JPH0982779A

JPH0982779A - 搬送機構及びこの搬送機構を有する検査装置

Info

Publication number: JPH0982779A
Application number: JP7262573A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Ariga; 剛有賀
Original assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Yamanashi Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Yamanashi Ltd
Priority date: 1995-09-14
Filing date: 1995-09-14
Publication date: 1997-03-28

Abstract

(57)【要約】【目的】テストヘッドにおいて被検査体の検査を行っ
ている間に次に検査すべき被検査体を搬送し、テスタを
連続的に稼働させ、その稼働効率を向上させることがで
きる搬送機構を提供する。【構成】本搬送機構２３は、デバイスＤのロード、ア
ンロード領域と、デバイスＤの電気的検査を行う第１テ
ストヘッド２１との間でデバイスＤを搬送する搬送機構
において、デバイスＤを交互に搬送する第１、第２搬送
部２３３、２３４と、第１、第２搬送部２３３、２３４
を交互に切り替えて連結する切替機構２３５と、この切
替機構２３５をロード、アンロード領域と第１テストヘ
ッド２１の間で往復移動させるＹ方向ボールネジ２３１
と、このＹ方向ボールネジ２３１を介して移動する第
１、第２搬送部２３３、２３４を検出するポジションセ
ンサ２３６と、このポジションセンサ２３６の検出結果
に基づいて第１、第２搬送部２３３、２３４の移動量を
検出する移動量検出手段とを有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、搬送機構及びこの搬送
機構を有する検査装置に関し、例えばパッケージングさ
れた論理回路素子などの被検査体の電気的特性検査を行
なう場合に好適に用いられる搬送機構及びこの搬送機構
を有する検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】パッケージングされたデバイスは、製品
として出荷する前に電気的特性について検査を行なう
が、例えばリード端子のピッチが比較的広い場合には、
この種の検査を行なう検査装置としてハンドラー、テス
トヘッド及びテスタを備えた検査装置が用いられる。そ
して、ハンドラーによりデバイスをテストヘッドのソケ
ットへ自動的に搬送して装着し、ソケットを介してデバ
イスのリード端子とテストヘッドとの電気的接触を図
り、テスタによりデバイスの電気的特性検査を行ない、
検査後にはその検査結果に基づいてハンドラーを用いて
デバイスを分類収納するようにしてある。このような検
査装置として例えば１台のテストヘッドに対して１台の
ハンドラーを備えた図５に示すものがある。

【０００３】図５に示す検査装置の場合には、その一側
（同図の上側）に複数のトレイＴを載置するトレイ載置
部１Ａ〜１ＤがＸ方向に配設され、これらのトレイ載置
部１Ａ〜１Ｄの上方にローダ２及びアンローダ３が配設
されている。例えばトレイ載置部１Ａには検査前の未検
査デバイスＤを行列状に収納するトレイＴを載置し、ト
レイ載置部１Ｂにはトレイ載置部１Ａで発生する空トレ
イあるいはトレイ載置部１Ｃ、１Ｄへ供給する予備トレ
イを載置し、トレイ載置部１Ｃ、１Ｄには検査後のデバ
イスＤを行列状に収納するトレイＴを載置する。また、
ローダ２は、トレイ載置部１ＡのトレイＴ上の４個のデ
バイスＤを同時に吸着保持して予備加熱部４へ搬送し、
ここで予備加熱されたデバイスＤを搬送領域内に配設さ
れた供給用整列部５へ移載する。供給用整列部５内に配
列されたデバイスＤは搬送機構６により４個のデバイス
Ｄを同時に吸着保持して検査位置へ搬送する。この検査
位置にはテストヘッド７のソケット７Ａが配設され、搬
送機構６により搬送されたデバイスＤを１個ずつあるい
は２個同時にソケット７Ａへ装着し、テストヘッド７を
介してデバイスＤの電気的特性を検査する。搬送機構６
は、検査後のデバイスＤをアンローダ３の駆動領域内に
配設された収納用整列部８へ搬送する。また、アンロー
ダ３は、収納用整列部８内のデバイスＤを４個同時に吸
着保持し、トレイ載置部１Ｃ、１ＤのトレイＴ上に検査
結果に応じて分類搬送する。尚、上述の供給用整列部５
はソケット７Ａに対してデバイスＤの位置が正確になる
ように位置決めするためのものであり、収納用整列部８
はトレイＴ内にデバイスＤが確実に納まるように位置決
めするためのものである。

【０００４】ところで、上述した従来の搬送機構を具備
した検査装置を用いて検査のスループットを向上させる
ためにはインデックスタイム（検査が終了した時点から
被検査体を搬出し、次の未検査の被検査体が搬入され、
検査が開始されるまでの時間）を短縮する必要がある。
そのため、従来の搬送機構の場合には上述のように例え
ば４個のデバイスＤを同時に搬送し、デバイス１個当り
の搬送時間を短縮することによりインデックスタイムの
短縮を図っている。

【０００５】また、テスタに２台のテストヘッド７を設
け、両テストヘッド７に対して１台の搬送機構で対応し
た検査装置もある。この場合には、２台のテストヘッド
７に対して１台の搬送機構によってデバイスを同時に搬
送し、２台のテストヘッドにより同時に並行して検査を
行い、一度の検査数量を多くし、デバイス１個当たりの
検査時間を短縮するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
搬送機構の場合には、テストヘッドにおいてデバイスＤ
を検査する度毎にローダ及びアンローダとテストヘッド
７の間を往復搬送するようにしてあるため、テストヘッ
ドにおいてデバイスＤの検査を行なっている間は搬送機
構によってデバイスＤを搬送することができず、その往
復搬送時間がそのままテスタの遊びに繋り、テスタの稼
働率が低下するという課題があった。

【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、テストヘッドにおいて被検査体の検査を行
っている間に次に検査すべき被検査体を搬送し、テスタ
を連続的に稼働させ、その稼働効率を向上させることが
できる搬送機構及びこの搬送機構を有する検査装置を提
供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の搬送機構は、被検査体のロード、アンロード領域と、
被検査体の電気的検査を行うテストヘッドとの間で被検
査体を搬送する搬送機構において、上記搬送機構は、被
検査体を交互に搬送する第１、第２搬送手段と、第１、
第２搬送手段を交互に切り替えて連結する切替手段と、
この切替手段を上記ロード、アンロード領域と上記テス
トヘッドの間で往復移動させる第１駆動手段と、この第
１駆動手段を介して移動する第１、第２搬送手段を検出
する物体検出手段と、この物体検出手段の検出結果に基
づいて第１、第２搬送手段の移動量を検出する移動量検
出手段とを有するものである。

【０００９】また、本発明の請求項２に記載の搬送機構
は、請求項１に記載の発明において、第１、第２搬送手
段は、被検査体を保持する保持体と、この保持体を上記
切替手段の移動方向と直交する方向へ移動させる第２駆
動手段と、この第２駆動手段を上記切替手段の移動方向
へ移動案内するガイドレールとを有するものである。

【００１０】また、本発明の請求項３に記載の検査装置
は、検査前後の被検査体をロード、アンロードするロー
ダ及びアンローダと、これらのローダ及びアンローダを
介して検査前後の被検査体をロード、アンロードする、
Ｘ方向で隣接し同方向で移動可能な第１、第２整列部
と、この第１、第２整列部からＹ方向へ離隔した検査位
置に配設されたテストヘッドと、このテストヘッドと上
記各整列部との間で検査前後の上記被検査体を搬送する
搬送機構とを備え、上記被検査体を上記テストヘッドに
電気的に接触させて電気的特性検査を行なう検査装置に
おいて、上記搬送機構は、被検査体を交互に搬送する第
１、第２搬送手段と、第１、第２搬送手段を交互に切り
替えて連結する切替手段と、この切替手段を上記ロー
ド、アンロード領域と上記テストヘッドの間で往復移動
させる第１駆動手段と、この第１駆動手段を介して移動
する第１、第２搬送手段を検出する物体検出手段と、こ
の物体検出手段の検出結果に基づいて第１、第２搬送手
段の移動量を検出する移動量検出手段とを有するもので
ある。

【００１１】

【作用】本発明の請求項１及び請求項３に記載の発明に
よれば、検査装置のテストヘッドにおいて被検査体を検
査する場合には、搬送機構の切替手段が第１搬送手段に
連結した後、第１駆動手段を介して第１搬送手段がロー
ダ領域へ移動すると、物体検出手段が第１搬送手段を検
出し、この検出結果に基づいて移動量検出手段が第１搬
送手段の所定の移動量を検出する。この検出結果に基づ
いて第１搬送手段がローダ領域で停止し、ローダ領域か
ら被検査体を取り出してテストヘッドへ搬送する。この
移動時に、物体検出手段及び移動量検出手段の検出結果
に基づいて第１搬送手段がテストヘッドまで正確に移動
し、被検査体をテストヘッドに電気的に接触させて装着
し、テストヘッドにおいて被検査体の電気的特性の検査
を行なう。この間に搬送機構の切替手段が駆動して第１
搬送手段から第２搬送手段へ切り替わって第２搬送手段
と連結し、第２搬送手段が切替手段を介して第１搬送手
段の場合と同様にしてローダ領域まで移動し、ローダ領
域から被検査体を取り出してテストヘッドへ搬送して次
の検査まで待機する。テストヘッドでの被検査体の電気
的検査が終了すると、搬送機構の第１搬送手段によって
検査後の被検査体を取り出した後、第２搬送手段が被検
査体をテストヘッドに装着し、被検査体の電気的特性の
検査を行なう。この時、第１搬送手段はテストヘッドか
ら検査後の被検査体を取り出してアンローダ領域へ引き
渡した後、ローダ領域から次の未検査の被検査体を取り
出し、テストヘッドまで搬送して待機する。この間にロ
ーダ領域では未検査の被検査体を準備し、アンローダで
は検査済みの被検査体をアンロードする。このようにし
てテストヘッドにおいて被検査体の電気的検査を連続的
に行い、テスタを連続的に稼働させることができる。

【００１２】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、請求項１に記載の発明において、上記搬送機構
は、第１、第２搬送手段は、被検査体を保持する保持体
と、この保持体を上記切替手段の移動方向と直交する方
向へ移動させる第２駆動手段と、この第２駆動手段を上
記切替手段の移動方向へ移動案内するガイドレールとを
有するため、第１、第２搬送手段は各保持体によって被
検査体を保持し、各保持体がガイドレールに従って移動
すると共に第２駆動手段により各保持体を切替手段の移
動方向と直交する方向へ移動させて被検査体を所定の位
置へ正確に搬送することができる。

【００１３】

【実施例】以下、図１〜図４に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例では被検査体としてパッケー
ジングされた半導体回路デバイス（以下、単に「デバイ
ス」と称す。）を検査する検査装置及びその搬送機構に
ついて説明する。図１に示すように本実施例の検査装置
１０の一側にはデバイスＤを載置する載置領域１１がＸ
方向に細長に形成されている。この細長形状の載置領域
１１には例えば６箇所のトレイ載置部１１Ａ〜１１Ｆが
Ｘ方向に並んで配設され、各トレイ載置部１１Ａ〜１１
Ｆにはそれぞれ複数のトレイＴ（図２参照）が収納でき
るようにしてある。各トレイＴ内には複数のデバイスＤ
を行列状に収納する凹陥部が形成されている。そして、
例えば右側のトレイ載置部１１Ａ、１１Ｂには未検査の
デバイスＤを載置し、中央部のトレイ載置部１１Ｃには
トレイ載置部１１Ａ、１１Ｂで発生した空トレイあるい
は左側のトレイ載置部１１Ｄ〜１１Ｆへ供給する予備ト
レイを載置し、左側のトレイ載置部１１Ｄ〜１１Ｆには
検査後のデバイスＤを検査結果に基づいて分類して載置
するようにしてある。

【００１４】更に、各トレイ載置部１１Ａ〜１１Ｆには
図示しない昇降機構が配設され、この昇降機構によりト
レイＴを適宜の位置まで昇降するようにしてある。ま
た、各トレイ載置部１１Ａ〜１１Ｆの上方には各トレイ
載置部１１Ａ〜１１Ｆ上のトレイＴを交互に移載するト
レイ移載機構１２が配設され、例えばトレイ載置部１１
Ａ上のトレイＴが空になった時には、検査後のデバイス
Ｄを収納すべき他のトレイ載置部１１Ｄ〜１１Ｆあるい
はトレイ載置部１１Ｃへ移載するようにしてある。この
トレイ移載機構１２は、例えばトレイＴを真空吸着する
吸着保持体１２Ａと、この吸着保持体１２Ａを載置領域
１１のＸ方向全長に亘って移動させるＸ方向駆動機構１
２Ｂとを有している。このＸ方向駆動機構１２Ｂは例え
ばボールネジあるいはベルトなどの駆動機構によって構
成されている。

【００１５】上記載置領域１１のＹ方向内側には第１予
備加熱部１３と第２予備加熱部１４が互いにＹ方向に隣
接して配設され、更に、第２予備加熱部１４には第１整
列部である供給用整列部１５がＸ方向で隣接し、第１予
備加熱部１３には収納用整列部１６としてＸ方向で隣接
している。各予備加熱部１３、１４はＸ方向に横長に形
成され、各整列部１５、１６はＹ方向に縦長に形成され
ている。また、第１予備加熱部１３と収納用整列部１６
は例えばモータ（図示せず）によってボールネジ１７を
介して一体的にＸ方向のガイドレール１７Ａに従って往
復移動し、第２予備加熱部１４及び供給用整列部１５は
モータ（図示せず）によってボールネジ１８を介して一
体的にＸ方向のガイドレール１８Ａに従って往復移動
し、デバイスＤの位置決めを行うようにしてある。各予
備加熱部１３、１４と、各整列部１５、１６には凹陥部
が行列状に形成され、それぞれの凹陥部にデバイスＤを
収納するようにしてある。そして、デバイスＤの種類に
よって検査に際し、予備加熱する必要がある場合には各
予備加熱部１３、１４において予備加熱し、予備加熱の
必要がなければ、載置領域１１から供給用整列部１５へ
直接移載するようにしてある。

【００１６】また、図１、図２に示すように、上記トレ
イ載置部１１Ａ、１１Ｂ、予備加熱部１３及び各整列部
１５、１６の移動領域上方にはデバイスＤを４個ずつ吸
着保持し、これらの間でデバイスＤを搬送するローダ１
９が配設され、また、トレイ載置部１１Ｅ、１１Ｆ及び
各整列部１５、１６の移動領域の上方にはデバイスＤを
４個ずつ吸着保持してこれらの間でデバイスＤを搬送す
るアンローダ２０が配設されている。これら両者１９、
２０はそれぞれの領域でＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動できる
ようにしてある。即ち、ローダ１９は、図１、図２に示
すように、４個の未検査デバイスＤを同時に吸着保持し
且つＺ方向で昇降する吸着保持体１９Ａと、この吸着保
持体１９ＡをＸ方向へ移動させるＸ方向駆動機構１９Ｂ
と、このＸ方向駆動機構１９Ｂが外端で連結され且つこ
れをＹ方向へ移動させるＹ方向駆動機構１９Ｃとを備
え、吸着保持体１９ＡがＸ、Ｙ、Ｚ方向で往復移動する
ようになっている。また、アンローダ２０は、図１、図
２に示すように、検査後のデバイスＤを４個同時に吸着
保持し且つＺ方向で昇降する吸着保持体２０Ａと、この
吸着保持体２０ＡをＸ方向へ移動させるＸ方向駆動機構
２０Ｂと、このＸ方向駆動機構２０Ｂが外端で連結され
且つこれをＹ方向へ移動させるＹ方向駆動機構２０Ｃと
を備え、吸着保持体２０ＡがＸ、Ｙ、Ｚ方向で往復移動
するようになっている。

【００１７】また、図１に示すように予備加熱部１４及
び供給用整列部１５のＹ方向奥側には第１、第２テスト
ヘッド２１、２２が２台配設されている。第１テストヘ
ッド２１にはデバイスＤと電気的に接触するソケット２
１Ａが配設され、第２テストヘッド２２にはデバイスＤ
と電気的に接触するソケット２２Ａが配設されている。
各ソケットはデバイスＤのリード端子（図示せず）と電
気的に接触し、デバイスＤの電気的特性検査を行なうよ
うにしてある。そして、検査前デバイスＤを供給用整列
部１５から各テストヘッド２１、２２へ搬送し、検査後
のデバイスＤを各テストヘッド２１、２２から収納用整
列部１６へ搬送する場合には次に説明する本実施例の第
１、第２搬送機構２３、２４が用いられる。

【００１８】本実施例の第１、第２搬送機構２３、２４
は、図１、図３に示すように、検査装置１０内の上部に
配設されている。第１搬送機構２３は、上記各整列部１
５、１６の移動領域から第１テストヘッド２１の検査位
置に亘って配設され、上記各整列部１５、１６と第１テ
ストヘッド２１間でデバイスＤを搬送し、第２搬送機構
２４は、上記各整列部１５、１６の移動領域から第２テ
ストヘッド２２の検査位置に亘って配設され、上記各整
列部１５、１６と第２テストヘッド２２間でデバイスＤ
を搬送するようにしてある。しかも、第１、第２搬送機
構２３、２４は同一構造を有し、左右対称に配置されて
いる。以下の説明では、主として第１搬送機構２３につ
いて説明し、第２搬送機構２４には第１搬送機構２３に
相当する符号を付してその説明は省略する。

【００１９】第１搬送機構２３は、図３の（ａ）、
（ｂ）に示すようにＹ方向駆動機構例えばＹ方向ボール
ネジ２３１と、Ｙ方向ボールネジ２３１に螺合するナッ
ト部材２３２とを備えている。このボールネジ２３１の
両側に第１、第２搬送部２３３、２３４が配置されてい
る。第１、第２搬送部２３３、２３４は、Ｙ方向ボール
ネジ２３１の両側に配設された第１、第２ガイドレール
２３３Ａ、２３４Ａと、各ガイドレール２３３Ａ、２３
４Ａと連結するＸ方向駆動機構例えばＸ方向ボールネジ
２３３Ｂ、２３４Ｂと、各Ｘ方向ボールネジ２３３Ｂ、
２３４Ｂに取付部材２３３Ｃ、２３４Ｃを介して取り付
けられた吸着保持体２３３Ｄ、２３４Ｄとを備え、各吸
着保持体２３３Ｄ、２３４ＤはＸ方向駆動機構例えばＸ
方向ボールネジ２３３Ａ、２３４Ａを介してそれぞれの
モータ２３３Ｅ、２３４ＥによってＸ方向へ往復移動す
るようにしてある。各取付部材２３３Ｃ、２３４Ｃの上
端にはＸ方向ボールネジ２３３Ｂ、２３４Ｂに螺合する
雌ネジ２３４Ｆ（図４参照）が形成されている。

【００２０】また、例えばＹ方向ボールネジ２３１に螺
合したナット部材２３２の下側には第１搬送部２３３と
第２搬送部２３４とを切り替える切替機構２３５が取り
付けられている。この切替機構２３５は、例えば一対の
エアシリンダを内蔵し、それぞれのシリンダロッド２３
５Ａ、２３５Ｂが左右へ突出し、第１、第２搬送部２３
３、２３４の板部材２３３Ｆ、２３４Ｆの孔（図示せ
ず）に嵌入しそれぞれと交互に連結するようにしてあ
る。従って、第１、第２搬送部２３３、２３４は、所定
のタイミングで切替機構２３５によって交互に切り替わ
ってＹ方向ボールネジ２３１を介してＹ方向へ交互に往
復移動するようにしてある。

【００２１】また、例えば各ガイドレール２３３Ａ、２
３４ＡのＹ方向の所定部位にはそれぞれ発光素子２３６
Ａと受光素子２３６Ｂなどからなるポジションセンサ２
３６が配設され、このポジションセンサ２３６によりガ
イドレール２３３Ａ、２３４Ａに従って移動する第１、
第２搬送部２３３、２３４を検出するようにしてある。
そして、ポジションセンサ２３６による第１、第２搬送
部２３３、２３４の検出位置がそれぞれのＹ方向での基
準位置になるようにしてある。また、基準位置からの第
１、第２搬送部２３３、２３４のＹ方向移動距離はＹ方
向ボールネジ２３１の回転数によって制御するようにし
てある。図示してないがＹ方向ボールネジ２３１の回転
数は回転検出器により検出され、更に、この検出値はＡ
／Ｄコンバータによってデジタル化され、このデジタル
信号を制御装置において予めソフト的に設定されたＹ方
向移動量と比較するようにしてある。そして、この比較
結果が一致した時にＹ方向ボールネジ２３１が停止する
ようにしてある。つまり、ポジションセンサ２３６によ
る検出位置を基準にして第１、第２搬送部２３３、２３
４の検査位置までの距離、あるいは各整列部１５、１６
までの距離を回転検出器により正確に検出し、この検出
値に基づいて図示しない制御装置において各搬送部２３
３、２３４のＹ方向移動距離を算出し、所定の設定値と
比較し、Ｙ方向移動距離を制御するようにしてある。

【００２２】更に吸着保持体について図４を参照しなが
ら詳述すると、例えば第２搬送部２３４の吸着保持体２
３４Ｄは、同図に示すように、例えば上下方向に並設さ
れた２つのエアシリンダ２３４ａと、各エアシリンダ２
３４ａにより上下動するシリンダロッド２３４ｂと、各
シリンダロッド２３４ｂの下端にそれぞれ取り付けられ
た吸着体２３４ｃとを備えている。そして、各エアシリ
ンダ２３４ａは上端面において連結板２３４ｄによって
連結されている。吸着体２３４ｃは、下面に真空吸着用
の吸引孔が形成された吸着面を有すると共にヒータを内
蔵している。更に、第１テストヘッド２１のソケット２
１Ａの中間真上には図３の（ａ）、（ｂ）及び図４に示
すようにエアシリンダ２３４ａを下方へ押し下げる押圧
機構２５が配設されている。この押圧機構２５は上下方
向で移動するロッド２５Ａを有し、このロッド２５Ａに
よって連結部材２３４ｄによって一体化した吸着保持体
２３４Ｄをソケット２１Ａへ押し下げ、それぞれで保持
したデバイスＤをソケット２１Ａに装着し、これら両者
Ｄ、２１Ａが電気的に接触するようにしてある。また、
第２搬送部２３４は、図示しないバネ部材等からなる付
勢機構を有し、上記押圧機構２５のロッド２５Ａが上昇
してエアシリンダ２３４ａから離れると、付勢機構によ
り吸着保持体２３４Ｄを元の高さまで戻すようにしてあ
る。

【００２３】次に動作について説明する。まず、未検査
デバイスＤが配列されたトレイＴを載置領域１１の例え
ばトレイ載置部１１Ａ、１１Ｂへ搬入する。すると、ロ
ーダ１９の吸着保持体１９ＡがＸ、Ｙ方向駆動機構１９
Ｂ、１９Ｃを介して移動してトレイＴ上の４個の未検査
デバイスＤを同時に吸着保持し、予熱が必要なデバイス
Ｄの場合には予備加熱部１３、１４へ搬送し、予備加熱
部１３、１４内へデバイスＤを行列状に配列する。予備
加熱部１３、１４においてデバイスＤを所定の温度で予
備加熱すると、ローダ１９が駆動して予備加熱後のデバ
イスＤを予備加熱部１３、１４から供給用整列部１５へ
順次搬送し、凹陥部内へデバイスＤを配列する。この
時、供給用整列部１５は、所定のＸ、Ｙ座標に位置決め
されている。一方、第１、第２搬送機構２３、２４では
それぞれの切替機構２３５、２４５のシリンダロッド２
３５Ａ、２４５Ａが突出して第１搬送部２３３、２４３
と連結した後、Ｙ方向ボールネジ２３１、２４１が回転
駆動し、それぞれの第１搬送部２３３、２４３がポジシ
ョンセンサ２３６、２４６による検出位置から所定の距
離だけ移動すると共に、Ｘ方向ボールネジ２３３Ｂ、２
４３Ｂを介して吸着保持体２３３Ｄ、２４３ＤがＸ方向
へ移動し、吸着保持体２３３Ｄ、２４３Ｄが供給整列部
１５へ到達し、そこでデバイスＤを２個ずつ取り出す。

【００２４】その後、第１、第２搬送機構２３、２４の
第１搬送部２３３、２４３がＹ方向ボールネジ２３１、
２４１を介してガイドレール２３３Ａ、２４３Ａに従っ
て移動し、その途中で第１搬送部２３３、２４３がポジ
ションセンサ２３６、２４６を通過し、ポジションセン
サ２３６、２４６の検出位置から所定の距離だけ移動す
ると共に、Ｘ方向ボールネジ２３３Ｂ、２４３Ｂを介し
て吸着保持体２３３Ｄ、２４３ＤがＸ方向へ移動し、吸
着保持体２３３Ｄ、２４３Ｄが第１、第２テストヘッド
２１、２２のソケット２１Ａ、２２Ａの真上で停止す
る。

【００２５】第１搬送部２３３、２４３が停止すると共
に押圧機構２５が駆動してロッド２５Ａにより吸着保持
体２３３Ｄ、２４３Ｄを押し下げ、それぞれで保持した
デバイスＤを第１、第２テストヘッド２１、２２のソケ
ット２１Ａ、２２Ａに装着する。テスタは第１ソケット
２１Ａ、２２Ａを介してデバイスＤの電気的検査を行
う。その後、押圧機構２５のロッド２５Ａが上昇する
と、各吸着保持体２３３Ｄ、２４３Ｄが元の位置に復帰
する。一方、第１、第２搬送機構の２３、２４の第２搬
送部２３４、２４４は、ソケット２１Ａ、２２Ａでの検
査が終了するまでにポジションセンサ２３６、２４６の
検出値及び回転数検出器の検出値に基づいて移動して次
の未検査デバイスＤを供給整列部１５から第１、第２テ
ストヘッド２１、２２のソケット２１Ａ、２２Ａの近傍
へ搬送し、次の検査に備える。

【００２６】第１搬送部による検査が終了すると、ソケ
ット２１Ａ、２２Ａの近傍で待機していた第２搬送部が
第１搬送部と入れ替わりにソケット２１Ａ、２２Ａにデ
バイスＤを装着して電気的検査を行う。第１搬送部２３
３、２４３はＹ方向へ移動すると共に吸着保持体２３３
Ｄ、２４３ＤがＸ方向へ移動し、この間に制御装置では
ポジションセンサ２３６、３２４６の検出値に基づいて
Ｙ方向の移動距離を算出する。その結果、吸着保持体２
３３Ｄ、２４３Ｄは収納用整列部１６の収納位置へ到達
してそれぞれのデバイスＤを収納する。更に、第１搬送
部２３３、２４３は供給用整列部１５から次の未検査デ
バイスＤを受け取って第１ソケット２１Ａ、２２Ａの近
傍へ搬送し、第２搬送部での検査が終了するまで待機す
る。この間に、ローダ１９は予備加熱部１３、１４の未
検査デバイスＤを供給用整列部１５へ順次補充すると共
に、アンローダ２０は収納用整列部１６内のデバイスＤ
をその検査内容に応じて分類し、トレイ載置部１１Ｅ、
１１Ｆのいずれかへ収納する。

【００２７】尚、検査済みの同一種のデバイスＤの中に
は、所望通りの機能を有する完全なものもあれば、所望
の機能を有しないがデバイスＤとしては機能を落として
使用し得るもの、あるいは製品として使用できないもの
もあるため、これらをアンローダ２０により分類してそ
れぞれ予め設定されたトレイ載置部へ収納するようにし
てある。

【００２８】以上説明したように本実施例によれば、検
査装置１０の第１、第２搬送機構２３、２４は、デバイ
スＤを交互に搬送する第１搬送部２３３、２４３及び第
２搬送部２３４、３４４と、第１搬送部２３３、２４３
と第２搬送部２３４、３４４を交互に切り替えて連結す
る切替機構２３５、２４５と、この切替機構２３５、２
４５を供給用整列部１５、収納用整列部１６と第１、第
２テストヘッド２１、２２の間で往復移動させるＹ方向
ボールネジ２３１、２４１と、これらのＹ方向ボールネ
ジ２３１、２４１を介して移動する第１搬送部２３３、
２４３または第２搬送部２３４、３４４を検出するポジ
ションセンサ２３６、２４６と、これらのポジションセ
ンサ２３６、２４６の検出結果に基づいて第１搬送部２
３３、２４３または第２搬送部２３４、３４４の移動量
を検出する回転数検出器とを有するため、テストヘッド
において被検査体の検査を行っている間に次に検査すべ
き被検査体を搬送し、テスタを続的に稼働させ、その稼
働効率を向上させることができる。

【００２９】また、本実施例によれば、第１搬送部２３
３、２４３及び第２搬送部２３４、２４４は、デバイス
Ｄを保持する吸着保持体２３３Ｄ、２４３Ｄ及び２３４
Ｄ、２４４Ｄと、各吸着保持体２３３Ｄ、２４３Ｄ及び
２３４Ｄ、２４４ＤをＸ方向で移動させるＸ方向ボール
ネジ２３３Ｂ、２４３Ｂ及び２３４Ｂ、２４４Ｂと、各
Ｘ方向ボールネジ２３３Ｂ、２４３Ｂ及び２３４Ｂ、２
４４ＢをＹ方向へ案内するガイドレール２３３Ａ、２４
３Ａ及び２３４Ａ、２４４Ａとを有するため、各吸着保
持体によりデバイスＤを吸着保持して各ボールネジによ
り正確に移動させて所望の位置へ搬送することができ
る。

【００３０】尚、上記実施例では第１、第２搬送機構の
Ｘ、Ｙ方向の駆動機構としてそれぞれボールネジを用い
たものについて説明したが、本発明に用いられる駆動機
構は被検査体をＸ、Ｙ方向へ搬送できる駆動機構であれ
ば、例えばベルト機構などであっても良い。また、Ｚ方
向の駆動機構としてはエアシリンダ以外のものを用いて
も良い。

【００３１】要は、本発明の搬送機構の場合には、被検
査体を交互に搬送する第１、第２搬送手段と、第１、第
２搬送手段を交互に切り替えて連結する切替手段と、こ
の切替手段を上記ロード、アンロード領域と上記テスト
ヘッドの間で往復移動させる第１駆動手段と、この第１
駆動手段を介して移動する第１、第２搬送手段を検出す
る物体検出手段と、この物体検出手段の検出結果に基づ
いて第１、第２搬送手段の移動量を検出する移動量検出
手段とを有するものであれば良く、各構成要素は必要に
応じて適宜設計変更し、種々の機械的、電気的構成を採
用することができる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように請求項１及び請求項
２に記載の発明によれば、被検査体を交互に搬送する第
１、第２搬送手段と、第１、第２搬送手段を交互に切り
替えて連結する切替手段と、この切替手段を上記ロー
ド、アンロード領域と上記テストヘッドの間で往復移動
させる第１駆動手段と、この第１駆動手段を介して移動
する第１、第２搬送手段を検出する物体検出手段と、こ
の物体検出手段の検出結果に基づいて第１、第２搬送手
段の移動量を検出する移動量検出手段とを有するため、
テストヘッドにおいて被検査体の検査を行っている間に
次に検査すべき被検査体を搬送し、テスタを続的に稼働
させ、その稼働効率を向上させることができる搬送機構
を提供することができる。

【００３３】また、請求項３に記載の発明によれば、検
査前後の被検査体をロード、アンロードするローダ及び
アンローダと、これらのローダ及びアンローダを介して
検査前後の被検査体をロード、アンロードする、Ｘ方向
で隣接し同方向で移動可能な第１、第２整列部と、この
第１、第２整列部からＹ方向へ離隔した検査位置に配設
されたテストヘッドと、このテストヘッドと上記各整列
部との間で検査前後の上記被検査体を搬送する搬送機構
とを備え、上記被検査体を上記テストヘッドに電気的に
接触させて電気的特性検査を行なう検査装置において、
上記搬送機構は、被検査体を交互に搬送する第１、第２
搬送手段と、第１、第２搬送手段を交互に切り替えて連
結する切替手段と、この切替手段を上記ロード、アンロ
ード領域と上記テストヘッドの間で往復移動させる第１
駆動手段と、この第１駆動手段を介して移動する第１、
第２搬送手段を検出する物体検出手段と、この物体検出
手段の検出結果に基づいて第１、第２搬送手段の移動量
を検出する移動量検出手段とを有するため、テストヘッ
ドにおいて被検査体の検査を行っている間に次に検査す
べき被検査体を搬送し、テスタを続的に稼働させ、その
稼働効率を向上させる検査装置を提供することができる

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を概念的に示す平
面図である。

【図２】図１に示す検査装置の要部を示す斜視図であ
る。

【図３】本実施例の搬送機構の先端部を示す図で、
（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。

【図４】図３に示す搬送機構の搬送部を示す斜視図であ
る。

【図５】従来の搬送機構が適用された検査装置の一例を
示す平面図である。

【符号の説明】

１０検査装置１９ローダ２０アンローダ２１第１テストヘッド２３第１搬送機構２３Ｃ吸着保持体２３１Ｙ方向のボールネジ（第１駆動手段）２３３ＢＸ方向のボールネジ（第２駆動手段）２３３Ｄ吸着保持体２３３第１搬送部（第１搬送手段）２３４第２搬送部（第２搬送手段）２３５切替機構（切替手段）２３６ポジションセンサ（物体検出手段）２３３Ａガイドレール２３４ＡガイドレールＤデバイス（被検査体）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体のロード、アンロード領域と、
被検査体の電気的検査を行うテストヘッドとの間で被検
査体を搬送する搬送機構において、被検査体を交互に搬
送する第１、第２搬送手段と、第１、第２搬送手段を交
互に切り替えて連結する切替手段と、この切替手段を上
記ロード、アンロード領域と上記テストヘッドの間で往
復移動させる第１駆動手段と、この第１駆動手段を介し
て移動する第１、第２搬送手段を検出する物体検出手段
と、この物体検出手段の検出結果に基づいて第１、第２
搬送手段の移動量を検出する移動量検出手段とを有する
ことを特徴とする搬送機構。
【請求項２】第１、第２搬送手段は、被検査体を保持
する保持体と、この保持体を上記切替手段の移動方向と
直交する方向へ移動させる第２駆動手段と、この第２駆
動手段を上記切替手段の移動方向へ移動案内するガイド
レールとを有することを特徴とする請求項１に記載の搬
送機構。
【請求項３】検査前後の被検査体をロード、アンロー
ドするローダ及びアンローダと、これらのローダ及びア
ンローダを介して検査前後の被検査体をロード、アンロ
ードする、Ｘ方向で隣接し同方向で移動可能な第１、第
２整列部と、この第１、第２整列部からＹ方向へ離隔し
た検査位置に配設されたテストヘッドと、このテストヘ
ッドと上記各整列部との間で検査前後の上記被検査体を
搬送する搬送機構とを備え、上記被検査体を上記テスト
ヘッドに電気的に接触させて電気的特性検査を行なう検
査装置において、上記搬送機構は、被検査体を交互に搬
送する第１、第２搬送手段と、第１、第２搬送手段を交
互に切り替えて連結する切替手段と、この切替手段を上
記ロード、アンロード領域と上記テストヘッドの間で往
復移動させる第１駆動手段と、この第１駆動手段を介し
て移動する第１、第２搬送手段を検出する物体検出手段
と、この物体検出手段の検出結果に基づいて第１、第２
搬送手段の移動量を検出する移動量検出手段とを有する
ことを特徴とする検査装置。