WO2004086495A1 - ワークハンドリング装置 - Google Patents

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WO2004086495A1
WO2004086495A1 PCT/JP2004/002953 JP2004002953W WO2004086495A1 WO 2004086495 A1 WO2004086495 A1 WO 2004086495A1 JP 2004002953 W JP2004002953 W JP 2004002953W WO 2004086495 A1 WO2004086495 A1 WO 2004086495A1
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WO
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tray
work
movable table
handlers
unit
Prior art date
Application number
PCT/JP2004/002953
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Toshiharu Tanaka
Takenori Hirakawa
Tadashi Kashiyama
Original Assignee
Hirata Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hirata Corporation filed Critical Hirata Corporation
Priority to JP2005503991A priority Critical patent/JP4315954B2/ja
Publication of WO2004086495A1 publication Critical patent/WO2004086495A1/ja

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station

Definitions

  • the present invention relates to a work handling device that holds, transports, and positions a workpiece when performing predetermined processing such as inspection, processing, and assembly on the workpiece, and particularly relates to a workpiece such as a semiconductor chip.
  • the present invention relates to a work handling device used in a process of inspecting a workpiece.
  • Conventional handling devices for loading and unloading semiconductor chips (workpieces) to and from the inspection unit include, for example, two transport mechanisms for transporting the work, and suction of the workpiece to be orthogonal to the transport direction of the two transport mechanisms. And two vertically movable reciprocating handlers.The two handlers transport the workpiece while positioning it between the inspection socket located at the center of the two transport mechanisms and the transport mechanism.
  • These are known (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-148307, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-22570).
  • tray mounting portions for mounting trays on which uninspected and inspected workpieces are respectively mounted, and a reciprocating motion is provided only in one direction adjacent to the tray mounting portion.
  • Pre-heating unit, loader and unloader that transports the workpiece between the tray mounting unit and the pre-heating unit, and transports the workpiece by moving between the two test heads (inspection unit) and the pre-heating unit. It is known that there are two handlers, etc., where the pre-heating unit is moved appropriately in the direction perpendicular to the movement direction of the handler, and the two handlers receive the work from the pre-heating unit and deliver the work to the pre-heating unit.
  • a transport mechanism for conveying a work between the tray mounting section and the preheating section, and a transfer mechanism between the preheating section and the test head. It is configured to relay by a plurality of transfer mechanisms, such as a transfer mechanism (handler) that transfers the work between them.
  • the tray mounting section and the pre-heating section are arranged in a plane, and two Since the handlers are arranged so as not to interfere with each other and are driven independently of each other, the structure is complicated, and it is difficult to consolidate each mechanism. A relatively large space was needed to install it on the floor.
  • a work handling apparatus comprises: a tray accommodating section for accommodating a tray for holding a work; a tray supporting section for accommodating a tray supplied from the tray accommodating section; A handler movably disposed between the processing unit for performing the processing and the tray carried by the tray carrying unit to transport the work, wherein the tray carrying unit intersects with the moving direction of the handler. It is arranged reciprocally in a predetermined direction and above or below the tray accommodating section, and supplied from the tray accommodating section. A movable table for carrying the tray.
  • the movable table of the tray support section moves in a predetermined direction to position the tray at a desired position, Receives the work from the tray where is positioned and transports it to the processing section.
  • the handler receives the processed work, moves it from the processing unit in advance, and delivers it to the tray on the movable table that has been positioned.
  • the apparatus since the tray carrying section (movable table) is vertically arranged with respect to the tray accommodating section so as to be located above or below the tray accommodating section, the apparatus is centralized and downsized.
  • the installation space can be saved when installed on a semiconductor manufacturing line, etc.
  • the movable table can reciprocate in a predetermined direction, so the handler can be driven two-dimensionally instead of three-dimensionally. it can.
  • the size of the handler that is, the device, can be reduced, and the transfer distance by the handler can be shortened, thereby shortening the time required for transfer.
  • the tray housing section receives the tray on which the unprocessed work is placed from the movable table to discharge the tray on which the processed work is placed to the movable table. It is possible to adopt a configuration including a tray discharge unit and a tray stop unit that temporarily stops the empty tray from being discharged from the movable tape and resupplying the tray.
  • the tray on which the unprocessed work is placed is supplied from the tray supply unit to the movable table, and the tray on which the processed work is placed is discharged from the movable table to the tray discharge unit. Then, the empty tray is discharged from the movable table to the tray stop, temporarily stopped, and then supplied again to the movable table. Therefore, the tray on which unprocessed work was placed can be replaced in a series of flows and used as a tray for placing processed work. Therefore, it is sufficient that the minimum necessary tray required for supply and discharge of the work is accommodated in the tray accommodating portion. Therefore, the space for accommodating the tray can be narrowed, and the apparatus can be downsized.
  • each of the tray supply unit, the tray discharge unit, and the tray stopping unit includes: a lifting table that can move up and down by placing a tray; and a driving mechanism that drives the lifting table. Can be adopted.
  • each of the lifting tables of the tray supply unit, the tray discharge unit, and the tray stopping unit can be driven up and down by the respective drive mechanisms, so that any two of the tray supply, discharge, and stop are provided.
  • the above operations can be performed at the same time, so that the time required for the entire transport (handling) can be reduced, and the elevation amount of the elevation table can be appropriately adjusted according to the number of trays stacked on the elevation table. It can be adjusted, and therefore drive control with a high degree of freedom is possible.
  • the movable table is disposed above the tray storage unit, and is configured to hold and hold a tray supplied from below.
  • the movable table is one of a tray supply unit, a tray discharge unit, and a tray stop unit. And a fixing mechanism for fixing the trays positioned in the plurality of openings, respectively.
  • the tray supply unit lifts the tray on which the unprocessed work is placed and positions the tray on the opening of the movable table, the tray is fixed to the movable tape holder by the fixing mechanism. Further, when the fixing mechanism is released and the tray discharge section receives the tray on which the processed work is placed, the tray is released from the movable table (opening) force and is stored in the tray storage section.
  • the empty tray separates from the movable table (opening) and enters the tray storage unit.
  • the empty tray is fixed to the movable table by the fixing mechanism. Used to place processed workpieces.
  • the handler is composed of a pair of handlers arranged so as to sandwich the processing section substantially at the center in the reciprocating direction of the movable tape holder, and each of the pair of handlers includes an articulated arm. Can be adopted.
  • the pair of handlers respectively move between the movable table and the processing unit, and transport the unprocessed work and the processed work, respectively.
  • the handler since the handler includes the articulated arm, the operation (bending or rotating operation) of the articulated arm can be appropriately controlled so that the two do not interfere with each other, and the workpiece can be transported efficiently.
  • the pair of handlers may be configured so that the respective articulated arms extend in the reciprocating direction of the movable table and are arranged so as to overlap each other.
  • a pair of handlers is arranged closer to each other in the reciprocating direction of the movable tape holder, assuming that the operation of the articulated arm is controlled so that the pair of handlers do not interfere with each other (integrated). Because of this, the device can be further downsized.
  • the movable table is provided at a position substantially intermediate between the pair of handlers in the reciprocating direction when the pair of handlers receives the work from the tray carried on the movable table or transfers the work to the tray.
  • a configuration can be employed that is driven to position the target tray at a position.
  • the pair of handlers can move and move the shortest distance to receive and deliver the work, so that the transport time (time required for handling) can be reduced.
  • the tray supply operation or the discharge operation between the tray accommodating portion and the movable table is performed by a handler that receives a work from the tray carried on the movable table or transfers a work to the tray.
  • a configuration that can be performed almost simultaneously with the operation can be adopted. According to this configuration, the waiting time between each operation is eliminated, the time required for the entire handling can be further reduced, and the productivity is further improved.
  • FIG. 1 is an external perspective view showing an embodiment of a work handling apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a partial perspective view showing a tray accommodating portion and a tray carrying portion which form a part of the work handling apparatus according to the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic view of a part of the work handling apparatus according to the present invention as viewed from the front.
  • FIG. 4 is a plan view showing a tray supporting portion forming a part of the work handling device according to the present invention.
  • FIG. 5 is a partial perspective view showing a handler forming a part of the work handling apparatus according to the present invention.
  • FIGS. 6A, 6B, 6C, and 6D are operation diagrams showing the operation of supplying the tray on which the unprocessed work is placed to the tray holder.
  • FIGS. 7A, 7B, 7C, and 7D are operation diagrams showing the operation of discharging the tray on which the processed work is placed from the tray carrier.
  • FIGS. 8A, 8B, 8C, and 8D are operation diagrams showing an operation of supplying an empty tray for mounting a processed work to the tray supporting portion.
  • FIGS. 9A, 9B, 9C, and 9D are operation diagrams showing an operation of discharging a tray, from which all the work has been taken out and which has become empty, to temporarily stop the tray, from the tray carrier.
  • a semiconductor chip is employed as a work, and an inspection unit having a socket for inspecting and processing electrical characteristics of the semiconductor chip is employed as a processing unit.
  • this work handling apparatus has a tray storage section for storing a tray T on which a work W is placed: L 0, and holds a tray T supplied and supplied above the tray storage section 10.
  • the tray storage section 10 includes a tray stock section 11, a tray supply section 12, and a tray stop section 13 which are arranged adjacently in the horizontal direction (X direction). And two tray discharge sections 14 and 15.
  • the tray stock section 11 surrounds the tray T on which the workpiece W is placed and has a side wall 11 a that opens forward, and a lifting table 1 1b that places a plurality of stacked trays T and moves up and down in the vertical direction Z. , A drive mechanism 1 1 c that drives the elevating tape holder 11 1 b up and down, a push port 1 1 d that pushes out the lowermost tray T stacked toward the tray supply unit 12, and a push rod 1 1 d.
  • the drive mechanism 11 e is formed by a pair of chuck mechanisms 11 f for holding the side surface of the tray T by clamping.
  • the side wall 1 1a has an opening 1 1a 'through which the push rod 1 1d can pass, with the lifting table 1 1b positioned at the lowermost end, and a push port 1 1
  • the pair of chuck mechanisms 1 1 ⁇ are provided on the side wall 1 1 a, and in a state where the lifting tape holder 11 1 b is raised by a predetermined height, the second-stage tray (directly above the lowermost tray T). It is designed to hold T temporarily and hold it.
  • a pneumatic or hydraulic cylinder drive mechanism or an electric actuator is used as the drive mechanism 11c, and an electric actuator is used as the drive mechanism 11e.
  • Employers such as motors and pneumatic cylinder drive mechanisms are used.
  • the tray supply unit 12 surrounds the tray T and opens forward and opens upward.
  • the side wall 12a moves up and down in the vertical direction Z with the tray T placed on it.
  • a pneumatic or hydraulic cylinder drive mechanism, an electric actuator, or the like is employed as the drive mechanism 12c.
  • the drive mechanism 12c raises the elevating tape 12b.
  • the tray T is supplied to a tray carrier 20 (movable table 21 described later).
  • the tray stop 13 surrounds the tray T, and opens sideways 13a that opens forward and upwards, and moves up and down in the vertical direction Z with the tray T placed on it.
  • a drive mechanism 13c for driving the elevating table 13b and the elevating table 13b up and down.
  • an electric actuator or the like is employed as the drive mechanism 13c.
  • the empty tray T is received from the tray supporting section 20 (movable table 21 described later) with the lifting table 13 b raised, and the driving mechanism 1 3c lowers the elevating table 13b to temporarily stop the tray T, and then, at a predetermined timing, raises the elevating table 13b by the driving mechanism 13c, and the tray holder 20 (described later)
  • the tray T is supplied again to the movable table 21).
  • the tray discharge sections 14 and 15 surround the tray T, open the front side and open the upper side walls 14a and 15a, and place the tray T thereon.
  • the lifting table 14b, 15b which can be raised and lowered in the vertical direction ⁇ in this state, and drive mechanisms 14c, 15c for driving the lifting tables 14b, 15b, etc., are formed.
  • As the driving mechanisms 14 c and 15 c an electric actuator or the like is employed.
  • the lifting tables 14 b and 15 rise and receive the tray T on which the inspected work W is placed from the tray holding section 20 (movable table 21 described later).
  • the lifting tables 14b and 15b are lowered by the drive mechanisms 14c and 15c, and are held at that position until a predetermined number of trays T are stacked.
  • the tray discharge sections 14, 15 are selectively used to classify and take out the trays T for different types of workpieces W, or in the state of stacked trays T even for the same type of workpieces W. It is used properly according to.
  • the tray holder 20 has a substantially rectangular shape as shown in FIGS. 1 to 4, and has a movable table 21 disposed above the tray housing 10 and a movable table 21 fixed to the upper plate 50.
  • Two guides 22 that reciprocate in the X direction on the XY plane, a lead screw 23 connected to the movable table 21 and a motor 24 that is fixed to the upper plate 50 and drives the lead screw 23 to rotate. Etc. are provided.
  • the tray supporting portion 20 is disposed above the tray accommodating portion 10, the devices are centralized and miniaturized as compared with a case where both are disposed adjacent to each other in a plane. Therefore, when installing this device on a semiconductor manufacturing line, the installation area can be saved.
  • the movable table 21 is formed to have a rectangular outline, and has three openings 21a, 21b, 21c arranged adjacent to each other in the X direction. , One opening 21 d arranged adjacent to the opening 21 b in the Y direction, arranged at both ends of the respective openings 21 a, 21 b, 21 c, 21 d. And a nut portion 21 f into which the lead screw 23 is screwed.
  • the openings 21a, 21b, 21c are wider and upper than the dimensions of the tray T, as shown in Fig. 3, so as to receive and position the tray T supplied from below.
  • the side is formed narrower than the dimension of the tray T.
  • the opening 2 1d is The upper side is formed wider than the dimension of the tray T and the lower side is formed narrower than the dimension of the tray T so as to receive and carry the tray ⁇ supplied from above. Then, the tray T on which the untested work W is placed is supplied and positioned in the opening 21a, and the empty tray T for placing the inspected work W is placed in the openings 21b and 21c. The tray T on which the supplied workpiece W is placed is positioned in the opening 21d.
  • the fixing mechanism 21e is for fixing the tray T positioned at each of the openings 21a, 21b, and 21c.
  • the fixing mechanism 21e for example, it is detected by a sensor or the like that the tray T is positioned at the opening 21a to 21c, and the tray T is clamped from both sides based on a detection signal thereof, and An electromagnetic sensor that detects that the tape holders 12b, 13b, 14b, and 15b have risen to the predetermined positions and holds the tray T by a sensor or the like, and that can release the clamping (clamp) of the tray ⁇ ⁇ ⁇ based on the detection signal.
  • a drive-type clamp mechanism for example, a mechanism including a retractable holding piece or a retractable rod or the like is employed.
  • the tray T can be mechanically actuated in conjunction with the positioning of the tray T to the openings 21a to 21c to pinch the tray T, and also linked with the elevation of the lifting table 12b to 15b.
  • a mechanical lock lever or the like that can release the holding state of the tray T may be employed.
  • the fixing mechanism 21 e ′ includes a clamp mechanism similar to that described above that detects and holds the tray T positioned at the opening 21 d with a sensor or the like, or a fixing piece that manually fixes and releases the tray T. Adopted.
  • the inspection unit 30 as a processing unit is TJP2004 / 002953
  • the inspection unit 30 has a socket 31 for simultaneously connecting two works W (semiconductor chips). When the work W is set (inserted) into the socket 31, it automatically satisfies predetermined electrical characteristics. Inspect for strength.
  • the pair of handlers 40, 40 are arranged so that the inspection unit 30 is substantially at the center in the reciprocating direction (X direction) of the movable table 21. It is arranged on the upper plate 50 so as to be symmetric with respect to a straight line L in the Y direction passing through the center of the inspection unit 30.
  • the handlers 40 and 40 ′ are respectively provided with guides 41 and 41, which extend in the Y direction, and lead screws 42 and 42 ′ and lead screws 42 and 42 ′ which are arranged in the internal space of the guides 41 and 41 ′ while extending in the Y direction.
  • the first movable portions 43, 43 which are screwed into the Y-direction and are movable in the Y direction.
  • the second movable portions 44, 44 which are held by the first movable portions 43, 43 'and are movable in the Z direction.
  • Articulated arms 45, 45 ' which are connected to parts 44, 44, and are rotatable in a horizontal plane (XY plane), and are provided at the tips of the articulated arms 45, 45', and can hold and release the work W. Holders 46, 46 'etc. are provided.
  • the handlers 40 and 40 ′ are electrically driven actuators 47 a and 47 a for driving the first movable parts 43 and 43 ′ via lead screws 42 and 42 ′, and are electrically driven for driving the second movable parts 44 and 44 ′.
  • the actuators 47 b and 47 b, the electric actuators 47 c and 47 c ′ for driving the articulated arms 45 and 45 ′, and the electric actuators 47 d and 47 ′ for driving the work holding parts 46 and 46 ′ are provided. I have.
  • the articulated arms 45 and 45 'are used they are appropriately rotated in the R direction to prevent interference between them.
  • the pair of handlers 40, 40 ' can be arranged closer to each other in the X direction (both can be integrated), and the apparatus can be downsized.
  • the electric actuators 47 a, 47 a, and the lead screws 42, 42 ′, via the first movable parts 43, 43 ′ and the second movable parts 44, 44 form an articulated type.
  • Arm 45, 45 'Force Moved in Y direction.
  • the electric actuators 47d and 47d are driven so as to take out the work W from the work holding portion 46 and 46 ', and release the held work W and return the work W to the tray T.
  • the target tray is used.
  • the movable table 21 is driven so as to position T at a substantially intermediate position between the two guides 41, 41 'in the X direction (that is, near the straight line L shown in FIG. 5).
  • one of the handlers 40 ′ transfers the work W as shown in FIG.
  • the other handler 40 (40-1) rotates the articulated arm 45 (45 ') so as not to interfere with the articulated arm 45' (45) after holding the workpiece W. While being moved to the back side, it is driven to stand by.
  • the pair of handlers 40 and 40 ′ (articulated arms 45 and 45 ′) can move and move the shortest distance so as not to interfere with each other to receive and transfer the workpiece W. Conveys workpiece W efficiently (handling
  • the lifting tables l ib, 12b, 13 b, 14 b, 15 b correspond to the driving mechanisms 11 c, 12 c, 13 c
  • the push rod 11 d is driven up and down by a drive mechanism 11 e, and the handlers 40, 40 ′ are driven by an electric actuator 4.
  • the push rod 11 d When the extrusion is completed, the push rod 11 d is retracted and returns to the original rest position, as shown in FIG. 6C, and is then moved so that the opening 21 a is located immediately above the tray supply unit 12.
  • the elevating table 12b starts to ascend while holding the extruded tray T, and the elevating table 11b ascends to hold the second or more remaining trays T.
  • the holding state by the pair of chuck mechanisms 11f is released, and the lifting table 11b starts to descend again toward the rest position.
  • the lifting table 12b positions the tray T in the opening 21a of the movable table 21, and the fixing mechanism 21e fixes the tray T.
  • the lifting table 11b returns to the rest position at a desired timing and waits. Thereafter, the lifting table 12b descends and returns to the original rest position.
  • the movable table 21 moves rightward in the X direction via the motor 24 and the lead screw 23, and the tray located at the opening 21 a T force It is positioned near (almost the center) the straight line L shown in Fig. 5. Then, one of the handlers 40 (40 ') moves forward in the Y direction, takes out the untested work W from the tray T located at the opening 21a, holds the work W, and joints the work W toward the back in the Y direction. While rotating (bending) the mold arm 45 (45 '), it moves behind the other articulated arm 45 (45) and waits in the state shown in FIG.
  • the handler 40 ′ (40) holding the inspected workpiece W starts to move forward in the Y direction, and the waiting handler 40 ′ (40) moves right above the inspection unit 30 to the predetermined position. Lowers, and sets untested work W in socket 31.
  • the movable table 21 moves to the left in the X direction, and the tray T located at the opening 2 lb or the tray T located at the opening 21 c is positioned substantially at the center position (near the straight line L shown in FIG. 5). Can be Thereafter, the handler 40 ′ (40) transfers the held inspected workpiece W to the tray T positioned substantially at the center.
  • the movable table 21 moves to the right in the X direction, and the tray T located at the opening 2 la is positioned again at the approximate center position (near the straight line L shown in FIG. 5), and the handlers 40 ′ (40)
  • the uninspected work W is taken out of the tray T and held, and the articulated arm 45 '(45) is rotated (bent) toward the back side in the Y direction in the same manner as the handler 40 (40,) described above. While moving behind the other articulated arm 45 (45 ') while waiting.
  • the above operation is repeated.
  • the handler 40 (40 ') transfers the work W to the tray T located at the opening 21d, and thereafter, as described above, the untested work W on the tray T located at the opening 21a. Move to receive.
  • the pair of handlers 40, 40 when the pair of handlers 40, 40 receives the untested work W from the tray T carried on the movable table 21 or transfers the inspected work W to the tray T, the pair of handlers 40, 40 Since the movable table 21 is driven so as to position the target tray T at a substantially intermediate position (near the straight line L) between the handlers 40, 40, 40, the pair of handlers 40, 40 'is the shortest distance. Can move and transfer the workpiece W, so that the transfer time (time required for handling) can be shortened and productivity can be improved.
  • the movable table 21 is moved to the right in the X direction and positioned so that the opening 21 c is located immediately above the tray protrusion 15.
  • the elevating table 15b starts to rise toward the tray T located at the opening 21c, and reaches just below the tray T as shown in FIG. 7C.
  • the fixing mechanism 21 e releases the clamping state of the tray T by the detection signal of the sensor, and the tray T is held on the lifting table 15 b.
  • the lifting table 15b starts to descend as shown in FIG. 7D while holding the tray T on which the inspected work W is placed, and returns to the original rest position.
  • the lifting and lowering tape 15b is maintained in a state of holding a plurality of trays T until the trays T are stacked at a predetermined height. Out of the tray discharge section.
  • the movable table 21 is further moved to the right in the X direction and positioned just above the opening 2 1 b force tray discharge section 15, the same discharge operation as described above is performed, and the opening 2 1 b
  • the movable table 21 is moved in the X direction as appropriate, and the openings 21b, 21c are moved to the tray discharge section.
  • the same discharging operation as described above is performed.
  • the movable table 21 is moved to the left in the X direction and positioned so that the opening 21 c is located immediately above the tray stop 13.
  • the lifting table 13b holding the empty tray T starts to rise toward the opening 21c.
  • the elevating table 13b is raised to a predetermined height, and the uppermost tray T is positioned at the opening 21c of the movable table 21.
  • Fixing mechanism 2 1 e Force S tray T is fixed by signal.
  • the lifting table 13b starts to descend as shown in FIG. 8D, and returns to the original rest position.
  • the operation of supplying the empty tray T to the tray carrier 20 (movable tape holder 21) is completed.
  • the movable table 21 is moved and positioned to the right in the X direction such that the opening 2 la is located immediately above the tray stop 13.
  • the lifting table 1 3b begins to ascend toward the empty tray T located at the force opening 21a, and as shown in FIG. Arrive.
  • the fixing mechanism 21 e releases the clamping state of the tray T by the detection signal of the sensor, and the tray T is held on the lifting table 13 b.
  • the lifting table 13b starts to descend as shown in FIG. 9D while holding the delivered empty tray T, and returns to the original rest position.
  • the supply operation, the discharge operation, and the stop operation of the tray T and the handling (transport operation) of the handlers 40 and 40 ′ have been described separately, but the operation of the tray storage unit 10 and the movable table 21 is not described.
  • the operation of supplying or discharging the tray T between the handlers 40 and 40 ' receiving the work W from the tray T carried on the movable table 21 or transferring the work W to the tray T. It may be done. According to this, the waiting time between each operation is eliminated, the time required for the entire handling can be further reduced, and the productivity is further improved.
  • the present invention is not limited to this.
  • a tray carrying part (movable table) is arranged below the storage part, and a gripping arm or the like that can reciprocate vertically and hold and hold the tray T is provided in the tray storage part, and is movable from above.
  • Lower the gripping arm to supply the tray T on which the untested work W is placed toward the table, and lift the gripping arm to discharge and stop the tray T on which the inspected work W is placed upward.
  • the movable table 21 is shown to be reciprocally movable in the X direction orthogonal to the movement direction (Y direction) of the handlers 40 and 40 ', but the movable table 21 intersects at an angle other than orthogonal (right angle). It may be formed so as to be reciprocally movable in the direction in which it moves.
  • the two tray discharge units 14 and 15 are employed in the tray storage unit 10.
  • the present invention is not limited to this, and one or three or more tray discharge units are employed.
  • the tray stock section 11, the tray supply section 12, and the tray stopping section 13 are not limited to one, and two or more tray stock sections may be employed.
  • one opening 21 a for holding the tray T provided with the untested peak W is provided for the movable table 21 constituting the tray supporting portion 20,
  • two openings 21b and 21c are provided for holding the tray T on which the completed work W is placed, the present invention is not limited to this, and a configuration in which each other number of openings are provided. May be adopted.
  • a pair of fixing mechanisms 2 1 e, 2 1 are provided on the short sides of the openings 21 a, 21 b, 21 c, 21 d respectively.
  • 1 e ′ is provided
  • the present invention is not limited to this, and one or two pairs of fixings are respectively provided on the long sides of the openings 21 a, 21 b, 21 c, 21 d.
  • a configuration in which the mechanisms 21e and 21e 'are provided may be adopted.
  • the semiconductor chip is shown as the work W.
  • the present invention is not limited to this, and other electronic components or mechanical components may be handled.
  • the inspection and inspection unit 30 of the electrical characteristics is shown, but the present invention is not limited to this. For example, processing such as cutting and painting the work, or assembling parts, etc.
  • the apparatus of the present invention may be applied to a processing unit that performs other processing.
  • the processing unit (inspection unit 30) is included in the apparatus.
  • the processing unit (inspection unit 30) itself is not a component of the present invention, and it is sufficient that the apparatus of the present invention is applied to a predetermined processing unit.
  • the tray holding unit that holds the tray supplied from the tray housing unit is disposed above or below the tray housing unit that houses the tray on which the work is placed.
  • the tray carrier is movably arranged between the processing unit and the tray carried by the tray carrier, and is reciprocally movable in a direction intersecting the reciprocating direction of the handler that transports the work. The provision of the table facilitates handling for processing the work and improves productivity.
  • the apparatus can be centralized and downsized, and the installation area can be reduced in space.
  • the tray carrier movable table
  • the handler can be driven two-dimensionally instead of three-dimensionally, which makes it possible to reduce the size of the handler and reduce the distance traveled by the handler. By shortening the length, the transfer time can be shortened.
  • the work handling apparatus of the present invention can be applied to semiconductors that need to be transported and positioned when performing predetermined processing such as inspection, processing, and assembly. It is useful not only in the field of manufacturing, but also in the production line of automobiles and their parts, the production line of electronic devices and their parts, and other fields related to machines and electronic parts.

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Abstract

本発明のワークハンドリング装置は、ワーク(W)を載せるトレイ(T)を収容するトレイ収容部(10)、トレイ収容部(10)から供給されたトレイを担持するトレイ担持部(20)、ワークに対して検査等の処理を施す処理部(30)とトレイ担持部(20)に担持されたトレイとの間で往復動自在に配置されてワークを搬送するハンドラ(40,40')を備えている。そして、トレイ担持部(20)として、ハンドラの移動方向に直交する方向に往復動自在にかつトレイ収容部(10)の上方に配置された可動テーブル(21)を採用する。これにより、装置が集約されて、幅狭化、小型化され、ワークの検査処理等を行うためのハンドリングが円滑に行われ、生産性が向上する。

Description

明 細 書 ワークハンドリング装置 技術分野
本発明は、 ワークに対して検查、 加工、 組付け等の所定の処理を施す際に、 ヮ —クを保持して搬送及び位置決めするワークハンドリング装匱に関し、 特に、 半 導体チップ等のワークに対して検査を施す工程で用いられるワークハンドリング 装置に関する。 背景技術
半導体チップ （ワーク） を検査部に対して搬入及び搬出する従来のハンドリン グ装置としては、 例えば、 ワークを搬送する二つの搬送機構、 ワークを吸着して 二つの搬送機構の搬送方向に対して直交する方向及び鉛直方向に往復動可能な二 つのハンドラ等を備え、 二つの搬送機構の中央部に配置された検査ソケットと搬 送機構との間で、 二つのハンドラによりワークを位置決めしつつ搬送するものが 知られている （例えば、 特開 2 0 0 2— 1 4 8 3 0 7号公報、 特開昭 5 7— 2 2 5 7 0号公報)。
また、 他のハンドリング装置としては、 未検査及び検査済みのワークをそれぞ れ載せるトレイを載置する複数のトレイ載置部、 トレイ載置部に隣接し一方向に のみ往復動自在に配置された予備加熱部、 トレイ載置部と予備加熱部との間でヮ —クを搬送するローダ及びアンローダ、 二つのテストヘッド （検査部） と予備加 熱部と間で移動してワークを搬送する二つのハンドラ等を備え、 予備加熱部がハ ンドラの移動方向と直交する方向に適宜移動させられて、 二つのハンドラが予備 加熱部からワークを受け取り又予備加熱部にワークを受け渡すものが知られてい る (例えば、 特開平 8— 3 3 4 5 4 8号公報)。 ところで、 上記二つの搬送機構及びハンドラを備える従来の装置においては、 ワーク又はワークを载せたトレィを搬送する搬送機構を両側に設け、 各々の搬送 機構 （トレイ） と検査ソケットとの間を二つのハンドラだけが移動してワークを 搬送する構成であるが故に、 各機構の集約化が困難であり、 この装置を半導体製 造ライン等に設置するには比較的広いスペースが必要であった。
また、 トレィ載置部及び予備加熱部を備える従来の装置においては、 トレィ載 置部と予備加熱部との間でワークを搬送する搬送機構 （ローダ及びアンローダ） 、 予備加熱部とテス トヘッドとの間でワークを搬送する搬送機構 （ハンドラ） 等 の如く、 複数の搬送機構によってリレー搬送する構成であり、 又、 トレイ载置部 '及び予備加熱部等が平面状に配置され、 さらに、 二つのハンドラはお互いに干渉 しない位置に離隔して配置され各々が単に独立して駆動される構成であるが故に 、 構造が複雑であり、 各機構の集約化が困難であり、 この装置を半導体製造ライ ン等に設置するには比較的広いスぺースが必要であつた。
本 ¾明は、 上記の事情に鑑みてなされたものであり、 その目的とするところは · 、 構造の簡略化、 各機構の集約化、 装置全体として小型化、 設置面積の省スぺー ス化、 ワークの搬送に要する時間の短縮化等を図り、 ワークに対して検查、 加工 等の処理を効率良く行うことができ、 生産性を向上させることができるワークハ ンドリング装置を提供することにある。 発明の開示
上記の目的を達成する本発明のワークハンドリング装置は、 ワークを载せるト レイを収容するトレイ収容部と、 トレイ収容部から供給されたトレイを担持する トレィ担持部と、 ワークに対して所定の処理を施す処理部とトレィ担持部に担持 されたトレイとの間で移動自在に配置されてワークを搬送するハンドラと、 を備 え、 上記トレィ担持部は、 ハンドラの移動方向に対して交差する所定方向に往復 動自在にかつトレイ収容部の上方又は下方に配置され、 トレイ収容部から供給さ れたトレイを担持する可動テーブルを含む。
この構成によれば、 トレイ収容部から上方又は下方のトレイ担持部に向けてト レイが供給されると、 トレイ担持部の可動テーブルが所定方向に移動してトレイ を所望の位置に位置付け、 ハンドラが位置付けられたトレイからワークを受け取 つて処理部まで搬送する。 一方、 ハンドラは、 処理済みのワークを受け取って処 理部から予め移動して位置決めされた可動テーブル上のトレイに受け渡す。 これ により、 ワークに所定の処理 （例えば、 検査、 加工等） を施すためのハンドリン グが円滑に行われ、 生産性が向上する。
すなわち、 トレィ担持部 （可動テーブル） は、 トレイ収容部の上方又は下方に 位置するようにトレイ収容部に対して上下方向に配列されているため、 装置が集 約化、 小型化されて、 例えば半導体製造ライン等に設置される際に設置面積の省 スペース化を達成でき、 又、 可動テーブルは所定方向に往復動自在であるため、 ハンドラを 3次元,駆動ではなく 2次元駆動にすることもできる。 これにより、 ハ ンドラすなわち装置を小型化でき、 ハンドラによる搬送距離を短くして搬送に要 する時間を短縮化できる。
上記構成をなす装置において、 トレイ収容部は、 未処理のヮ一クを載せたトレ ィを可動テーブルに供給するトレイ供給部と、 処理済みのワークを載せたトレイ を排出するべく可動テーブルから受け取るトレィ排出部と、 空のトレイを可動テ 一プルから排出させて再び供給するべく一時的に停留させるトレイ停留部と、 を 含む、 構成を採用できる。
この構成によれば、 未処理のワークを載せたトレイが、 トレイ供給部から可動 テ一ブルに向けて供給され、 処理済みのワークを載せたトレイが、 可動テーブル からトレィ排出部に向けて排出され、 空になったトレイが、 可動テーブルからト レイ停留部に向けて排出されて一時的に停留された後に再び可動テーブルに向け て供給される。 したがって、 未処理のワークを載せていたトレィを、 一連の流れ の中で置き替えて処理済みのワークを載せるトレイとして用いることができるた め、 トレイ収容部にはワークの供給及び排出に要する必要最小限のトレイが収容 されればよく、 それ故に、 トレィを収容するスペースを狭くでき、 装置を小型化 できる。
上記構成をなす装置において、 トレイ供給部、 トレイ排出部、 及ぴトレイ停留 部はそれぞれ、 トレィを载置して昇降し得る昇降テーブルと、 昇降テーブルを駆 動する駆動機構と、 を含む、 構成を採用できる。
この構成によれば、 トレイ供給部、 トレイ排出部、 及びトレィ停留部のそれぞ れの昇降テーブルは、 それぞれの駆動機構により昇降駆動され得るため、 トレイ の供給、 排出、 停留のいずれか二つ以上の動作を同時に行うことも可能であり、 それ故に全体の搬送 （ハンドリング） に要する時間を短縮でき、 又、 昇降テープ ル上に積層されたトレイの枚数に応じて昇降テーブルの昇降量を適宜調整するこ とができ、 それ故に自由度の高い駆動制御が可能となる。
上記構成をなす装置において、 可動テーブルは、 トレイ収容部の上方に配置さ れ、 下方から供給されたトレイを位置決めして保持するべく、 トレイ供給部， ト レイ排出部， 及びトレイ停留部のいずれかに対応するように設けられた複数の開 口部と、 複数の開口部に位置付けられたトレイをそれぞれ固定する固定機構と、 を含む、 構成を採用できる。
この構成によれば、 トレイ供給部が、 未処理のワークを載せたトレイを持ち上 げて可動テーブルの開口部に位置付けると、 トレイは固定機構により可動テープ ノレに固定される。 また、 固定機構が解除されて、 トレイ排出部が処理済みのヮ一 クを載せたトレィを受け取ると、 トレィは可動テーブル （開口部） 力 ら離脱して トレイ収容部に収容される。
さらに、 固定機構が解除されて、 トレイ停留部が未処理のワークを全て取り出 して空になったトレィを受け取ると、 空のトレィは可動テーブル （開口部） から 離脱してトレイ収容部に収容され、 一方、 空のトレィを持ち上げて可動テーブル の開口部に位置付けると、 空のトレイは固定機構により可動テーブルに固定され 、 処理済みのワークを載せるために用いられる。
上記構成をなす装置において、 ハンドラは、 可動テープノレの往復動方向におい て処理部を略中央に挾むように配置された一対のハンドラからなり、 一対のハン ドラは、 それぞれ関節型アームを含む、 構成を採用できる。
この構成によれば、 一対のハンドラが、 可動テーブルと処理部との間をそれぞ れ移動して、 未処理のワーク及び処理済みのワークをそれぞれ搬送する。 ここで 、 ハンドラが関節型アームを含むため、 両者がお互いに干渉しないように関節型 アームの動作 （屈曲又は回転動作） を適宜制御して、 ワークを効率良く搬送する ことができる。
上記構成をなす装置において、 一対のハンドラは、 それぞれの関節型アームを 可動テーブルの往復動方向に伸長した状態で、 お互いにオーバラップするように 配置されている、 構成を採用できる。
この構成によれば、 —対のハンドラがお互いに干渉しないように関節型アーム の動作を制御することを前提に、 可動テープノレの往復動方向において一対のハン ドラをより近づけて配置 （集約化） できるため、 装置をさらに小型化できる。 上記構成をなす装置において、 可動テーブルは、 一対のハンドラが可動テープ ルに担持されたトレイからワークを受け取る際に又はトレイにワークを受け渡す 際に、 その往復動方向における一対のハンドラの略中間位置に、 対象となるトレ ィを位置付けるように駆動される、 構成を採用できる。
この構成によれば、 一対のハンドラは、 最短距離を移動してワークの受け取り 及び受け渡しを行えるため、 搬送時間 （ハンドリングに要する時間） を短縮でき
、 生産性が向上する。
上記構成をなす装置において、 トレイ収容部と可動テーブルとの間でのトレイ の供給動作又は排出動作は、 ハンドラが可動テーブルに担持されたトレイからヮ ークを受け取る動作又はトレイにワークを受け渡す動作と、 略同時に行われる、 構成を採用できる。 この構成によれば、 各々の動作と動作との間の待機時間が解消されて、 全体の ハンドリングに要する時間をさらに短縮でき、 生産性がさらに向上する。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明に係るワークハンドリング装置の一実施形態を示す外観斜視図 である。
図 2は、 本発明に係るワークハンドリング装置の一部をなすトレイ収容部及び トレイ担持部を示す部分斜視図である。
図 3は、 本発明に係るワークハンドリング装置の一部を正面から見た模式図で ある。
図 4は、 本発明に係るワークハンドリング装置の一部をなすトレイ担持部を示 す平面図である。
図 5は、 本発明に係るワークハンドリング装置の一部をなすハンドラを示す部 分斜視図である。
図 6A， 図 6B, 図 6C， 図 6 Dは、 未処理のワークを載せたトレィをトレイ 担持部に供給する動作を示す動作図である。
図 7A, 図 7B, 図 7C, 図 7Dは、 処理済みのワークを載せたトレィをトレ ィ担持部から排出する動作を示す動作図である。
図 8A, 図 8B, 図 8C, 図 8Dは、 処理済みのワークを載せるための空のト レイをトレイ担持部に供給する動作を示す動作図である。
図 9A, 図 9B, 図 9C, 図 9Dは、 ワークが全て取り出されて空になったト レイを一時的に停留させるためにトレイ担持部から排出する動作を示す動作図で ある。 発明を実施するための最良の形態
以下 本発明の最良の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。 尚 この実施形態においては、 ワークとして半導体チップが採用され、 処理部として 半導体チップの電気的特性を検査処理するソケットをもつ検査部が採用されてい る。
このワークハンドリング装置は、 図 1に示すように、 ワーク Wを載せるトレイ Tを収容するトレイ収容部： L 0、 トレイ収容部 1 0の上方に酉己置されて供給され たトレイ Tを担持するトレイ担持部 2 0、 ワーク Wに対して検査処理を施す処理 部としての検查部 3 0、 トレイ担持部 2 0に担持されたトレイ Tと検査部 3 0と の間を移動自在に配置されてワーク Wを搬送するハンドラ 4 0等を備えている。
トレイ収容部 1 0は、 図 1ないし図 3に示すように、 それぞれ隣接して水平方 向 ( X方向) に配列された、 トレイストツク部 1 1、 卜レイ供給部 1 2、 トレイ 停留部 1 3、 二つのトレイ排出部 1 4， 1 5を備えている。
トレイストック部 1 1は、 ワーク Wを載せたトレイ Tを取り囲むと共に前方に 開口する側壁 1 1 a、 積み重ねられた複数のトレイ Tを载置して鉛直方向 Zに昇 降する昇降テーブル 1 1 b、 昇降テープノレ 1 1 bを昇降駆動する駆動機構 1 1 c 、 積層された最下部のトレィ Tをトレイ供給部 1 2に向けて押し出すプッシュ口 ッド 1 1 d、 プッシュロッド 1 1 dを駆動する駆動機構 1 1 e、 トレイ Tの側面 を挟持して固定する一対のチヤック機構 1 1 f等により形成されている。
側壁 1 1 aには、 図 3に示すように、 昇降テーブル 1 1 bが最下端に位置する 状態で、 プッシュロッド 1 1 dを揷通させる開口部 1 1 a '、 プッシュ口ッド 1 1 dにより押されたトレイ Tをトレイ供給部 1 2に向けて通す開口部 1 1 a ' 一が形成されている。
一対のチャック機構 1 1 ίは、 側壁 1 1 aに設けられて、 昇降テープノレ 1 1 b が所定高さだけ上昇した状態で、 二段目の （最下部のトレィ Tの直上にある） ト レイ Tを挟持して一時的に保持するようになつている。
ここで、 駆動機構 1 1 cとしては、 空気圧式又は油圧式のシリンダ駆動機構あ るいは電動ァクチユエータ等が採用され、 駆動機構 1 1 eとしては、 電動ァクチ ユエータ （例えば、 モータ）、 空気圧式のシリンダ駆動機構等が採用される。 トレイ供給部 1 2は、 図 2及び図 3に示すように、 トレイ Tを取り囲むと共に 前方に開口しかつ上方に開口する側壁 1 2 a、 トレイ Tを載置した状態で鉛直方 向 Zに昇降し得る昇降テーブル 1 2 b、 昇降テーブル 1 2 bを昇降駆動する駆動 機構 1 2 c等により形成されている。 駆動機構 1 2 cとしては、 空気圧式又は油 圧式のシリンダ駆動機構、 あるいは、 電動ァクチユエータ等が採用される。 そして、 トレイ供給部 1 2においては、 トレィス トック部 1 1から押し出され たトレイ Tが昇降テープノレ 1 2 bに載置されると、 駆動機構 1 2 cにより昇降テ 一プル 1 2 bを上昇させ、 トレイ担持部 2 0 (後述する可動テーブル 2 1 ) にト レイ Tを供給する。
トレイ停留部 1 3は、 図 2及び図 3に示すように、 トレイ Tを取り囲むと共に 前方に開口しかつ上方に開口する側壁 1 3 a、 トレイ Tを載置した状態で鉛直方 向 Zに昇降し得る昇降テープル 1 3 b、 昇降テーブル 1 3 bを昇降駆動する駆動 機構 1 3 c等により形成されている。 駆動機構 1 3 cとしては、 電動ァクチユエ ータ等が採用される。
そして、 トレイ停留部 1 3においては、 昇降テーブル 1 3 bが上昇した状態で 、 空になったトレィ Tを卜レイ担持部 2 0 (後述する可動テーブル 2 1 ) から受 け取り、 駆動機構 1 3 cにより昇降テーブル 1 3 bを下降させて一時的にトレイ Tを停留させ、 その後所定のタイミングで、 駆動機構 1 3 cにより昇降テーブル 1 3 bを上昇させ、 トレイ担持部 2 0 (後述する可動テーブル 2 1 ) に再びトレ ィ Tを供給する。
トレイ排出部 1 4， 1 5は、 図 2及び図 3に示すように、 トレイ Tを取り囲む と共に前方に開口しかつ上方に開口する側壁 1 4 a , 1 5 a、 トレイ Tを載置し た状態で鉛直方向 Ζに昇降し得る昇降テーブル 1 4 b， 1 5 b、 昇降テーブル 1 4 b , 1 5 bを昇降駆動する駆動機構 1 4 c , 1 5 c等により形成されている。 駆動機構 1 4 c , 1 5 cとしては、 電動ァクチユエータ等が採用される。 そして、 トレイ排出部 14, 1 5においては、 昇降テーブル 14 b， 1 5 が 上昇して、 検査済みのワーク Wを載せたトレイ Tをトレイ担持部 20 (後述する 可動テーブル 2 1) から受け取り、 駆動機構 14 c, 1 5 cにより昇降テーブル 14 b, 1 5 bを下降させて、 トレイ Tが所定個数だけ積み重ねられるまでその 場所に保持する。
ここで、 トレイ排出部 14， 1 5は、 異なる種類のワーク W毎にトレィ Tを分 類して取り出すために使い分けられ、 あるいは、 同種のワーク Wであっても積層 されたトレイ Tの状態に応じて使い分けられる。
トレイ担持部 20は、 図 1ないし図 4に示すように、 略矩形形状をなし、 トレ ィ収容部 10の上方に配置された可動テーブル 2 1、 上板 50に固定され可動テ 一ブル 21を X Y平面上の X方向に往復動自在に支持する 2本のガイド 22、 可 動テーブル 2 1に連結されたリードスクリュー 2 3、 上板 50に固定されリ一ド スクリュー 23を回転駆動するモータ 24等を備えている。
このように、 トレイ収容部 1 0の上方にトレイ担持部 20が配置されるため、 両者が平面状に隣接して配置される場合に比べて装置が集約化され、 小型化され る。 したがって、 この装置を半導体製造ラインの設置する場合、 設置面積を省ス ペース化できる。
可動テーブル 21は、 図 2ないし図 4に示すように、 矩形形状の輪郭をなすよ うに形成され、 X方向に隣接して配列された 3つの開口部 2 1 a， 2 1 b, 2 1 c、 開口部 21 bに対し Y方向に隣接して配置された 1つの開口部 2 1 d、 それ ぞれの開口部 2 1 a, 2 1 b, 2 1 c, 21 dの両端部に配置された固定機構 2 1 e , 2 1 e リードスクリュー 2 3が螺合されるナット部 2 1 f等を備え ている。
開口部 2 1 a, 2 1 b, 2 1 cは、 図 3に示すように、 下方から供給されたト レイ Tを受け入れると共に位置決めするように、 下側がトレイ Tの寸法よりも幅 広くかつ上側がトレイ Tの寸法よりも幅狭く形成されている。 開口部 2 1 dは、 上方から供給されたトレイ τを受け入れると共に担持するように、 上側がトレイ Tの寸法よりも幅広くかつ下側がトレイ Tの寸法よりも幅狭く形成されている。 そして、 開口部 21 aには、 未検査のワーク Wを載せたトレイ Tが供給されて 位置付けられ、 開口部 21 b, 21 cには、 検査済みのワーク Wを載せるための 空のトレィ Tが供給されて位置付けられ、 開口部 21 dには、 不良品とみなされ たワーク Wを載せるトレイ Tが位置付けられるようになっている。
固定機構 21 eは、 それぞれの開口部 21 a， 21 b， 21 cに位置付けられ たトレイ Tを固定するものである。 固定機構 21 eとしては、 例えば、 トレイ T が開口部 21 a〜 21 cに位置付けられたことをセンサ等により検出しその検出 信号に基づいてトレイ Tを両側から挟持 (クランプ) し、 又、 昇降テープノレ 12 b， 13 b, 14 b, 15 bが所定の位置まで上昇してトレイ Tを保持したこと をセンサ等により検出しその検出信号に基づいてトレイ Τの挟持 (クランプ) を 解除し得る電磁駆動型のクランプ機構 （例えば、 出没自在な挟持片、 又は、 出没 自在なロッド等を備える機構） 等が採用される。
尚、 固定機構 21 eとして、 トレイ Tの開口部 21 a〜21 cへの位置付けに 連動して機械的に作動しトレイ Tを挟持し得ると共に、 昇降テーブル 12 b〜 1 5 bの上昇に連動してトレィ Tの挟持状態を解除し得るような機械式のロックレ バー等を採用してもよい。
固定機構 21 e 'は、 トレイ Tが開口部 21 dに位置付けられたことをセン サ等により検出して挟持する前述同様のクランプ機構、 あるいは、 手動にて固定 及びその解除を行う固定片等が採用される。
すなわち、 トレィ担持部 20においては、 モータ 24がリードスクリュー 23 を回転させると、 可動テーブル 21が X方向の所望の位置に移動して、 開口部 2 l a, 21 b， 21 cがそれぞれ、 トレイ供給部 12、 トレイ停留部 13、 トレ ィ排出部 14, 15のいずれかの直上に位置付けられるようになつている。 処理部としての検査部 30は、 図 1及び図 5に示すように、 Y方向において可 TJP2004/002953
動テーブル 21よりも奥側に配置されており、 上板 50から露出した状態となつ ている。 検査部 30は、 2つのワーク W (半導体チップ） を同時に接続するソケ ット 31を有し、 ワーク Wがソケット 31にセット （揷入） されると、 自動的に 所定の電気的特性を満たす力否かの検査を行う。
—対のハンドラ 40, 40一は、 図 1、 図 3、 図 5に示すように、 可動テー ブノレ 21の往復動方向 （X方向） において検査部 30を略中央に挟むように、 す なわち、 検査部 30の中心を通る Y方向の直線 Lに対して線対称となるように、 上板 50上に配置されている。
ハンドラ 40， 40 'は、 それぞれ Y方向に伸長するガイド 41， 41一、 ガイド 41， 41 'の内部空間において Y方向に伸長して配置されたリードス クリユー 42, 42 '、 リードスクリュー 42， 42 'に螺合されて Y方向に 移動自在な第 1可動部 43， 43 ,、 第 1可動部 43， 43 'に保持され Z方 向に移動自在な第 2可動部 44， 44 ,、 第 2可動部 44， 44 ,に連結され て水平面 （XY面） 内で回動可能な関節型アーム 45, 45 ', 関節型アーム 45, 45 'の先端に設けられワーク Wを保持し又解放し得るワーク保持部 4 6, 46 '等を備えている。
また、 ハンドラ 40， 40 'は、 リードスクリュー 42， 42 'を介して第 1可動部 43， 43 'を駆動する電動ァクチユエータ 47 a， 47 a一、 第 2 可動部 44, 44 'を駆動する電動ァクチユエータ 47 b， 47 b ,、 関節型 アーム 45， 45 'を回転駆動する電動ァクチユエータ 47 c， 47 c '、 ヮ ーク保持部 46， 46 'を駆動する電動ァクチユエータ 47 d， 47 '等を備 えている。
さらに、 一対のハンドラ 40， 40 'は、 それぞれの関節型アーム 45， 4 5 を可動テーブル 21の往復動方向 （X方向） に伸長した状態で、 お互いに オーバラップするように配置されている。 すなわち、 関節型アーム 45， 45 'を採用しているが故に、 適宜 R方向に回転させて両者の干渉を防止させつつ
1 、 Y方向に移動させることができるため、 X方向において一対のハンドラ 40， 40 'をより近づけて配置することができ （両者を集約化でき）、 装置を小型化 できる。
上記一対のハンドラ 40, 40一においては、 電動ァクチユエータ 47 a , 47 a ,及びリードスクリュー 42， 42 'により第 1可動部 43， 43 '及 び第 2可動部 44， 44 を介して、 関節型アーム 45, 45 '力 Y方向に 移動させられる。 また、 電動ァクチユエータ 47 b, 47 b 'により第 2可動 部 44， 44 'を介して、 関節型アーム 45， 45 'が Z方向に昇降させられ る。 また、 電動ァクチユエータ 47 c， 47 c により関節型アーム 45, 4 5 'が XY平面内を回動させられる。 さらに、 電動ァクチユエータ 47 d, 4 7 d により、 ワーク保持部 46， 46 '力 トレイ Tからワーク Wを取り出 して保持し又保持したワーク Wを解放してトレィ Tに戻すように駆動される。 ここで、 一対のハンドラ 40， 40 "が、 可動テーブル 21に担持されたト レイ Tから未検査のワーク Wを受け取る際及びトレイ Tに検査済みのワーク Wを 受け渡す際に、 対象となるトレィ Tを、 X方向における二つのガイド 41, 41 'の略中間位置に （すなわち、 図 5に示す直線 Lの近傍に） 位置付けるように 、 可動テーブル 21が駆動される。
また、 一対のハンドラ 40， 40 'が、 検査部 30との間でワーク Wの受け 渡し及び受け取りを行う際に、 図 5に示すように、 一方のハンドラ 40 ' (4 0) がワーク Wを検査部 30にセットしている場合、 他方のハンドラ 40 (40 一） は、 ワーク Wを保持した後に関節型アーム 45 ' (45) に干渉しないよ うに関節型アーム 45 (45 ' ) を回転させつつ奥側に移動させられて待機す るように駆動される。
このように駆動されることで、 一対のハンドラ 40， 40 ' (関節型アーム 45, 45 ') は、 お互いに干渉しないように最短距離を移動して、 ワーク W の受け取り及び受け渡しを行えるため、 ワーク Wを効率良く搬送 （ハンドリング
2 ) することができ、 それ故に搬送時間 （ハンドリングに要する時間） を短縮化で き、 生産性が向上する。
次に、 この実施形態に係るワークハンドリング装置の動作について、 図 5、 図
6 Aないし図 9 Dを参照しつつ説明する。 尚、 この動作において、 昇降テーブル l i b, 12b, 13 b, 14 b， 15 bは、 駆動機構 11 c, 12 c, 13 c
, 14 c, 15 cによりそれぞれ昇降駆動され、 プッシュロッド 11 dは駆動機 構 1 1 eにより出没駆動され、 ハンドラ 40， 40 'は電動ァクチユエータ 4
7 a , 47 a '〜47 d、 47 d ,により二次元的に駆動される。
先ず、 トレイ Tの供給動作について図 6 Aないし図 6 Dを参照しつつ説明する と、 トレイ収容部 10のトレイストック部 1 1に対して、 作業者が、 未検査のヮ ーク Wを載せた複数のトレイ Tを積層して載置する。
次に、 図 6 Aに示すように、 昇降テーブル 11 bが若干上昇すると、 図 6Bに 示すように、 一対のチャック機構 11 f が下側からニ段目のトレイ Tを挟持して 固定すると同時に、 昇降テーブル 1 1 bが元の休止位置まで下降し、 プッシュ口 ッド 1 1 dが突出して、 最下部に位置するトレイ Tをトレイ供給部 12に向けて 押し出す。
押出しが完了すると、 図 6 Cに示すように、 プッシュロッド 11 dは没入して 元の休止位置に戻り、 続いて、 開口部 21 aがトレイ供給部 12の直上に位置す るように、 可動テーブル 21が位置決めされた状態において、 昇降テーブル 12 bは押し出されたトレイ Tを保持して上昇し始めると共に、 昇降テーブル 11 b が上昇して二段目以上の残りのトレイ Tを保持する。 そして、 一対のチャック機 構 1 1 f による挟持状態が解除され、 昇降テーブル 11 bは休止位置に向けて再 び下降し始める。
そして、 図 6Dに示すように、 昇降テーブル 12 bがトレイ Tを可動テーブル 21の開口部 21 aに位置付けると同時に、 固定機構 21 eがトレイ Tを固定す る。 一方、 昇降テーブル 1 1 bは所望のタイミングで休止位置に戻り待機する。 その後、 昇降テーブル 12 bは下降して元の休止位置に戻る。
これにより、 未検査のワーク Wを載せたトレイ Tをトレィ担持部 20 (可動テ 一ブル 21) に供給する動作が終了する。
トレイ担持部 20 (可動テーブル 21 ) へのトレィ Tの供給が完了すると、 モ ータ 24及びリードスクリュー 23を介して、 可動テーブル 21が X方向右側に 移動し、 開口部 21 aに位置するトレイ T力 図 5に示す直線 Lの近傍 （略中央 位置） に位置付けられる。 そして、 一方のハンドラ 40 (40 ' ) 力 Y方向 前方に移動して、 開口部 21 aに位置するトレイ Tから未検査のワーク Wを取り 出して保持し、 Y方向に奥側に向けて関節型アーム 45 (45 ') を回転 （屈 曲） させつつ他方の関節型アーム 45 (45) の後方に移動し、 図 5に示す 状態で待機する。
一方、 検査が完了したワーク Wを保持するハンドラ 40 ' (40) は Y方向 前方に移動し始めると共に、 待機中のハンドラ 40 (40 ' ) は検査部 30の 直上に移動して所定の位置まで下降し、 未検査のワーク Wをソケット 31にセッ トする。 また、 可動テーブル 21は X方向左側に移動して、 開口部 2 l bに位置 するトレイ T又は開口部 21 cに位置するトレイ Tが略中央位置 （図 5に示す直 線 Lの近傍) に位置付けられる。 その後、 ハンドラ 40 ' (40) は、 保持し た検査済みのワーク Wを略中央に位置付けられたトレイ Tに受け渡す。
そして、 可動テーブル 21が X方向右側に移動して、 開口部 2 l aに位置する トレイ Tが再び略中央位置 （図 5に示す直線 Lの近傍） に位置付けられ、 ハンド ラ 40 ' (40) は、 未検査のワーク Wをトレイ Tから取り出して保持し、 前 述したハンドラ 40 (40 ,) と同様に、 Y方向の奥側に向けて関節型アーム 45 ' (45) を回転 （屈曲） させつつ他方の関節型アーム 45 (45 ' ) の 後方に移動して待機する。 検査処理を行うためのハンドリングとしては、 上記の 動作が繰り返される。
尚、 上記一連の動作において、 検査により不良のワーク Wが検出された場合は 、 ハンドラ 4 0 ( 4 0 ' ) は開口部 2 1 dに位置するトレイ Tにそのワーク W を受け渡し、 その後は前述同様に、 開口部 2 1 aに位置するトレイ T上の未検査 のワーク Wを受け取るように移動する。
このように、 一対のハンドラ 4 0， 4 0 が可動テーブル 2 1に担持された トレイ Tから未検査のワーク Wを受け取る際に又はトレイ Tに検査済みのワーク Wを受け渡す際に、 一対のハンドラ 4 0 , 4 0 ,の略中間位置 （直線 Lの近傍 ) に対象となるトレイ Tを位置付けるように可動テーブル 2 1が駆動されるため 、 一対のハンドラ 4 0， 4 0 'は、 最短距離を移動してワーク Wの受け取り及 び受け渡しを行えるため、 搬送時間 （ハンドリングに要する時間） を短縮でき、 生産性が向上する。
次に、 検查済みのワーク Wを-載せたトレイ Tを排出する動作について、 図 7 A ないし図 7 Dを参照しつつ説明する。 尚、 ここでは、 開口部 2 1 cに担持された トレイ Tが検査済みのワーク Wで満たされ、 このトレィ Tがトレイ排出部 1 5に 向けて排出される場合の動作を説明する。
先ず、 図 7 Aに示すように、 可動テーブル 2 1は、 開口部 2 1 cがトレイお出 部 1 5の直上に位置するように、 X方向右側に移動して位置決めされる。
次に、 図 7 Bに示すように、 昇降テーブル 1 5 bが、 開口部 2 1 cに位置する トレイ Tに向けて上昇し始め、 図 7 Cに示すように、 トレイ Tの直下に到達する 。 と同時に、 センサの検出信号により固定機構 2 1 eがトレィ Tの挟持状態を解 除し、 トレイ Tは昇降テーブル 1 5 b上に保持される。
その後、 昇降テーブル 1 5 bは、 検査済みのワーク Wを載せたトレイ Tを保持 した状態で、 図 7 Dに示すように下降し始め、 元の休止位置に戻る。 尚、 昇降テ 一プル 1 5 bは、 トレイ Tが所定の高さに積層されるまで、 複数のトレイ Tを保 持した状態に維持され、 その後、 作業者がこれら積層された複数のトレイ Tをト レイ排出部 1 5力、ら取り出す。
開口部 2 1 bに位置するトレイ Tがトレイ排出部 1 5に向けて排出される場合 2004/002953
は、 可動テーブル 2 1がさらに X方向右側に移動して、 開口部 2 1 b力 トレイ排 出部 1 5の直上に位置付けられた後、 前述同様の排出動作が行われ、 開口部 2 1 b， 2 1 cに位置するトレイ Tがトレイ排出部 1 4に向けて排出される場合は、 可動テーブル 2 1が適宜 X方向に移動して、 開口部 2 1 b， 2 1 cがトレイ排出 部 1 4の直上に位置付けられた後、 前述同様の排出動作が行われる。
次に、 トレイ停留部 1 3に停留 （収容） された空のトレイ Tを、 トレイ担持部 2 0 (可動テーブル 2 1 ) の開口部 2 1 cに供給する動作について、 図 8 Aない し図 8 Dを参照しつつ説明する。
先ず、 図 8 Aに示すように、 可動テーブル 2 1は、 開口部 2 1 cがトレイ停留 部 1 3の直上に位置するように、 X方向左側に移動して位置決めされる。
次に、 図 8 Bに示すように、 空のトレィ Tを保持した昇降テーブル 1 3 bが、 開口部 2 1 cに向けて上昇し始める。 そして、 図 8 Cに示すように、 昇降テープ ル 1 3 bが所定の高さまで上昇して、 最上部のトレイ Tを可動テーブル 2 1の開 口部 2 1 cに位置付けると同時に、 センサの検出信号により固定機構 2 1 e力 Sト レイ Tを固定する。
その後、 昇降テ一ブル 1 3 bは、 図 8 Dに示すように下降し始め、 元の休止位 置に戻る。 これにより、 トレィ担持部 2 0 (可動テープノレ 2 1 ) への空のトレィ Tの供給動作が完了する。
ここで、 可動テーブル 2 1の開口部 2 1 bに向けて空のトレイ Tが供給される 場合は、 可動テーブル 2 1が X方向右側に移動して、 開口部 2 1 b力 Sトレイ停留 部 1 3の直上に位置付けられた後、 前述同様の供給動作が行われる。
次に、 未検査のワーク Wが全て取り出されて空になったトレイ Tを、 トレィ停 留部 1 3に向けて一時的に停留させるための排出動作 （停留動作） について、 図 9 Aないし図 9 Dを参照しつつ説明する。
先ず、 図 9 Aに示すように、 可動テーブル 2 1は、 開口部 2 l aがトレイ停留 部 1 3の直上に位置するように、 X方向右側に移動して位置決めされる。 続いて、 図 9 Bに示すように、 昇降テーブル 1 3 b力 開口部 2 1 aに位置す る空のトレィ Tに向けて上昇し始め、 図 9 Cに示すように、 トレイ Tの直下に到 達する。 と同時に、 センサの検出信号により固定機構 2 1 eがトレィ Tの挟持状 態を解除し、 トレイ Tは昇降テーブル 1 3 b上に保持される。
その後、 昇降テーブル 1 3 bは、 受け渡された空のトレイ Tを保持した状態で 、 図 9 Dに示すように下降し始め、 元の休止位置に戻る。
そして、 空のトレィ Tが可動テーブル 2 1から排出されると、 続けて、 前述の 図 6 Aないし図 6 Dに示すように、 開口部 2 l aに対して、 未検査のワーク Wを 載せたトレイ Tを供給する動作が行われる。
上記一連のハンドリング （供給動作、 ワーク Wの搬送、 排出動作、 停留動作） は、 ワーク Wの検査を続けるにあたって、 円滑に連続的に繰り返されるため、 半 導体製造ラインでの生産性が向上する。
ここでは、 トレイ Tの供給動作、 排出動作、 及び停留動作と、 ハンドラ 4 0， 4 0 'のハンドリング （搬送動作) とを別々に説明したが、 トレイ収容部 1 0 と可動テーブル 2 1との間でのトレイ Tの供給動作又は排出動作が、 ハンドラ 4 0 , 4 0 'が可動テーブル 2 1に担持されたトレイ Tからワーク Wを受け取る 動作又はトレイ Tにワーク Wを受け渡す動作と略同時に行われるようにしてもよ い。 これによれば、 各々の動作と動作との間の待機時間が解消されて、 全体のハ ンドリングに要する時間をさらに短縮でき、 生産性がさらに向上する。
上記実施形態におレ、ては、 トレイ担持部 2 0 (可動テーブル 2 1 ) をトレィ収 容部 1 0の上方に配置する構成を示したが、 これに限定されるものではなく、 ト レイ収容部の下方にトレィ担持部 （可動テーブル） を配置し、 又、 トレイ収容部 において、 鉛直方向に往復動すると共にトレイ Tを把持して保持し得る把持ァー ム等を設け、 上方から可動テーブルに向けて未検査のワーク Wを載せたトレイ T を供給するべく把持アームを下降させ、 又、 検査済みのワーク Wを載せたトレイ Tを上方に向けて排出及び停留させるベく把持アームを上昇させる構成を採用し
7 てもよい。
また、 可動テーブル 2 1は、 ハンドラ 4 0 , 4 0 'の移動方向 （Y方向） に 直交する X方向に往復動自在に形成される場合を示したが、 直交 （直角） 以外の 角度で交差する方向に往復動自在に形成されてもよい。
上記実施形態においては、 トレイ収容部 1 0において、 二つのトレイ排出部 1 4， 1 5を採用したが、 これに限定されるものではなく、一つ又は三つ以上のト レイ排出部を採用してもよく、 又、 トレィストック部 1 1、 トレイ供給部 1 2、 トレイ停留部 1 3についても、 一つに限定されるものではなく、 二つ以上採用し てもよい。
上記実施形態においては、 トレイ担持部 2 0を構成する可動テーブル 2 1に対 して、 未検査のヮ一ク Wを载せたトレイ Tを保持するための一つの開口部 2 1 a 、 検査済みのワーク Wを載せるトレイ Tを保持するための二つの開口部 2 1 b , 2 1 cを設けたが、 これに限定されるものではなく、 各々それ以外の個数の開口 部を設ける構成を採用してもよい。
上記構成においては、 可動テーブル 2 1にトレイ Tを固定するために、 開口部 2 1 a , 2 1 b , 2 1 c , 2 1 dの短辺側にそれぞれ一対の固定機構 2 1 e , 2 1 e 'を設けた構成を示したが、 これに限定されるものではなく、 開口部 2 1 a , 2 1 b , 2 1 c , 2 1 dの長辺側にそれぞれ一対又は二対の固定機構 2 1 e , 2 1 e 'を設ける構成を採用してもよい。
上記実施形態においては、 ワーク Wとして半導体チップを示したが、 これに限 定されるものではなく、 その他の電子部品あるいは機械部品等をハンドリングの 対象としてもよく、 又、 ワーク Wに施す処理及び処理部として、 電気的特性の検 査及び検査部 3 0を示したが、 これに限定されるものではなく、 ワークに対して 切削、 塗装等の加工、 あるいは、 部品の組付け等の如く、 その他の処理を施す処 理部に対して、 本発明の装置を適用してもよい。
また、 上記実施形態においては、 装置に対して処理部 （検査部 3 0 ) を含める 構成を示したが、 処理部 （検査部 3 0 ) そのものは本発明の構成要素ではなく、 本発明の装置が所定の処理部に対して適用されるようにな ていればよい。 以上述べたように、 本発明のワークハンドリング装置によれば、 ワークを載せ るトレイを収容するトレイ収容部の上方又は下方に、 トレイ収容部から供給され たトレイを担持するトレイ担持部を配置し、 トレイ担持部に、 処理部とトレイ担 持部に担持されたトレイとの間で移動自在に配置されてワークを搬送するハンド ラの往復動方向に対して交差する方向に往復動自在に可動テーブルを設けたこと により、 ワークに処理を施すためのハンドリングが円滑に行われ、 生産性が向上 する。
特に、 トレィ担持部をトレイ収容部に対して上下方向に配列したことにより、 装置が集約化、 小型化されて、 設置面積の省スペース化を達成できる。 また、 ト レイ担持部 (可動テーブル) は所定方向に往復動自在であるため、 ハンドラを 3 次元駆動ではなく 2次元駆動にすることもでき、 ハンドラを小型ィ匕でき、 ハンド ラによる搬送距離を短くして、 搬送時間の短縮化を達成できる。 産業上の利用可能性
以上述べたように、 本発明のワークハンドリング装置は、 ワークに対して検査 、 加工、 組付け等の所定の処理を施す際に、 ワークの搬送及び位置決め等を必要 とする分野であれば、 半導体製造の分野は勿論のこと、 自動車あるいはその部品 の生産ライン、 電子機器あるいはその部品の生産ライン、 その他の機械あるいは 電子部品関連等の分野においても有用である。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . ワークを載せるトレィを収容するトレイ収容部と、
前記トレイ収容部から供給されたトレイを担持するトレイ担持部と、 ワークに対して所定の処理を施す処理部と前記トレイ担持部に担持されたトレ ィとの間で移動自在に配置されてワークを搬送するハンドラと、 を備え、 前記トレイ担持部は、 前記ハンドラの移動方向に対して交差する所定方向に往 復動自在にかつ前記トレイ収容部の上方又は下方に配置され、 前記トレイ収容部 から供給されたトレイを担持する可動テーブル、 を含む、
ワークハンドリング装置。
2 . 前記トレイ収容部は、 未処理のワークを載せたトレイを前記可動 テーブルに供給するトレイ供給部と、 処理済みのワークを載せたトレイを排出す るべく前記可動テーブルから受け取るトレィ排出部と、 空のトレィを前記可動テ 一ブルから排出させて再び供給するべく一時的に停留させるトレイ停留部と、 を 含む、
ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のワークハンドリング装匱。
3. 前記トレイ供給部、 前記トレイ排出部、 及び前記トレイ停留部は それぞれ、 トレィを載置して昇降し得る昇降テーブルと、 前記昇降テーブルを駆 動する駆動機構と、 を含む、
ことを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のワークハンドリング装置。
4. 前記可動テーブルは、 前記トレィ収容部の上方に配置され、 下方 から供給されたトレイを位置決めして保持するべく、 前記トレイ供給部， トレイ 排出部， 及びトレイ停留部のいずれかに対応するように設けられた複数の開口部 と、 前記複数の開口部に位置付けられたトレイをそれぞれ固定する固定機構と、 を含む、
ことを特徴とする請求の範囲第 2項に記載のワークハンドリング装置。
5 . 前記ハンドラは、 前記可動テーブルの往復動方向において前記処 理部を略中央に挟むように配置された一対のハンドラからなり、
前記一対のハンドラは、 それぞれ関節型アームを含む、
ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のワークハンドリング装置。
6 . 前記一対のハンドラは、 それぞれの関節型アームを前記可動テー ブルの往復動方向に伸長した状態で、 お互いにオーバラッブするように配置され ている、
ことを特徴とする請求の範囲第 5項に記載のワークハンドリング装置。
7 . 前記可動テーブルは、 前記一対のハンドラが前記可動テープノレに 担持されたトレイからワークを受け取る際に又はトレイにワークを受け渡す際に 、 その往復動方向における前記一対のハンドラの略中間位置に、 対象となるトレ ィを位置付けるように駆動される、
ことを特徴とする請求の範囲第 5に記載のワークハンドリング装置。
8 . 前記トレイ収容部と可動テーブルとの間でのトレイの供給動作又 は排出動作は、 前記ハンドラが前記可動テーブルに担持されたトレイからワーク を受け取る動作又はトレイにワークを受け渡す動作と、 略同時に行われる、 ことを特徴とする請求の範囲第 1項に記載のワークハンドリング装置。
2
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006337051A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Yamaha Motor Co Ltd Ｉｃハンドラー
JP2006337050A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Yamaha Motor Co Ltd Ｉｃハンドラー
KR20170000929A (ko) * 2015-06-25 2017-01-04 세메스 주식회사 커스터머 트레이 언로딩 유닛
KR20170000932A (ko) * 2015-06-25 2017-01-04 세메스 주식회사 커스터머 트레이 로딩 유닛
CN112444685A (zh) * 2019-09-03 2021-03-05 矽品精密工业股份有限公司 自动化天线测试设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08334548A (ja) * 1995-06-07 1996-12-17 Tokyo Electron Ltd 検査装置
JP2002148307A (ja) * 2000-11-08 2002-05-22 Hitachi Ltd Ｉｃハンドラーの搬送方法
JP2003158176A (ja) * 2001-11-20 2003-05-30 Anritsu Corp 電子部品の搬送装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08334548A (ja) * 1995-06-07 1996-12-17 Tokyo Electron Ltd 検査装置
JP2002148307A (ja) * 2000-11-08 2002-05-22 Hitachi Ltd Ｉｃハンドラーの搬送方法
JP2003158176A (ja) * 2001-11-20 2003-05-30 Anritsu Corp 電子部品の搬送装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006337051A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Yamaha Motor Co Ltd Ｉｃハンドラー
JP2006337050A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Yamaha Motor Co Ltd Ｉｃハンドラー
JP4594169B2 (ja) * 2005-05-31 2010-12-08 ヤマハ発動機株式会社 Ｉｃハンドラー
JP4594168B2 (ja) * 2005-05-31 2010-12-08 ヤマハ発動機株式会社 Ｉｃハンドラー
KR20170000929A (ko) * 2015-06-25 2017-01-04 세메스 주식회사 커스터머 트레이 언로딩 유닛
KR20170000932A (ko) * 2015-06-25 2017-01-04 세메스 주식회사 커스터머 트레이 로딩 유닛
KR102312864B1 (ko) * 2015-06-25 2021-10-14 세메스 주식회사 커스터머 트레이 언로딩 유닛
KR102312865B1 (ko) * 2015-06-25 2021-10-14 세메스 주식회사 커스터머 트레이 로딩 유닛
CN112444685A (zh) * 2019-09-03 2021-03-05 矽品精密工业股份有限公司 自动化天线测试设备

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