JP2010186829A - 発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の基板と、前記第1の基板上に設けられ且つ発光層を含む第1の半導体層と、前記第1の半導体層の上に設けられた第1の金属層と、を有する第1の積層体を形成する工程と、前記第1の基板の熱膨張係数とは異なる熱膨張係数を有する第2の基板と、前記第2の基板上に設けられた第2の金属層と、を有する第2の積層体を形成する工程と、前記第1の金属層と前記第2の金属層とを接触させた状態で加熱する第1の接着工程と、前記第1の接着工程の後に前記第1の基板を除去する工程と、前記除去する工程ののち、前記第1の接着工程の温度よりも高い温度において加熱する第2の接着工程と、を備えたことを特徴とする発光素子の製造方法が提供される。
【選択図】図2
Description
しかしながら、基板貼り合わせの熱処理工程において、基板のクラックを抑制しつつ良好なウェーハ接着特性を得ることは困難である。
製造方法を提供する。
図1は、本発明の第1の実施形態にかかる発光素子の模式断面図である。
第2の基板40は、例えばp型Siからなり、その厚さを250μmなどとする。しかし基板はこれに限定されることはなく、GeやSiCなどの材料であっても、また導電型がn型であってもよい。第2の基板40と、その上に設けられた第2の金属層42と、は第2の積層体43を構成している。
できる。
図2(a)のように、n型GaAsなどからなる第1の基板48の上に、InGaAlPなどを含む半導体層46を、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法またはMBE(Molecular Beam Epitaxy)法などを用いて形成し、さらに第1の金属層44を形成し、第1の積層体49とする。発光層46aがInGaAlP系半導体の場合、黄緑から赤色の波長範囲の可視光が放出可能となる。すなわち、InGaAlPなどからなる半導体層46は、GaAsに格子整合が容易であるので良好な結晶とすることができる。これに対して、格子定数が異なるSi基板の上に、InGaAlP半導体層を直接形成することは困難である。
図3(a)のように、n型GaAsなどからなる第1の基板148の上に、InGaAlP系化合物半導体などからなる半導体層146、及び第1の金属層144を真空蒸着法などを用いて形成する。第1の金属層144は、半導体層146側から、例えばTi、Pt、Auの順序で積層されたものとすることができる。
すなわち、第1の積層体49の第1の金属層44は、Ti/Pt/Auなどからなる第1の金属膜44aと、AuSnなどからなる第2の金属膜44bと、Auなどからなる第3の金属膜44cと、を有するものとする(図4(a))。なお、第3の金属膜44cを省略することができるが、これを設けることにより真空または低圧力中の貼り合わせ工程中でのSnなどの蒸発を抑制し真空装置内の汚染を抑制することができるのでより好ましい。
なお、発光層から下方へ向かう光は第1の金属膜44aにより上方または側方に反射可能であるので輝度を高めることが容易となる。
図5(a)のように、半導体層46の上の第1の金属層44を、例えばTi/Pt/Auの順に積層した構造とする。他方、図5(b)のように、第2の基板40上の第2の金属層42は、Ti/Pt/Auなどからなる第1の金属膜42a、AuSnなどからなる第2の金属膜42b、及びAuなどからなる第3の金属膜42cを有するものとする。図5(c)のように、これらを貼り合わせ、第1の接着工程により接着界面57において接着する。このあと、第1の基板48を除去し、さらに第2の接着工程を行う。本変形例のように、第2の基板40側に、AuSnなどの半田層を設けてもよい。さらに、第1及び第2の基板48、40の両方にAuSnなどの半田層を設けて接着を行ってもよい。
また、図7は、第3の実施形態の発光素子の製造方法を表す工程断面図である。
第2の積層体63は、p型Siなどからなる第2の基板60と、第2の金属層62と、を有している。また第1の積層体69は、サファイヤなどからなる第1の基板68と、第1の基板68に設けられた半導体層66と、第1の金属層64と、を有している。第2の金属層62と、第1の金属層64と、は、接着界面67で接着されている。半導体層66は、InGaAlN系半導体からなり、発光層66aは、例えば青色近傍の波長を有する光を放出可能である。
第1の金属層64と半導体層66との間に、ITO(Indium Tin Oxide)やZnOからなり、導電性を有する透明電極65を設ける。もし第1の金属層64がAu、AuGeなどを含むと、半導体層66との間で合金層を形成しやすい。この合金層は放出光を吸収し光反射率を低下させる。これに対して、透明電極65を設けると合金化及びこれに伴う光反射率の低下を抑制でき、光取り出し効率を高く保つことが容易となる。
Claims (5)
- 第1の基板と、前記第1の基板上に設けられ且つ発光層を含む第1の半導体層と、前記第1の半導体層上に設けられた第1の金属層と、を有する第1の積層体を形成する工程と、
前記第1の基板の熱膨張係数とは異なる熱膨張係数を有する第2の基板と、前記第2の基板上に設けられた第2の金属層と、を有する第2の積層体を形成する工程と、
前記第1の金属層と前記第2の金属層とを接触させた状態で加熱する第1の接着工程と、
前記第1の接着工程ののちに前記第1の基板を除去する工程と、
前記除去する工程ののち、前記第1の接着工程の温度よりも高い温度において加熱する第2の接着工程と、
を備えたことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記第2の接着工程は、前記第1の半導体層に第1の電極を形成し且つ前記第2の基板に第2の電極を形成したのち、前記第1の接着工程の前記温度よりも高い温度において加熱する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の発光素子の製造方法。
- 前記第1の金属層は、融点の異なる第1及び第2の金属膜を有し、
前記第1の金属膜と前記第2の金属層との間に設けられる前記第2の金属膜の融点は、前記第1の金属膜の融点及び前記第2の金属層の融点のいずれよりも低いことを特徴とする請求項1または2に記載の発光素子の製造方法。 - 前記第2の金属膜は、AuSn、AuGe、AuSi、及びInのうちのいずれかを有することを特徴とする請求項3記載の発光素子の製造方法。
- 前記第1の基板は、GaAs、GaP、SiC、及びサファイヤのうちのいずれかからなり、
前記第2の基板は、Siからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の発光素子の製造方法。
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