분리 모듈은 상기 서포트 유닛을 상기 캐리어 기판의 밑면에 결합 또는 서포트 유닛으로부터 상기 캐리어 기판을 분리시키기 위한 실린더를 포함한다.
스트립 기판 공급 장치의 상기 서포트 유닛은 파이프 형상을 갖고, 상기 서포트 유닛은 상기 캐리어 기판과 인접한 단부로부터 돌출되어 캐리어 기판들 사이로 삽입되는 키(key) 형상의 지지편을 포함한다.
스트립 기판 공급 장치의 상기 푸셔 유닛은 상기 서포트 유닛의 내부에 배치된다.
스트립 기판 공급 장치의 상기 푸셔 유닛은 상기 서포트 유닛의 내부에 배치된 탄성 부재 및 상기 탄성 부재와 결합 되며 상기 캐리어 기판의 상면 및 측면이 만나는 모서리를 가압하여 상기 탄성 부재에 의하여 직선 왕복 운동하는 분리 핀을 포함한다.
스트립 기판 공급 장치의 상기 분리핀의 단부는 상기 모서리와 경사지게 접촉되는 경사면을 갖는다.
스트립 기판 공급 장치의 상기 분리핀의 단부는 상기 모서리와 경사지게 접촉되는 곡면을 갖는다.
본 발명에 의하면, 인접한 한 쌍의 캐리어 기판 중 상부 캐리어 기판은 서포트 유닛으로 고정한 상태에서 인접한 한 쌍의 캐리어 기판 중 하부 캐리어 기판은 푸셔 유닛으로 밀어 내어 하부 캐리어 기판을 상부 캐리어 기판으로부터 강제적으로 분리하여 캐리어 기판의 낙하에 따른 파손 및 캐리어 기판의 공급 지연을 방지하는 효과를 갖는다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 캐리어 기판 분리 모듈 및 이를 갖는 스트립 기판 공급 장치에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 스트립 기판 제공 장치를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 스트립 기판 제공 장치(100)는 테이블(8), 업-다운 유닛(42) 및 캐리어 기판 분리 모듈(12)을 포함한다.
참조부호 3은, 예를 들어, 복수개의 반도체 칩들이 실장 된 스트립 기판이고, 참조부호 5는 스트립 기판(3)을 운반하기 위한 캐리어 기판이다. 본 실시예에서, 스트립 기판(3)은 직육면체 플레이트 형상을 갖고 제1 사이즈를 갖는다. 캐리어 기판(5)은 직육면체 플레이트 형상을 갖고 제1 사이즈보다 다소 큰 제2 사이즈를 갖는다. 캐리어 기판(5)의 중앙에는 스트립 기판(3)이 배치된다. 본 실시예에서, 캐리어 기판(5) 및 스트립 기판(3)은 복수개가 교대로 배치된다.
테이블(8)은 플레이트 형상을 갖고, 테이블(8)에는 캐리어 기판(5)이 통과하는 개구(6)가 형성된다. 본 실시예에서, 테이블(10)에는 2 개의 개구(6)들이 나란하게 형성된다.
한편, 테이블(8)은 테이블(8)에 대하여 수직으로 배치된 가이드 레일(10)을 포함한다. 가이드 레일(10)은 테이블(8)의 각 개구(6) 주위에 4 개가 배치되고, 가이드 레일(10)에 의하여 운송 기판(5)은 가이드 된다.
업-다운 유닛(42)은 스트립 기판(3)이 탑재된 캐리어 기판(5)을 상승 또는 하강시킨다.
업-다운 유닛(42)은 수직 실린더 로드(46)가 하부를 향해 배치된 2단 실린더(44), 하부를 향해 배치된 수직 실린더 로드(46)와 결합 된 플레이트(46) 및 플레이트(46)의 상면에 결합 되며 상단부에 헤드(52)가 형성된 이송 암(50)을 포함한다. 이송 암(50)은 플레이트(46)의 상면에, 예를 들어, 4 개가 배치된다.
업-다운 유닛(42)의 2단 실린더(44)의 작동에 의해 수직 실린더 로드(46)는 수직 왕복 운동하고, 이로 인해 수직 실린더 로드(46)에 결합 된 플레이트(46) 및 플레이트(46)에 결합 된 이송 암(50)들은 지면에 대하여 수직 한 방향으로 상승 또는 하강 된다. 각 이송 암(50)의 상단부에 배치된 헤드(52)는 캐리어 기판(5)의 밑면을 안전하게 서포트 한다.
캐리어 기판 분리 모듈(12)은 테이블(10)의 상면 상에 배치된다. 캐리어 기판 분리 모듈(12)은 테이블(10)에 형성된 각 개구(6)의 주변에 배치된다. 예를 들어, 캐리어 기판 분리 모듈(12)은 각 개구(6)의 주변에 4 개가 배치된다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리어 기판 분리 모듈의 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 캐리어 기판 분리 모듈의 분해 사시도이다. 도 4는 도 3에 도시된 서포트 유닛 및 푸셔 유닛의 분해 사시도이다. 도 5는 서포트 유닛 및 푸셔 유닛의 내부 구조를 도시한 단면도이다.
도 2를 참조하면, 캐리어 기판 분리 모듈(12)은 서포트 유닛(18), 푸셔 유닛(30)을 포함한다. 이에 더하여, 캐리어 기판 분리 모듈(12)은 서포트 블록(14),실린더(22) 및 링크 블록(26)을 포함한다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 서포트 유닛(18)은, 예를 들어, 중공을 갖는 파이프 형상을 갖고, 서포트 유닛(18)의 단부에는 키(key) 형상을 갖는 지지편(20)이 형성된다. 서포트 유닛(18)의 지지편(20)은 캐리어 기판(5)의 밑면을 지지한다.
한편, 서포트 유닛(18)의 내부에는 직경이 확장된 확장부(19)를 갖는다. 확장부(19)는 지지편(20)이 형성된 서포트 유닛(18)의 일측 단부와 대향 하는 타측 단부로부터 서포트 유닛(18)의 상기 일측 단부를 향해 형성된다.
서포트 유닛(18)은 캐리어 기판(5)을 향해 수평 방향으로 형성된 관통공(16)을 갖는 서포트 블록(14)에 삽입된다. 서포트 유닛(18)은 서포트 블록(14)의 관통공(16)을 따라 슬라이드 가능하게 삽입된다.
파이프 형상을 갖는 서포트 유닛(18)의 내부에는 푸셔 유닛(30)이 배치된다.
푸셔 유닛(30)은 분리 핀(28), 탄성 부재(32)를 포함한다. 이에 더하여 푸셔 유닛(30)은 탄성 부재(32)의 이탈을 방지하는 결합 부재(36)를 더 포함할 수 있다.
분리 핀(28)은 서포트 유닛(18) 중 지지편(20)이 형성된 일측 단부를 통해 서포트 유닛(18)으로부터 돌출되고, 서포트 유닛(18)으로부터 돌출된 분리 핀(28)의 일측 단부와 대향 하는 타측 단부에는 확장부(19)의 단턱에 걸리는 스톱퍼(38)가 배치된다.
분리 핀(28) 중 서포트 유닛(18)으로부터 돌출된 상기 일측 단부는 경사면을 가질 수 있다. 분리 핀(28)의 경사면은 캐리어 기판(5)의 상면 및 측면이 만나는 모서리 부분을 가압하여 캐리어 기판(5)을 하부를 향해 강제로 밀어낸다. 이와 다르게, 분리 핀(28) 중 서포트 유닛(18)으로부터 돌출된 일측 단부는 곡면 형상을 가질 수 있다. 이와 다르게, 분리 핀(28) 중 서포트 유닛(18)으로부터 돌출된 일측 단부는 반구 형상을 가질 수 있다. 이와 다르게, 분리 핀(28) 중 서포트 유닛(18)으로부터 돌출된 일측 단부는 원뿔 형상을 가질 수 있다.
탄성 부재(32)는 분리 핀(28)의 스톱퍼(38)와 접촉되도록 서포트 유닛(18)의 내부에 배치된다. 탄성 부재(32)는, 예를 들어, 스프링일 수 있고, 탄성 부재(32) 의 일측 단부는 스톱퍼(38)와 결합 된다.
결합 부재(36)는 서포트 유닛(18)과 결합 되어 탄성 부재(32)가 외부로 이탈되는 것을 방지한다. 결합 부재(36)의 일부에는 수나사부가 형성되고, 결합 부재(36)의 수나사부는 서포트 유닛(18)의 확장부(19)에 형성된 암나사부와 나사 결합된다.
도 3을 다시 참조하면, 서포트 유닛(18)이 슬라이드 가능하게 결합 된 서포트 블록(14)과 인접한 곳에는 실린더 로드(24)를 갖는 실린더(22)가 배치된다. 실린더 로드(24)는 서포트 유닛(18)의 길이 방향과 평행하게 배치된다. 실린더 로드(24)의 단부에는 막대 형상을 갖는 링크 블록(26)이 결합 되고, 링크 블록(26)은 서포트 유닛(18)과 결합 된 결합 부재(36)와 결합 된다.
실린더(22)에 의하여 직선 왕복 운동하는 실린더 로드(24)에 의하여 링크 블록(26)이 구동되고 이로 인해 서포트 유닛(18)은 서포트 블록(14)의 관통공(16) 내에서 직선 왕복 운동 된다.
도 6 내지 도 12는 본 발명의 일실시예에 의한 스트립 기판 공급 장치의 작동을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 1 및 도 6을 참조하면, 테이블(8)에 배치된 가이드 레일(10)에는 캐리어 기판(5) 및 스트립 기판(3)이 교대로 적층 된다. 이때, 캐리어 기판 분리 모듈(12)의 서포트 유닛(18)의 지지편(20)이 하부에 배치된 캐리어 기판(5)의 밑면을 지지한다. 참조부호 40은 캐리어 기판(5)에 배치된 서포트 유닛(18)을 이송하기 위한 이송 레일이다.
도 7을 참조하면, 각각 스트립 기판(3)이 탑재된 캐리어 기판(5)들이 서포트 유닛(18)의 지지편(20)에 의하여 지지 된 후, 2단 실린더(44)의 수직 실린더 로드(46)의 작동에 의하여 플레이트(48)는 상부로 이송되고, 이로 인해 이송암(50)이 상부로 이송되면서 스트립 기판(3)들이 탑재된 캐리어 기판(5)들은 이송 암(50)의 헤드(52)에 의하여 서포트 유닛(18)의 상부로 이송된다.
도 8을 참조하면, 캐리어 기판(5)들이 헤드(52)에 의하여 서포트 유닛(18)의 상부로 이송된 후, 도 3에 도시된 실린더(22)의 실린더 로드(24)는 링크 블록(26)을 밀고, 이로 인해 서포트 유닛(18)은 링크 블록(26)과 함께 후방으로 이송된다. 따라서, 캐리어 기판(5)은 테이블(8)의 개구(6)를 통해 테이블(8)의 하부로 이송될 수 있다.
도 9를 참조하면, 서포트 유닛(18)이 링크 블록(26)과 함께 후방으로 이송된 후, 2단 실린더(44)의 수직 실린더 로드(46)는 플레이트(48)를 하부로 밀어내고 이로 인해 이송 암(50) 역시 하부로 이송된다.
이송 암(50)이 하부로 이송됨에 따라 헤드(52)에 지지 된 캐리어 기판(5) 역시 하부로 이송된다. 2단 실린더(44)는 인접한 두 개의 캐리어 기판(5)들 사이로 서포트 유닛(18)의 지지편(20)이 삽입될 때까지 캐리어 기판(5)들을 하부로 이송한다.
도 10을 참조하면, 도 3에 도시된 실린더(22)의 실린더 로드(24)는 링크 블록(26)을 당기고, 이로 인해 서포트 유닛(18)은 링크 블록(26)과 함께 전방으로 이송되어 서포트 유닛(18)의 지지편(20)은 인접한 두 개의 캐리어 기판(5)들 사이로 삽입된다.
이때, 푸셔 유닛(30)의 분리 핀(28)의 경사면은 인접한 두 개의 캐리어 기판(5)들 중 하부에 배치된 캐리어 기판(5)의 상면 및 측면이 만나 형성된 모서리 부분과 접촉되고, 이로 인해 분리 핀(28)은 경사면에 의하여 서포트 유닛(18)의 내부로 밀려 들어가게 된다. 분리 핀(28)의 경사면이 캐리어 기판(5)의 모서리에 의하여 가압 됨에 따라 분리 핀(28)의 뒤쪽에 배치된 탄성 부재(34)는 압축된다.
도 11을 참조하면, 2단 실린더(44)의 수직 실린더 로드(46)는 하부로 이송되고, 이로 인해 서포트 유닛(18)의 지지편(20)에 의하여 지지 되지 않은 하부 캐리어 기판(5)은 헤드(52)에 의하여 하부로 이송된다.
이때, 압축된 탄성 부재(34)에 의하여 분리 핀(28)은 전방으로 이송되어 하부 캐리어 기판(5)을 하부로 강제로 밀어내고, 이로 인해 서포트 유닛(18)의 지지편(20)에 의하여 지지 된 상부 캐리어 기판(5)으로부터 하부 캐리어 기판(5)은 완전히 분리된다. 예를 들어, 하부 캐리어 기판(5)이 오염물 등에 의하여 오염되어 상부 캐리어 기판과 부착된 상태 또는 하부 캐리어 기판(5)이 경사지게 배치되더라도 하부 캐리어 기판(5)은 상부 캐리어 기판(5)으로부터 강제적으로 분리된다.
헤드(52)에 배치된 캐리어 기판(5)은 이송 레일(40) 상에 배치되고, 도 12에 도시된 바와 같이 캐리어 기판(5)은 후속 공정을 위해 이송 레일(40)을 따라 이송된다.
앞서 설명한 본 발명의 실시예에서는 캐리어 기판 분리 모듈의 푸셔 유닛을 이용하여 각 캐리어 기판을 분리하는 것이 도시 및 설명되고 있으나, 이와 다른 실 시예로 캐리어 기판을 지지하는 업-다운 유닛의 헤드에 진공압을 발생시키는 진공압 발생 장치를 부가하여 각 캐리어 기판의 하면을 흡착하여 강제적으로 분리할 수 있다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 인접한 한 쌍의 캐리어 기판 중 상부 캐리어 기판은 서포트 유닛으로 고정한 상태에서 인접한 한 쌍의 캐리어 기판 중 하부 캐리어 기판은 푸셔 유닛으로 밀어내어 하부 캐리어 기판을 상부 캐리어 기판으로부터 강제적으로 분리하여 캐리어 기판의 낙하에 따른 파손 및 캐리어 기판의 공급 지연을 방지하는 효과를 갖는다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술 될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 스트립 기판 제공 장치를 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리어 기판 분리 모듈의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 캐리어 기판 분리 모듈의 분해 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 서포트 유닛 및 푸셔 유닛의 분해 사시도이다.
도 5는 서포트 유닛 및 푸셔 유닛의 내부 구조를 도시한 단면도이다.
도 6 내지 도 12는 본 발명의 일실시예에 의한 스트립 기판 공급 장치의 작동을 설명하기 위한 단면도들이다.

Claims (12)

  1. 관통공을 갖는 서포트 블록;
    파이프 형상으로 상기 서포트 블록에 삽입되며, 단부에 지지편이 형성된 서포트 유닛;
    상기 서포트 유닛의 내부에 삽입되는 탄성 부재 및 상기 탄성 부재에 의하여 상기 서포트 유닛의 내부에서 직선 왕복 운동하는 분리 핀을 포함하는 푸셔 유닛;
    상기 서포트 유닛에 결합 된 링크 블록; 및
    상기 링크 블록과 결합 되어 상기 서포트 유닛을 상기 서포트 블록 내에서 직선 왕복운동시키는 실린더를 포함하는 캐리어 기판 분리 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 푸셔 유닛은 상기 탄성 부재의 이탈을 방지하기 위해 상기 서포트 유닛의 내부에 결합 된 결합 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판 분리 모듈.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 분리 핀의 단부는 경사면을 갖는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판 분리 모듈.
  4. 교대로 배치되며, 제1 사이즈를 갖는 스트립 기판들 및 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈를 갖는 캐리어 기판들이 통과하는 개구를 갖는 테이블;
    상기 개구를 통해 상기 스트립 기판 및 상기 캐리어 기판을 업-다운 시키는 업-다운 유닛; 및
    상기 테이블 상에 배치되며 관통공을 갖는 서포트 블록, 한 쌍의 상기 캐리어 기판들의 사이에 배치되어 상부 캐리어 기판을 서포트 하며 파이프 형상으로 상기 서포트 블록에 삽입되며 단부에 지지편이 형성된 서포트 유닛, 상기 서포트 유닛의 내부에 삽입되는 탄성 부재 및 상기 탄성 부재에 의하여 상기 서포트 유닛의 내부에서 직선 왕복 운동하는 분리 핀을 포함하며 상기 서포트 유닛의 하부에 배치되며 서포트 유닛으로부터 서포트 된 상기 상부 캐리어 기판의 하부에 배치된 하부 캐리어 기판을 상기 상부 캐리어 기판으로부터 밀어내기 위한 푸셔 유닛, 상기 서포트 유닛의 단부에 결합 된 링크 블록 및 상기 테이블 상에 배치되며 상기 링크 블록과 결합 되어 상기 서포트 유닛을 상기 서포트 블록 내에서 직선 왕복운동시키는 실린더를 포함하는 캐리어 기판 분리 모듈을 포함하는 스트립 기판 공급 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 캐리어 기판은 직육면체 플레이트 형상을 갖고, 상기 캐리어 기판 분리 모듈은 상기 캐리어 기판의 4개의 모서리 부분을 서포트 하기 위해 4 개로 이루어진 것을 특징으로 하는 스트립 기판 공급 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 테이블은 상기 캐리어 기판들을 가이드 하기 위해 상기 테이블에 대하여 수직 하게 배치된 가이드 레일들을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 기판 공급 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 실린더는 상기 링크 블록과 결합되는 실린더 로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 기판 공급 장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 서포트 유닛은 파이프 형상을 갖고, 상기 서포트 유닛은 상기 캐리어 기판과 인접한 단부로부터 돌출되어 캐리어 기판들 사이로 삽입되는 키(key) 형상의 지지편을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립 기판 공급 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 푸셔 유닛은 상기 서포트 유닛의 내부에 배치된 것을 특징으로 하는 스트립 기판 공급 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 분리 핀은 상기 탄성 부재와 결합 되며 상기 캐리어 기판의 상면 및 측면이 만나는 모서리를 가압하여 상기 탄성 부재에 의하여 직선 왕복 운동하는 것을 특징으로 하는 스트립 기판 공급 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 분리핀의 단부는 상기 모서리와 경사지게 접촉되는 경사면을 갖는 것을 특징으로 하는 스트립 기판 공급 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 분리핀의 단부는 상기 모서리와 경사지게 접촉되는 곡면을 갖는 것을 특징으로 하는 스트립 기판 공급 장치.
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