KR20130054787A - 반도체 테스트 장비 - Google Patents

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KR20130054787A
KR20130054787A KR1020110120378A KR20110120378A KR20130054787A KR 20130054787 A KR20130054787 A KR 20130054787A KR 1020110120378 A KR1020110120378 A KR 1020110120378A KR 20110120378 A KR20110120378 A KR 20110120378A KR 20130054787 A KR20130054787 A KR 20130054787A
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이상준
이영길
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삼성전자주식회사
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Abstract

안착 불량 문제를 해결하여, 반도체 소자의 품질을 향상시키고, 스루풋을 향상시킬 수 있는 반도체 테스트 장비가 제공된다. 상기 반도체 테스트 장비는 커스텀 트레이가 안착되는 플레이트; 상기 플레이트와 연결되어, 상기 플레이트를 이송시키는 이송기; 및 상기 플레이트의 이송 구간 중에 상기 플레이트를 진동시키는 진동기를 포함한다.

Description

반도체 테스트 장비{Semiconductor test apparatus}
본 발명은 반도체 테스트 장비에 관한 것이다.
테스트 핸들러(test handler)는 생산된 반도체 소자를 출하하기 전에 불량 여부를 테스트한 후, 테스트 결과에 따라 분류하는 장비이다.
여기서, 테스트를 받아야 하는 피테스트 소자는 커스텀 트레이(custom tray)에 수납되어 테스트 핸들러 내부로 로딩된다. 그 후, 피테스트 소자는 커스텀 트레이로부터 테스트 트레이(test tray)로 옮겨진다. 테스트 트레이로 옮겨진 피테스트 소자는 적어도 하나의 테스트를 받는다. 테스트가 완료된 피테스트 소자는, 테스트 트레이에서 커스텀 트레이로 옮겨진 후 언로딩된다.
전술한 것과 같이, 피테스트 소자는 커스텀 트레이에서 테스트 트레이로 옮겨지거나, 테스트 트레이에서 커스텀 트레이로 옮겨질 수 있다. 이와 같이 옮겨지는 과정에서, 여러가지 컨디션에 의해서, 피테스트 소자는 커스텀 트레이 또는 테스트 트레이의 정확한 포켓(pocket) 안에 안착되지 않을 수 있다. 즉, 안착 불량이 발생할 수 있다.
이러한 안착 불량은 테스트 핸들러의 다음 동작에 에러를 발생시키거나, 피테스트 소자의 품질 문제를 일으킬 수 있다. 또한, 안착 불량 여부를 확인하기 위해서는, 테스트 핸들러의 동작을 중지시켜야 하기 때문에 스루풋(throughput) 저하를 가져올 수도 있다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 안착 불량 문제를 해결하여, 반도체 소자의 품질을 향상시키고, 스루풋을 향상시킬 수 있는 반도체 테스트 장비를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 반도체 테스트 장비의 일 태양(aspect)은 커스텀 트레이가 안착되는 플레이트; 상기 플레이트와 연결되어, 상기 플레이트를 이송시키는 이송기; 및 상기 플레이트의 이송 구간 중에 상기 플레이트를 진동시키는 진동기를 포함한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 반도체 테스트 장비의 다른 태양은 커스텀 트레이가 안착된 플레이트로서, 상기 커스텀 트레이 내에 기설정된 개수 이상의 피테스트 소자가 안착되면, 제1 위치에서 제2 위치로 이송되는 플레이트와, 상기 플레이트의 이송 구간 중에 상기 플레이트를 진동시키는 진동기를 포함하는 언로더; 및 상기 플레이트가 제2 위치에 도달하면, 상기 플레이트를 다수의 언로딩 스택커 중 어느 하나로 이동시키는 트랜스퍼를 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 반도체 테스트 장비를 설명하기 위한 블록도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1의 언로딩부의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 도 1 및 도 2에 도시된 언로더를 설명하기 위한 사시도이다.
도 6은 도 5의 언로더 상에 커스텀 플레이트가 안착된 것을 도시한 사시도이다.
도 7은 플레이트의 타면을 도시한 평면도이다.
도 8은 도 1 및 도 2에 도시된 언로더의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 9는 도 1및 도 2에 도시된 언로더의 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
하나의 소자(elements)가 다른 소자와 "접속된(connected to)" 또는 "커플링된(coupled to)" 이라고 지칭되는 것은, 다른 소자와 직접 연결 또는 커플링된 경우 또는 중간에 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 하나의 소자가 다른 소자와 "직접 접속된(directly connected to)" 또는 "직접 커플링된(directly coupled to)"으로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자를 개재하지 않은 것을 나타낸다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 반도체 테스트 장비를 설명하기 위한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 반도체 테스트 장비(100)는 로딩부(110), 소크 챔버(soak chamber)(140), 테스트 챔버(150), 엑시트 챔버(exit chamber)(160), 언로딩부(190)를 포함한다.
여기서, 도 1에 도시된 화살표는, 피테스트 소자의 이동 경로를 나타낸 것이다.
또한, 로딩부(110)는 다수의 로딩 스택커(loading stacker)(LS1~LS3), 트랜스퍼(120), 로더(130) 등을 포함할 수 있다.
로딩 스택커(LS1~LS3)에는, 피테스트 소자가 수납된 커스텀 트레이가 적재된다. 다수의 커스텀 트레이는 로딩 스택커(LS1~LS3)에 수직 방향으로 적재될 수 있다. 도면에서는, 로딩 스택커(LS1~LS3)를 3개 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 트랜스퍼(120)는 로딩 스택커(LS1~LS3)에 적재된 커스텀 트레이를 로더(130)로 이동시킨다. 로더(130) 내에서, 커스텀 트레이(CT)에 수납된 피테스트 소자는 테스트 트레이로 옮겨진다. 그 후, 테스트 트레이는 소크 챔버(140)로 전달된다.
소크 챔버(140)는 로딩부(110)에 인접하도록 배치되고, 로딩부(110)로부터 전달받은 피테스트 소자를 소정 온도로 가열하거나 냉각시킨다.
테스트 챔버(150)는 테스트 수단을 피테스트 소자에 접속시켜, 테스트를 수행한다. 도시된 것과 같이, 테스트 챔버(150)는 소크 챔버(140)와 엑시트 챔버(160) 사이에 배치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
엑시트 챔버(160)는 언로딩부(190)에 인접하도록 배치되고, 테스트를 거친 피테스트 소자를 냉각시키거나 가열하여, 원래의 상온 상태로 만든다.
언로딩부(190)는 언로더(170), 트랜스퍼(180), 다수의 언로딩 스택커(unloading stacker)(US1~US5)등을 포함할 수 있다.
언로더(170)에서, 테스트 트레이에 수납되어 테스트를 거친 피테스트 소자는 커스텀 트레이로 옮겨진다. 트랜스퍼(180)는 피테스트 소자가 수납된 커스텀 트레이를 다수의 언로딩 스택커(US1~US5) 중 어느 하나에 적재한다. 언로딩 스택커(US1~US5)에는 커스텀 트레이를 수직 방향으로 적재할 수 있다. 언로딩 스택커(US1~US5)를 5개 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
이하에서 도 2 내지 도 4를 참조하여 언로딩부(190)의 동작을 자세히 후술한다. 도 2 내지 도 4는 도 1의 언로딩부(190)의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 2를 참조하면, 언로더(170) 내에 다수의 플레이트(171)가 배치될 수 있다. 다수의 플레이트(171)는 제1 위치(P1)에 위치할 수 있다. 또한, 적어도 하나의 플레이트(171)에는 커스텀 트레이(CT)가 안착될 수 있다.
전술한 것과 같이, 테스트를 거친 피테스트 소자는 테스트 트레이에서 커스텀 트레이(CT)로 옮겨진다. 여기서, 옮겨지는 일부의 피테스트 소자는, 커스텀 트레이의 포켓(pocket) 내에 정확하게 안착되지 않을 수 있다.
한편, 플레이트(171)는 제1 방향으로의 운동(예를 들어, 도면에서는 상하 운동)을 수행할 수 있다. 트랜스퍼(180)는 제1 방향과 다른 제2 방향으로의 운동(예를 들어, 도면에서는, 좌우 운동)을 수행할 수 있다. 플레이트(171)와 트랜스퍼(180)의 운동 방향은 예시적인 것에 불과하고, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3을 참조하면, 기설정된 개수 이상(예를 들어, 커스텀 트레이를 가득 채우는 경우)의 피테스트 소자가 커스텀 트레이(CT)에 안착되면, 플레이트(171)는 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 움직이기 시작한다.
도면에선, 제1 위치(P1)가 제2 위치(P2)에 비해서 위쪽에 있는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 반도체 테스트 장비(100)의 구성에 따라서, 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2)는 변경될 수 있다. 예를 들어, 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2)는 동일한 평면 상에 위치할 수도 있고, 제1 위치(P1)가 제2 위치(P2)에 비해서 아래쪽에 있을 수도 있다.
한편, 도시된 것과 같이, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 반도체 테스트 장비에서, 플레이트(171)의 이송 기간 중에, 플레이트(171)를 진동시킬 수 있다. 여기서, "플레이트(171)의 이송 기간 중에, 플레이트(171)를 진동시킨다"의 의미는, 플레이트(171)를 이송시키면서 플레이트(171)를 진동시키는 경우, 플레이트(171)를 먼저 진동시킨 후 플레이트(171)를 이송시키는 경우, 플레이트(171)를 먼저 이송시킨 후 플레이트(171)를 진동시키는 경우 등을 모두 포함한다.
도면에서는, 예시적으로 플레이트(171)를 이송시키면서 플레이트(171)를 진동시키는 것을 도시하였다.
이와 같이 플레이트(171)를 진동시키면, 커스텀 트레이(CT)의 포켓에 정확하게 안착되지 않은 피테스트 소자가, 포켓에 안정적으로 안착된다. 즉, 피테스트 소자의 안착 불량을 해소할 수 있다.
도 4를 참조하면, 트랜스퍼(180)는 커스텀 트레이(CT) 위쪽으로 이동한다. 트랜스퍼(180)는 커스텀 트레이(CT)를 흡착하여 다수의 언로딩 스택커(US1~US5) 중 어느 하나로 이동시킨다.
전술한 것과 같이, 플레이트(171)를 진동시켜 피테스트 소자를 안정적으로 안착시켰기 때문에, 트랜스퍼(180)가 커스텀 트레이(CT)를 흡착하여 이동시키더라도 피테스트 소자에 불량(예를 들어, 볼(ball) 눌림 불량)이 발생하지 않을 수 있다.
이하에서 도 5 내지 도 9를 이용하여, 플레이트(171)를 진동시킬 수 있는 언로더(170)를 설명하도록 한다.
도 5는 도 1 및 도 2에 도시된 언로더를 설명하기 위한 사시도이다. 도 6은 도 5의 언로더 상에 커스텀 플레이트가 안착된 것을 도시한 사시도이다. 또한, 설명의 편의를 위해서, 도 6은 도 5의 언로더 중 일부만을 도시하였다. 도 7은 플레이트의 타면을 도시한 평면도이다. 도 8은 도 1 및 도 2에 도시된 언로더의 동작을 설명하기 위한 개념도이다. 도 9는 도 1및 도 2에 도시된 언로더의 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다.
우선, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 언로더(170)는 커스텀 트레이(CT)가 안착되는 플레이트(171), 플레이트(171)와 연결되어 플레이트(171)를 이송시키는 이송기(175), 플레이트(171)의 이송 기간 중에 플레이트(171)를 진동시키는 진동기(172) 등을 포함한다.
플레이트(171)는 일면(예를 들어, 상면)과 타면(예를 들어, 후면)을 포함한다. 플레이트(171)의 일면 상에는 커스텀 트레이(CT)가 안착된다. 플레이트(171)의 타면에는 진동기(172)가 장착된다.
플레이트(171)의 타면에는 진동기(172), 예를 들어, 다수 개의 진동 소자(172a~172c)가 장착될 수 있다. 도 7에 예시적으로 도시된 것과 같이, 예를 들어, 3개의 진동 소자(172a~172c)가 장착될 수 있다. 제1 및 제2 진동소자(172a, 172b)는 플레이트의 타면 양쪽에 배치되고, 제3 진동소자(172c)는 플레이트의 타면 중앙에 배치될 수 있다. 각 진동소자(172a~172c)는 여러가지 종류를 사용할 수 있고, 예를 들어, 모터 방식, 에어 방식 등을 사용할 수 있다.
이송기(175)는 지지대(174), 실린더(178), 피스톤(179) 등을 포함할 수 있다.
지지대(174)는 제3 방향(예를 들어, 도면에서는 상하 방향)으로 길게 연장될 수 있다. 실린더(178)는 지지대(174)에 설치되고, 피스톤(179)은 실린더(178) 내에 설치되고 제3 방향으로 왕복운동할 수 있다. 실린더(178)는 유압에 의해서 조절될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 도시된 것과 같이, 플레이트(171)는 피스톤(179)과 연결되어, 피스톤(179)의 왕복운동에 따라서 제3 방향으로 왕복운동 가능하다.
한편, 지지대(174)에는 업 센서(up sensor)(176)와 다운 센서(down sensor)(177)가 설치될 수 있다. 업 센서(176)는 피스톤(179) 또는 플레이트(171)가 올라온 것을 센싱하고, 다운 센서(177)는 피스톤(179) 또는 플레이트(171)가 내려온 것을 센싱할 수 있다. 예를 들어, 피스톤(179) 또는 플레이트(171)가 올라와 있는 경우 업 센서(176)의 신호는 하이 레벨이 되고, 피스톤(179) 또는 플레이트(171)가 내려가 있는 경우 다운 센서(177)의 신호는 하이 레벨이 될 수 있다.
도 8을 참조하면, 언로더(170)는 진동 동작을 제어하는 제어기(191)를 더 포함할 수 있다.
제어기(191)는 진동기의 진동 시간(vibration time), 진동 횟수(vibration number), 진동 세기(vibration power) 중 적어도 하나를 조절할 수 있다. 또한, 진동기의 진동 시간(vibration time), 진동 횟수(vibration number), 진동 세기(vibration power) 중 적어도 하나는 사용자에 의해서 세팅 가능하다. 예를 들어, 사용자는 진동기(172)가 1초당 250회 미세진동하도록 세팅할 수 있다. 제어기(191)는 사용자의 세팅에 따라서 진동기(172)를 제어하게 된다.
전술한 것과 같이, 커스텀 트레이(CT) 내에 기설정된 개수 이상의 피테스트 소자가 수납되면, 이송기(175)는 플레이트(171)를 아래 방향으로 이송시킨다. 이 때, 이송기(175)는 아래 방향으로 이송됨을 의미하는 이송 신호(PDS)를 제어기(191)에 전달할 수 있다. 제어기(191)는 이송 신호(PDS)에 따라 진동기(172)를 턴온(turn on) 시킨다. 즉, 제어기(191)는 진동기(172)를 턴온시키기 위한 턴온 신호(ONS)를 진동기(172)에 제공한다.
또한, 도시된 것과 같이, 언로더(170)가 다수의 플레이트(171)와, 각 플레이트(171)를 진동시키는 다수의 진동기(172)를 포함하는 경우, 제어기(191)는 다수의 진동기(172)를 개별적으로 동작시킬 수 있다. 예를 들어, 5개의 플레이트(171) 중에서 이송 신호(PDS)를 받은 첫번째 플레이트(171)만 진동시킬 수 있다.
여기서 도 6, 도 8 및 도 9를 참조하면, 커스텀 트레이(CT) 내에 기설정된 개수 이상의 피테스트 소자가 수납되면, 이송기(175)는 플레이트(171)를 아래 방향으로 이송시킨다. 이 때, 이송기(175)가 출력하는 이송 신호(PDS)는 하이 레벨이 된다.
업 센서(176)의 신호는 이송 신호(PDS)의 변화에 따라, 로우 레벨이 된다(S210).
진동기(172)는 이송 신호(PDS)를 제공받아 진동이 시작된다(S220). 전술한 것과 같이, 사용자의 세팅에 따라서, 진동 시간이 조절될 수 있다. 첫번째 케이스(case 1)과 같이 짧은 기간동안 진동할 수도 있고, 두번째 케이스(case 2)와 같이 다소 긴 시간동안 진동할 수도 있다.
다운 센서(177)는 플레이트(171)가 내려온 것을 센싱한다. 따라서, 다운 센서(177)의 신호는 하이 레벨이 된다. 다운 센서(177)의 신호의 변화에 따라, 이송 신호(PDS)는 로우 레벨이 된다(S230). 이송 신호(PDS)가 로우 레벨이 되면, 플레이트(171)는 더 이상 내려오지 않는다.
제어기(191)는 복귀 신호(PUS)를 인에이블시킨다. 복귀 신호(PUS)가 하이 레벨이 되면, 플레이트(171)는 다시 위로 움직이기 시작한다. 다운 센서(177)의 신호는 플레이트(171)의 움직임을 감지하고, 로우 레벨로 변화한다(S240).
업 센서(176)는 플레이트(171)가 올라온 것을 센싱한다. 따라서, 업 센서(176)의 신호는 하이 레벨이 된다. 업 센서(176)의 신호의 변화에 따라, 복귀 신호(PUS)는 로우 레벨이 된다(S250).
도 2 내지 도 9에서는, 언로더(170) 내에 배치되는 플레이트(171)에 진동기(172)가 설치된 것을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 피테스트 소자가 수납된 트레이를 이동시키는 플레이트에는 어디에도 적용가능하다. 예를 들어, 로더(도 1의 130 참조) 내의 플레이트에도 적용 가능하다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
110: 로딩부 140: 쇼크 챔버
150: 테스트 챔버 160: 엑시트 챔버
171: 플레이트 172: 진동기
190: 언로딩부 191: 제어기

Claims (10)

  1. 커스텀 트레이가 안착되는 플레이트;
    상기 플레이트와 연결되어, 상기 플레이트를 이송시키는 이송기; 및
    상기 플레이트의 이송 구간 중에 상기 플레이트를 진동시키는 진동기를 포함하는 반도체 테스트 장비.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 진동기는 상기 플레이트를 이송시키면서, 상기 플레이트를 진동시키는 반도체 테스트 장비.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 진동기는 상기 플레이트를 먼저 진동시킨 후 이송시키거나, 상기 플레이트를 먼저 이송시킨 후 진동시키는 것을 포함하는 반도체 테스트 장비.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 플레이트는 일면과 타면을 포함하고, 상기 플레이트의 일면 상에 상기 커스텀 트레이가 안착되고, 상기 플레이트의 타면에 상기 진동기가 장착되는 반도체 테스트 장비.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 진동기의 진동 동작을 제어하는 제어기를 더 포함하는 반도체 테스트 장비.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 진동기의 진동 시간, 진동 횟수, 진동 세기 중 적어도 하나를 조절할 수 있는 반도체 테스트 장비.
  7. 제 6항에 있어서,
    사용자는 상기 진동기의 진동 시간, 진동 횟수, 진동 세기 중 적어도 하나를 세팅할 수 있고, 상기 제어기는 사용자의 세팅값에 따라서 상기 진동기를 제어하는 반도체 테스트 장비.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 반도체 테스트 장비는 다수의 플레이트와, 각 플레이트를 진동시키는 다수의 진동기를 포함하고,
    상기 제어기는 상기 다수의 진동기를 개별적으로 동작시키는 반도체 테스트 장비.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 이송기는 제1 방향으로 길게 연장된 지지대와, 상기 지지대에 설치된 실린더와, 상기 실린더 내에 설치되고 상기 제1 방향으로 왕복운동 가능한 피스톤을 포함하고,
    상기 플레이트는 상기 피스톤과 연결되어 제1 방향으로 왕복운동하는 반도체 테스트 장비.
  10. 커스텀 트레이가 안착된 플레이트로서, 상기 커스텀 트레이 내에 기설정된 개수 이상의 피테스트 소자가 안착되면, 제1 위치에서 제2 위치로 이송되는 플레이트와, 상기 플레이트의 이송 구간 중에 상기 플레이트를 진동시키는 진동기를 포함하는 언로더; 및
    상기 플레이트가 제2 위치에 도달하면, 상기 플레이트를 다수의 언로딩 스택커 중 어느 하나로 이동시키는 트랜스퍼를 포함하는 반도체 테스트 장비.
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