CN116190290A - 插片机及其插片方法 - Google Patents
插片机及其插片方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116190290A CN116190290A CN202211656748.8A CN202211656748A CN116190290A CN 116190290 A CN116190290 A CN 116190290A CN 202211656748 A CN202211656748 A CN 202211656748A CN 116190290 A CN116190290 A CN 116190290A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- basket
- bearing frame
- assembly
- clamping jaw
- lifting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 title claims description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 title claims description 4
- 238000012966 insertion method Methods 0.000 title description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims abstract description 76
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 53
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 11
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 7
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/6776—Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
Abstract
本发明公开了一种插片机及其插片方法,所述插片机包括机架、第一输送组件、第一承载架、第二承载架、第一升降部件和第一平移装置,机架具有沿第一水平方向布置的第一预存位和第一插片位;第一输送组件设在机架上且对应第一插片位设置,第一输送组件用于沿第二水平方向输送基片,第二水平方向与第一水平方向相交;第一承载架和第二承载架沿第一水平方向布置且均用于放置篮具;第一承载架和第二承载架均与第一升降部件连接,以驱动第一承载架和第二承载架升降;第一平移装置设于机架,第二升降部件与第一平移装置连接,以驱动第一承载架和第二承载架在第一预存位和第一插片位之间切换。本发明实施例的插片机具有工作效率高等优点。
Description
技术领域
本发明涉及插片机技术领域,具体涉及一种插片机及其插片方法。
背景技术
插片机解决了硅片在清洗前手工装篮的问题,实现了自动分料、自动上料、自动入篮和自动换篮等动作。随着分选机效率的提升,对插片机的效率提升需求越来越迫切。
相关技术中,插片机进行换篮时,首先,将输送基片(例如硅片)的输送组件停机,然后,机械手升降以将放置在插片位上的、插满基片的满篮取走,之后,机械手再水平移动,使得空篮与插片位对齐;最后,机械手再次升降以将空篮放置在插片位上,完成换篮,输送组件再启动。上述换篮过程中,输送组件的停机时间至少包括机械手升降取满篮的时间、机械手平移使空篮与插片位对齐的时间、机械手升降将空篮放置在插片位上的时间和空篮下降至预备位的时间,输送组件的停机时间较长,导致插片机的工作效率较低。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
为此,本发明的实施例提出一种插片机,以提高插片机的工作效率。
本发明实施例的插片机包括机架、第一输送组件、第一承载架、第二承载架、第一升降部件和第一平移装置,所述机架具有沿第一水平方向布置的第一预存位和第一插片位;所述第一输送组件设在所述机架上且对应所述第一插片位设置,所述第一输送组件用于沿第二水平方向输送基片,所述第二水平方向与所述第一水平方向相交;所述第一承载架和所述第二承载架沿所述第一水平方向布置且均用于放置篮具;所述第一承载架和所述第二承载架均与所述第一升降部件连接,以驱动所述第一承载架和所述第二承载架升降;所述第一平移装置设于所述机架,第二升降部件与所述第一平移装置连接,以驱动第一承载架和所述第二承载架在第一预存位和第一插片位之间切换。
在一些实施例中,所述机架还具有沿所述第一水平方向布置的第二预存位和第二插片位,所述插片机还包括第二输送组件、第三承载架、第四承载架、第二升降部件和第二平移装置,所述第二输送组件和所述第一输送组件沿所述第一水平方向间隔设置,所述第二输送组件设于所述机架且对应所述第二插片位设置,所述第二输送组件用于沿第二水平方向输送基片;所述第三承载架和所述第四承载架沿所述第一水平方向布置且均用于放置篮具;所述第三承载架和所述第四承载架均与所述第二升降部件连接,以驱动所述第三承载架和所述第四承载架升降;所述第二平移装置设于所述机架,所述第二升降部件与所述第二平移装置连接,以驱动所述第三承载架和所述第四承载架在第二预存位和第二插片位之间切换。
在一些实施例中,所述第一预存位的数量为两个,在所述第一水平方向上,所述第一插片位设于两个所述第一预存位之间;和/或所述第二预存位的数量为两个,在所述第一水平方向上,所述第二插片位设于两个所述第二预存位之间。
在一些实施例中,所述第一升降部件包括第一升降组件和第二升降组件,所述第一升降组件与所述第一承载架连接以驱动所述第一承载架升降,所述第二升降组件与所述第二承载架连接以驱动所述第二承载架升降;
所述第二升降部件包括第三升降组件和第四升降组件,所述第三升降组件与所述第四承载架连接以驱动所述第三承载架升降,所述第四升降组件与所述第四承载架连接以驱动所述第四承载架升降。
在一些实施例中,所述第一平移装置的数量为一个,所述第一升降组件和所述第二升降组件与同一所述第一平移装置连接;和/或所述第二平移装置的数量为一个,所述第三升降组件和所述第四升降组件与同一所述第二平移装置连接。
在一些实施例中,所述第一承载架、所述第二承载架、所述第三承载架和所述第四承载架中的至少一个为定位承载架,所述定位承载架上设有定位组件,所述定位组件用于对放置在所述定位承载架上的篮具进行定位。
在一些实施例中,所述定位承载架上设有止抵部和顶推件,所述止抵部和所述顶推件沿所述第一水平方向间隔设置,所述顶推件用于推动所述定位承载架上的篮具移动,以便所述定位承载架上的篮具止抵于所述止抵部,所述止抵部和所述顶推件形成所述定位组件。
在一些实施例中,所述插片机包括空篮输送组件、满篮输送组件和篮具移动装置,所述空篮输送组件设于所述机架的一侧,所述空篮输送组件的一侧设有空篮上料位,所述空篮输送组件用于向所述空篮上料位输送空的篮具;所述满篮输送组件设于所述机架的一侧,所述满篮输送组件的一侧设有满篮下料位,所述满篮输送组件用于将所述满篮下料位处的篮具输送至预设位置;所述篮具移动装置包括第一夹爪和第二夹爪,所述第一夹爪和所述第二夹爪均用于夹持篮具,所述篮具移动装置在所述第一预存位、所述第二预存位、所述空篮上料位和所述满篮下料位之间可移动。
在一些实施例中,在所述第二水平方向上,所述第一预存位设于所述空篮输送组件和所述第一输送组件之间,且所述空篮上料位设于所述空篮输送组件的靠近所述第一输送组件的一侧;在所述第二水平方向上,所述第二预存位设于所述满篮输送组件和所述第二输送组件之间,且所述满篮下料位设于所述满篮输送组件的靠近所述第二输送组件的一侧。
在一些实施例中,所述篮具移动装置为机械手,所述机械手包括第一移动机构、第二移动机构和第三移动机构,所述第一夹爪和所述第二夹爪均与所述第一移动机构连接,以驱动所述第一夹爪和所述第二夹爪升降;所述第一移动机构与所述第二移动机构连接,以驱动所述第一夹爪和所述第二夹爪沿所述第一水平方向移动;所述第二移动机构与所述第三移动机构连接,以驱动所述第一夹爪和所述第二夹爪沿所述第二水平方向移动。
在一些实施例中,所述第一夹爪和所述第二夹爪沿所述第二水平方向布置。
在一些实施例中,所述第一移动机构包括第一升降部件和第二升降部件,所述第一夹爪与所述第一升降部件连接,以驱动所述第一夹爪升降;所述第二夹爪与所述第二升降部件连接,以驱动所述第二夹爪升降。
在一些实施例中,在所述第二水平方向上,所述第一夹爪相对所述第二夹爪更邻近所述第一输送组件设置;所述第一升降部件的移动行程大于所述第二升降部件的移动行程。
本发明的实施例还提出一种插片机的插片方法。
本发明实施例的插片机的插片方法包括:所述第一承载架处于所述第一插片位,所述第二承载架处于所述第一预存位,将所述第一输送组件输送的基片插装在放置在所述第一承载架上的篮具内;所述第一承载架插满基片,所述第一输送组件停机;所述第一平移装置驱动所述第一承载架和所述第二承载架沿所述第一水平方向移动,使所述第二承载架位于所述第一插片位;所述第一输送组件启动,将所述第一输送组件输送的基片插装在放置在所述第二承载架上的篮具内。
本发明实施例的插片机工作时,利用第一平移装置驱动第一承载架和第二承载架沿第一水平方向移动,使得第一承载架位于第一插片位、第二承载架位于第一预存位。此时,放置在第一承载架上的第一篮具与第一输送组件对齐,利用第一升降部件带动第一篮具上升,并利用第一输送组件输送基片,以便基片插装在第一篮具内。当第一篮具插满基片,即当第一篮具为满篮情况,需要进行换篮时,先将第一输送组件停机,然后只需要利用第一平移装置移动第一承载架和第二承载架,使得第二承载架位于第一插片位。此时,放置在第二承载架上的第二篮具与第一输送组件对齐,启动第一输送组件以利用第一输送组件输送基片,同时利用第一升降部件带动第二篮具上升,以便基片插装在第二篮具内。由此,只需要利用第一平移装置驱动第一承载架和第二承载架沿第一水平方向移动,便可以实现插片机的换篮,相应的,第一输送组件的停机时间仅为第一平移装置沿第一水平方向的平移时间。与相关技术中输送组件的停机时间至少包括机械手升降取满篮的时间、机械手平移使空篮与插片位对齐的时间和机械手升降将空篮放置在插片位上的时间相比,有效缩短了换篮过程中第一输送组件的停机时间,从而可以有效提高插片机的工作效率。
附图说明
图1是本发明一个实施例的插片机的结构示意图。
图2是图1中机架处的局部结构示意图。
图3是图1中篮具移动装置的结构示意图。
图4是本发明另一个实施例的插片机的结构示意图。
图5是图4中篮具移动装置的结构示意图。
附图标记:
插片机100;
机架1;第一预存位101;第一插片位102;第二预存位103;第二插片位104;
第一输送组件2;
第二输送组件3;
第一承载架4;第一顶推件401;
第二承载架5;第二顶推件501;
第一升降组件6;
第二升降组件7;
第一平移装置8;
篮具9;空篮901;满篮902;
第三承载架10;第三顶推件1001;
第四承载架11;第四顶推件1101;
第三升降组件12;
第四升降组件13;
第一连接板14;
第二连接板15;
空篮输送组件16;空篮上料位1601;空篮翻转机构1602;
满篮输送组件17;满篮下料位1701;满篮翻转机构1702;
篮具移动装置18;第一移动机构1801;第一升降部件18011;第二升降部件18012;第二移动机构1802;第三移动机构1803;第一夹爪1804;第二夹爪1805;纵梁1806;横梁1807。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
如图1至图5所示,本发明实施例的插片机100包括机架1、第一输送组件2、第一承载架4、第二承载架5、第一升降部件和第一平移装置8。机架1具有沿第一水平方向布置的第一预存位101和第一插片位102。第一输送组件2设在机架1上且对应第一插片位102设置,第一输送组件2用于沿第二水平方向输送基片,第二水平方向与第一水平方向相交。第一承载架4和第二承载架5沿第一水平方向布置且均用于放置篮具9。第一承载架4和第二承载架5均与第一升降部件连接以驱动第一承载架4和第二承载架5升降。第一平移装置8设于机架1,第一升降部件与第一平移装置8连接,以驱动第一承载架4和第二承载架5在第一预存位101和第一插片位102之间切换。
第一输送组件2对应第一插片位102设置,可以理解为:第一输送组件2与第一插片位102对齐,其中,对齐包括大体对齐。此时,通过第一输送组件2输送的基片可以插装到放置在第一插片位102的篮具9内。
为了使本申请的技术方案更容易被理解,下面以放置在第一承载架4上的篮具9为第一篮具,放置在第二承载架5上的篮具9为第二篮具,进一步描述本申请的技术方案。
本发明实施例的插片机100工作时,利用第一平移装置8驱动第一承载架4和第二承载架5沿第一水平方向移动,使得第一承载架4位于第一插片位102、第二承载架5位于第一预存位101。此时,放置在第一承载架4上的第一篮具与第一输送组件2对齐,利用第一升降部件带动第一篮具上升,并利用第一输送组件2输送基片,以便基片插装在第一篮具内。当第一篮具插满基片,即当第一篮具为满篮情况,需要进行换篮时,先将第一输送组件2停机,然后只需要利用第一平移装置8移动第一承载架4和第二承载架5,使得第二承载架5位于第一插片位102。此时,放置在第二承载架5上的第二篮具与第一输送组件2对齐,启动第一输送组件2以利用第一输送组件2输送基片,同时利用第一升降部件带动第二篮具上升,以便基片插装在第二篮具内。
由此,只需要利用第一平移装置8驱动第一承载架4和第二承载架5沿第一水平方向移动,便可以实现插片机100的换篮,相应的,第一输送组件2的停机时间仅为第一平移装置8沿第一水平方向的平移时间。与相关技术中输送组件的停机时间至少包括机械手升降取满篮的时间、机械手平移使空篮与插片位对齐的时间和机械手升降将空篮放置在插片位上的时间相比,有效缩短了换篮过程中第一输送组件2的停机时间,从而可以有效提高插片机100的工作效率。
因此,本发明实施例的插片机100具有工作效率高等优点。
可以理解的是,第一输送组件2的靠近第一插片位102的一侧设有插片装置,通过插片装置将第一输送组件2上的基片插装在篮具(第一篮具或第二篮具)内。
在一些实施例中,第一升降部件包括第一升降组件6和第二升降组件7,第一升降组件6与第一承载架4连接以驱动第一承载架4升降,第二升降组件7与第二承载架5连接以驱动第二承载架5升降。
由此,当需要向第一承载架4上的篮具9进行插片时,可以仅利用第一升降组件6驱动第一承载架4上升,第二承载架5可以不升降;当需要向第二承载架5上的篮具9进行插片时,可以仅利用第二升降组件7驱动第二承载架5上升,第一承载架4可以不升降。
第一升降部件包括第一升降组件6和第二升降组件7,第一升降组件6和第二升降组件7分别用于驱动第一承载架4和第二承载架5升降,使得第一承载架4和第二承载架5可以不同时移动,不仅有利于节约能源,而且增加了插片机100的灵活性。
可选地,第一预存位101的数量为两个,在第一水平方向上,第一插片位102设于两个第一预存位101之间。
为了使本申请的技术方案更容易被理解,下面以第一水平方向与左右方向一致为例,进一步描述本申请的技术方案。其中,左右方向如图1至图5所示。
在左右方向上,第一插片位102设于两个第一预存位101之间。以位于第一插片位102右侧的第一预存位101为右侧第一预存位,以位于第一插片位102左侧的第一预存位101为左侧第一预存位。例如,插片机100的工作过程包括以下步骤:第一承载架4位于第一插片位102、第二承载架5位于右侧第一预存位,第一输送组件2启动,向位于第一承载架4上的第一篮具插片;待第一篮具插满基片需要进行换篮时,第一输送组件2停机,利用第一平移装置8驱动第一升降组件6和第二升降组件7向右移动,使得第一承载架4和第二承载架5均向右移动,直至第二承载架5位于第一插片位102,第一承载架4位于左侧第一预存位101;第一输送组件2启动,向位于第二承载架5上的第二篮具插片,在向第二篮具插片的过程中,将位于第一承载架4上的、插满基片的第一篮具取走,并在第一承载架4上放置上空的第一篮具;待第二篮具插满基片需要进行换篮时,第一输送组件2停机,利用第一平移装置8驱动第一升降组件6和第二升降组件7向左移动,使得第一承载架4和第二承载架5均向左移动,直至第一承载架4位于第一插片位102,第二承载架5位于右侧第一预存位101。之后,重复上述步骤,插片机100进行连续插片作业。
通过设置两个第一预存位101,且将第一插片位102设于两个第一预存位101之间,使得插片机100每次的换篮操作均较简单,第一输送组件的停机时间均较短,进一步有效提高插片机100的工作效率。
在一些实施例中,如图1和图4所示,机架1还具有沿第一水平方向布置的第二预存位103和第二插片位104。插片机100还包括第二输送组件3、第三承载架10、第四承载架11、第二升降部件和第二平移装置(图中未示出)。第二输送组件3和第一输送组件2沿第一水平方向间隔设置,第二输送组件3设于机架1且对应第二插片位104设置,第二输送组件3用于沿第二水平方向输送基片。第三承载架10和第四承载架11沿第一水平方向布置且均用于放置篮具9。第三承载架10和第四承载架11均与第二升降部件连接,以驱动第三承载架10和第四承载架11升降。第二升降部件与第二平移装置连接,以驱动第三承载架10和第四承载架11在第二预存位103和第二插片位104之间切换。
第二输送组件3对应第二插片位104设置,可以理解为:第二输送组件3与第二插片位104对齐,其中,对齐包括大体对齐。此时,通过第二输送组件3输送的基片可以插装到放置在第二插片位104的篮具9内。
为了使本申请的技术方案更容易被理解,下面以放置在第三承载架10上的篮具9为第三篮具,放置在第四承载架11上的篮具9为第四篮具,进一步描述本申请的技术方案。
本发明实施例的插片机100工作时,利用第二平移装置驱动第三承载架10和第四承载架11沿第一水平方向移动,使得第三承载架10位于第二插片位104、第四承载架11位于第二预存位103。此时,放置在第三承载架10上的第三篮具与第二输送组件3对齐,利用第二升降部件带动第三篮具上升,并利用第二输送组件3输送基片,以便基片插装在第三篮具内。当第三篮具插满基片,即当第三篮具为满篮情况,需要进行换篮时,第二输送组件停机,只需要利用第二平移装置移动第三承载架10和第四承载架11,使得第四承载架11位于第二插片位104。此时,放置在第四承载架11上的第四篮具与第二输送组件3对齐,第二输送组件启动以利用第二输送组件3输送基片,同时利用第二升降部件带动第四篮具上升,以便基片插装在第四篮具内。
由此,只需要利用第二平移装置驱动第三承载架10和第四承载架11沿第一水平方向移动,便可以实现插片机100的换篮,第二输送组件的停机时间较短,从而可以进一步有效提高插片机100的工作效率。
在一些实施例中,第二升降部件包括第三升降组件12和第四升降组件13,第三升降组件12与第三承载架10连接以驱动第三承载架10升降,第四升降组件13与第四承载架11连接以驱动第四承载架11升降。
由此,当需要向第三承载架10上的篮具9进行插片时,可以仅利用第三升降组件12驱动第三承载架10上升,第四承载架11可以不升降;当需要向第四承载架11上的篮具9进行插片时,可以仅利用第四升降组件13驱动第四承载架11上升,第三承载架10可以不升降。
第二升降部件包括第三升降组件12和第四升降组件13,第三升降组件12和第四升降组件13分别用于驱动第三承载架10和第四承载架11升降,使得第三承载架10和第四承载架11可以不同时移动,不仅有利于节约能源,而且增加了插片机100的灵活性。
可选地,第二预存位103的数量为两个,在第一水平方向上,第二插片位104设于两个第二预存位103之间。
以位于第二插片位104右侧的第二预存位103为右侧第二预存位,以位于第二插片位104左侧的第二预存位103为左侧第二预存位。例如,插片机100的工作过程包括以下步骤:第三承载架10位于第二插片位104、第四承载架11位于右侧第二预存位,第二输送组件启动,向位于第三承载架10上的第三篮具插片;待第三篮具插满基片需要进行换篮时,第二输送组件停机,利用第二平移装置驱动第三升降组件12和第四升降组件13向右移动,使得第三承载架10和第四承载架11均向右移动,直至第四承载架11位于第二插片位104,第三承载架10位于左侧第二预存位103;第二输送组件启动,第四升降组件13上升,向位于第四承载架11上的第四篮具插片,在向第四篮具插片的过程中,将位于第三承载架10上的、插满基片的第三篮具取走,并在第三承载架10上放置上空的第三篮具;待第四篮具插满基片需要进行换篮时,第二输送组件停机,利用第二平移装置驱动第三升降组件12和第四升降组件13向左移动,使得第三承载架10和第四承载架11均向左移动,直至第三承载架10位于第二插片位104,第四承载架11位于右侧第二预存位103。之后,重复上述步骤,插片机100进行连续插片作业。
通过设置两个第二预存位103,且将第二插片位104设于两个第二预存位103之间,使得插片机100每次的换篮操作均较简单,第二输送组件的停机时间均较短,进一步有效提高插片机100的工作效率。
可选地,如图2所示,第一平移装置8的数量为一个。第一升降组件6和第二升降组件7均与同一第一平移装置8连接。
例如,插片机100还包括第一连接板14,第一升降组件6和第二升降组件7均与第一连接板14连接,第一平移装置8与第一连接板14连接。其中,第一升降组件6和第二升降组件7可以为直线模组,第一平移装置8可以为直线电机。第一升降组件6和第二升降组件7与第一连接板14焊接或通过紧固件连接,第一连接板14与第一平移装置8可以焊接或通过紧固件连接。其中,紧固件可以为螺栓、螺钉或铆钉等。
由此,第一升降组件6和第二升降组件7与同一个第一平移装置8连接,利用第一平移装置8可以同时驱动第一升降组件6和第二升降组件7沿第一水平方向移动。与第一升降组件6和第二升降组件7采用不同的第一平移装置8驱动相比,不仅可以减少第一平移装置8的数量,有利于降低插片机100的成本;而且,可以避免多个第一平移装置8因移动不同步,造成相邻的第一平移装置发生碰撞或者第一升降组件6与第二升降组件7发生碰撞,导致的零部件损坏的问题,有利于提高插片机100的可靠性。
可选地,如图1所示,第二平移装置的数量为一个。第三升降组件12和第四升降组件13均与同一第二平移装置连接。
例如,插片机100还包括第二连接板15,第三升降组件12和第四升降组件13均与第二连接板15连接,第二平移装置与第二连接板15连接。其中,第三升降组件12和第四升降组件13可以为直线模组,第二平移装置可以为直线电机。第三升降组件12和第四升降组件13与第二连接板15焊接或通过紧固件连接,第二连接板15与第二平移装置可以焊接或通过紧固件连接。其中,紧固件可以为螺栓、螺钉或铆钉等。
由此,第三升降组件12和第四升降组件13与同一个第二平移装置连接,利用第二平移装置可以同时驱动第三升降组件12和第四升降组件13沿第一水平方向移动。与第三升降组件12和第四升降组件13采用不同的第二平移装置驱动相比,不仅可以减少第二平移装置的数量,有利于降低插片机100的成本;而且,可以避免多个第二平移装置因移动不同步,造成的相邻的第二平移装置发生碰撞或者第三升降组件12和第四升降组件13发生碰撞,导致的零部件损坏的问题,有利于提高插片机100的可靠性。
可选地,第一承载架4、第二承载架5、第三承载架10和第四承载架11中的至少一个为定位承载架,定位承载架上设有定位组件,定位组件用于对放置在定位承载架上的篮具9进行定位。
第一承载架4、第二承载架5、第三承载架10和第四承载架11中的至少一个为定位承载架,可以理解为:第一承载架4、第二承载架5、第三承载架10和第四承载架11中的一部分为设有定位组件的定位承载架,另一部分为未设置定位组件的承载架;或者,第一承载架4、第二承载架5、第三承载架10和第四承载架11均为定位承载架。
例如,第一承载架4、第二承载架5、第三承载架10和第四承载架11均为定位承载架。第一承载架4、第二承载架5、第三承载架10和第四承载架11上的定位组件分别为第一定位组件、第二定位组件、第三定位组件和第四定位组件。
第一承载架4上设有用于容纳篮具9的第一容纳空间,第一定位组件用于对第一容纳空间内的篮具9进行定位。第二承载架5上设有用于容纳篮具9的第二容纳空间,第二定位组件用于对第二容纳空间内的篮具9进行定位。第三承载架10上设有用于容纳篮具9的第三容纳空间,第三定位组件用于对第三容纳空间内的篮具9进行定位。第四承载架11上设有用于容纳篮具9的第四容纳空间,第四定位组件用于对第四容纳空间内的篮具9进行定位。
通过在承载架上设置定位组件,利用定位组件对放置在定位承载架上的篮具9进行定位,可以在换篮前完成空篮的定位操作,待空篮移动至第一插片位102或第二插片位104时,不需要再对空篮进行定位,即可以直接向空篮内进行插片操作。例如,第一承载架4为定位承载架,在第一篮具移动至第一插片位102之间,利用第一承载架4上的定位组件对第一篮具进行定位,使得第一篮具位于第一承载架4的第一设定位置,其中,第一设定位置为第一承载架4的设计位置。当第一篮具随第一承载架4移动至第一插片位102时,便可以启动第一输送组件2和第一升降组件6,向第一篮具进行插片操作,而不需要在第一插片位102对第一篮具进行定位操作。有利于进一步缩短输送组件的停机时间,有利于进一步提高插片机100的工作效率。
可选地,定位承载架上设有止抵部和顶推件,止抵部和顶推件沿第一水平方向间隔设置,顶推件用于推动定位承载架上的篮具9移动,以便定位承载架上的篮具9止抵于止抵部。止抵部和顶推件形成定位组件。
例如,第一承载架4上设有第一止抵部和第一顶推件401,第一止抵部和第一顶推件401沿第一水平方向间隔设置,第一顶推件401用于推动第一容纳空间内的篮具9移动,以便第一容纳空间内的篮具9止抵于第一止抵部。第一止抵部和第一顶推件401形成上第一定位组件。第二承载架5上设有第二止抵部和第二顶推件501,第二止抵部和第二顶推件501沿第二水平方向间隔设置,第二顶推件501用于推动第二容纳空间内的篮具9移动,以便第二容纳空间内的篮具9止抵于第二止抵部。第人止抵部和第二顶推件501形成上第二定位组件。第三承载架10上设有第三止抵部和第三顶推件1001,第三止抵部和第三顶推件1001沿第三水平方向间隔设置,第三顶推件1001用于推动第三容纳空间内的篮具9移动,以便第三容纳空间内的篮具9止抵于第三止抵部。第二止抵部和第三顶推件1001形成上第三定位组件。第四承载架11上设有第四止抵部和第四顶推件1101,第四止抵部和第四顶推件1101沿第四水平方向间隔设置,第四顶推件1101用于推动第四容纳空间内的篮具9移动,以便第四容纳空间内的篮具9止抵于第四止抵部。第四止抵部和第四顶推件1101形成上第四定位组件。
其中,第一止抵部、第二止抵部、第三止抵部和第四止抵部可以为止抵面。例如,每个定位承载架均包括沿左右方向间隔设置的右侧壁和左侧壁,右侧壁形成止抵部,第一顶推件401、第二顶推件501、第三顶推件1001和第四顶推件1101设在左侧壁上。第一顶推件401、第二顶推件501、第三顶推件1001和第四顶推件1101可以为气缸、液压缸或电动推杆等。
由此,定位组件的结构简单,方便加工制造。
在一些实施例中,插片机100包括空篮输送组件16、满篮输送组件17和篮具移动装置18,空篮输送组件16设于机架1的一侧,空篮输送组件16的一侧设有空篮上料位1601。满篮输送组件17设于机架1的一侧,满篮输送组件17的一侧设有满篮下料位1701。篮具移动装置18包括第一夹爪1804和第二夹爪1805,第一夹爪1804和第二夹爪1805均用于夹持篮具9,篮具移动装置18在第一预存位101、第二预存位103、空篮上料位1601和满篮下料位1701之间可移动。
其中,空篮输送组件16用于向空篮上料位1601输送空的篮具9,即空篮901;满篮输送组件17用于将处于满篮下料位1701的篮具9,即满篮902输送至预设位置,该预设位置可以是清洗工艺段。空篮输送组件16的一侧设有L形的空篮翻转机构1602,空篮翻转机构1602围成的空间形成空篮上料位1601;满篮输送组件17的一侧设有L形的满篮翻转机构1702,满篮翻转机构1702围成的空间形成满篮下料位1701。
例如,插片机100工作过程中,首先,篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601,并利用第二夹爪1805从空篮上料位1601夹持一个空篮;然后,当第一承载架4上的第一篮具插满基片且第一承载架4移动至第一预存位101时,篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至第一预存位101,并利用第一夹爪1804从第一承载架4上夹持插满基片的第一篮具,以将插满基片的第一篮具(满篮)从第一承载架4上取下;之后,通过篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至第一预存位101,并将第二夹爪1805上的空篮放置在第一承载架4上;接着,篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701,并将第一夹爪1804上的满篮放置在满篮下料位1701上。从而将满篮从第一预存位101上取下并将空篮放置在第一预存位101上。采用相似的方法,可以利用篮具移动装置18将满篮从第二预存位103上取下并将空篮从第二预存位103上取下。
由此,通过设置空篮输送组件16、满篮输送组件17和篮具移动装置18,可以实现满篮和空篮的自动移动,有利于进一步提高插片机100的工作效率。
可选地,第一输送组件2、第二输送组件3、空篮输送组件16和满篮输送组件17为皮带输送机。
可选地,如图1所示,在第二水平方向上,第一预存位101设于空篮输送组件16和第一输送组件2之间,且空篮上料位1601设于空篮输送组件16的靠近第一输送组件2的一侧。
在第二水平方向上,第二预存位103设于满篮输送组件17和第二输送组件3之间,且5满篮下料位1701设于满篮输送组件17的靠近第二输送组件3的一侧。
为了使本申请的技术方案更容易被理解,下面以第二水平方向与前后方向为例,进一步描述本申请的技术方案。其中,前后方向如图1至图5所示。
例如,如图1所示,空篮输送组件16和第一输送组件2沿前后方向间隔设置,空篮上
料位1601设于空篮输送组件16的后侧,第一预存位101和第一插片位102位于空篮输送0组件16的后侧,第一输送组件2设于第一预存位101和第一插片位102的后侧。满篮输送
组件17和第二输送组件3沿前后方向间隔设置,满篮下料位1701设于满篮输送组件17的后侧,第二预存位103和第二插片位104设于满篮输送组件17的后侧,第二输送组件3设于第二预存位103和第二插片位104的后侧。
由此,在利用篮具移动装置18进行满篮902和空篮901的运输时,使得第一预存位5101与空篮上料位1601和满篮下料位1701之间的距离,以及第二预存位103与空篮上料
位1601和满篮下料位1701之间的距离均较近。从而可以在较短时间内将满篮运输至第二设定位置,该第二设定位置可以为满篮下料位1701,以及将空篮运输至第三设定位置,该第三设定位置可以为第一预存位101和第二预存位103。有利于进一步提高插片机100的工作效率。
0可选地,篮具移动装置18为机械手。机械手包括第一移动机构1801、第二移动机构1802和第三移动机构1803,第一夹爪1804和第二夹爪1805均与第一移动机构1801连接,以驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805升降。第一移动机构1801与第二移动机构1802连接,以驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805沿第一水平方向移动。第二移动机构1802与第三移动机构1803连接,以驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805沿第二水平方向移动。
5例如,如图1、图3、图4和图5所示,第一移动机构1801用于驱动第一夹爪1804和
第二夹爪1805沿上下方向移动;第二移动机构1802用于驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805沿左右方向移动;第三移动机构1803用于驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805沿前后方向移动。从而使得篮具9在第一预存位101、空篮上料位1601和满篮下料位1701之间以及第二预存位103、空篮上料位1601和满篮下料位1701之间移动。
0通过将篮具移动装置18设为机械手,方便控制篮具9的移动。
当然,在另一些实施例中,篮具移动装置18也可以设为机器人。利用机器人实现篮具9在第一预存位101、空篮上料位1601和满篮下料位1701之间以及第二预存位103、空篮上料位1601和满篮下料位1701之间移动。
可选地,如图1和图3所示,第一移动机构1801包括第一升降部件18011和第二升降部件18012,第一夹爪1804与第一升降部件18011连接,以驱动第一夹爪1804升降;第二夹爪1805与第二升降部件18012连接,以驱动第二夹爪1805升降。
在篮具移动装置18驱动未夹持篮具9的第一夹爪1804,移动至第一预存位101或第二预存位103之前,可以通过第一升降部件18011驱动第一夹爪1804移动至第一预设高度。其中,第一预设高度为第一夹爪1804正好可以夹持放置在第一预存位101或第二预存位103上的满篮时,第一夹爪1804所处的高度。由此,当篮具移动装置18驱动未夹持篮具9的第一夹爪1804,移动至第一预存位101或第二预存位103时,第一夹爪1804正好能够夹持放置在第一预存位101或第二预存位103上的满篮,减少甚至避免在第一夹爪1804到达第一预存位101或第二预存位103之后,再进行第一夹爪1804的高度调节,有利于进一步缩短换篮时长,提高插片机100的工作效率。
在篮具移动装置18驱动夹持有空篮901的第二夹爪1805,移动至第一预存位101或第二预存位103之前,可以通过第二升降部件18012驱动第二夹爪1805移动至第二预设高度。其中,第二预设高度为第二夹爪1805正好可以将夹持的空篮901放置在第一预存位101或第二预存位103上时,第二夹爪1805所处的高度。由此,当篮具移动装置18驱动夹持有空篮901的第二夹爪1805,移动至第一预存位101或第二预存位103时,第二夹爪1805正好能够将夹持的空篮901放置在第一预存位101或第二预存位103上,减少甚至避免在第二夹爪1805到达第一预存位101或第二预存位103之后,再进行第二夹爪1805的高度调节,有利于进一步缩短换篮时长,提高插片机100的工作效率。
当然,在另一些实施例中,如图4和图5所示,第一移动机构1801也可以仅包括一个升降部件,第一夹爪1804和第二夹爪1805与同一升降部件连接,以利用该升降部件同时驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805升降。
此时,在篮具移动装置18驱动未夹持篮具9的第一夹爪1804,移动至第一预存位101或第二预存位103之前,可以通过升降部件驱动第一夹爪1804移动至第一预设高度。待第一夹爪1804夹持第一预存位101或第二预存位103上的满篮902,并将第一预存位101或第二预存位103上的满篮902取下后,篮具移动装置18驱动夹持有空篮901的第二夹爪1805,移动至第一预存位101或第二预存位103,通过升降部件驱动第二夹爪1805移动至第二预设高度,以便第二夹爪1805将夹持的空篮901放置在第一预存位101或第二预存位103上。
第一移动机构1801仅包括一个升降部件,与第一移动机构1801包括第一升降部件18011和第二升降部件18012相比,至少增加了升降部件驱动第一夹爪1804移动至第二预设高度的时间,整个换篮时间会有所增加,但是与现有技术中的插片机相比,仍会缩短整体换篮时长。此外,第一移动机构1801仅包括一个升降部件,与第一移动机构1801包括第一升降部件18011和第二升降部件18012相比,可以减少升降部件的使用数量,有利于降低插片机100的成本。
可选地,机械手包括纵梁1806和横梁1807,纵梁1806沿第二水平方向延伸,横梁1807沿第一水平方向延伸。第三移动机构1803设在纵梁1806上,且第三移动机构1803与横梁1807连接,以驱动横梁1807沿纵梁1806的延伸方向移动;第二移动机构1802设在横梁1807上,且第二移动机构1802与第一移动机构1801连接,以驱动第一移动机构1801沿横梁1807的延伸方向移动。
可选地,第三移动机构1803可以为齿轮齿条传动机构或皮带传动机构等;第二移动机构1802可以为齿轮齿条传动机构或皮带传动机构等。
可选地,第一升降部件18011和第二升降部件18012可以为直线模组。
可选地,第一夹爪1804和第二夹爪1805沿第二水平方向布置。
例如,如图1、图3、图4和图5所示,第一输送组件2的输送方向为前后方向,第一夹爪1804和第二夹爪1805沿前后方向布置,且第一夹爪1804设在第二夹爪1805的后侧。可以理解的是,插片机100工作过程中,第二夹爪1805夹持有空篮901,且第一夹爪1804与第一预存位101或第二预存位103对齐时,需要在插片机100上为第二夹爪1805所夹持的空篮901预留第一容纳空间;第一夹爪1804上夹持有满篮902,且第二夹爪1805与第一预存位101或第二预存位103对齐时,需要在插片机100上为第一夹爪1804所夹持的满篮902预留第二容纳空间。第一夹爪1804和第二夹爪1805沿前后方向布置,则第一容纳空间和第二容纳空间也沿前后方向布置,且在前后方向上与第一预存位101或第二预存位103对齐,即在第一预存位101和第二预存位103的前后一侧预留第一容纳空间,在第一预存位101和第二预存位103的前后另一侧预留第二容纳空间。
本领域技术人员可以理解的是,在第一输送组件2输送方向上有较多空间可以利用,例如,机架1上方,机架1前后侧等,在不增加插片机100整体占地面积的情况下,即可以为空篮901找到第一容纳空间、为满篮902找到第二容纳空间。而在第一输送组件2的宽度方向上,例如第一水平方向上,则需要通过增加机架1或插片机100的整体尺寸,为空篮901和满篮902找到容纳空间。因此,第一夹爪1804和第二夹爪1805沿第二水平方向布置,可以使得插片机100的整体结构更紧凑,占地面积较小。
具体地,当第二夹爪1805夹持有空篮901,第一夹爪1804与第一预存位101对齐,以利用第一夹爪1804夹持放置在第一预存位101上的满篮时,需要在第一预存位101的后侧为第二夹爪1805所夹持的空篮901预留第一容纳空间;当第一夹爪1804上夹持有满篮902,且第二夹爪1805与第一预存位101对齐,以将第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第一预存位101上时,需要在第二预存位103的前侧为第一夹爪1804所夹持的满篮902预留第二容纳空间。其中,第一容纳空间可以为位于第一预存位101前侧的一部分空间;第一容纳空间可以为位于第一预存位101后侧,且位于机架1上侧的空间。相似的,位于第二预存位103前侧的一部分空间形成与第二预存位103对应的第一容纳空间,位于第二预存位103后侧,且位于机架1上侧的空间形成与第二预存位103对应的第二容纳空间。
可选地,第一夹爪1804相对第二夹爪1805更邻近第一输送组件2设置,第一升降部件18011的移动行程大于第二升降部件18012的移动行程。
其中,第一夹爪1804用于夹持满篮902,第二夹爪1805用于夹持空篮901,通常第一夹爪1804需要较大的移动行程,第一升降部件18011的移动行程大于第二升降部件18012的移动行程,可以更好的满足第一夹爪1804和第二夹爪1805的使用需求。
本发明的实施例还提出一种插片机100的插片方法。
本发明实施例的插片机100的插片方法包括:
第一承载架4处于第一插片位102,第二承载架5处于第一预存位101,将第一输送组件2输送的基片插装在放置在第一承载架4上的篮具9内;
第一承载架4插满基片,第一输送组件2停机;
第一平移装置8驱动第一承载架4和第二承载架5沿第一水平方向移动,使第二承载架5位于第一插片位102;
第一输送组件2启动,将第一输送组件2输送的基片插装在放置在第二承载架5上的篮具9内。
因此,本发明实施例的插片机100具有工作效率高等优点。
下面参考图1至图3,详细描述本发明一个实施例的插片机100的插片方法:
篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第一插片位102右侧的第一预存位101,此时,第一夹爪1804上夹持有空篮901,第二承载架5处于位于第一插片位102右侧的第一预存位101,且第二承载架5上具有插满基片的第二篮具,即满篮902;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804下降;第一夹爪1804抓取第二承载架5上的满篮902;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804上升,以将该满篮902从第二承载架5上取下;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至位于第一插片位102右侧的第一预存位101,同时第二升降部件18012驱动第二夹爪1805下降、第二升降组件7驱动第二承载架5下降;第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第二承载架5上;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升;第二升降组件7驱动第二承载架5下降;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第一插片位102右侧的第一预存位101;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804下降;第一夹爪1804所夹持的满篮902放置在满篮下料位1701上;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804上升;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805下降;第二夹爪1805夹持一个空篮901;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升,完成一次换篮。
第二平移装置驱动第三承载架10和第四承载架11向右移动,使得第三承载架10处于位于第二插片位104,第四承载架11处于位于第二插片位104右侧的第二预存位103,且第四承载架11上的第四篮具插满基片。
篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第二插片位104右侧的第二预存位103,此时,第一夹爪1804上夹持有空篮901,第四承载架11处于位于第二插片位104右侧的第二预存位103,且第四承载架11上具有插满基片的第四篮具,即满篮902;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804下降;第一夹爪1804抓取第四承载架11上的满篮902;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804上升,以将该满篮902从第四承载架11上取下;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至位于第二插片位104右侧的第二预存位103,同时第二升降部件18012驱动第二夹爪1805下降、第四升降组件13驱动第四承载架11下降;第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第四承载架11上;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升;第四升降组件13驱动第四承载架11下降;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第二插片位104右侧的第二预存位103;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804下降;第一夹爪1804所夹持的满篮902放置在满篮下料位1701上;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804上升;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805下降;第二夹爪1805夹持一个空篮901;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升,完成一次换篮。
第一平移装置8驱动第一承载架4和第二承载架5向左移动,使得第二承载架5处于位于第一插片位102,第一承载架4处于位于第一插片位102左侧的第一预存位101,且第一承载架4上的第一篮具插满基片。
篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第一插片位102左侧的第一预存位101,此时,第一夹爪1804上夹持有空篮901,第一承载架4处于位于第一插片位102左侧的第一预存位101,且第一承载架4上具有插满基片的第一篮具,即满篮902;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804下降;第一夹爪1804抓取第一承载架4上的满篮902;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804上升,以将该满篮902从第一承载架4上取下;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至位于第一插片位102左侧的第一预存位101,同时第二升降部件18012驱动第二夹爪1805下降、第一升降组件6驱动第一承载架4下降;第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第一承载架4上;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升;第二升降组件7驱动第一承载架4下降;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第一插片位102左侧的第一预存位101;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804下降;第一夹爪1804所夹持的满篮902放置在满篮下料位1701上;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804上升;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805下降;第二夹爪1805夹持一个空篮901;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升,完成一次换篮。
第二平移装置驱动第三承载架10和第四承载架11向左移动,使得第四承载架11处于位于第二插片位104,第三承载架10处于位于第二插片位104左侧的第二预存位103,且第三承载架10上的第三篮具插满基片。
篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第二插片位104左侧的第二预存位103,此时,第一夹爪1804上夹持有空篮901,第三承载架10处于位于第二插片位104左侧的第二预存位103,且第三承载架10上具有插满基片的第四篮具,即满篮902;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804下降;第一夹爪1804抓取第三承载架10上的满篮902;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804上升,以将该满篮902从第三承载架10上取下;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至位于第二插片位104左侧的第二预存位103,同时第二升降部件18012驱动第二夹爪1805下降、第三升降组件12驱动第三承载架10下降;第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第三承载架10上;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升;第二升降组件7驱动第三承载架10下降;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第二插片位104左侧的第二预存位103;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804下降;第一夹爪1804所夹持的满篮902放置在满篮下料位1701上;第一升降部件18011驱动第一夹爪1804上升;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805下降;第二夹爪1805夹持一个空篮901;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升,完成一次换篮。
第一平移装置8驱动第一承载架4和第二承载架5向右移动,使得第一承载架4处于位于第一插片位102,第二承载架5处于位于第一插片位102右侧的第一预存位101,且第二承载架5上的第二篮具插满基片,重复上述步骤,实现连续插片。
需要说明的是,插片机100刚开始工作时,第一承载架4可以处于第一插片位102,第二承载架5位于第一承载架4的右侧;第三承载架10可以处于第二插片位104,第四承载架11位于第三承载架10的右侧。
下面参考图4和图5,详细描述本发明另一个实施例的插片机100的插片方法:
篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第一插片位102右侧的第一预存位101,此时,第一夹爪1804上夹持有空篮901,第二承载架5处于位于第一插片位102右侧的第一预存位101,且第二承载架5上具有插满基片的第二篮具,即满篮902;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第一夹爪1804抓取第二承载架5上的满篮902;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升,以将该满篮902从第二承载架5上取下;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至位于第一插片位102右侧的第一预存位101;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第二承载架5上;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升;第二升降组件7驱动第二承载架5下降;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第一插片位102右侧的第一预存位101;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第一夹爪1804所夹持的满篮902放置在满篮下料位1701上;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601;升降部件驱动第二夹爪1805和第二夹爪1805下降;第二夹爪1805夹持一个空篮901;第二升降部件18012驱动第二夹爪1805上升,完成一次换篮。
第二平移装置驱动第三承载架10和第四承载架11向右移动,使得第三承载架10处于位于第二插片位104,第四承载架11处于位于第二插片位104右侧的第二预存位103,且第四承载架11上的第四篮具插满基片。
篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第二插片位104右侧的第二预存位103,此时,第一夹爪1804上夹持有空篮901,第四承载架11处于位于第二插片位104右侧的第二预存位103,且第四承载架11上具有插满基片的第四篮具,即满篮902;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第一夹爪1804抓取第四承载架11上的满篮902;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升,以将该满篮902从第四承载架11上取下;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至位于第二插片位104右侧的第二预存位103;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第四承载架11上;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升;第四升降组件13驱动第四承载架11下降;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第二插片位104右侧的第二预存位103;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第一夹爪1804所夹持的满篮902放置在满篮下料位1701上;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第二夹爪1805夹持一个空篮901;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升,完成一次换篮。
第一平移装置8驱动第一承载架4和第二承载架5向左移动,使得第二承载架5处于位于第一插片位102,第一承载架4处于位于第一插片位102左侧的第一预存位101,且第一承载架4上的第一篮具插满基片。
篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第一插片位102左侧的第一预存位101,此时,第一夹爪1804上夹持有空篮901,第一承载架4处于位于第一插片位102左侧的第一预存位101,且第一承载架4上具有插满基片的第一篮具,即满篮902;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第一夹爪1804抓取第一承载架4上的满篮902;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升,以将该满篮902从第一承载架4上取下;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至位于第一插片位102左侧的第一预存位101;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第一承载架4上;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第一插片位102左侧的第一预存位101;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第一夹爪1804所夹持的满篮902放置在满篮下料位1701上;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第二夹爪1805夹持一个空篮901;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升,完成一次换篮。
第二平移装置驱动第三承载架10和第四承载架11向左移动,使得第四承载架11处于位于第二插片位104,第三承载架10处于位于第二插片位104左侧的第二预存位103,且第三承载架10上的第三篮具插满基片。
篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第二插片位104左侧的第二预存位103,此时,第一夹爪1804上夹持有空篮901,第三承载架10处于位于第二插片位104左侧的第二预存位103,且第三承载架10上具有插满基片的第四篮具,即满篮902;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第一夹爪1804抓取第三承载架10上的满篮902;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升,以将该满篮902从第三承载架10上取下;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至位于第二插片位104左侧的第二预存位103;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第二夹爪1805所夹持的空篮901放置在第三承载架10上;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至位于第二插片位104左侧的第二预存位103;篮具移动装置18驱动第一夹爪1804移动至满篮下料位1701;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第一夹爪1804所夹持的满篮902放置在满篮下料位1701上;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升;篮具移动装置18驱动第二夹爪1805移动至空篮上料位1601;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805下降;第二夹爪1805夹持一个空篮901;升降部件驱动第一夹爪1804和第二夹爪1805上升,完成一次换篮。
第一平移装置8驱动第一承载架4和第二承载架5向右移动,使得第一承载架4处于位于第一插片位102,第二承载架5处于位于第一插片位102右侧的第一预存位101,且第二承载架5上的第二篮具插满基片,重复上述步骤,实现连续插片。
本发明实施例的插片机100可以显著缩短换篮时长,实现5秒换篮,且整体结构紧凑,宽度可以控制在2.9米以内。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本发明中,术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本发明的限制,本领域普通技术人员对上述实施例进行的变化、修改、替换和变型均在本发明的保护范围内。
Claims (14)
1.一种插片机,其特征在于,包括:
机架,所述机架具有沿第一水平方向布置的第一预存位和第一插片位;
第一输送组件,所述第一输送组件设在所述机架上且对应所述第一插片位设置,所述第一输送组件用于沿第二水平方向输送基片,所述第二水平方向与所述第一水平方向相交;
第一承载架和第二承载架,所述第一承载架和所述第二承载架沿所述第一水平方向布置且均用于放置篮具;
第一升降部件,所述第一承载架和所述第二承载架均与所述第一升降部件连接,以驱动所述第一承载架和所述第二承载架升降;以及
第一平移装置,所述第一平移装置设于所述机架,第二升降部件与所述第一平移装置连接,以驱动第一承载架和所述第二承载架在第一预存位和第一插片位之间切换。
2.根据权利要求1所述的插片机,其特征在于,所述机架还具有沿所述第一水平方向布置的第二预存位和第二插片位,所述插片机还包括:
第二输送组件,所述第二输送组件和所述第一输送组件沿所述第一水平方向间隔设置,所述第二输送组件设于所述机架且对应所述第二插片位设置,所述第二输送组件用于沿第二水平方向输送基片;
第三承载架和第四承载架,所述第三承载架和所述第四承载架沿所述第一水平方向布置且均用于放置篮具;
第二升降部件,所述第三承载架和所述第四承载架均与所述第二升降部件连接,以驱动所述第三承载架和所述第四承载架升降;以及
第二平移装置,所述第二平移装置设于所述机架,所述第二升降部件与所述第二平移装置连接,以驱动所述第三承载架和所述第四承载架在第二预存位和第二插片位之间切换。
3.根据权利要求2所述的插片机,其特征在于,所述第一预存位的数量为两个,在所述第一水平方向上,所述第一插片位设于两个所述第一预存位之间;和/或
所述第二预存位的数量为两个,在所述第一水平方向上,所述第二插片位设于两个所述第二预存位之间。
4.根据权利要求2所述的插片机,其特征在于,所述第一升降部件包括第一升降组件和第二升降组件,所述第一升降组件与所述第一承载架连接以驱动所述第一承载架升降,所述第二升降组件与所述第二承载架连接以驱动所述第二承载架升降;
所述第二升降部件包括第三升降组件和第四升降组件,所述第三升降组件与所述第四承载架连接以驱动所述第三承载架升降,所述第四升降组件与所述第四承载架连接以驱动所述第四承载架升降。
5.根据权利要求4所述的插片机,其特征在于,所述第一平移装置的数量为一个,所述第一升降组件和所述第二升降组件与同一所述第一平移装置连接;和/或
所述第二平移装置的数量为一个,所述第三升降组件和所述第四升降组件与同一所述第二平移装置连接。
6.根据权利要求2所述的插片机,其特征在于,所述第一承载架、所述第二承载架、所述第三承载架和所述第四承载架中的至少一个为定位承载架,所述定位承载架上设有定位组件,所述定位组件用于对放置在所述定位承载架上的篮具进行定位。
7.根据权利要求6所述的插片机,其特征在于,所述定位承载架上设有止抵部和顶推件,所述止抵部和所述顶推件沿所述第一水平方向间隔设置,所述顶推件用于推动所述定位承载架上的篮具移动,以便所述定位承载架上的篮具止抵于所述止抵部,所述止抵部和所述顶推件形成所述定位组件。
8.根据权利要求2-7中任一项所述的插片机,其特征在于,所述插片机包括:
空篮输送组件,所述空篮输送组件设于所述机架的一侧,所述空篮输送组件的一侧设有空篮上料位,所述空篮输送组件用于向所述空篮上料位输送空的篮具;
满篮输送组件,所述满篮输送组件设于所述机架的一侧,所述满篮输送组件的一侧设有满篮下料位,所述满篮输送组件用于将所述满篮下料位处的篮具输送至预设位置;和
篮具移动装置,所述篮具移动装置包括第一夹爪和第二夹爪,所述第一夹爪和所述第二夹爪均用于夹持篮具,所述篮具移动装置在所述第一预存位、所述第二预存位、所述空篮上料位和所述满篮下料位之间可移动。
9.根据权利要求8所述的插片机,其特征在于,在所述第二水平方向上,所述第一预存位设于所述空篮输送组件和所述第一输送组件之间,且所述空篮上料位设于所述空篮输送组件的靠近所述第一输送组件的一侧;
在所述第二水平方向上,所述第二预存位设于所述满篮输送组件和所述第二输送组件之间,且所述满篮下料位设于所述满篮输送组件的靠近所述第二输送组件的一侧。
10.根据权利要求8所述的插片机,其特征在于,所述篮具移动装置为机械手,所述机械手包括:
第一移动机构,所述第一夹爪和所述第二夹爪均与所述第一移动机构连接,以驱动所述第一夹爪和所述第二夹爪升降;
第二移动机构,所述第一移动机构与所述第二移动机构连接,以驱动所述第一夹爪和所述第二夹爪沿所述第一水平方向移动;和
第三移动机构,所述第二移动机构与所述第三移动机构连接,以驱动所述第一夹爪和所述第二夹爪沿所述第二水平方向移动。
11.根据权利要求10所述的插片机,其特征在于,所述第一夹爪和所述第二夹爪沿所述第二水平方向布置。
12.根据权利要求10所述的插片机,其特征在于,所述第一移动机构包括第一升降部件和第二升降部件,所述第一夹爪与所述第一升降部件连接,以驱动所述第一夹爪升降;所述第二夹爪与所述第二升降部件连接,以驱动所述第二夹爪升降。
13.根据权利要求12所述的插片机,其特征在于,在所述第二水平方向上,所述第一夹爪相对所述第二夹爪更邻近所述第一输送组件设置;
所述第一升降部件的移动行程大于所述第二升降部件的移动行程。
14.一种插片机的插片方法,其特征在于,所述插片机为权利要求1-13中任一项所述的插片机,所述插片机的插片方法包括:
所述第一承载架处于所述第一插片位,所述第二承载架处于所述第一预存位,将所述第一输送组件输送的基片插装在放置在所述第一承载架上的篮具内;
所述第一承载架插满基片,所述第一输送组件停机;
所述第一平移装置驱动所述第一承载架和所述第二承载架沿所述第一水平方向移动,使所述第二承载架位于所述第一插片位;
所述第一输送组件启动,将所述第一输送组件输送的基片插装在放置在所述第二承载架上的篮具内。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211656748.8A CN116190290A (zh) | 2022-12-22 | 2022-12-22 | 插片机及其插片方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202211656748.8A CN116190290A (zh) | 2022-12-22 | 2022-12-22 | 插片机及其插片方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116190290A true CN116190290A (zh) | 2023-05-30 |
Family
ID=86439413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202211656748.8A Pending CN116190290A (zh) | 2022-12-22 | 2022-12-22 | 插片机及其插片方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116190290A (zh) |
-
2022
- 2022-12-22 CN CN202211656748.8A patent/CN116190290A/zh active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110510403B (zh) | 双功能快速切换自动上下料设备 | |
CN114975206A (zh) | 基板运输模组及固晶机 | |
CN113148669A (zh) | 料盘上料设备 | |
CN107298306B (zh) | 一种送料装置 | |
CN112456140A (zh) | 用于铝制吹胀均热板的自动送料系统 | |
CN116190290A (zh) | 插片机及其插片方法 | |
CN113120534A (zh) | 压合设备、输送方法、输送装置及搬送机构 | |
JPH0134886B2 (zh) | ||
CN214114150U (zh) | 上下料机构 | |
CN113023328B (zh) | 工件自动送料组件 | |
CN214269317U (zh) | 用于铝制吹胀均热板的自动送料系统 | |
CN214569054U (zh) | 一种自动上下料装置 | |
CN216302535U (zh) | 一种自动化升降上下料机构 | |
CN114178755A (zh) | 五金容器复底对中移栽系统及方法 | |
KR100217397B1 (ko) | 리튬전지의 이재공급씨스템 | |
CN217200694U (zh) | 一种空气质量传感器元件自动上料装置 | |
CN220866534U (zh) | 上料机构 | |
CN219442757U (zh) | 一种用于定子、转子的自动化激光清洗设备 | |
CN215515307U (zh) | 移载定位装置及加工设备 | |
CN218641884U (zh) | 一种充电夹具自动上下料装置 | |
CN217050555U (zh) | 一种电机转子搬运机 | |
CN220217430U (zh) | 一种金属外壳全自动装配设备 | |
CN220578482U (zh) | 一种电池片印刷输送装置 | |
CN215625357U (zh) | 料盘上料设备 | |
CN217076143U (zh) | 一种替代机器人的模组式搬运机构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |