JP2012248795A - 半導体発光素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体発光素子は、発光層を含む半導体積層体と、反射層と、支持基板と、第1接合電極と、第2接合電極と、を有する。前記反射層は、前記半導体積層体の側の第1の面および前記第1の面の反対の側の第2の面を有し、金属からなる。前記第1接合電極は、前記第2の面と前記支持基板との間に設けられ、前記支持基板の側に突出した凸部と、平面視で前記凸部の周囲に設けられた底部と、を有する。前記第2接合電極は、前記第1接合電極の前記凸部と嵌合する凹部を有し、前記支持基板と、前記第1接合電極と、を接合することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1(a)は第1の実施形態にかかる半導体発光素子の模式平面図、図1(b)はA−A線に沿った模式断面図、である。
半導体発光素子は、放出光を放出可能な発光層22を含む半導体積層体30と、半導体積層体30の第1の面30aの側に設けられた反射層44と、第1接合電極48と、導電性SiやGeなどからなる支持基板10と、支持基板10に設けられた第2接合電極12と、を有する。半導体積層体30と、反射層44と、の間に、透明導電膜42を設けてもよい。
なお、図2(a)〜(f)は、図1(b)において端部OR(破線)を示している。図2(a)の模式図において、結晶成長基板50の上に、半導体積層体30が形成される。なお、結晶成長基板50は、GaAsからなるものとするが本発明はこれに限定されない。半導体積層体30は、結晶成長基板50の側から、第1導電形の第1の層20、発光層22、第2導電形の第2の層24、光損失が少ない第2導電形GaPなどからなるコンタクト層26を有する。第1の層20および第2の層24は、発光層40を両側から挟んで、縦方向に光を閉じ込めるクラッド層を含むことができる。コンタクト層26の上に、SiO2やSi3N4などからなる絶縁層40を形成する。
縦軸は内部領域44bのAg含有率(at%:原子数百分率)、横軸はウェーハ縦方向の位置、を表す。なお、熱処理プロセスは、ウェーハ接着プロセスであってもよいし、別プロセスとしてもよい。
発光層122を含み、InAlGaP系材料からなる半導体積層体130の下方には絶縁膜140が設けられている。絶縁膜140に設けられた開口部140aにおいて、半導体積層体130と透明導電膜142とが接触している。透明導電膜142の下面の中央の領域には、Ag膜144が設けられている。さらに、外部領域となる透明導電膜142の下面には、Ag膜144よりも厚いAu膜145が設けられている。Ag膜144の表面とAu膜145の表面とを覆うようにTi、Ptなどのバリアメタルからなる接合電極112が設けられている。Si基板110と、接合電極112と、は、AuIn系の合金半田により接合されている。
図5(a)の模式図において、半導体積層体30のコンタクト層26の上に、SiO2やSiNなどからなる絶縁膜40、ITOなどからなる透明導電膜42、をこの順序で形成する。絶縁膜40の厚さは、例えば50〜200nmの範囲が好ましい。また、透明導電膜42は、例えば50〜200nmと薄くすることが好ましい。さらに、透明導電膜42の面42bにAuからなる第2の膜46を形成する。
図6(a)は、図5(d)のC−C線に沿ったウェーハ縦方向のAg含有率の分布を示す。熱処理前には、第2の膜46が透明導電膜42と接して設けられている。図6(b)は、図5(e)のC−C線に沿ったAg含有率の分布を示す。熱処理後には、Agが薄いAuへ拡散されるので、透明導電膜42の側の内部領域44bのAg含有率が高くなる。熱処理温度と時間を変化させることにより、透明導電膜42と接する面のAg含有率を95at%以上とする。すなわち、Ag含有率は第1接合電極48に向かって高くなる。また、外部領域44aには、主として横方向からAgが拡散されて合金層が形成される。合金化前にはAu膜であった外部領域44aの光反射率は、透明導電膜42と接する面の内部領域44bの光反射率よりも低くできる。
半導体積層体90は、InxGayAl1−x−yN(但し、0≦x≦1、0≦y≦1、x+y≦1)なる組成式で表される窒化物系材料からなるものとする。また、その放出光は紫外〜緑色の波長範囲であるものとする。積層体90は、Al0.2Ga0.8Nなどからなる第2クラッド層92、第2クラッド層92の上に設けられた発光層93、発光層93の上に設けられ第1導電形のAl0.2Ga0.8Nなどからなる第1クラッド層94、第1クラッド層94の上に設けられ第1導電形の電流拡散層95、を有する。半導体積層体90の断面構造はこれらに限定されず、例えばコンタクト層や光ガイド層などを有していてもよい。図7のように、発光領域ERから上方へ向かう光G1、発光領域ERから下方へ向かい反射層44により反射された光G2、などを上方において取り出すことができる。
縦軸は金属の光反射率(%)、横軸は入射光の波長(μm)、である。青色光のような短い波長範囲では、金属の光反射率が低下することがある。図8に示すように、AgやAlの反射率は、450nm以上の波長範囲において90%以上と高い。他方、450nmにおいて、Auの反射率は約48%、Ptの反射率は約57%、と低い。すなわち、青色から緑色の波長範囲の光を放出する半導体発光素子の内部に設ける金属反射層は、Ag、Ag合金、Alなどを含むことが好ましい。
半導体発光素子は、放出光を放出可能な発光層22を含む半導体積層体30と、半導体積層体30の第1の面30aの側に設けられた反射層44と、第1接合電極48と、導電性SiやGeなどからなる支持基板10と、支持基板10に設けられた第2接合電極12と、を有する。
なお、図10(a)〜(f)は、ウェーハの断面において、図9の半導体素子の2分の1のサイズを示す。図10(a)において、結晶成長基板50の上に、半導体積層体30が形成される。なお、結晶成長基板50は、GaAsからなるものとする。半導体積層体30は、結晶成長基板50の側から、第1導電形の第1の層20、発光層22、第2導電形の第2の層24、光損失が少ない第2導電形GaPなどからなるコンタクト層26を有する。第1の層20および第2の層24は、発光層22を両側から挟んで、縦方向に光を閉じ込めるクラッド層を含むことができる。コンタクト層26の上に、SiO2やSi3N4などからなる絶縁層40を形成する。
透明導電膜42の外縁42sが、側面SSに露出してもよい。ダイシングラインとする領域に段差を生じても、第2接合電極12が半田材を含んでいるので、半田材が溶融することにより段差T5を埋め空洞部の発生が抑制される。
ダイシングラインには、例えばスクライビングなどによる溝部130sが設けられている。ダイシングライン近傍には、反射層および透明導電膜を設けず、チップへ分離した後の側面にはこれらが露出しない。第1接合電極149および第2接合電極112が、ともに半田材を含まない比較例の場合、段差が埋められず、ウェーハ接着後のダイシングラインの下方に空洞部C1、C2を生じる。このうち空洞部C1が生じると、空洞部C1の近傍にブレード99を回転して切断するダイシング工程などでチップの割れや欠けなどを生じやすい。これに対して第3の実施形態にかかる半導体発光素子によれば、ダイシングライン近傍に空洞部を生じることなく、チップの割れや欠けを抑制抑制できる。
Claims (12)
- 発光層を含む半導体積層体と、
前記半導体積層体の側の第1の面および前記第1の面の反対の側の第2の面を有し、金属からなる反射層と、
支持基板と、
前記第2の面と前記支持基板との間に設けられ、前記支持基板の側に突出した凸部と、平面視で前記凸部の周囲に設けられた底部と、を有する第1接合電極と、
前記第1接合電極の前記凸部と嵌合する凹部を有し、前記支持基板と、前記第1接合電極と、を接合可能な第2接合電極と、
を備えたことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記反射層は、第1金属および前記第1金属の光反射率よりも低い光反射率を有する第2金属からなる合金を含み、内部領域と、平面視で前記内部領域の周囲に設けられ前記内部領域の厚さよりも小さい厚さを有する外部領域と、を有し、
前記内部領域の前記第1の面における光反射率は、前記外部領域の前記第1の面における光反射率よりも高く、
前記第1接合電極の前記凸部は、前記内部領域を覆うように設けられたことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。 - 前記反射層は、前記凸部と前記半導体積層体との間に設けられるが、前記底部と前記前記半導体層との間には設けられないことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 前記半導体積層体と、前記反射層と、の間に設けられた透明導電膜をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに半導体発光素子。
- 前記反射層は、Agを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記第2接合電極は、半田材からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 結晶成長基板の上に、発光層を含む半導体積層体を形成する工程と、
前記半導体積層体の上に反射層を形成する工程と、
前記反射層を覆い、凸部と前記凸部の周囲の設けられた底部とを有する第1接合電極を形成する工程と、
支持基板に半田材からなる第2接合電極を形成する工程と、
前記第1接合電極と前記第2接合電極とを重ね合わせ、前記半田材の融点以上に加熱しかつ加圧しつつ、 前記第1接合電極の前記凸部と前記底部との段差をうめ、前記第1接合電極と前記支持基板とを接合する工程と、
前記結晶成長基板を除去する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記反射層は、第1金属および前記第1金属の光反射率よりも低い光反射率を有する第2金属からなる合金を含み、内部領域と、平面視で前記内部領域の周囲に設けられ前記内部領域の厚さよりも小さい厚さを有する外部領域と、を有し、前記内部領域の前記第1の面における光反射率は、前記外部領域の前記第1の面における光反射率よりも高く、
前記凸部は、前記内部領域を覆うように形成されることを特徴とする請求項7記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記反射層を形成する工程は、前記第1金属からなる第1の膜を選択的に形成し、前記第1の膜および前記第1の膜が除去された領域に前記第2金属からなる第2の膜を形成する工程を含み、
前記第1金属は、Ag、Ag合金、Alのいずれかであり、
前記第2金属は、Au,Pt、Pdのいずれかであることを特徴とする請求項8記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記反射層を形成する工程は、前記第2金属からなる第2の膜を形成し、前記第2の膜の上に前記第1金属からなる第1の膜を選択的に形成する工程を含み、
前記第1金属は、Ag、Ag合金、Alのいずれかであり、
前記第2金属は、Au,Pt、Pdのいずれかであることを特徴とする請求項8記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記反射層を形成する工程は、平面視で前記半導体積層体よりも小さいAgを含む膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項7記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記反射層を形成する工程は、前記半導体積層体の表面に透明導電膜を形成し、前記透明導電膜の表面に前記反射層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項7〜11のいずれか1つに記載の半導体発光素子の製造方法。
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