JP2007033426A - 電子部品テストシステム - Google Patents

電子部品テストシステム Download PDF

Info

Publication number
JP2007033426A
JP2007033426A JP2005299014A JP2005299014A JP2007033426A JP 2007033426 A JP2007033426 A JP 2007033426A JP 2005299014 A JP2005299014 A JP 2005299014A JP 2005299014 A JP2005299014 A JP 2005299014A JP 2007033426 A JP2007033426 A JP 2007033426A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
waiting
input
electronic component
component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005299014A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4790367B2 (ja
Inventor
Chih-Hung Hsieh
志宏 謝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
King Yuan Electronics Co Ltd
Original Assignee
King Yuan Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by King Yuan Electronics Co Ltd filed Critical King Yuan Electronics Co Ltd
Publication of JP2007033426A publication Critical patent/JP2007033426A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4790367B2 publication Critical patent/JP4790367B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

【課題】電子部品テストシステムの提供。
【解決手段】本発明は一種の電子部品テストシステムであり、多数のテストエリアを包含し、各テストエリアはそれぞれ、取放(pick & place)装置が設けられる。テストシステムは更にインプット/アウトプット・トレイの間に設けられる、いくつかの移載装置(shuttle )を包含する。また、テスト待ち部品またはテスト済み部品を出し入れするように、移載装置とインプット/アウトプット・トレイの間にインプット・アウトプットエリアに取放装置を設ける。
【選択図】図2

Description

本発明は一種の電子部品テストシステムであり、特に集積回路(IC)のテストに関わるシステムである。それには多数の移載装置(shuttle )と取放装置が設けられている。
集積回路(IC)をパッケージしたのち、最終テスト(final test)を行い、その結果により分類(bin)される。ICテスト用ハンドラー(handler)は複雑かつ高価な設備である。テストのコストダウンまたはテストの生産能力を上げるための解決方法は、テスト装置を存分に使い、遊休状態(idle)を避け、単位時間内にテストできる集積回路(IC)の数量を増やすことである。
図1は伝統的なICテスト用ハンドラー(handler)100の平面図である。伝統的なICテスト用ハンドラー(handler)100に近い前方にテスト待ちの集積回路(IC)部品を保管するインプット・トレイ(input tray)104と、テスト済み部品を保管する多数のアウトプット・トレイ(output tray/bin)105が設けられ、取放装置(pick & place)108はX軸レール109とY軸レール110を滑走し、該装置はまずインプット・トレイ(input tray)104より、テスト待ちの集積回路(IC)部品を拾い、移載装置(shuttle )114の前収納槽115aに落とし入れる。そして、移載レール116により、前収納槽115aを伝統的なICテスト用ハンドラー100の前方から後方に移動させる。
テストエリア取放装置(pick & place)112がX軸レール111とY軸レール113を滑走し、テストエリア118でテスト済みの集積回路(IC)部品を取り出し、後収納槽115b内に入れる。続いて、一時的に前収納槽115aに置かれたテスト待ちの集積回路(IC)部品をテストエリア118のテストソケット(socket)119に入れてテストを行う。前述の一時的に後収納槽115bに置かれたテスト済みの集積回路(IC)部品は移載レール116及び取放装置108を通して、テスト結果によりアウトプット・トレイ(output tray)105の中に振り分ける。
図1で示した伝統的なICテスト用ハンドラー(handler)100には多くのテストエリア118(図面では6つのエリアを表示)があり、それにより、6つの部品のテストが可能であるものの、伝統的なICテスト用ハンドラー(handler)100は移載装置(shuttle)114が1つしかなく、且つテストエリア取放装置も1121つのみである。このため、テストエリアにおける部品がテストを終了しても、テストエリア118に待機して、移載装置114及びテストエリア取放装置112により移出しなければなりません。同時に、テスト待ちの集積回路(IC)部品もテストエリアに入り、テストをすることができないのである。このような待ち受け状態が発生すると、テスト装置の使用率を大きく低下させてしまい、テスティングの生産能力を引き上げることができないのである。また、一個あたりの集積回路(IC)部品のテスティングにかかる時間が短いほど、待ち受け状態がさらにひどくなる。例えば、伝統的なICテスト用ハンドラー(handler)100は部品の出し入れに1回あたり5秒程度に対し、各部品のテスティングの時間は30秒以下(例10〜15秒)である。即ち、部品のテスティング終了後、待ち受けの比率が高くなるというわけである。したがって、テスティング終了後の待ち受けの比率または時間を減らし、テスティング装置を効率よく使用して、テスティングの生産能力を高める新しい仕組みのICテスト用ハンドラー(handler)100の開発が急務となっている。
本発明の目的は、テスティング終了後の待ち受けの比率または時間を減らし、テスティング装置を効率よく使用し、テスティングの生産能力を高める電子部品テストシステムを提供することである。
前述の目的を達成するため、本発明では多くのテストエリアを設け、各テストエリアにそれぞれ取放装置(pick & place)を具えた一種の電子部品テストシステムを提供する。テストシステムには、更に複数の移載装置を包含し、テステストエリアとインプット/アウトプットトレイ(input/output tray)の間に位置する。また、入出力取放装置は移載装置とインプット/アウトプットトレイ(input/output tray)の間に位置し、テスト待ち部品またはテスト済み部品の出し入れを行なう。
請求項1は一種の電子部品テストシステムに関するものであり、テスト待ち部品を運ぶインプット装置、テスト済み部品を載せるアウトプット装置、テスト待ち部品を保管しテスティングを行なうテストソケットを具える複数のテストエリア、テストエリアとインプット装置、アウトプット装置の間に位置し、テスト待ち部品またはテスト済み部品を運搬し、並びに前収納槽と後収納槽を具え、それぞれテスト待ち部品またはテスト済み部品を収納または運搬をする複数個の移載装置、移載装置を動かし、その上を複数の移載装置が移動する複数のレール、及び該移載装置とインプット装置、アウトプット装置の間に位置し、テスト待ち部品またはテスト済み部品を受取ったり置いたりする出入力エリア取放装置を包含することを特徴とする電子部品テストシステムとしている。
請求項2は請求項1に記載した電子部品テストシステムにおいて、更にテストエリア取放装置を包含し、該テストエリア取放装置は上述各テストエリアに位置し、テストソケットと移載装置の間にテスト待ち部品の受け取りやテスト済み部品の保管を行ない、並びに該テストエリア取放装置はテスト待ち部品を直接テストソケットに圧接し、テスティングをすることができることを特徴とする電子部品テストシステムとしている。
請求項3は請求項1に記載した電子部品テストシステムにおいて、そのうち、上述の出入力エリア取放装置はテスト待ち部品を吸いつけ、場合によって回転することができるインプット吸着ヘッドと、場合によって回転することができるアウトプット吸着ヘッド、及びトレイを吸着するトレイ受取器を包含することを特徴とする電子部品テストシステムとしている。
請求項4は請求項1に記載した電子部品テストシステムにおいて、更に出入力エリア取放装置を移動させるためのY軸レールを包含することを特徴とする電子部品テストシステムとしている。
請求項5は請求項4に記載した電子部品テストシステムにおいて、更に出入力エリア取放装置を移動させるためのX軸レールを包含することを特徴とする電子部品テストシステムとしている。
本発明では多くのテストエリアを設け、各テストエリアに取放装置(pick & place)を具えた一種の電子部品テストシステムを提供する。テストシステムには、テスト待ち部品とテスト済み部品の出し入れを行なうアウトプット/インプットトレイ(output/input tray)の間に多くの移載装置(shuttle)を設ける。
図2は本発明の実施例に基づいたICテスト用ハンドラー(handler)10の平面垂直図である。本実施例はパッケージしたICテスト用ハンドラーを例として挙げているが、本発明はパッケージングの前工程であるチップ(Chip)にも適用できる。このほか、本発明は集積回路(IC)(デジタル、アナログを問わず)だけではなく、さまざまな電子部品と装置にも適用することができる。
ICテスト用ハンドラー(handler)10の前方近くには、テスト待ちの集積回路(IC)部品を置くためのインプット・トレイ(input tray)16が設置されている。一般的にはインプット・トレイ16は何枚も重ねて置かれている(平面図からは最上段のものしか見えない)。また、ICテスト用ハンドラー(handler)10の前方近くにはテスト済み部品を保管する多くのアウトプット・トレイ(output tray/bin)15があり、テスト結果にしたがって、これらテスト済み部品を分類して、それぞれ別々のアウトプット・トレイ15に仕分ける。前述のインプット・トレイ16とアウトプット・トレイ15の数と位置は、実際のテストの需要に応じ、さまざまな調節が可能である。
ICテスト用ハンドラー(handler)10の後ろ近くには、多数のテストエリア26がある。本実施例では四つのテストエリア26を設け、二つに分けて並べた。テストエリアの数を増減させたり、配列方法に様々な変化をもたせたりした実施例もある。各テストエリア26には、テスト待ち部品をテスティングするテストソケット(socket)28を具える。また、各テストエリア26には、テストソケット(socket)28の中からテスト済み部品を取り出したり、テスト待ち部品をテストソケット(socket)28に置いたりする取放装置(pick & place)27が設けられている。このほか、取放装置(pick & place)27にはテスティングの時にテスト待ち部品を圧接し、テスト待ち部品に高温を提供するプレスコンタクト(press contact)機構まで設けられている。本発明の実施例において、テストソケット(socket)28はマザーボードとCD−ROMプレイヤーなどリアールシステム(real system)とつながっており、このリアールシステムでテスト環境を提供することである。しかしながら、本発明はアンリアールシステムのテストにも適用できる。その場合、テストソケット(socket)28はテストヘッド(test head)につなぐ。
図2のように、ICテスト用ハンドラー10の中に複数(本実施例は二個)移載装置(shuttle)22を設け、該移載装置は前収納槽22aと後収納槽22bを具え、それぞれテスト待ち部品とテスト済み部品を振り分けて置く。移載装置(shuttle)22はICテスト用ハンドラー10の中央を貫き、数本のレール24(本例は二本)がその中を滑走することにより、テスト済み部品をテストエリア26からアウトプット・トレイ15へと、そしてインプット・トレイからテスト待ち部品をテストエリア26へと運ぶことができる。各レール24上には複数の移載装置(本例は二本)が載せられ、その上を滑走させることができる。
ICテスト用ハンドラー10の前方にはイン・アウトプットエリアの取放装置(pick & place)18を設けた。この装置はX軸レール19とY軸レール20を滑走し、インプット・トレイ(input tray)16からテスト待ち部品を取り出し、移載装置(shuttle)22の前収納槽22aまで届けるのである。一時的に後収納槽22bに保管されたテスト済み部品は、テストの結果により分類され、それぞれ異なるアウトプット・トレイ15へと仕分けされる。
テストをするに当たり、まずイン・アウトプットエリアにある取放装置18からインプット・トレイ(input tray)16にあるテスト待ち部品を前収納槽22aに入れ、さらにレール24を使ってテストエリア26までテスト待ち部品を送る。その時、テストエリア26のテストエリアにある取放装置27はテスト待ち部品を拾い上げ、テストソケット(socket)28に置いて、テストを行なう。本発明の実施例により、ICテスト用ハンドラー10は数セットの移載装置(shuttle)22とレール24を具えるため、引き続きテスト待ち部品を連続してテストエリア26へと運ぶことができ、今までのように移載装置(shuttle)22はICテスト用ハンドラー10の前方に帰還することを長く待つ必要がなくなる。同じように、テスト完了後もすぐに別の移載装置(shuttle)22を使ってテスト済み部品をICテスト用ハンドラー10の前方へと回すことが可能である。この発明の実施例からテスト済み部品の待ち受けの比率と時間を大幅に減らし、存分にICテスト用ハンドラーを利用し、テスティングの生産能力を高めることができるのである。
図3、図4はイン・アウトプットエリアの取放装置(pick & place)18、移載装置(shuttle)22、レール24、インプット・トレイ16とアウトプット・トレイ15の側面図である。イン・アウトプットエリアの取放装置(pick & place)18の構造はインプット吸着ヘッド18aとアウトプット吸着ヘッド18b及びトレイ取り出し器18cから形成されている。初めに、インプット・ヘッド18aをインプット・トレイ16にあわせ、集積回路(IC)部品12を吸い上げる。続いて、テスト待ち部品の進行方向に34に沿って、テスト待ち部品を前収納槽22aに放り込み、インプット・ヘッド18aは集積回路(IC)部品12を回転させ、前収納槽22aの中に放り込むことができる。図4はテスト待ち部品を吸着するところを示している。まず、インプット吸着ヘッド18aが後収納槽22bに照準を合わせ、集積回路(IC)部品12を引き出す。次に、テスト待ち部品の進行方向38にあわせ、テスト待ち部品がインプット・トレイ16の中に放り込まれ、インプット吸着ヘッド18bは場合により、集積回路(IC)部品12を回転させてから、前収納槽22aに放り込むことができる。
図5はICテスト用ハンドラー10の前方から見た側面図ある。最上段のインプット・トレイ16に置かれた部品は、すでにピックアップが終了している。この時、空になったインプット・トレイ16はトレイ取り出し器18cによって、インプット・トレイの進行方向40に沿って移動させられる。例を挙げると、アウトプットエリアに移動されると、アウトプット・トレイ15として扱われるというわけである。インプット・トレイ16が吸い上げられるとともに、その下にあるインプット・トレイ16が上の方向に向かって上昇する。この上昇してきたインプット・トレイ16には、引き取り及びテスティングをするためのテスト待ち部品が入っている。
図6はICテスト用ハンドラー10の後方から見た側面図である。テスト待ち部品が某テストエリア26に達すると、そのテストエリアにある取放装置(pick & place)27は、前収納槽22aの中からテスト待ち部品を取り出し、テスティングを行なう進行方向42のように、テストソケット(socket)28に入れてテスティングを行なう。この時、テストエリアの取放装置27にあるプレス・コンタクト(contact)機能が働き、テスティングが完了するまでテスト待ち部品をずっと下方向に押える。テスティング終了後、テスティングの進行方向42と逆方向に向かって、テスト済み部品を取り出し、後収納槽22bに放り込む。ICテスト用ハンドラー10の向こう側(図面の右側)にある集積回路(IC)部品は、別のテスティングを行なう進行方向44に沿って、出し入れ及びテスティングを行なう。
以上は本発明の好ましい実施例とされ、本発明の実施範囲を限定するものではなく、本発明に基づきなしうる細部の修飾或いは改変は、いずれも本発明の請求の範囲に属するものとする。
伝統的なICテスト用ハンドラー(handler)の平面図である。 本発明に係る実施例に基づいたICテスト用ハンドラー(handler)の平面図である。 本発明の実施例に関する取放装置(pick & place)、移載装置(shuttle)、レール、インプット・トレイ/アウトプット・トレイの側面図である。 本発明の実施例に関する取放装置(pick & place)、移載装置(shuttle)、レール、インプット・トレイ/アウトプット・トレイの側面図である。 本発明の実施例において、機械の前方から見た側面図である。 本発明の実施例において、機械の後方から見た側面図である。
符号の説明
10 ICテスト用ハンドラー(handler)
12 集積回路(IC)部品
15 アウトプット・トレイ(output tray/bin)
16 インプット・トレイ(input tray)
18 イン・アウトプットエリアの取放装置(pick & place)
18a インプット吸着ヘッド
18b アウトプット吸着ヘッド
18c トレイ取り出し器
19 X軸レール
20 Y軸レール
22 移載装置(shuttle)
22a 前収納槽
22b 後収納槽
24 レール
26 テストエリア
27 テストエリアの取放装置(pick & place)
28 テストソケット(socket)
34 テスト待ち部品の進行方向
38 テスト済み部品の進行方向
40 インプット・トレイの進行方向
42 テスティングの進行方向
44 テスティングの進行方向
100 伝統的なICテスト用ハンドラー (handler)
104 インプット・トレイ(input tray)
105 アウトプット・トレイ(output tray/bin)
108 取放装置(pick & place)
109 X軸レール
110 Y軸レール
111 X軸レール
112 テストエリアの取放装置
113 Y軸レール
114 移載装置(shuttle)
115a 前収納槽
115b 後収納槽
116 移載レール
118 テストエリア
119 テストソケット(socket)

Claims (5)

  1. 本発明は一種の電子部品テストシステムに関するものであり、テスト待ち部品を運ぶインプット装置、テスト済み部品を載せるアウトプット装置、テスト待ち部品を保管しテスティングを行なうテストソケットを具える複数のテストエリア、テストエリアとインプット装置、アウトプット装置の間に位置し、テスト待ち部品またはテスト済み部品を運搬し、並びに前収納槽と後収納槽を具え、それぞれテスト待ち部品またはテスト済み部品を収納または運搬をする複数個の移載装置、移載装置を移動させ、その上を複数の移載装置が移動する複数のレール、及び該移載装置とインプット装置、アウトプット装置の間に位置し、テスト待ち部品またはテスト済み部品を受取ったり置いたりする出入力エリア取放装置を包含することを特徴とする電子部品テストシステム。
  2. 請求項1に記載した電子部品テストシステムは、更にテストエリア取放装置を包含し、該テストエリア取放装置は上述各テストエリアに位置し、テストソケットと移載装置の間にテスト待ち部品の受け取りやテスト済み部品の保管を行ない、並びに該テストエリア取放装置はテスト待ち部品を直接テストソケットに圧接し、テスティングをすることができることを特徴とする電子部品テストシステム。
  3. 請求項1に記載した電子部品テストシステムにおいて、そのうち、上述の出入力エリア取放装置はテスト待ち部品を吸いつけ、場合によって回転することができるインプット吸着ヘッドと、場合によって回転することができるアウトプット吸着ヘッド、及びトレイを吸着するトレイ受取器を包含することを特徴とする電子部品テストシステム。
  4. 請求項1に記載した電子部品テストシステムは、更に出入力エリア取放装置を移動させるためのY軸レールを包含することを特徴とする電子部品テストシステム。
  5. 請求項4に記載した電子部品テストシステムは、更に出入力エリア取放装置を移動させるためのX軸レールを包含することを特徴とする電子部品テストシステム。
    電子部品テストシステム。
JP2005299014A 2005-07-22 2005-10-13 電子部品テストシステム Expired - Fee Related JP4790367B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW094125029A TWI275814B (en) 2005-07-22 2005-07-22 Electronic component testing apparatus
TW094125029 2005-07-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007033426A true JP2007033426A (ja) 2007-02-08
JP4790367B2 JP4790367B2 (ja) 2011-10-12

Family

ID=37678475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005299014A Expired - Fee Related JP4790367B2 (ja) 2005-07-22 2005-10-13 電子部品テストシステム

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20070018673A1 (ja)
JP (1) JP4790367B2 (ja)
TW (1) TWI275814B (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100706330B1 (ko) * 2005-08-18 2007-04-13 (주)테크윙 테스트 핸들러
TWI403451B (zh) * 2007-10-05 2013-08-01 Hon Tech Inc 晶片自動測試分類機
TWI394171B (zh) * 2008-12-12 2013-04-21 Hon Tech Inc Flash drive test sorting machine
TW201024740A (en) * 2008-12-31 2010-07-01 Hon Tech Inc Test device for electronic components testing and classification machine
SG11201403080SA (en) * 2012-05-24 2014-09-26 Exis Tech Sdn Bhd A semiconductor components delivery system associated with a turret type testing apparatus
CN103852710B (zh) * 2012-11-29 2017-08-15 鸿劲科技股份有限公司 对置式电子组件作业设备
TWI676036B (zh) 2013-11-11 2019-11-01 美商三角設計公司 一體化測試及搬運機構及用以支撐複數個組件、將真空實施於複數個組件上或將一組件對準之方法
CN105527580A (zh) * 2016-01-25 2016-04-27 惠州市蓝微新源技术有限公司 一种多通道bms全自动测试系统
US11226390B2 (en) 2017-08-28 2022-01-18 Teradyne, Inc. Calibration process for an automated test system
US10845410B2 (en) 2017-08-28 2020-11-24 Teradyne, Inc. Automated test system having orthogonal robots
US11754596B2 (en) 2020-10-22 2023-09-12 Teradyne, Inc. Test site configuration in an automated test system
US11867749B2 (en) 2020-10-22 2024-01-09 Teradyne, Inc. Vision system for an automated test system
US11899042B2 (en) 2020-10-22 2024-02-13 Teradyne, Inc. Automated test system
US11953519B2 (en) 2020-10-22 2024-04-09 Teradyne, Inc. Modular automated test system
US11754622B2 (en) 2020-10-22 2023-09-12 Teradyne, Inc. Thermal control system for an automated test system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08334548A (ja) * 1995-06-07 1996-12-17 Tokyo Electron Ltd 検査装置
JP2003270292A (ja) * 2002-03-14 2003-09-25 Yamaha Motor Co Ltd 部品試験装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4576326A (en) * 1984-05-14 1986-03-18 Rca Corporation Method of bonding semiconductor devices to heatsinks
US5184068A (en) * 1990-09-24 1993-02-02 Symtek Systems, Inc. Electronic device test handler
US5310039A (en) * 1992-08-19 1994-05-10 Intel Corporation Apparatus for efficient transfer of electronic devices
TW287235B (ja) * 1994-06-30 1996-10-01 Zenshin Test Co
US5588797A (en) * 1994-07-18 1996-12-31 Advantek, Inc. IC tray handling apparatus and method
US6024526A (en) * 1995-10-20 2000-02-15 Aesop, Inc. Integrated prober, handler and tester for semiconductor components
DE19581894C2 (de) * 1995-11-06 1999-12-23 Advantest Corp Vorrichtung zum Ändern der Ausrichtung von ICs
US6203582B1 (en) * 1996-07-15 2001-03-20 Semitool, Inc. Modular semiconductor workpiece processing tool
JP3494828B2 (ja) * 1996-11-18 2004-02-09 株式会社アドバンテスト 水平搬送テストハンドラ
JP3689215B2 (ja) * 1997-02-20 2005-08-31 株式会社ルネサステクノロジ 半導体デバイスのテスト用搬送装置
TW450933B (en) * 1998-11-28 2001-08-21 Mirae Corp A carrier handling apparatus of a module IC handler
DE19900804C2 (de) * 1999-01-12 2000-10-19 Siemens Ag Fördersystem
DE19921243C2 (de) * 1999-05-07 2002-12-05 Infineon Technologies Ag Anlage zur Bearbeitung von Wafern
KR100436656B1 (ko) * 2001-12-17 2004-06-22 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치의 작업위치 인식방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08334548A (ja) * 1995-06-07 1996-12-17 Tokyo Electron Ltd 検査装置
JP2003270292A (ja) * 2002-03-14 2003-09-25 Yamaha Motor Co Ltd 部品試験装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW200704941A (en) 2007-02-01
TWI275814B (en) 2007-03-11
JP4790367B2 (ja) 2011-10-12
US20070018673A1 (en) 2007-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4790367B2 (ja) 電子部品テストシステム
US7268534B2 (en) Sorting handler for burn-in tester
US7557565B2 (en) Handler for sorting packaged chips
TW201031470A (en) Electronic device sorter comprising dual buffers
CN103946966B (zh) 晶圆关联数据管理方法及晶圆关联数据生成装置
TWI445972B (zh) 記憶卡用測試分選機
CN100501411C (zh) 电子元件的测试系统
CN106233441A (zh) 接合装置以及接合方法
KR20150104904A (ko) 반도체소자 테스트용 핸들러 및 반도체소자 테스트용 핸들러에서의 테스트 지원 방법
TW200901349A (en) Vision inspection system for semiconductor devices
CN111359896A (zh) 一种自动搬运测试系统
JP3134738B2 (ja) ハンドリングシステム
JP2006295098A (ja) 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
KR101062803B1 (ko) 반도체 패키지 분류장치 및 그 방법
TWI465741B (zh) Multi - layer electronic component testing and classification machine
CN110999557A (zh) Pcb锯切的方法和装置
TWI452312B (zh) Counter - type electronic component testing equipment
JP3691195B2 (ja) 半導体装置の製造方法
CN105983538B (zh) 一种高产能的测试分选机系统
WO2008142752A1 (ja) トレイ格納装置及び電子部品試験装置
JP2000117557A (ja) 部品搭載装置及び部品排出方法
US7501809B2 (en) Electronic component handling and testing apparatus and method for electronic component handling and testing
TW200736624A (en) IC testing machine capable of simultaneously testing a plurality of integrated circuits
CN211989756U (zh) 一种自动搬运测试系统
TWI787919B (zh) 多層架構之供料和分料裝置及具備該裝置之電子元件檢測設備

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080902

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081202

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090106

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090406

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090409

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090507

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090602

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20090929

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110614

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110720

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees