JPH08334548A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 テスタを連続的に稼働させ、稼働効率を向上
させることができる検査装置の提供。 【構成】 検査前後のデバイスＤをロード、アンロード
するローダ１９及びアンローダ２０と、これら両者を介
して検査前後のデバイスＤをロード、アンロードする、
Ｘ方向で隣接し同方向で移動可能な供給及び収納用整列
部１５，２０と、これらからＹ方向へ離隔した位置にあ
るソケットを有する第１テストヘッド２１と、これと各
整列部１９、２０との間で検査前後のデバイスＤを搬送
する第１搬送機構２３とを備え、デバイスＤをソケット
に電気的に接触させて電気的特性検査を行なう検査装置
において、第１テストヘッドは切り替え可能な第１、第
２ソケットを有し、第１搬送機構２３は第１、第２ソケ
ットと各整列部間でデバイスＤを交互に搬送する第１、
第２搬送部を有し、第１、第２搬送部により搬送された
デバイスＤの電気的検査を、交互に切り替わる第１、第
２ソケットにより連続的に行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばパッケージング
された論理回路素子などの被検査体の電気的特性検査を
行なう検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】パッケージングされたデバイスは、製品
として出荷する前に電気的特性について検査を行なう
が、例えばリード端子のピッチが比較的広い場合には、
この種の検査を行なう検査装置としてハンドラー、テス
トヘッド及びテスタを備えた検査装置が用いられる。そ
して、ハンドラーによりデバイスをテストヘッドのソケ
ットへ自動的に搬送して装着し、ソケットを介してデバ
イスのリード端子とテストヘッドとの電気的接触を図
り、テスタによりデバイスの電気的特性検査を行ない、
検査後にはその検査結果の基づいてハンドラーを用いて
デバイスを分類収納するようにしてある。このような検
査装置として例えば１台のテストヘッドに対して１台の
ハンドラーを備えた図５に示すものがある。

【０００３】図５に示す検査装置の場合には、その一側
（同図の上側）に複数のトレイＴを載置するトレイ載置
部１Ａ〜１ＤがＸ方向に配設され、これらのトレイ載置
部１Ａ〜１Ｄの上方にローダ２及びアンローダ３がハン
ドラーとして配設されている。例えばトレイ載置部１
Ａ、１Ｂには検査前の未検査デバイスＤを行列状に収納
するトレイＴを載置し、トレイ載置部１Ｃ、１Ｄには検
査後のデバイスＤを行列状に収納するトレイＴを載置す
る。また、ローダ２は、トレイ載置部１Ａ、１Ｂのトレ
イＴ上の４個のデバイスＤを同時に吸着保持して予備加
熱部４へ搬送し、ここで予備加熱されたデバイスＤを搬
送領域内に配設された供給用整列部５へ移載する。供給
用整列部５内には配列されたデバイスＤは搬送機構６に
より４個のデバイスＤを同時に吸着保持して検査位置へ
搬送する。この検査位置にはテストヘッド７のソケット
７Ａが配設され、搬送機構６により搬送されたデバイス
Ｄを１個ずつソケット７Ａへ装着し、テストヘッド７を
介してデバイスＤの電気的特性を検査する。搬送機構６
は、検査後のデバイスＤをアンローダ３の駆動領域内に
配設された収納用整列部８へ搬送する。また、アンロー
ダ３は、収納用整列部８内のデバイスＤを４個同時に吸
着保持し、トレイ載置部１Ｃ、１ＤのトレイＴ上に検査
結果に応じて分類搬送する。尚、上述の供給用整列部５
はソケット７Ａに対してデバイスＤの位置が正確になる
ように位置決めするためのものであり、収納用整列部８
はトレイＴ内にデバイスＤが確実に納まるように位置決
めするためのものである。

【０００４】ところで、上述した従来の検査装置を用い
て検査のスループットを向上させるためにはインデック
スタイム（未検査被検査体が供給用整列部に搬入された
後ソケットにおいて検査が行なわれ、その後収納用整列
部に搬送されるまでの時間）を短縮する必要がある。そ
のため、従来の検査装置の場合には上述のように例えば
４個のデバイスＤを同時に搬送し、デバイス１個当りの
搬送時間を短縮することによりインデックスタイムの短
縮を図っている。

【０００５】また、テスタに２台のテストヘッド７を設
け、両テストヘッド７に対して１台の搬送機構で対応し
た検査装置もある。この検査装置の場合には、２台のテ
ストヘッド７に対して１台の搬送機構によってデバイス
を同時に搬送し、２台のテストヘッドにより同時に並行
して検査を行い、一度の検査数量を多くし、デバイス１
個当たりの検査時間を短縮するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
いずれの検査装置の場合にも、テストヘッド７に対して
１台の搬送機構によってデバイスＤを搬送するようにし
ているため、搬送機構が検査前後のデバイスＤをローダ
及びアンローダとテストヘッド７の間で往復搬送してい
る間はデバイスＤの検査を行なうことができず、その往
復搬送時間がそのままテスタの遊びに繋り、テスタの稼
働効率が低下し、特に、ＣＰＵなどの論理回路素子のロ
ジックテストの場合においてテスタの稼働率が低下する
という課題があった。

【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、テスタを遊ばせることなく連続的に稼働さ
せ、その稼働効率を向上させることができる検査装置を
提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の検査装置は、検査前後の被検査体をロード、アンロー
ドするローダ及びアンローダと、これらのローダ及びア
ンローダを介して検査前後の被検査体をロード、アンロ
ードする、Ｘ方向で隣接し同方向で移動可能な第１、第
２整列部と、この第１、第２整列部からＹ方向へ離隔し
た検査位置に配設された、接触部を有するテストヘッド
と、このテストヘッドと上記各整列部との間で検査前後
の上記被検査体を搬送する搬送機構とを備え、上記被検
査体を上記接触部に電気的に接触させて電気的特性検査
を行なう検査装置において、上記テストヘッドはそれぞ
れ切り替え可能な第１、第２接触部を有し、また、上記
搬送機構は第１、第２接触部と第１、第２整列部間で被
検査体を交互に搬送する第１、第２搬送部を有し、第
１、第２搬送部により搬送された被検査体の電気的検査
を、第１、第２接触部が交互に切り替わって連続的に行
うものである。

【０００９】また、本発明の請求項２に記載の検査装置
は、検査前後の被検査体をロード、アンロードするロー
ダ及びアンローダと、これらのローダ及びアンローダを
介して検査前後の被検査体をロード、アンロードする、
Ｘ方向で隣接し同方向で移動可能な第１、第２整列部
と、この第１、第２整列部からＹ方向へ離隔した検査位
置に配設された、接触部を有するテストヘッドと、この
テストヘッドと上記各整列部との間で検査前後の上記被
検査体を搬送する搬送機構とを備え、上記被検査体を上
記接触部に電気的に接触させて電気的特性検査を行なう
検査装置において、上記テストヘッドは第１、第２テス
トヘッドを有すると共に第１、第２テストヘッドはそれ
ぞれ切り替え可能な第１、第２接触部を有し、また、上
記搬送機構は第１、第２テストヘッドに対応した第１、
第２搬送機構を有すると共に第１、第２搬送機構は第
１、第２テストヘッドの第１、第２接触部と上記各整列
部間で被検査体を個別に搬送する第１、第２搬送部を有
し、それぞれの第１搬送部または第２搬送部により搬送
された被検査体の電気的検査を、第１、第２テストヘッ
ドの交互に切り替わる第１、第２接触部により連続的に
行うものである。

【００１０】また、本発明の請求項３に記載の検査装置
は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上
記被検査体が論理回路素子であることを特徴とするもの
である。

【００１１】

【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、例え
ばローダを介して未検査の被検査体を第１整列部内に整
列すると、搬送機構の第１搬送部が第１整列部から被検
査体を取り出してテストヘッドへ搬送し、被検査体をテ
ストヘッドの第１接触部に接触させて被検査体の電気的
特性の検査を行なう。この間に搬送機構の第２搬送部が
第１整列部から被検査体を取り出してテストヘッドへ搬
送して次の検査まで待機する。テストヘッドの第１接触
部での電気的検査が終了すると、搬送機構の第１搬送部
によって検査後の被検査体を取り出すと共にテストヘッ
ドは第１接触部から第２接触部へ切り替わり、待機して
いる搬送機構の第２搬送部が被検査体をテストヘッドの
第２接触部に装着し、第２接触部において被検査体の電
気的特性の検査を行なう。第２接触部での検査の間に第
１搬送部はテストヘッドの第１接触部から検査後の被検
査体を取り出して第２整列部へ引き渡した後、第１整列
部から次の未検査の被検査体を取り出し、テストヘッド
の第１接触部まで搬送し、第２接触部での検査が終了す
るのを待機する。この間にローダが第１整列部へ未検査
の被検査体を搬送すると共に、アンローダが第２整列部
から検査済みの被検査体をアンロードする。このように
してテストヘッドはそれぞれの第１、第２接触部を交互
に切り替えて被検査体の電気的検査を連続的に行い、テ
スタを連続的に稼働させることができる。

【００１２】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、例えばローダを介して未検査の被検査体を第１整
列部内に整列すると、第１、第２搬送機構それぞれの第
１搬送部が同時に第１整列部から被検査体を取り出して
第１、第２テストヘッドへ搬送し、第１、第２テストヘ
ッドの各第１接触部に被検査体を接触させて被検査体の
電気的特性の検査を同時に行なう。第１、第２テストヘ
ッドの第１接触部での検査の間に第１、第２搬送機構そ
れぞれの第２搬送部が第１整列部から被検査体を取り出
して第１、第２テストヘッドへ搬送して次の検査まで待
機する。第１、第２テストヘッドの第１接触部での電気
的検査が終了すると、第１、第２搬送機構の第１搬送部
によって検査後の被検査体を取り出すと共に第１、第２
テストヘッドは第１接触部から第２接触部へ切り替わ
り、待機している第１、第２搬送機構の第２搬送部がそ
れぞれの被検査体を第１、第２テストヘッドの第２接触
部に装着し、それぞれの第２接触部において被検査体の
電気的特性の検査を行なう。この間に第１、第２搬送機
構の第１搬送部は第１、第２テストヘッドの第１接触部
から取り出した検査済みの被検査体を第２整列部へ引き
渡した後、第１整列部から次の未検査の被検査体を取り
出し、第１、第２テストヘッドの第１接触部まで搬送
し、それぞれの第２接触部での検査が終了するのを待機
する。この間にローダが第１整列部へ未検査の被検査体
を搬送すると共に、アンローダが第２整列部から検査済
みの被検査体をアンロードする。このようにして第１、
第２テストヘッドはそれぞれの第１、第２接触部を交互
に切り替えて被検査体の電気的検査を連続的に行い、テ
スタを連続的に稼働させることができる。

【００１３】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
上記被検査体が論理回路素子であるため、論理回路素子
をテストヘッドの第１、第２接触部を交互に使用して電
気的検査を連続的に行うことができる。

【００１４】

【実施例】以下、図１〜図４に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例では被検査体としてパッケー
ジングされた半導体回路デバイス（以下、単に「デバイ
ス」と称す。）を検査する検査装置について説明する。
図１に示すように本実施例の検査装置１０の一側にはデ
バイスＤを載置する載置領域１１がＸ方向に細長に形成
されている。この細長形状の載置領域１１には例えば６
箇所のトレイ載置部１１Ａ〜１１ＦがＸ方向に並んで配
設され、各トレイ載置部１１Ａ〜１１Ｆにはそれぞれ複
数のトレイＴ（図２参照）が上下方向に収納できるよう
にしてある。各トレイＴ内には複数のデバイスＤを行列
状に収納する凹陥部が形成されている。そして、例えば
右側のトレイ載置部１１Ａ、１１Ｂには未検査のデバイ
スＤを載置し、左側のトレイ載置部１１Ｃ〜１１Ｆには
検査後のデバイスＤを検査結果に基づいて分類して載置
するようにしてある。１枚のトレイＴには同一のデバイ
スＤを収納し、トレイＴ毎にデバイスＤを管理するよう
にしてある。

【００１５】更に、各トレイ載置部１１Ａ〜１１Ｆには
図示しない昇降機構が配設され、この昇降機構によりト
レイＴを適宜の位置まで昇降するようにしてある。ま
た、各トレイ載置部１１Ａ〜１１Ｆの上方には各トレイ
載置部１１Ａ〜１１Ｆ上のトレイＴを交互に移載するト
レイ移載機構１２が配設され、例えばトレイ載置部１１
Ａ上のトレイＴが空になった時には、検査後のデバイス
Ｄを収納すべき他のトレイ載置部へ移載するようにして
ある。このトレイ移載機構１２は、例えばトレイＴを真
空吸着する吸着保持体１２Ａと、この吸着保持体１２Ａ
を載置領域１１のＸ方向全長に亘って移動させるＸ方向
駆動機構１２Ｂとを有している。このＸ方向駆動機構１
２Ｂは例えばボールネジあるいはベルトなどの駆動機構
によって構成されている。

【００１６】上記載置領域１１のＹ方向内側には第１予
備加熱部１３と第２予備加熱部１４が互いにＹ方向に隣
接して配設され、更に、第２予備加熱部１４には第１整
列部である供給用整列部１５がＸ方向で隣接し、第１予
備加熱部１３には収納用整列部１６としてＸ方向で隣接
している。各予備加熱部１３、１４はＸ方向に横長に１
２形成され、各整列部１５、１６はＹ方向に縦長に形成
されている。また、第１予備加熱部１３と収納用整列部
１６は例えばモータ（図示せず）によってボールネジ１
７を介して一体的にＸ方向のガイドレール１７Ａに従っ
て往復移動し、第２予備加熱部１４及び供給用整列部１
５はモータ（図示せず）によってボールネジ１８を介し
て一体的にＸ方向のガイドレール１８Ａに従って往復移
動し、デバイスＤの位置決めを行うようにしてある。各
予備加熱部１３、１４と、各整列部１５、１６には凹陥
部が行列状に形成され、それぞれの凹陥部にデバイスＤ
を収納するようにしてある。そして、デバイスＤの種類
によって検査に際し、予備加熱する必要がある場合には
各予備加熱部１３、１４において予備加熱し、予備加熱
の必要がなければ、載置領域１１から供給用整列部１５
へ直接移載するようにしてある。

【００１７】また、図１、図２に示すように、上記トレ
イ載置部１１Ａ、１１Ｂ、予備加熱部１３及び各整列部
１４Ａ、１４Ｂの移動領域上方にはデバイスＤを４個ず
つ吸着保持し、これらの間でデバイスＤを搬送するロー
ダ１９が配設され、また、トレイ載置部１１Ｅ、１１Ｆ
及び各整列部１４Ａ、１４Ｂの移動領域の上方にはデバ
イスＤを４個ずつ吸着保持してこれらの間でデバイスＤ
を搬送するアンローダ２０が配設されている。これら両
者１９、２０はそれぞれの領域でＸ、Ｙ及びＺ方向へ移
動できるようにしてある。即ち、ローダ１９は、図１、
図２に示すように、４個の未検査デバイスＤを同時に吸
着保持し且つＺ方向で昇降する吸着保持体１９Ａと、こ
の吸着保持体１９ＡをＸ方向へ移動させるＸ方向駆動機
構１９Ｂと、このＸ方向駆動機構１９Ｂが外端で連結さ
れ且つこれをＹ方向へ移動させるＹ方向駆動機構１９Ｃ
とを備え、吸着保持体１９ＡがＸ、Ｙ、Ｚ方向で往復移
動するようになっている。また、アンローダ２０は、図
１、図２に示すように、検査後のデバイスＤを４個同時
に吸着保持し且つＺ方向で昇降する吸着保持体２０Ａ
と、この吸着保持体２０ＡをＸ方向へ移動させるＸ方向
駆動機構２０Ｂと、このＸ方向駆動機構２０Ｂが外端で
連結され且つこれをＹ方向へ移動させるＹ方向駆動機構
２０Ｃとを備え、吸着保持体２０ＡがＸ、Ｙ、Ｚ方向で
往復移動するようになっている。

【００１８】また、図１に示すように予備加熱部１４及
び供給用整列部１５のＹ方向奥側には第１、第２テスト
ヘッド２１、２２が２台配設されている。第１テストヘ
ッド２１にはデバイスＤと電気的に接触する第１、第２
ソケット２１Ａ、２１Ｂが配設され、第２テストヘッド
２２にはデバイスＤと電気的に接触する第１、第２ソケ
ット２２Ａ、２２Ｂが配設されている。そして、各テス
トヘッド２１、２２はそれぞれの第１ソケット２１Ａ、
２２Ａと第２ソケット２１Ｂ、２２Ｂを同時に切り替え
るようにしてある。各ソケットはデバイスＤのリード端
子（図示せず）と電気的に接触し、デバイスＤの電気的
特性検査を行なうようにしてある。第１ソケット２１
Ａ、２２Ａと第２ソケット２１Ｂ、２２Ｂは同一構造で
あっても良いし、異種のデバイスＤを検査する異なった
構造にしても良い。異種のデバイスＤを検査できるよう
にすれば、１台の検査装置１０で２種類のデバイスＤの
検査を並行して行なうことができる。そして、検査前デ
バイスＤを供給用整列部１５から各テストヘッド２１、
２２へ搬送し、検査後のデバイスＤを各テストヘッド２
１、２２から収納用整列部１６へ搬送する場合には次に
説明する第１、第２搬送機構２３、２４が用いられる。

【００１９】第１、第２搬送機構２３、２４は、図１、
図３に示すように、検査装置１０内の上部に配設されて
いる。第１搬送機構２３は、上記各整列部１５、１６の
移動領域から第１テストヘッド２０の検査位置に亘って
配設され、上記各整列部１５、１６と第１テストヘッド
２１間でデバイスＤを搬送し、第２搬送機構２４は、上
記各整列部１５、１６の移動領域から第２テストヘッド
２１の検査位置に亘って配設され、上記各整列部１５、
１６と第２テストヘッド２２間でデバイスＤを搬送する
ようにしてある。しかも、第１、第２搬送機構２３、２
４は同一構造を有し、左右対称に配置されている。以下
の説明では、主として第１搬送機構２３について説明
し、第２搬送機構２４には第１搬送機構２３に相当する
符号を付してその説明は省略する。

【００２０】第１搬送機構２３は、図３の（ａ）、
（ｂ）に示すようにＹ方向駆動機構例えばＹ方向ボール
ネジ２３１と、Ｙ方向ボールネジ２３１に螺合するナッ
ト部材２３２とを備えている。このボールネジ２３１の
両側に第１、第２搬送部２３３、２３４が配置されてい
る。第１、第２搬送部２３３、２３４は、Ｙ方向ボール
ネジ２３１の両側に配設された第１、第２ガイドレール
２３３Ａ、２３４Ａと、各ガイドレール２３３Ａ、２３
４Ａと連結するＸ方向駆動機構例えばＸ方向ボールネジ
２３３Ｂ、２３４Ｂと、各Ｘ方向ボールネジ２３３Ｂ、
２３４Ｂに取付部材２３３Ｃ、２３４Ｃを介して取り付
けられた吸着保持体２３３Ｄ、２３４Ｄとを備え、各吸
着保持体２３３Ｄ、２３４ＤはＸ方向駆動機構例えばＸ
方向ボールネジ２３３Ａ、２３４Ａを介してそれぞれの
モータ２３３Ｅ、２３４ＥによってＸ方向へ往復移動す
るようにしてある。各取付部材２３３Ｃ、２３４Ｃの上
端にはＸ方向ボールネジ２３３Ｂ、２３４Ｂに螺合する
雌ネジ２３４Ｆ（図４参照）が形成されている。

【００２１】また、例えばＹ方向ボールネジ２３１に螺
合したナット部材２３２の下側には第１搬送部２３３と
第２搬送部２３４とを切り替える切替機構２３５が取り
付けられている。この切替機構２３５は、例えば一対の
エアシリンダを内蔵し、それぞれのシリンダロッド２３
５Ａ、２３５Ｂが左右へ突出し、第１、第２搬送部２３
３、２３４の板部材２３３Ｆ、２３４Ｆの孔（図示せ
ず）に嵌入しそれぞれと交互に連結するようにしてあ
る。従って、第１、第２搬送部２３３、２３４は、所定
のタイミングで切替機構２３５によって交互に切り替わ
ってＹ方向ボールネジ２３１を介してＹ方向へ交互に往
復移動するようにしてある。

【００２２】また、例えば各ガイドレール２３３Ａ、２
３４ＡのＹ方向の所定部位にはそれぞれ発光素子２３６
Ａと受光素子２３６Ｂなどからなるポジションセンサ２
３６が配設され、このポジションセンサ２３６によりガ
イドレール２３３Ａ、２３４Ａに従って移動する第１、
第２搬送部２３３、２３４を検出するようにしてある。
そして、ポジションセンサ２３６による第１、第２搬送
部２３３、２３４の検出位置がそれぞれのＹ方向での基
準位置になるようにしてある。また、基準位置からの第
１、第２搬送部２３３、２３４のＹ方向移動距離はＹ方
向ボールネジ２３１の回転数によって制御するようにし
てある。図示してないがＹ方向ボールネジ２３１の回転
数は回転検出器により検出され、更に、この検出値はＡ
／Ｄコンバータによってデジタル化され、このデジタル
信号を制御装置において予めソフト的に設定されたＹ方
向移動量と比較するようにしてある。そして、ここ比較
結果が一致した時にＹ方向ボールネジ２３１が停止する
ようにしてある。つまり、ポジションセンサ２３６によ
る検出位置を基準にして第１、第２搬送部２３３、２３
４の検査位置までの距離、あるいは各整列部１５、１６
までの距離を回転検出器により正確に検出し、この検出
値に基づいて図示しない制御装置において各搬送部２３
３、２３４のＹ方向移動距離を算出し、所定の設定値と
比較し、Ｙ方向移動距離を制御するようにしてある。

【００２３】更に吸着保持体について図４を参照しなが
ら詳述すると、例えば第２搬送部２３４の吸着保持体２
３４Ｄは、同図に示すように、例えば上下方向に並設さ
れた２つのエアシリンダ２３４ａと、各エアシリンダ２
３４ａにより上下動するシリンダロッド２３４ｂと、各
シリンダロッド２３４ｂの下端にそれぞれ取り付けられ
た吸着体２３４ｃとを備えている。そして、各エアシリ
ンダ２３４ａは上端面において連結板２３４ｄによって
連結されている。吸着体２３４ｃは、下面に真空吸着用
の吸引孔が形成された吸着面を有すると共にヒータを内
蔵している。更に、第１テストヘッド２１のＹ方向の配
列された２個の第２ソケット２１Ｂの中間真上には図３
の（ａ）、（ｂ）及び図４に示すようにエアシリンダ２
３４ａを下方へ押し下げる押圧機構２５が配設されてい
る。この押圧機構２５は上下方向で移動するロッド２５
Ａを有し、このロッド２５Ａによって連結部材２３４ｄ
によって一体化した吸着保持体２３４Ｄを第２ソケット
２１Ｂへ押し下げ、それぞれで保持したデバイスＤを第
２ソケット２１Ｂに装着し、これら両者Ｄ、２１Ｂが電
気的に接触するようにしてある。また、第２搬送部２３
４は、図示しないバネ部材等からなる付勢機構を有し、
上記押圧機構２５のロッド２５Ａが上昇してエアシリン
ダ２３４ａから離れると、付勢機構により吸着保持体２
３４Ｄを元の高さまで戻すようにしてある。

【００２４】次に動作について説明する。まず、未検査
デバイスＤが配列されたトレイＴを載置領域１１の例え
ばトレイ載置部１１Ａ、１１Ｂへ搬入する。すると、ロ
ーダ１９の吸着保持体１９ＡがＸ、Ｙ方向駆動機構１９
Ｂ、１９Ｃを介して移動してトレイＴ上の４個の未検査
デバイスＤを同時に吸着保持し、予熱が必要なデバイス
Ｄの場合には予備加熱部１３、１４へ搬送し、予備加熱
部１３、１４内へデバイスＤを行列状に配列する。予備
加熱部１３、１４においてデバイスＤを所定の温度で予
備加熱すると、ローダ１９が駆動して予備加熱後のデバ
イスＤを予備加熱部１３、１４から供給用整列部１５へ
順次搬送し、凹陥部内へデバイスＤを配列する。この
時、供給用整列部１５は、所定のＸ、Ｙ座標に位置決め
されている。一方、第１、第２搬送機構２３、２４では
それぞれの切替機構２３５、２４５のシリンダロッド２
３５Ａ、２４５Ａが突出して第１搬送部２３３、２４３
と連結した後、Ｙ方向ボールネジ２３１、２４１が回転
駆動し、それぞれの第１搬送部２３３、２４３がポジシ
ョンセンサ２３６、２４６の検出値に基づいて所定の距
離だけ供給整列部１５へ移動して供給整列部１５内のデ
バイスＤを２個ずつ取り出す。

【００２５】その後、第１、第２搬送機構２３、２４の
第１搬送部２３３、２４３がＹ方向ボールネジ２３１、
２４１を介してガイドレール２３３Ａ、２４３Ａに従っ
て移動し、その途中で第１搬送部２３３、２４３がポジ
ションセンサを通過し、ポジションセンサ２３６、２４
６の検出値に基づいて所定の距離だけ移動すると共に、
Ｘ方向ボールネジ２３３Ｂ、２４３Ｂを介して吸着保持
体２３３Ｄ、２４３ＤがＸ方向へ移動し、吸着保持体２
３３Ｄ、２４３Ｄが第１、第２テストヘッド２１、２２
の第１ソケット２１Ａ、２２Ａの真上で停止する。

【００２６】第１搬送部２３３、２４３が停止すると共
に押圧機構２５が駆動してロッド２５Ａにより吸着保持
体２３３Ｄ、２４３Ｄを押し下げ、それぞれで保持した
デバイスＤを第１、第２テストヘッド２１、２２の第１
ソケット２１Ａ、２２Ａに装着して解放する。その後、
押圧機構２５のロッド２５Ａが上昇すると、各吸着保持
体２３３Ｄ、２４３Ｄが元の位置に復帰する。この間
に、テスタは第１ソケット２１Ａ、２２Ａを介してデバ
イスＤの電気的検査を行う。一方、第１、第２搬送機構
の２３、２４の第２搬送部２３４、２４４は、第１ソケ
ット２１Ａ、２２Ａでの検査が終了するまでにポジショ
ンセンサ２３６、３２４６の検出値に基づいて次の未検
査デバイスＤを供給整列部１５から第１、第２テストヘ
ッド２１、２２の第２ソケット２１Ｂ、２２Ｂへ搬送
し、次の検査に備える。

【００２７】第１ソケット２１Ａ、２２Ａでの検査が終
了すると、第１、第２テストヘッド２１、２２では検査
部が第１ソケット２１Ａ、２２Ａから第２ソケット２１
Ｂ、２２Ｂへ同時に切り替わると共に、上述したように
押圧機構２５が駆動して既に待機している第２搬送部２
３４、２４４の吸着保持体２３４Ｄ、２４４Ｄを第２ソ
ケット２１Ｂ、２２Ｂへ押し下げると同時に、第１搬送
部２３３、２４３の吸着保持体２３３Ｄ、２４３Ｄを押
し下げる。そして、前者の吸着保持体２３４Ｄ、２４４
ＤがデバイスＤを第２ソケット２１Ｂ、２２Ｂへ装着
し、その部分での検査を開始する一方、後者の吸着保持
体２３３Ｄ、２４３Ｄが検査済みのデバイスＤを第１ソ
ケット２１Ａ、２２Ａから取り出す。更に、第１搬送部
２３３、２４３はＹ方向へ移動すると共に吸着保持体２
３３Ｄ、２４３ＤがＸ方向へ移動し、この間に制御装置
ではポジションセンサ２３６、２４６の検出値に基づい
てＹ方向の移動距離を算出する。その結果、吸着保持体
２３３Ｄ、２４３Ｄは収納用整列部１６の収納位置へ到
達してそれぞれのデバイスＤを収納する。更に、第１搬
送部２３３、２４３は供給用整列部１５から次の未検査
デバイスＤを受け取って第１ソケット２１Ａ、２２Ａへ
搬送し、第２ソケット２１Ｂ、２２Ｂでの検査が終了す
るのを待機する。この間に、ローダ１９は予備加熱部１
３、１４の未検査デバイスＤを供給用整列部１５へ順次
補充すると共に、アンローダ２０は収納用整列部１６内
のデバイスＤをその検査内容に応じて分類し、トレイ載
置部１１Ｅ、１１Ｆのいずれかへ収納する。

【００２８】尚、検査済みの同一種のデバイスＤの中に
は、所望通りの機能を有する完全なものもあれば、所望
の機能を有しないがデバイスＤとしては機能を落として
使用し得るもの、あるいは製品として使用できないもの
もあるため、これらをアンローダ２０により分類してそ
れぞれ予め設定されたトレイ載置部へ収納するようにし
てある。また、デバイスＤのユーザ別に分類したりする
こともできる。

【００２９】以上説明したように本実施例によれば、テ
ストヘッドは第１、第２テストヘッド２１、２２を有す
ると共にこれら両者２１、２２はそれぞれ切り替え可能
な第１ソケット２１Ａ、２２Ａ及び第２ソケット２１
Ｂ、２２Ｂを有し、また、搬送機構は第１、第２テスト
ヘッドに対応した第１、第２搬送機構を有すると共に第
１、第２搬送機構２３、２４は第１、第２テストヘッド
２１、２２の第１ソケット２１Ａ、２２Ａ及び第２ソケ
ット２１Ｂ、２２Ｂと供給用整列部１５及び収納用整列
部１６間でデバイスＤをそれぞれ交互に搬送する第１搬
送部２３３、２４３及び第２搬送部２３４、２４４を有
し、それぞれの第１搬送部２３３、２４３または第２搬
送部２３４、２４４が同時にデバイスＤを第１ソケット
２１Ａ、２２Ａ、第２ソケット２１Ｂ、２２Ｂへ搬送
し、第１、第２テストヘッド２１、２２が同時にそれぞ
れの第１ソケット２１Ａ、２２Ａと第２ソケット２１
Ｂ、２２Ｂを交互に切り替えてデバイスＤの電気的検査
を連続的に行うようにしたため、テスタを遊ばせること
なく連続的に稼働させることができ、テスタの稼働効率
を格段に高めることができ、特に、論理素子回路の検査
を行う場合に顕著な効果を期することができる。

【００３０】尚、上記実施例では第１、第２搬送機構の
Ｘ、Ｙ方向の駆動機構としてそれぞれボールネジを用い
たものについて説明したが、本発明に用いられる駆動機
構は被検査体をＸ、Ｙ方向へ搬送できる駆動機構であれ
ば、例えばベルト機構などであっても良い。また、Ｚ方
向の駆動機構としてはエアシリンダ以外のものを用いて
も良い。

【００３１】要は、本発明の検査装置の場合には、テス
トヘッドはそれぞれ切り替え可能な第１、第２接触部を
有し、また、上記搬送機構は第１、第２接触部と第１、
第２整列部間で被検査体を交互に搬送する第１、第２搬
送部を有し、、第１、第２搬送部により搬送された被検
査体を交互に切り替わる第１、第２接触部により連続的
に電気的検査を行うようにしたものであれば良く、各構
成要素は必要に応じて適宜設計変更し、種々の機械的、
電気的構成を採用することができる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように請求項１及び請求項
２に記載の発明によれば、被検査体を搬送する搬送機構
と、この搬送機構により搬送されて来た被検査体の電気
的検査を行うテストヘッドとを備え、上記テストヘッド
はそれぞれ切り替え可能な第１、第２接触部を有し、ま
た、上記搬送機構は第１、第２接触部と第１、第２整列
部間で被検査体を交互に搬送する第１、第２搬送部を有
し、第１、第２搬送部により搬送された被検査体の電気
的検査を、交互に切り替わる第１、第２接触部により連
続的に行うようにしたため、テスタを遊ばせることなく
連続的に稼働させ、その稼働効率を向上させることがで
きる検査装置を提供することができる。

【００３３】また、請求項３に記載の発明によれば、請
求項１または請求項２に記載の発明において、上記被検
査体が論理回路素子であるため、論理素子回路のロジッ
クテストを行う際に、テスタを連続的に使用することが
でき、テスタの稼働効率を格段に高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を概念的に示す平
面図である。

【図２】図１に示す検査装置の要部を示す斜視図であ
る。

【図３】図１に示す検査装置の搬送機構の先端部を示す
図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図であ
る。

【図４】図３に示す搬送機構の搬送部を示す斜視図であ
る。

【図５】従来の検査装置の一例を示す平面図である。

【符号の説明】

１０ 検査装置 １５ 供給用整列部（第１整列部） １６ 収納用整列部（第２整列部） １９ ローダ ２０ アンローダ ２１ 第１テストヘッド ２１Ａ 第１ソケット（第１接触部） ２１Ｂ 第２ソケット（第２接触部） ２２ 第２テストヘッド ２２Ａ 第１ソケット（第１接触部） ２２Ｂ 第２ソケット（第２接触部） ２３ 第１搬送機構 ２４ 第２搬送機構 ２３３ 第１搬送部 ２３４ 第２搬送部 ２４３ 第１搬送部 ２４４ 第２搬送部 Ｄ デバイス（被検査体）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査前後の被検査体をロード、アンロー
   ドするローダ及びアンローダと、これらのローダ及びア
   ンローダを介して検査前後の被検査体をロード、アンロ
   ードする、Ｘ方向で隣接し同方向で移動可能な第１、第
   ２整列部と、この第１、第２整列部からＹ方向へ離隔し
   た検査位置に配設された、接触部を有するテストヘッド
   と、このテストヘッドと上記各整列部との間で検査前後
   の上記被検査体を搬送する搬送機構とを備え、上記被検
   査体を上記接触部に電気的に接触させて電気的特性検査
   を行なう検査装置において、上記テストヘッドはそれぞ
   れ切り替え可能な第１、第２接触部を有し、また、上記
   搬送機構は第１、第２接触部と第１、第２整列部間で被
   検査体を交互に搬送する第１、第２搬送部を有し、第
   １、第２搬送部により搬送された被検査体の電気的検査
   を、交互に切り替わる第１、第２接触部により連続的に
   行うことを特徴とする検査装置。
2. 【請求項２】 検査前後の被検査体をロード、アンロー
   ドするローダ及びアンローダと、これらのローダ及びア
   ンローダを介して検査前後の被検査体をロード、アンロ
   ードする、Ｘ方向で隣接し同方向で移動可能な第１、第
   ２整列部と、この第１、第２整列部からＹ方向へ離隔し
   た検査位置に配設された、接触部を有するテストヘッド
   と、このテストヘッドと上記各整列部との間で検査前後
   の上記被検査体を搬送する搬送機構とを備え、上記被検
   査体を上記接触部に電気的に接触させて電気的特性検査
   を行なう検査装置において、上記テストヘッドは第１、
   第２テストヘッドを有すると共に第１、第２テストヘッ
   ドはそれぞれ切り替え可能な第１、第２接触部を有し、
   また、上記搬送機構は第１、第２テストヘッドに対応し
   た第１、第２搬送機構を有すると共に第１、第２搬送機
   構は第１、第２テストヘッドの第１、第２接触部と上記
   各整列部間で被検査体を個別に搬送する第１、第２搬送
   部を有し、それぞれの第１搬送部または第２搬送部によ
   り搬送された被検査体の電気的検査を、第１、第２テス
   トヘッドの交互に切り替わる第１、第２接触部により連
   続的に行うことを特徴とする検査装置。
3. 【請求項３】 上記被検査体が論理回路素子であること
   を特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装
   置。