JP5730521B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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- H05B7/18—Heating by arc discharge
Description
前記熱処理室内に配置された平板状の第一の電極と、
前記第一の電極と対向し前記被加熱試料を載置するとともに前記熱処理室内に配置された平板状の第二の電極と、
前記第一の電極と前記第二の電極の間に前記プラズマを生成するための高周波電力を前記第一の電極に供給する高周波電源と、
前記第一の電極からの輻射を抑制し前記第一の電極と対向する第一の反射鏡と、
前記第二の電極からの輻射を抑制し前記第二の電極と対向する第二の反射鏡とを備え、
前記第一の電極と前記第二の電極は、前記第一の反射鏡と前記第二の反射鏡の間に配置され、
前記第一の電極から前記第一の反射鏡までの距離は、前記第一の電極と前記第二の電極の間の距離よりも長く、
前記第二の電極から前記第二の反射鏡までの距離は、前記第一の電極と前記第二の電極の間の距離よりも長いことを特徴とする熱処理装置とする。
(1) 平行平板電極と、
前記平行平板電極間に高周波電圧を印加し、放電させる高周波電源と、
前記平行平板電極間に配置される被加熱試料の温度を計測する温度計測手段と、
前記平行平板電極内へのガス導入手段と、
前記高周波電源の出力を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記温度計測手段により計測された温度を参照し、前記高周波電源の出力を制御することで被加熱試料の熱処理温度の制御を行うことを特徴とする熱処理装置。
(2) 平行平板電極と、
前記平行平板電極間に高周波電圧を印加し、放電させる高周波電源と、
前記平行平板電極間に配置される被加熱試料の温度を計測する温度計測手段と、
前記平行平板電極内へのガス導入手段と、
前記平行平板電極の周囲を覆う反射鏡と、
前記高周波電源の出力を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記温度計測手段により計測された温度を参照し、前記高周波電源の出力を制御することで被加熱試料の熱処理温度の制御を行うことを特徴とする熱処理装置。
(3) 上記(2)記載の熱処理装置において、
前記ガス導入手段は、第1のガス導入手段と第2のガス導入手段とを備え、
前記第1のガス導入手段は前記平行平板電極間のギャップ外にガス導入口を有し、前記第2のガス導入手段は前記平行平板電極間のギャップ内にガス導入口を有し、それぞれ独立にガス導入を行うことを特徴とする熱処理装置。
(4) 上記(2)記載の熱処理装置において、
前記平行平板電極は複数組設けられていることを特徴とする熱処理装置。
(5) 上記(2)記載の熱処理装置において、
前記制御部は、前記被加熱試料の熱処理を実施する前または温度上昇途中に、放電により生じるプラズマ中に炭化含有分子ガスを添加し、被加熱試料の表面に炭素系皮膜による保護膜を形成するように前記ガス導入手段を制御するものであることを特徴とする熱処理装置。
(6) 上記(5)記載の熱処理装置において、
前記制御部は、前記熱処理を実施した後に、放電により生じるプラズマ中に酸素を添加し、前記保護膜を除去する制御を行うことを特徴とする熱処理装置。
(7) 高周波電源と、
被加熱試料を載置する下部電極と、
前記高周波電源が接続され、前記下部電極に対向する位置に配置された上部電極と、前記上部電極と前記下部電極間にプラズマを生成するガスを導入するガス導入部と、前記上部及び下部電極を、空隙を介して覆う上部及び下部反射鏡を備えることを特徴とする熱処理装置。
(8) 上記(7)記載の熱処理装置において、
前記上部及び下部反射鏡は、回転放物面をなす金属基材表面を光学研磨加工し、かつ前記光学研磨面が金、アルミ、アルミ合金、銀、銀合金、ステンレスのいづれかの材料から成ることを特徴とする熱処理装置。
(9) 上記(7)記載の熱処理装置において、
前記上部電極と前記上部反射鏡との中間および前記下部電極と前記下部反射鏡との中間に石英板がそれぞれ配置されていることを特徴とする熱処理装置。
(10) 上記(7)記載の熱処理装置において、
さらに、該被加熱試料の温度を測定する温度計と、
前記温度計にて計測した温度を参照し、前記高周波電源の出力を制御する制御部を備えることを特徴とする熱処理装置。
(11) 上記(7)記載の熱処理装置において、
さらに、前記ガス導入部から導入されるガス種及びガス流量並びに前記高周波電源の出力を制御する制御部を備え、
前記制御部は、該被加熱試料の表面に保護膜を形成するように前記ガス導入部を制御し、該被加熱試料の表面に該保護膜が覆われた状態で加熱するように前記高周波電源の出力を制御し、該保護膜を除去するように前記ガス導入部を制御するものであることを特徴とする熱処理装置。
(12) 上記(2)記載の熱処理装置において、
前記反射鏡は前記平行平板電極の上部及び下部にそれぞれ設けられ、それぞれの前記反射鏡を上下方向に駆動する駆動機構が更に備えられていることを特徴とする熱処理装置。
(13) (7)記載の熱処理装置において、
前記上部及び下部反射鏡を上下方向に駆動する駆動機構が更に備えられていることを特徴とする熱処理装置。
Claims (7)
- 被加熱試料がプラズマにより熱処理される熱処理室と、
前記熱処理室内に配置された平板状の第一の電極と、
前記第一の電極と対向し前記被加熱試料を載置するとともに前記熱処理室内に配置された平板状の第二の電極と、
前記第一の電極と前記第二の電極の間に前記プラズマを生成するための高周波電力を前記第一の電極に供給する高周波電源と、
前記第一の電極からの輻射を抑制し前記第一の電極と対向する第一の反射鏡と、
前記第二の電極からの輻射を抑制し前記第二の電極と対向する第二の反射鏡とを備え、
前記第一の電極と前記第二の電極は、前記第一の反射鏡と前記第二の反射鏡の間に配置され、
前記第一の電極から前記第一の反射鏡までの距離は、前記第一の電極と前記第二の電極の間の距離よりも長く、
前記第二の電極から前記第二の反射鏡までの距離は、前記第一の電極と前記第二の電極の間の距離よりも長いことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記第一の反射鏡と前記第二の反射鏡の各々の鏡面の材質は、金、アルミ、アルミ合金、銀、銀合金、またはステンレスであることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記第一の反射鏡は、前記第一の反射鏡を冷却する冷媒を流す第一の冷媒流路を有し、
前記第二の反射鏡は、前記第二の反射鏡を冷却する冷媒を流す第二の冷媒流路を有することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記第一の電極と前記第一の反射鏡の間に配置され前記第一の反射鏡の鏡面の汚れを抑制する第一の石英板と、
前記第二の電極と前記第二の反射鏡の間に配置され前記第二の反射鏡の鏡面の汚れを抑制する第二の石英板とをさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記第一の電極の基材と前記第二の電極の基材は、グラファイトであることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記第二の電極の測定された温度に基づいて前記被加熱試料の温度が所望の温度となるように前記高周波電源を制御する制御部をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記第一の反射鏡と前記第二の反射鏡は、回転放物面で形成されていることを特徴とする熱処理装置。
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Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
JP2015106595A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 熱処理装置 |
CN106457450B (zh) * | 2014-03-31 | 2019-08-20 | 海别得公司 | 用于等离子切割系统的电力供应器组合件及相关制造方法 |
JP2020053118A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-04-02 | 国立大学法人東京農工大学 | 加熱装置および発熱体の加熱方法 |
Family Cites Families (155)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2519616A (en) * | 1946-06-15 | 1950-08-22 | Universal Oil Prod Co | Heating apparatus |
US2485140A (en) * | 1946-08-22 | 1949-10-18 | Modesto Cordero | Towel steaming appliance |
US2920234A (en) * | 1958-05-27 | 1960-01-05 | John S Luce | Device and method for producing a high intensity arc discharge |
US3109118A (en) * | 1962-01-25 | 1963-10-29 | Gen Electric | Gas discharge heating device |
GB1112196A (en) * | 1964-08-26 | 1968-05-01 | Grace W R & Co | Apparatus for corona treatment of film |
US3494852A (en) * | 1966-03-14 | 1970-02-10 | Whittaker Corp | Collimated duoplasmatron-powered deposition apparatus |
US3705975A (en) * | 1970-03-02 | 1972-12-12 | Westinghouse Electric Corp | Self-stabilizing arc heater apparatus |
CA1084235A (en) * | 1976-05-24 | 1980-08-26 | Ryo Enomoto | PROCESS AND AN APPARATUS FOR PRODUCING SILICON CARBIDE CONSISTING MAINLY OF .beta.-TYPE CRYSTAL |
JPS54105342A (en) * | 1978-02-07 | 1979-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | Glow-discharge heating device |
GB2039787B (en) * | 1978-11-13 | 1982-12-08 | Res Inst For Special Inorganic | Producing corrosion resistant articles |
JPS55113609A (en) * | 1979-02-21 | 1980-09-02 | Ibiden Co Ltd | Manufacturing apparatus for beta crystallbase silicon carbide |
JPS58210844A (ja) * | 1982-06-01 | 1983-12-08 | Sando Iron Works Co Ltd | 低温プラズマ雰囲気中の被処理物温度制御方法及びその装置 |
US4521286A (en) * | 1983-03-09 | 1985-06-04 | Unisearch Limited | Hollow cathode sputter etcher |
US4535225A (en) * | 1984-03-12 | 1985-08-13 | Westinghouse Electric Corp. | High power arc heater |
JPS6130036A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-12 | Fujitsu Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
US4657618A (en) * | 1984-10-22 | 1987-04-14 | Texas Instruments Incorporated | Powered load lock electrode/substrate assembly including robot arm, optimized for plasma process uniformity and rate |
US4657620A (en) * | 1984-10-22 | 1987-04-14 | Texas Instruments Incorporated | Automated single slice powered load lock plasma reactor |
US4654106A (en) * | 1984-10-22 | 1987-03-31 | Texas Instruments Incorporated | Automated plasma reactor |
US4695700A (en) * | 1984-10-22 | 1987-09-22 | Texas Instruments Incorporated | Dual detector system for determining endpoint of plasma etch process |
US4657621A (en) * | 1984-10-22 | 1987-04-14 | Texas Instruments Incorporated | Low particulate vacuum chamber input/output valve |
US4891087A (en) * | 1984-10-22 | 1990-01-02 | Texas Instruments Incorporated | Isolation substrate ring for plasma reactor |
US4657617A (en) * | 1984-10-22 | 1987-04-14 | Texas Instruments Incorporated | Anodized aluminum substrate for plasma etch reactor |
US4661196A (en) * | 1984-10-22 | 1987-04-28 | Texas Instruments Incorporated | Plasma etch movable substrate |
US4659413A (en) * | 1984-10-24 | 1987-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Automated single slice cassette load lock plasma reactor |
JPS61128519A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-16 | Kyocera Corp | プラズマcvd装置 |
JPS62221116A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-09-29 | Hitachi Micro Comput Eng Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH0667539B2 (ja) * | 1987-06-24 | 1994-08-31 | 愛知製鋼株式会社 | 金属溶湯の加熱方法 |
US4832777A (en) * | 1987-07-16 | 1989-05-23 | Texas Instruments Incorporated | Processing apparatus and method |
US4910436A (en) * | 1988-02-12 | 1990-03-20 | Applied Electron Corporation | Wide area VUV lamp with grids and purging jets |
US5556501A (en) * | 1989-10-03 | 1996-09-17 | Applied Materials, Inc. | Silicon scavenger in an inductively coupled RF plasma reactor |
US6068784A (en) * | 1989-10-03 | 2000-05-30 | Applied Materials, Inc. | Process used in an RF coupled plasma reactor |
WO1991009150A1 (en) * | 1989-12-15 | 1991-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of and device for plasma treatment |
US6545420B1 (en) * | 1990-07-31 | 2003-04-08 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor using inductive RF coupling, and processes |
US5133986A (en) * | 1990-10-05 | 1992-07-28 | International Business Machines Corporation | Plasma enhanced chemical vapor processing system using hollow cathode effect |
US5888414A (en) * | 1991-06-27 | 1999-03-30 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor and processes using RF inductive coupling and scavenger temperature control |
US5444207A (en) * | 1992-03-26 | 1995-08-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Plasma generating device and surface processing device and method for processing wafers in a uniform magnetic field |
US5660744A (en) * | 1992-03-26 | 1997-08-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Plasma generating apparatus and surface processing apparatus |
US5695597A (en) * | 1992-11-11 | 1997-12-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma reaction apparatus |
US5380409A (en) * | 1993-03-08 | 1995-01-10 | The Regents Of The University Of California | Field-assisted combustion synthesis |
DE69432383D1 (de) * | 1993-05-27 | 2003-05-08 | Applied Materials Inc | Verbesserungen betreffend Substrathalter geeignet für den Gebrauch in Vorrichtungen für die chemische Abscheidung aus der Dampfphase |
US5561829A (en) * | 1993-07-22 | 1996-10-01 | Aluminum Company Of America | Method of producing structural metal matrix composite products from a blend of powders |
JP3355240B2 (ja) * | 1993-11-30 | 2002-12-09 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置 |
US6207922B1 (en) * | 1994-03-08 | 2001-03-27 | Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) | Electric control for welding optical fibers |
US5464667A (en) * | 1994-08-16 | 1995-11-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Jet plasma process and apparatus |
JPH0869969A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-03-12 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマcvd装置 |
JPH08250488A (ja) * | 1995-01-13 | 1996-09-27 | Seiko Epson Corp | プラズマ処理装置及びその方法 |
JP3382064B2 (ja) * | 1995-06-29 | 2003-03-04 | 株式会社東芝 | 熱処理装置 |
US5877515A (en) * | 1995-10-10 | 1999-03-02 | International Rectifier Corporation | SiC semiconductor device |
US5641975A (en) * | 1995-11-09 | 1997-06-24 | Northrop Grumman Corporation | Aluminum gallium nitride based heterojunction bipolar transistor |
US6095084A (en) * | 1996-02-02 | 2000-08-01 | Applied Materials, Inc. | High density plasma process chamber |
JP3437376B2 (ja) * | 1996-05-21 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | プラズマ処理装置及び処理方法 |
US5689215A (en) * | 1996-05-23 | 1997-11-18 | Lam Research Corporation | Method of and apparatus for controlling reactive impedances of a matching network connected between an RF source and an RF plasma processor |
US5858477A (en) * | 1996-12-10 | 1999-01-12 | Akashic Memories Corporation | Method for producing recording media having protective overcoats of highly tetrahedral amorphous carbon |
US5942454A (en) * | 1996-08-27 | 1999-08-24 | Asahi Glass Company Ltd. | Highly corrosion-resistant silicon carbide product |
US5889252A (en) * | 1996-12-19 | 1999-03-30 | Lam Research Corporation | Method of and apparatus for independently controlling electric parameters of an impedance matching network |
US5970907A (en) * | 1997-01-27 | 1999-10-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Plasma processing apparatus |
US5770324A (en) * | 1997-03-03 | 1998-06-23 | Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. | Method of using a hot pressed silicon carbide dummy wafer |
US5893643A (en) * | 1997-03-25 | 1999-04-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for measuring pedestal temperature in a semiconductor wafer processing system |
JP3582287B2 (ja) * | 1997-03-26 | 2004-10-27 | 株式会社日立製作所 | エッチング装置 |
CN1131548C (zh) * | 1997-04-04 | 2003-12-17 | 松下电器产业株式会社 | 半导体装置 |
KR100266021B1 (ko) | 1997-12-16 | 2000-09-15 | 김영환 | 플라즈마 열처리장치 및 이를 이용한 캐패시터 형성방법 |
US6112697A (en) | 1998-02-19 | 2000-09-05 | Micron Technology, Inc. | RF powered plasma enhanced chemical vapor deposition reactor and methods |
US6280496B1 (en) * | 1998-09-14 | 2001-08-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon carbide based composite material and manufacturing method thereof |
JP2000301345A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-10-31 | Komatsu Ltd | Si系材料の溶接方法 |
JP2001007039A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
EP1074512B1 (en) * | 1999-08-03 | 2017-02-15 | IHI Corporation | Clathrate compounds, manufacture thereof, and thermoelectric materials, thermoelectric modules, semiconductor materials and hard materials based thereon |
EP1215730B9 (en) * | 1999-09-07 | 2007-08-01 | Sixon Inc. | SiC WAFER, SiC SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION METHOD OF SiC WAFER |
JP2001108799A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Nikon Corp | X線発生装置、x線露光装置及び半導体デバイスの製造方法 |
EP2426693A3 (en) * | 1999-12-13 | 2013-01-16 | Semequip, Inc. | Ion source |
US20070107841A1 (en) * | 2000-12-13 | 2007-05-17 | Semequip, Inc. | Ion implantation ion source, system and method |
JP3479020B2 (ja) * | 2000-01-28 | 2003-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
KR100545034B1 (ko) * | 2000-02-21 | 2006-01-24 | 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 | 플라즈마처리장치 및 시료의 처리방법 |
US7141757B2 (en) * | 2000-03-17 | 2006-11-28 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor with overhead RF source power electrode having a resonance that is virtually pressure independent |
US6900596B2 (en) * | 2002-07-09 | 2005-05-31 | Applied Materials, Inc. | Capacitively coupled plasma reactor with uniform radial distribution of plasma |
JP4505664B2 (ja) * | 2000-03-24 | 2010-07-21 | 株式会社ニコン | X線発生装置 |
JP4409714B2 (ja) * | 2000-04-07 | 2010-02-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 枚葉式熱処理装置 |
US6705914B2 (en) * | 2000-04-18 | 2004-03-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of forming spherical electrode surface for high intensity discharge lamp |
WO2002013225A2 (en) * | 2000-08-08 | 2002-02-14 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing method and apparatus |
US6437290B1 (en) * | 2000-08-17 | 2002-08-20 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment apparatus having a thin light-transmitting window |
US6806201B2 (en) * | 2000-09-29 | 2004-10-19 | Hitachi, Ltd. | Plasma processing apparatus and method using active matching |
JP2002111072A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Toyoda Gosei Co Ltd | 発光装置 |
DE10058018A1 (de) * | 2000-11-23 | 2002-05-29 | Daimler Chrysler Ag | Ausgangsmenge für eine spätere organische Beschichtung |
TWI313059B (ja) * | 2000-12-08 | 2009-08-01 | Sony Corporatio | |
US7553373B2 (en) * | 2001-06-15 | 2009-06-30 | Bridgestone Corporation | Silicon carbide single crystal and production thereof |
US20030045098A1 (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-06 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for processing a wafer |
JP2003121609A (ja) * | 2001-10-11 | 2003-04-23 | Hitachi Ltd | 光学シートおよびこれを備えた表示装置 |
JP2003172858A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Nikon Corp | 光学部品保持装置及び露光装置 |
US6972109B1 (en) * | 2002-01-29 | 2005-12-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Method for improving tensile properties of AlSiC composites |
US20040118348A1 (en) * | 2002-03-07 | 2004-06-24 | Mills Randell L.. | Microwave power cell, chemical reactor, and power converter |
JP2003307458A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Akifumi Ito | 基材の温度測定方法および温度測定装置 |
NL1021185C2 (nl) * | 2002-07-30 | 2004-02-03 | Fom Inst Voor Plasmafysica | Inrichting voor het behandelen van een oppervlak van een substraat en een plasmabron. |
JP4169004B2 (ja) * | 2002-10-18 | 2008-10-22 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置の製造方法 |
US7364692B1 (en) * | 2002-11-13 | 2008-04-29 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Metal matrix composite material with high thermal conductivity and low coefficient of thermal expansion |
JP2004311845A (ja) * | 2003-04-09 | 2004-11-04 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 発電機能を有する可視光透過構造体 |
JP4347295B2 (ja) * | 2003-04-18 | 2009-10-21 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
US7297892B2 (en) * | 2003-08-14 | 2007-11-20 | Rapt Industries, Inc. | Systems and methods for laser-assisted plasma processing |
JP2005079533A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2005109304A (ja) * | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Canon Inc | 照明光学系及び露光装置 |
JP2005167035A (ja) * | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 炭化珪素半導体素子およびその製造方法 |
US7125128B2 (en) * | 2004-01-26 | 2006-10-24 | Nikon Corporation | Adaptive-optics actuator arrays and methods for using such arrays |
US7712434B2 (en) * | 2004-04-30 | 2010-05-11 | Lam Research Corporation | Apparatus including showerhead electrode and heater for plasma processing |
JP4522137B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2010-08-11 | キヤノン株式会社 | 光学系の調整方法 |
US7169256B2 (en) * | 2004-05-28 | 2007-01-30 | Lam Research Corporation | Plasma processor with electrode responsive to multiple RF frequencies |
JP4666200B2 (ja) * | 2004-06-09 | 2011-04-06 | パナソニック株式会社 | SiC半導体装置の製造方法 |
JP4550507B2 (ja) * | 2004-07-26 | 2010-09-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP2006100770A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-04-13 | Toyota Industries Corp | 回路基板のベース板の製造方法及び回路基板のベース板並びにベース板を用いた回路基板 |
JP2006073895A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Canon Inc | 冷却装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
KR20070085764A (ko) * | 2004-11-04 | 2007-08-27 | 가부시키가이샤 니콘 | 미동 스테이지 z 지지 장치 |
JP4601439B2 (ja) * | 2005-02-01 | 2010-12-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
US7641736B2 (en) * | 2005-02-22 | 2010-01-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Method of manufacturing SiC single crystal wafer |
US8633416B2 (en) * | 2005-03-11 | 2014-01-21 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Plasmas and methods of using them |
JP2006303309A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP2006319043A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
US7589004B2 (en) * | 2005-06-21 | 2009-09-15 | Los Alamos National Security, Llc | Method for implantation of high dopant concentrations in wide band gap materials |
JP4293165B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2009-07-08 | 住友電気工業株式会社 | 炭化ケイ素基板の表面再構成方法 |
JP4804824B2 (ja) * | 2005-07-27 | 2011-11-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP2007095873A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 電界効果トランジスタ用エピタキシャル基板 |
US20080029682A1 (en) * | 2005-11-04 | 2008-02-07 | Nikon Corporation | Fine stage "Z" support apparatus |
CN101360849B (zh) * | 2005-11-18 | 2013-05-15 | 莱里斯奥鲁斯集团 | 一种形成多层结构的方法 |
JP4849881B2 (ja) * | 2005-12-08 | 2012-01-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマエッチング方法 |
JP2007165512A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
US7696598B2 (en) * | 2005-12-27 | 2010-04-13 | Qspeed Semiconductor Inc. | Ultrafast recovery diode |
US7632377B2 (en) * | 2006-01-24 | 2009-12-15 | United Microelectronics Corp. | Dry etching apparatus capable of monitoring motion of WAP ring thereof |
JP5150053B2 (ja) * | 2006-02-03 | 2013-02-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
US8012306B2 (en) * | 2006-02-15 | 2011-09-06 | Lam Research Corporation | Plasma processing reactor with multiple capacitive and inductive power sources |
WO2007099957A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Tokyo Electron Limited | プラズマ処理装置およびそれに用いる基板加熱機構 |
JP2007258286A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
JP4928817B2 (ja) * | 2006-04-07 | 2012-05-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP5076349B2 (ja) * | 2006-04-18 | 2012-11-21 | ウシオ電機株式会社 | 極端紫外光集光鏡および極端紫外光光源装置 |
JP4801522B2 (ja) * | 2006-07-21 | 2011-10-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 半導体製造装置及びプラズマ処理方法 |
US7482550B2 (en) * | 2006-10-16 | 2009-01-27 | Lam Research Corporation | Quartz guard ring |
US7781312B2 (en) * | 2006-12-13 | 2010-08-24 | General Electric Company | Silicon carbide devices and method of making |
JP2008153442A (ja) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP5049417B2 (ja) * | 2007-02-07 | 2012-10-17 | スタンレー電気株式会社 | 車両用灯具のリフレクター |
ITTO20070099A1 (it) * | 2007-02-09 | 2008-08-10 | St Microelectronics Srl | Procedimento per la realizzazione di un'interfaccia tra carburo di silicio e ossido di silicio con bassa densita' di stati |
KR100852114B1 (ko) * | 2007-02-22 | 2008-08-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 건 |
US20080226838A1 (en) * | 2007-03-12 | 2008-09-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Plasma CVD apparatus and film deposition method |
JP5161469B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2013-03-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
US7816619B2 (en) * | 2007-03-21 | 2010-10-19 | Nebojsa Jaksic | Methods and apparatus for manufacturing carbon nanotubes |
JP2008251866A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP5069967B2 (ja) | 2007-07-25 | 2012-11-07 | 株式会社日立国際電気 | 熱処理用部材の製造方法 |
US9287096B2 (en) * | 2007-09-27 | 2016-03-15 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for a hybrid capacitively-coupled and an inductively-coupled plasma processing system |
US20090093128A1 (en) * | 2007-10-08 | 2009-04-09 | Martin Jay Seamons | Methods for high temperature deposition of an amorphous carbon layer |
JP2009130266A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Toshiba Corp | 半導体基板および半導体装置、半導体装置の製造方法 |
JP5149610B2 (ja) * | 2007-12-19 | 2013-02-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP2009231401A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Tokyo Electron Ltd | 載置台構造及び熱処理装置 |
JP5372419B2 (ja) * | 2008-06-25 | 2013-12-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2010034481A (ja) | 2008-07-31 | 2010-02-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP5268625B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2013-08-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP2010186829A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Toshiba Corp | 発光素子の製造方法 |
JP5455462B2 (ja) * | 2009-06-23 | 2014-03-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP5357639B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2013-12-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP2011228436A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP5766495B2 (ja) * | 2010-05-18 | 2015-08-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 熱処理装置 |
JP2012238629A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 熱処理装置 |
-
2010
- 2010-09-08 JP JP2010200845A patent/JP5730521B2/ja active Active
- 2010-11-29 US US12/955,020 patent/US9271341B2/en active Active
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