JP2010161160A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体チップ(I)と電極層を有するサブマウント(II)とを基本の構成要素とする半導体発光素子(III)において、半導体チップのp電極とサブマウントの電極層とが金と錫とからなる合金などの半田を介して接合され、しかも、p電極と半田層との間にニッケルやアルミニウムなどのバリア金属層を形成することで、接触抵抗の増加原因となる半田層中の金属拡散を抑制する。
【選択図】 図1
Description
厚さ430μmのサファイア基板上にMOCVD法により半導体積層部であるAlN層を1μm、Al0.8Ga0.2N/AlN超格子構造からなるバッファ層、n型Al0.7Ga0.3N伝導層を1μm、AlxGa1−xN発光層(0≦x≦1)、p型Al0.7Ga0.3N伝導層を100nm、p型GaNコンタクト層を200nm形成した。作製した半導体積層部を窒素雰囲気下で800度に20分間保持し、活性化アニールを行った。この半導体積層部の一部をICPによりエッチングし、n型Al0.7Ga0.3N伝導層の表面を露出させた。電極は真空蒸着により形成した。n電極は、チタン層を20nm、アルミニウム層100nm、チタン層20nm、および金層50nmをこの順で積層した。真空蒸着における真空度は1.0×10−4Paとした。その後、n電極を窒素雰囲気下1000℃で1分間熱処理し、オーミック電極を形成した。p電極は、ニッケル層を20nmおよび金層50nmをこの順で積層した。真空蒸着における真空度は1.0×10−4Paとした。その後、窒素雰囲気下、500℃で2分間熱処理し、オーミック電極を形成した。電極形成後、ダイサーにより500μm角の半導体チップを作製した。また、サブマウントにはAlNを用い、先述の電極と同様に真空蒸着により電極層および半田層を形成した。電極層はチタン層60nm、白金層200nmおよび金層600nmをこの順で積層した。半田層は電極層上に形成し、金の組成が70質量%である金と錫の合金を3.5μm積層した。上記の半導体チップとサブマウントとをフリップチップボンダにより窒素雰囲気下で300℃に加熱し固着接合を行った。
半田層の金の組成を10質量%とした他は、実施例1とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
半田層の金の組成を50質量%とした他は、実施例1とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
半田層の金の組成を60質量%とした他は、実施例1とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
半田層の金の組成を80質量%とした他は、実施例1とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
バリア金属層として順にチタン層を20nm、アルミニウム層を100nm、並びに金層を形成した他は、実施例1とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
バリア金属層として順にチタン層を20nm、ニッケル層およびアルミニウム層を各々50nm、並びに金層を形成した他は、実施例1とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
バリア金属層を形成せずにp電極とサブマウントを接合した他は、実施例1とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
バリア金属層を形成せずにp電極とサブマウントを接合した他は、実施例2とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
バリア金属層を形成せずにp電極とサブマウントを接合した他は、実施例3とすべて同じ手順、材料、条件で作製した。
実施例1〜5および比較例1〜3についてp電極の接触抵抗について評価した。接触抵抗はTransmission Line Model(以下TLM法、文献大森正道著超高速化合物半導体デバイス参照)により接触抵抗を算出した。それぞれの接触抵抗を表2に示す。バリア金属層のない比較例1〜3に比べ、バリア金属層を形成した実施例1〜5は、p電極の接触抵抗が小さくなっている。
2 AlN層
3 バッファ層
4 n型伝導層
5 発光層
6 p型伝導層
7 p型コンタクト層
8 n電極
9 p電極
10 バリア金属層
11 半田層
12 電極層
13 サブマウント
Claims (3)
- 基板と、該基板上に形成されるn型層およびp型層を含む複数の窒化物半導体からなる半導体積層部と、該半導体積層部中のn型層およびp型層の上面に直接形成されるn電極およびp電極からなる半導体チップ(I)と、電極層を有するサブマウント(II)とを基本の構成要素とし、前記n電極およびp電極と前記サブマウントの電極層とが半田層を介して接合された半導体発光素子(III)において、前記p電極と半田層との間にバリア金属層が形成されていることを特徴とする半導体発光素子(III)。
- 前記半田層の半田が金と錫とからなる合金であって、該合金中の金の割合が60〜80質量%である請求項1に記載の半導体発光素子(III)。
- 前記バリア金属層のバリアメタルが、ニッケルおよびアルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属である請求項1または2に記載の半導体発光素子(III)。
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2009
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