JP5916025B1 - 電気特性テスト装置 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 85
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 39
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 32
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 16
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 79
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 12
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 5
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
Description
(全体構成)
以下、本実施形態に係る電気特性テスト装置1について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1に示す電気特性テスト装置1は、高温環境下で電子部品D(図2参照)の電気特性を検査する。この電気特性テスト装置1は電子部品Dを搬送する搬送ユニット3を備える。搬送ユニット3は、其の外周囲に環状の搬送経路1aを形成している。電子部品Dを搬送経路1aに供給する供給ユニット4と、良品の電気部品Dを収容する収容ユニット8が、搬送ユニット3の外周囲に沿って離間して備えられ、搬送経路1a上に位置する。
このような電気特性テスト装置1の各構成を詳述する。まず、図4に示す供給ユニット4は、チューブ10から電子部品Dを取り出して搬送ユニット3に供給する。この供給ユニット4は、チューブエレベータ41、取出機構42、加熱シフトトレイ43、バッファシュート44及びターナー機構45を一列に連設している。チューブエレベータ41は、チューブ10のコンテナであり、コンテナ内のチューブ10を上昇させ、上部から取出機構42へ1本ずつチューブ10を排出する。
図6乃至8は、搬送ユニット3を示す図である。図6乃至8に示すように、搬送ユニット3は、回転テーブル32をベースとしてアーム33を介して吸着チャック31を円周等配位置に固定する。また搬送ユニット3は、回転テーブル32の中心から吸着チャック31までの半径を有する円と同心円上の複数角度位置に、ヒータ345が組み込まれ、位置不動の進退駆動装置34を備える。アーム33にはドーナツ状のチャンバ7の片側である内側隔壁板72が嵌め込まれている。アーム33は、回転テーブル32の外縁から吸着チャック31に至るまでにかけて、固定アーム331と昇降ガイド332と昇降アーム333を連接して成る。昇降アーム333は、断熱部334と連結部335を備えている。
図9に示すように、90度回転ユニット5は、吸着チャック31の下方に位置するステージ51と、ステージ51を90度回転させるモータ52を備えている。ステージ51は、上面が平坦で電子部品Dの載置平面となっている。この90度回転ユニット5は、ステージ51の周囲をヒーターブロック53で囲んで成る。ヒーターブロック53は、金属等の熱伝導素材で形成され、ヒータ54と接続されており、加熱されると、ステージ51上の電子部品Dに向けて輻射熱を放出する。
テストユニット2には、1サイクル毎に電子部品Dが搬送されてくる。但し、テストユニット2は、未測定の電子部品Dが全てのテストユニット2に揃ってから1度に測定処理を行う。すなわち、テストユニット2は、テストユニット2の配置数と同数のサイクル毎に1度の電気特性の測定を行う。図10に示すように、テストユニット2は、電子部品Dを載置する載置台23と、載置台23の電子部品Dから引出されるリード端子D1に対する通電接触子である上側クランプ測子21と下側クランプ測子22を有する。また、載置台23の近傍には、ヒータ24が配置され、測定中の電子部品Dを載置台23を介して保温している。
収容ユニット8は、図11に示すように、吸着チャック31の停止位置の直下に滑り台状のスライダ81を備え、スライダ81の終端にチューブ10を保持する。保持手段31が電子部品Dを離脱させると、電子部品Dはスライダ81を滑り降り、下に待ち構えたチューブ10に収容される。
分類ユニット6は、図12に示すように、吸着チャック31の停止位置の直下にシャトルレール61を延ばしている。シャトルレール61の片脇には、シャトルレール61と直交させ、複数本のチューブ10が並列している。チューブ10はシャトルレール61に開口10aを向ける。シャトルレール61には、シャトル62が自走可能に配置されている。シャトル62は上面が平坦な載置面となっている。シャトル62は、吸着チャック31から離脱した電子部品Dを乗せ、電子部品Dの良品の程度に対応したチューブ10の面前まで運搬し、チューブ10に滑落させる。
この電気特性テスト装置1の動作は次のとおりである。まず、供給ユニット4において、チューブエレベータ41は内部のチューブ10を上昇させ、上部から排出する。取出機構42は、チューブエレベータ41から排出されたチューブ10を傾斜させて開口10aを下方に向け、電子部品Dを加熱シフトトレイ43に向けて次々と滑落させていく。加熱シフトトレイ43は、滑落先に1列の空きレーン431を待機させ、チューブ10から滑落した電子部品Dを空きレーン431に収容していく。
以上のように、この電子特性テスト装置1は、搬送ユニット3とテストユニット2と90度回転ユニット5とを備える。搬送ユニット3は回転型であり、電子部品Dの環状の搬送経路1aを形成する搬送手段である。テストユニット2は、搬送経路1aの直下に設置され、電子部品Dの電気特性を測定する測定手段である。90度回転ユニット5は、搬送経路1aの直下に配置され、電子部品Dに対する他の処理を施す処理手段である。
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1a 搬送経路
2 テストユニット
21 上側クランプ測子
22 下側クランプ測子
23 載置台
24 ヒータ
3 搬送ユニット
31 吸着チャック
31a 頭部
31b 吸着面
32 回転テーブル
32a 空気圧回路の入口
33 アーム
331 固定アーム
332 昇降ガイド
333 昇降アーム
334 断熱部
335 連結部
34 進退駆動装置
341 回転モータ
342 カム
342a 小径範囲
342b 大径範囲
343 ロッド
345 ヒータ
4 供給ユニット
41 チューブエレベータ
42 取出機構
43 加熱シフトトレイ
431 レーン
432 プレート
433 ヒータ
434 シフト機構
44 バッファシュート
45 ターナー機構
5 90度回転ユニット
51 ステージ
52 モータ
53 ヒーターブロック
54 ヒータ
6 分類ユニット
61 シャトルレール
62 シャトル
7 チャンバ
71 外側隔壁板
72 内側隔壁板
8 収容ユニット
81 スライダ
10 チューブ
10a 開口
D 電子部品
D1 リード端子
Claims (11)
- 電子部品を高温にして電気特性を測定する電気特性テスト装置であって、
電子部品の環状の搬送経路を形成する回転型の搬送手段と、
前記搬送経路の直下に設置され、電子部品の電気特性を測定する測定手段と、
前記搬送経路の直下に配置され、電子部品に対する処理を施す処理手段と、
を備え、
前記搬送手段は、
円周方向に回転する回転テーブルと、
前記回転テーブルの外周に沿って設けられ、電子部品を保持する複数の保持手段と、
前記保持手段と前記回転テーブルとの間に介在して、前記保持手段を移動自在にするガイドと、
前記回転テーブルによって直下に移動してきた前記保持手段を押圧し、前記保持手段を前記測定手段及び前記処理手段へ向けて前記ガイドに沿って移動させる進退駆動手段と、
前記進退駆動手段に設けられ、前記進退駆動手段に接触した前記保持手段を加熱する保持手段用ヒータと、
を有すること、
を特徴とする電気特性テスト装置。 - 前記搬送手段は、
前記回転テーブルと前記保持手段とを繋ぎ、一部が相対的に小断面積となった連結手段を更に備えること、
を特徴とする請求項1記載の電気特性テスト装置。 - 前記連結手段は、
前記回転テーブルと前記保持手段との間に、少なくとも1本以上のバーを有し、
前記バーを含み、前記回転テーブルと前記保持手段を繋ぐこと、
を特徴とする請求項2記載の電気特性テスト装置。 - 前記連結手段は、
前記保持手段と前記ガイドとの間に配置され、
前記保持手段と共に移動すること、
を特徴とする請求項2又は3記載の電気特性テスト装置。 - 前記保持手段と前記ガイドとの間に前記保持手段と一対一で設けられ、対応の前記保持手段と前記回転テーブル側とを遮断する内側隔壁板を更に備え、
前記内側隔壁板は、前記保持手段と共に移動すること、
を特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の電気特性テスト装置。 - 前記搬送手段を外側から覆う円状の外側隔壁板を更に備え、
前記保持手段は、前記回転テーブルの外周囲に複数設けられ、
前記複数の保持手段の前記内側隔壁板と前記外側隔壁板とにより前記保持手段に対するドーナツ状のチャンバが形成されること、
を特徴とする請求項5記載の電気特性テスト装置。 - 前記保持手段と前記回転テーブルとの間に断熱材を更に備えること、
を特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の電気特性テスト装置。 - 前記断熱材は、
前記保持手段と前記ガイドとの間に配置され、
前記保持手段と共に移動すること、
を特徴とする請求項7記載の電気特性テスト装置。 - 前記搬送手段による電子部品の搬送前に電子部品を予め加熱する電子部品用ヒータを備えること、
を特徴とする請求項1乃至8の何れかに記載の電気特性テスト装置。 - 前記搬送手段に電子部品を供給する供給手段を備え、
前記電子部品用ヒータは、前記供給手段が有すること、
を特徴とする請求項9記載の電気特性テスト装置。 - 前記測定手段又は前記処理手段の少なくとも一方に電子部品を加熱する第2の電子部品用ヒータを備えること、
を特徴とする請求項9又は10記載の電気特性テスト装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015242080A JP5916025B1 (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 電気特性テスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015242080A JP5916025B1 (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 電気特性テスト装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5916025B1 true JP5916025B1 (ja) | 2016-05-11 |
JP2017106856A JP2017106856A (ja) | 2017-06-15 |
Family
ID=55951938
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015242080A Active JP5916025B1 (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 電気特性テスト装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5916025B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106908683A (zh) * | 2017-02-25 | 2017-06-30 | 内蒙古工业大学 | 一种多功能半导体电学性质快速测试装置及方法 |
JP7007677B1 (ja) | 2021-03-11 | 2022-02-10 | 上野精機株式会社 | 電子部品検査装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024121921A1 (ja) * | 2022-12-06 | 2024-06-13 | 株式会社Fuji | 測定装置 |
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JP2015105932A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-08 | 上野精機株式会社 | 電子部品搬送装置及び電子部品測定装置 |
-
2015
- 2015-12-11 JP JP2015242080A patent/JP5916025B1/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0982779A (ja) * | 1995-09-14 | 1997-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 搬送機構及びこの搬送機構を有する検査装置 |
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JP7007677B1 (ja) | 2021-03-11 | 2022-02-10 | 上野精機株式会社 | 電子部品検査装置 |
WO2022191126A1 (ja) * | 2021-03-11 | 2022-09-15 | 上野精機株式会社 | 電子部品検査装置 |
JP2022139164A (ja) * | 2021-03-11 | 2022-09-26 | 上野精機株式会社 | 電子部品検査装置 |
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---|---|
JP2017106856A (ja) | 2017-06-15 |
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A621 | Written request for application examination |
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