KR20170000929A - 커스터머 트레이 언로딩 유닛 - Google Patents

커스터머 트레이 언로딩 유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR20170000929A
KR20170000929A KR1020150090155A KR20150090155A KR20170000929A KR 20170000929 A KR20170000929 A KR 20170000929A KR 1020150090155 A KR1020150090155 A KR 1020150090155A KR 20150090155 A KR20150090155 A KR 20150090155A KR 20170000929 A KR20170000929 A KR 20170000929A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tray
unloading
customer
customer tray
recognition
Prior art date
Application number
KR1020150090155A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102312864B1 (ko
Inventor
임광묵
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020150090155A priority Critical patent/KR102312864B1/ko
Publication of KR20170000929A publication Critical patent/KR20170000929A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102312864B1 publication Critical patent/KR102312864B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2644—Adaptations of individual semiconductor devices to facilitate the testing thereof
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

커스터머 트레이 언로딩 장치는 테스트 트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자들이 언로딩 피커에 의해 커스터머 트레이로 전달되기 위한 제1 위치에서 제2 위치로 이송하기 위한 언로딩 플레이트와, 상기 제2 위치에서 상기 커스터머 트레이를 픽업하여 제3 위치로 이송하기 위한 언로딩 이송암과, 상기 제3 위치에서 상기 커스터머 트레이를 전달받아 순차적으로 하강시키기 위한 엘리베이터 및 상기 엘리베이터에 의해 하강되는 커스터머 트레이들을 적재하기 위한 언로딩 스태커를 포함할 수 있다.

Description

커스터머 트레이 언로딩 유닛{Unit for unloading customer tray}
본 발명은 커스터머 트레이 언로딩 유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테스트 핸들러에서 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 언로딩하기 위한 커스터머 트레이 언로딩 유닛에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자 및 상기 반도체 소자들을 포함하는 집적 회로들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하된다.
테스트 핸들러는 상기 반도체 소자 및 집적 회로 등을 테스트하는 장치이다. 상기 테스트 핸들러는 로딩 스태커에 적재된 커스터머 트레이(customer tray)들의 반도체 소자들을 테스트 트레이로 수납한 후, 상기 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 이송하여 상기 반도체 소자들에 대한 테스트를 수행한다. 상기 테스트 사이트에서는 테스트 트레이에 장착된 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트헤드의 소켓에 전기적으로 접속시켜 소정의 전기적 테스트를 하게 된다. 상기 테스트 핸들러는 테스트가 완료된 테스트 트레이의 반도체 소자들을 분리하여 커스터머 트레이에 테스트 결과에 따라 분류 수납한 후, 상기 커스터머 트레이를 언로딩 스태커에 적재한다. 상기 테스트 핸들러의 예는 대한민국 특허공개 제10-2010-0000270호에 개시되어 있다.
테스트가 완료된 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이로부터 언로딩 피커가 상기 반도체 소자들을 버퍼 플레이트의 커스터머 트레이로 이송하고, 제1 트랜스퍼가 상기 커스터머 트레이를 세트 베이스로 이송한다. 이후, 세트 플레이트가 상승하여 상기 세트 베이스로부터 상기 커스터머 트레이를 전달받고, 제2 트랜스퍼가 상기 커스터머 트레이를 언로딩 스태커에 적재한다.
그러나, 상기 테스트된 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 언로딩 스태커로 적재하기까지 여러 단계를 거치므로, 상기 커스터머 트레이를 언로딩하기 위한 구성이 복잡하며 상기 커스터머 트레이를 언로딩하는데 많은 시간이 소요된다.
한국공개특허 제10-2010-0000270호 (2010.01.06. 공개)
본 발명은 테스트 핸들러에서 커스터머 트레이를 신속하게 언로딩할 수 있는 커스터머 트레이 언로딩 유닛을 제공한다.
본 발명에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 테스트 트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자들이 언로딩 피커에 의해 커스터머 트레이로 전달되기 위한 제1 위치에서 제2 위치로 이송하기 위한 언로딩 플레이트와, 상기 제2 위치에서 상기 커스터머 트레이를 픽업하여 제3 위치로 이송하기 위한 언로딩 이송암과, 상기 제3 위치에서 상기 커스터머 트레이를 전달받아 순차적으로 하강시키기 위한 엘리베이터 및 상기 엘리베이터에 의해 하강되는 커스터머 트레이들을 적재하기 위한 언로딩 스태커를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 언로딩 이송암은 상기 커스터머 트레이를 상하 방향으로 이송하며, 상기 언로딩 플레이트는 상기 커스터머 트레이를 수평 방향으로 이송할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 상기 언로딩 스태커에 적재된 커스터머 트레이들을 덮기 위한 커버 트레이 및 상기 커스터머 트레이들을 인식하기 위한 인식 마크가 형성된 인식 트레이를 다수의 래치로 지지하는 스토어를 더 포함하며, 상기 스토어가 상기 제3 위치로 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 커스터머 트레이에 눌려 상기 래치가 개방되면서 상기 커버 트레이 및 상기 인식 트레이가 상기 커스터머 트레이들에 상에 적재될 수 있다.
본 발명에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 언로딩 플레이트, 언로딩 이송암 및 엘리베이터를 이용하여 커스터머 트레이를 언로딩 스태커에 적재하므로, 상기 커스터머 언로딩 스태커의 구성이 단순하며, 상기 커스터머 트레이를 언로딩하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 상기 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 스토어에 커버 트레이 및 인식 트레이를 미리 적재하고, 상기 엘리베이터를 이용하여 상기 커버 트레이 및 인식 트레이를 한번에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 커버 트레이 및 인식 트레이의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토어를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3 내지 도 7은 도 1에 도시된 커스터머 트레이 로딩 유닛을 이용한 커스터머 트레이 언로딩 방법을 설명하기 위한 블록도들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛을 설명하기 위한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 커스터머 트레이 언로딩 유닛(100)은 언로딩 플레이트(110), 언로딩 이송암(120), 엘리베이터(130), 언로딩 스태커(140) 및 스토어(150)를 포함한다.
언로딩 플레이트(110)는 일정한 높이에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 즉, 언로딩 플레이트(110)는 커스터머 트레이(10)를 상기 수평 방향을 따라 이송할 수 있다.
구체적으로, 언로딩 플레이트(110)는 커스터머 트레이(10)를 제1 위치에서 상기 수평 방향을 따라 제2 위치로 이송한다. 상기 제1 위치는 테스트 트레이(30)에 수납된 반도체 소자들이 언로딩 피커(20)에 의해 커스터머 트레이(10)로 전달되는 위치이다.
언로딩 이송암(120)은 언로딩 스태커(140)의 상방에 구비되며, 상하 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 즉, 언로딩 이송암(120)은 커스터머 트레이(10)를 상기 상하 방향을 따라 이송할 수 있다.
구체적으로, 언로딩 이송암(120)은 상기 제2 위치까지 이송된 커스터머 트레이(10)를 제3 위치로 이송한다. 상기 제3 위치는 상기 제2 위치보다 낮게 위치한다. 이때, 언로딩 이송암(120)은 커스터머 트레이(10)를 상기 제2 위치에서 바로 상기 제3 위치로 이송하지 않는다. 언로딩 이송암(120)은 상기 제2 위치에서 언로딩 플레이트(110)로부터 커스터머 트레이(10)를 픽업하여 상기 제2 위치보다 높게 상승하고, 언로딩 플레이트(110)가 상기 제1 위치를 향해 수평 방향으로 이동하여 상기 제2 위치에서 다른 위치로 이동한 후, 언로딩 이송암(120)이 하강하여 커스터머 트레이(10)를 상기 제3 위치로 이송한다.
엘리베이터(130)는 상기 상하 방향을 따라 승강가능하도록 구비된다. 구체적으로, 엘리베이터(130)는 상기 제3 위치까지 상승하며, 상기 제3 위치에서 언로딩 이송암(120)으로부터 커스터머 트레이(10)를 전달받는다. 엘리베이터(130)는 언로딩 이송암(120)으로부터 커스터머 트레이(10)를 전달받을 때마다 커스터머 트레이(10)의 두께만큼 순차적으로 하강한다. 따라서, 엘리베이터(130)는 상기 제3 위치에서 지속적으로 커스터머 트레이(10)들을 전달받을 수 있다.
엘리베이터(130)가 커스터머 트레이(10)들을 전달받기 위해 상기 제3 위치까지 상승하므로, 언로딩 이송암(120)이 커스터머 트레이(10)를 전달하기 위해 하강하는 거리를 단축할 수 있다.
언로딩 스태커(140)는 테스트가 완료된 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(10)들을 적재한다. 커스터머 트레이(10)들을 지지한 엘리베이터(130)가 하강하면서 커스터머 트레이(10)들은 언로딩 스태커(140)에 수직 방향으로 적재된다.
도 2는 도 1에 도시된 스토어를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 스토어(150)는 언로딩 스태커(140)의 상방에 배치되며, 상하 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 경우에 따라 수평 방향을 따라 이동할 수 있다.
스토어(150)는 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 적재하기 위한 것으로, 프레임(152) 및 래치(154)들을 포함한다.
커버 트레이(12)는 언로딩 스태커(140)에 적재된 커스터머 트레이(10)들을 덮는다. 따라서, 커버 트레이(10)는 최상층의 커스터머 트레이(10)에 수납된 반도체 소자들에 이물질이 유입되는 것을 차단할 수 있다.
인식 트레이(14)는 언로딩 스태커(140)에 적재된 커스터머 트레이(10)들을 인식하기 위한 인식 마크가 형성된다. 상기 인식 마크를 이용하여 커스터머 트레이(10)들에 대한 정보를 획득할 수 있다. 예를 들면, 상기 인식 마크는 숫자 , 바코드, 큐알 코드, 알에프아이디(RFID) 태그 등 일 수 있다.
커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)의 크기는 커스터머 트레이(10)의 크기와 실질적으로 동일할 수 있다.
프레임(152)은 대략 중공을 갖는 사각 프레임이며, 상기 중공의 크기는 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)의 크기보다 클 수 있다.
래치(154)들은 프레임(152)의 내측면 하단부에 돌출되도록 배치되며, 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 지지한다. 이때, 커버 트레이(12)가 하부에 위치하고 인식 트레이(14)가 상부에 위치한다. 래치(154)들은 하방에서 가해지는 힘에 의해 프레임(152)의 내부에 삽입되며, 상기 힘이 제거되면 탄성 복원력에 의해 다시 프레임(152)의 외부로 돌출될 수 잇다.
스토어(150)에 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 순차적으로 적재된 상태에서 스토어(150)가 상기 제3 위치로 하강하면, 스토어(150)가 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 커스터머 트레이(10)가 래치(154)들을 누르게 되어 래치(154)들이 개방된다. 이 상태에서 스토어(150)가 상승하거나 엘리베이터(130)가 하강하면 래치(154)들이 원위치로 복원되기 전에 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 자유낙하 하여 한꺼번에 엘리베이터(130)의 커스터머 트레이(10) 상에 적재된다.
한편, 스토어(150)가 언로딩 스태커(140)의 상방에서 벗어난 위치에서 별도의 이송암(미도시)이 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 스토어(150)에 적재할 수 있다. 이후, 언로딩 스태커(140)에 커스터머 트레이(10)들의 적재가 완료되면, 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 미리 적재된 스토어(150)가 언로딩 스태커(140)의 상방으로 이동할 수 있다.
또한, 언로딩 스태커(140)에 커스터머 트레이(10)들의 적재가 진행되는 동안에 스토어(150)가 언로딩 스태커(140)의 상방에 위치할 수도 있다. 이때, 언로딩 이송암(120)은 프레임(152)의 중공을 통해 상하 이동할 수 있다.
커스터머 트레이 언로딩 유닛(100)은 언로딩 플레이트(110), 언로딩 이송암(120) 및 엘리베이터(130)를 이용하여 커스터머 트레이(10)를 언로딩 스태커(140)에 적재한다. 그러므로, 커스터머 언로딩 스태커(100)의 구성을 단순화할 수 있고, 커스터머 트레이(10)들을 언로딩하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 커스터머 트레이 언로딩 유닛(100)은 스토어(150)에 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 미리 적재하여 커스터머 트레이(10)들 상으로 한번에 적재할 수 있다. 따라서, 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
도 3 내지 도 7은 도 1에 도시된 커스터머 트레이 로딩 유닛을 이용한 커스터머 트레이 언로딩 방법을 설명하기 위한 블록도들이다.
도 3을 참조하면, 빈 커스터머 트레이(10)를 지지한 언로딩 플레이트(110)가 상기 수평 방향을 따라 제1 위치로 이동한다. 따라서, 빈 커스터머 트레이(10)가 상기 제1 위치에 위치한다. 상기 제1 위치에서 테스트 트레이(30)에 수납된 반도체 소자들이 언로딩 피커(20)에 의해 커스터머 트레이(10)로 전달된다.
도 4를 참조하면, 상기 반도체 소자들이 커스터머 트레이(10)에 수납되면, 언로딩 플레이트(110)가 상기 수평 방향을 따라 이동하면서 상기 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(10)를 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이송한다.
도 5를 참조하면, 언로딩 이송암(120)은 상기 제2 위치에서 언로딩 플레이트(110)로부터 커스터머 트레이(10)를 픽업하여 상기 제2 위치보다 높게 상승한다. 이때, 언로딩 플레이트(110)가 상기 제1 위치를 향해 수평 방향으로 이동하여 상기 제2 위치에서 다른 위치로 이동한다.
도 6을 참조하면, 언로딩 이송암(120)이 하강하여 커스터머 트레이(10)를 상기 제3 위치로 이송한다. 언로딩 플레이트(110)가 상기 제2 위치에서 다른 위치로 이동하므로, 언로딩 이송암(120)이 언로딩 플레이트(110)와 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 엘리베이터(130)는 상기 제3 위치까지 상승하며, 상기 제3 위치에서 언로딩 이송암(120)으로부터 커스터머 트레이(10)를 전달받는다. 엘리베이터(130)는 언로딩 이송암(120)으로부터 커스터머 트레이(10)를 전달받을 때마다 커스터머 트레이(10)의 두께만큼 순차적으로 하강한다.
또한, 커스터머 트레이(10)들을 지지한 엘리베이터(130)가 하강하면서 커스터머 트레이(10)들은 언로딩 스태커(140)에 수직 방향으로 적재된다.
도 7을 참조하면, 스토어(150)에 미리 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 순차적으로 적재된 상태에서 스토어(150)가 상기 제3 위치로 하강하면, 스토어(150)가 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 커스터머 트레이(10)가 래치(154)들을 누르게 되어 래치(154)들이 개방된다. 이 상태에서 스토어(150)가 상승하거나 엘리베이터(130)가 하강하면 래치(154)들이 원위치로 복원되기 전에 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)가 자유낙하 하여 한꺼번에 엘리베이터(130)의 커스터머 트레이(10) 상에 적재된다. 미리 적재된 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 커스터머 트레이(10)들 상에 한번에 적재할 수 있으므로, 커버 트레이(12) 및 인식 트레이(14)를 신속하게 적재할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 구성을 단순화하여 상기 커스터머 트레이를 언로딩하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 상기 커스터머 트레이 언로딩 유닛은 스토어를 이용하여 미리 적재된 커버 트레이 및 인식 트레이를 언로딩 스태커에 한번에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 커버 트레이 및 인식 트레이의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
그러므로, 상기 커스터머 트레이 언로딩 유닛의 효율을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 커스터머 트레이 언로딩 유닛 110 : 언로딩 플레이트
120 : 언로딩 이송암 130 : 엘리베이터
140 : 언로딩 스태커 150 : 스토어
10 : 커스터머 트레이 20 : 언로딩 피커
30 : 테스트 트레이

Claims (3)

  1. 테스트 트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자들이 언로딩 피커에 의해 커스터머 트레이로 전달되기 위한 제1 위치에서 제2 위치로 이송하기 위한 언로딩 플레이트;
    상기 제2 위치에서 상기 커스터머 트레이를 픽업하여 제3 위치로 이송하기 위한 언로딩 이송암;
    상기 제3 위치에서 상기 커스터머 트레이를 전달받아 순차적으로 하강시키기 위한 엘리베이터; 및
    상기 엘리베이터에 의해 하강되는 커스터머 트레이들을 적재하기 위한 언로딩 스태커를 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 언로딩 이송암은 상기 커스터머 트레이를 상하 방향으로 이송하며, 상기 언로딩 플레이트는 상기 커스터머 트레이를 수평 방향으로 이송하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 언로딩 스태커에 적재된 커스터머 트레이들을 덮기 위한 커버 트레이 및 상기 커스터머 트레이들을 인식하기 위한 인식 마크가 형성된 인식 트레이를 다수의 래치로 지지하는 스토어를 더 포함하며, 상기 스토어가 상기 제3 위치로 하강하는 힘에 의해 상기 제3 위치의 커스터머 트레이에 눌려 상기 래치가 개방되면서 상기 커버 트레이 및 상기 인식 트레이가 상기 커스터머 트레이들에 상에 적재되는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 언로딩 유닛.
KR1020150090155A 2015-06-25 2015-06-25 커스터머 트레이 언로딩 유닛 KR102312864B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150090155A KR102312864B1 (ko) 2015-06-25 2015-06-25 커스터머 트레이 언로딩 유닛

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150090155A KR102312864B1 (ko) 2015-06-25 2015-06-25 커스터머 트레이 언로딩 유닛

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170000929A true KR20170000929A (ko) 2017-01-04
KR102312864B1 KR102312864B1 (ko) 2021-10-14

Family

ID=57831486

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150090155A KR102312864B1 (ko) 2015-06-25 2015-06-25 커스터머 트레이 언로딩 유닛

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102312864B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102627016B1 (ko) * 2022-09-26 2024-01-19 에스에스오트론 주식회사 반도체 칩의 트레이 이송장치

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5207727A (en) * 1990-07-06 1993-05-04 Rapsco Incorporated Can end handling system
KR20000065747A (ko) * 1999-04-08 2000-11-15 정문술 번인 테스터용 소팅 핸들러의 빈 트레이 적재스택커
WO2004086495A1 (ja) * 2003-03-27 2004-10-07 Hirata Corporation ワークハンドリング装置
KR20090081723A (ko) * 2008-01-25 2009-07-29 세크론 주식회사 커스터머 트레이 이송 유닛, 커스터머 트레이 이송 방법 및커스터머 트레이 이송 유닛을 포함하는 테스트 핸들러
KR20090081720A (ko) * 2008-01-25 2009-07-29 세크론 주식회사 커스터머 트레이 이송 방법, 커스터머 트레이 이송 유닛 및커스터머 트레이 이송 유닛을 포함하는 테스트 핸들러
KR20090085742A (ko) * 2008-02-05 2009-08-10 에버테크노 주식회사 스택커
US20090262609A1 (en) * 2008-04-18 2009-10-22 Seiko Epson Corporation Disc transportation mechanism and disk processing device
KR20100000270A (ko) 2008-06-24 2010-01-06 세크론 주식회사 커스터머 트레이 이송 유닛 및 커스터머 트레이 이송유닛을 포함하는 테스트 핸들러
KR20110113267A (ko) * 2010-04-09 2011-10-17 세크론 주식회사 트레이 이송 방법, 이를 적용한 트레이 이송 장치 및 테스트 핸들러

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5207727A (en) * 1990-07-06 1993-05-04 Rapsco Incorporated Can end handling system
KR20000065747A (ko) * 1999-04-08 2000-11-15 정문술 번인 테스터용 소팅 핸들러의 빈 트레이 적재스택커
WO2004086495A1 (ja) * 2003-03-27 2004-10-07 Hirata Corporation ワークハンドリング装置
KR20090081723A (ko) * 2008-01-25 2009-07-29 세크론 주식회사 커스터머 트레이 이송 유닛, 커스터머 트레이 이송 방법 및커스터머 트레이 이송 유닛을 포함하는 테스트 핸들러
KR20090081720A (ko) * 2008-01-25 2009-07-29 세크론 주식회사 커스터머 트레이 이송 방법, 커스터머 트레이 이송 유닛 및커스터머 트레이 이송 유닛을 포함하는 테스트 핸들러
KR20090085742A (ko) * 2008-02-05 2009-08-10 에버테크노 주식회사 스택커
US20090262609A1 (en) * 2008-04-18 2009-10-22 Seiko Epson Corporation Disc transportation mechanism and disk processing device
KR20100000270A (ko) 2008-06-24 2010-01-06 세크론 주식회사 커스터머 트레이 이송 유닛 및 커스터머 트레이 이송유닛을 포함하는 테스트 핸들러
KR20110113267A (ko) * 2010-04-09 2011-10-17 세크론 주식회사 트레이 이송 방법, 이를 적용한 트레이 이송 장치 및 테스트 핸들러

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102627016B1 (ko) * 2022-09-26 2024-01-19 에스에스오트론 주식회사 반도체 칩의 트레이 이송장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR102312864B1 (ko) 2021-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100545659C (zh) 测试芯片座
US7535214B2 (en) Apparatus for testing system-in-package devices
KR100747078B1 (ko) 반송장치 및 전자부품 핸들링 장치
US9244119B2 (en) Apparatus for testing a semiconductor package
CN107452666B (zh) 顶杆组件和具有该顶杆组件的裸芯顶出装置
KR102247033B1 (ko) 다이 본딩 장치
US5920192A (en) Integrated circuit transporting apparatus including a guide with an integrated circuit positioning function
TWI373623B (en) Apparatus for testing system-in-package (sip) devices
KR101532952B1 (ko) 테스트핸들러용 인서트 및 조작장치
KR20170000929A (ko) 커스터머 트레이 언로딩 유닛
US7489156B2 (en) Method for testing micro SD devices using test circuits
KR101162923B1 (ko) 트레이 이송 방법, 이를 적용한 트레이 이송 장치 및 테스트 핸들러
KR100957561B1 (ko) 커스터머 트레이 이송 유닛 및 커스터머 트레이 이송유닛을 포함하는 테스트 핸들러
KR20090086956A (ko) 트레이 반송장치 및 이를 구비한 전자부품 시험장치
KR20150092503A (ko) 테스트핸들러
JPWO2008142752A1 (ja) トレイ格納装置及び電子部品試験装置
US7489155B2 (en) Method for testing plurality of system-in-package devices using plurality of test circuits
US20080252318A1 (en) Method for testing micro sd devices using each test circuits
US20080252321A1 (en) Apparatus for testing micro SD devices
US20080252320A1 (en) Apparatus for testing micro SD devices
JP3379077B2 (ja) Ｉｃ試験装置
US7545158B2 (en) Method for testing system-in-package devices
KR20170000932A (ko) 커스터머 트레이 로딩 유닛
US7518356B2 (en) Apparatus for testing system-in-package devices
US7514914B2 (en) Test circuits of an apparatus for testing system-in-package devices

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant