JP2008288248A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Si基板1と、金属密着層2と、光反射性を有する金属材料の多層膜からなる反射金属層3と、SiO2膜4と、SiO2膜4の所定の位置に設けられるオーミックコンタクト接合部5と、MgドープのGaP層6AとZnドープの6Bとを含むGaP層6と、p型GaInP介在層7と、p型AlGaInPクラッド層8と、アンドープ多重量子井戸活性層9と、n型AlGaInPクラッド層10と、n型AlGaInPウィンドウ層11と、n型GaAsコンタクト層12と、第1電極13と、Si基板1の外部接続側に設けられる第2電極14とを備え、p型AlGaInPクラッド層8、アンドープ多重量子井戸活性層9、およびn型AlGaInPクラッド層10からなる発光部とオーミックコンタクト接合部5とを300nm以上離れて設けた構成とした。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体発光素子を示し、(a)は半導体発光素子の平面図、(b)は(a)のA−A部において切断した断面図である。この半導体発光素子100は、例えば、発光波長が約630nmの赤色LEDである。
図2A〜図2Fは、本発明の実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法を示す工程図である。同図を参照して以下に製造工程を説明する。
厚さ200nmでキャリア濃度1×1018/cm3のアンドープ(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pエッチングストップ層21、n型GaAsコンタクト層12、n型AlGaInPウィンドウ層11、n型AlGaInPクラッド層10、アンドープ多重量子井戸活性層9、p型AlGaInPクラッド層8、p型GaInP介在層7、p型GaP層6A、p型GaP層6Bを順次積層成長させることによってLEDエピタキシャルウエハ30を製造した。
比較例として、上記したLEDエピタキシャルウエハ30のオーミックコンタクト接合部5を形成する導電性材料について、AuZn合金に代えてAuBe合金を用いたAuBeオーミックコンタクト接合部とした。
Claims (16)
- 発光部を含み、表面に第1電極を有するエピタキシャル層と、
前記エピタキシャル層と接するように設けられるオーミックコンタクト接合部と、
前記オーミックコンタクト接合部と接するように設けられて前記発光部から発せられる光に対して不透明であり、かつ前記光を反射する反射金属層と、
前記反射金属層と金属密着層を介して一方の面が接合され、他方の面に第2電極を有する支持基板と、
を備え、
前記オーミックコンタクト接合部は、Beを含むとともに前記発光部と300nm以上離れて形成されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記エピタキシャル層は、前記オーミックコンタクト接合部と接するように設けられる第2導電型半導体層としてのGaP層を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記発光部は、活性層と、Se,Si,およびTeのいずれかを含む第1導電型半導体層と、MgまたはZnを含む第2導電型半導体層とを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記第2導電型半導体層は、Mgを添加された第1の層と、Znを添加された第2の層とを積層して形成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光素子。
- 前記第2導電型半導体層は、Mgを添加された第1の層と、Znを添加された第2の層と、前記第1の層および前記第2の層との間に設けられてドーパントを積極的に含まない第3の層とを含み、前記第2の層が前記オーミックコンタクト接合部と接して設けられることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光素子。
- 前記第2導電型半導体層は、前記ドーパントを積極的に含まない第3の層の厚さが50〜100nmであることを特徴とする請求項5に記載の半導体発光素子。
- 前記第1電極は、前記エピタキシャル層との間に前記発光部を構成する活性層よりバンドギャップエネルギーが小なる層を介して設けられる請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記バンドギャップエネルギーが小なる層は、その厚さが5〜200nmである請求項7に記載の半導体発光素子。
- 前記オーミックコンタクト接合部は、前記発光部を構成する第2導電型半導体層との間にGaxIn1‐xP(0.6≦x)からなる介在層を介して設けられることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記発光部は、前記活性層と前記第1導電型半導体層あるいは前記第2導電型半導体層との間、又は前記活性層と前記第1導電型半導体層および前記第2導電型半導体層との間にアンドープ層を含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体発光素子。
- 前記活性層は、多重量子井戸構造で構成されて層数が10〜80ペアで形成されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体発光素子。
- 前記エピタキシャル層は、前記発光部より上部に設けられる層が前記発光部から発せられる光に対して透明な複数の層によって構成されている特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記オーミックコンタクト接合部は、前記第2導電型半導体層と前記反射金属層との間に設けられる酸化物層に埋設され、前記酸化物層は、前記発光部から発せられる光の波長と前記酸化物層の屈折率から定まる厚さに対して±30%の範囲の厚さを有して設けられることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記支持基板は、Si,GaAs,あるいはGeのいずれかからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記支持基板は、Cu,MO,W,あるいはGe等の金属、またはCuW等の合金からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記オーミックコンタクト接合部は、BeおよびTi,Ni等の遷移金属からなり、前記発光部と300nm以上離れて形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
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