JP2020053118A - 加熱装置および発熱体の加熱方法 - Google Patents
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Abstract
Description
30 被加熱物
40 反射容器
70 カーボン発熱材(発熱材)
70M カーボン粉粒体
84 コントローラ
90 温度計
100 マイクロ波加熱装置
150 マイクロ波発振機(マグネトロン)
Claims (11)
- マイクロ波を吸収して発熱するカーボンを含む発熱材と、マイクロ波を透過し、前記発熱材が内部に配置される容器とを有する発熱体と、
前記発熱体の温度を測定する温度測定部とを備え、
30(℃/sec)以上の昇温速度で前記発熱体を昇温させ、前記発熱体の温度を目標温度に合わせて維持するように、測定された温度に基づいてマイクロ波を前記発熱体に照射することを特徴とする加熱装置。 - 前記発熱体を、30(℃/sec)以上の昇温速度で目標温度付近の温度まで昇温させ、その後、漸近的に目標温度へ近づくように前記発熱体を昇温させることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記発熱体を、30(℃/sec)以上の降温速度で降温させることを特徴とする請求項1または2に記載の加熱装置。
- 前記発熱体へマイクロ波を照射するマグネトロンと、
前記マグネトロンの電力を制御する制御部とをさらに備え、
前記制御部が、前記マグネトロンの電力を制御することによって、30(℃/sec)以上の昇温速度で前記発熱体を昇温させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の加熱装置。 - 前記制御部が、駆動開始から目標付近温度到達まで前記マグネトロンの電力を徐々に増加させていくことを特徴とする請求項4に記載の加熱装置。
- 前記制御部が、前記発熱体の目標付近温度到達に応じて電力を下げ、電力の増減を複数回繰り返すことを特徴とする請求項5に記載の加熱装置。
- 前記制御部が、30(℃/sec)以上の降温速度で前記発熱体を降温させるとき、電力を徐々に下げていくことを特徴とする請求項4乃至6のいずれかに記載の加熱装置。
- 前記マグネトロンへの電力が100W以上であり、
目標温度が800℃以上であることを特徴とする請求項4乃至7のいずれかに記載の加熱装置。 - 前記発熱材はカーボンを含む粉粒体からなり、
前記発熱材の全体厚さおよび前記粉粒体の充填率の少なくとも一方が、粒子間の熱伝導による昇温よりもマイクロ波吸収による昇温が支配的となるように、定められていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の加熱装置。 - 前記発熱材に対して不活性な流体が、前記容器内に封入されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の加熱装置。
- マイクロ波を吸収して発熱するカーボンを含む発熱材と、マイクロ波を透過して前記発熱材を収容する容器とを備えた発熱体に対し、マイクロ波を照射する加熱方法であって、
前記発熱体の温度を測定し、
30(℃/sec)以上の昇温速度で前記発熱体を昇温させ、前記発熱体の温度を目標温度に合わせ、そして前記発熱体の温度を目標温度で維持するように、測定された温度に基づいてマイクロ波を前記発熱体へ照射することを特徴とする加熱方法。
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4884335A (ja) * | 1972-02-09 | 1973-11-09 | ||
JPS4983039A (ja) * | 1972-12-15 | 1974-08-09 | ||
US5432325A (en) * | 1994-10-20 | 1995-07-11 | University Of California | Microwave sintering of single plate-shaped articles |
JP2007038455A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Showa Denko Kk | 接着積層体及びその製造方法並びに加熱乾燥装置 |
JP2007258286A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
JP2008231465A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd | Crを含有する有価金属含有副産物のマイクロ波加熱炭素還元法 |
JP2008266097A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Nippon Steel Corp | 炭素含有耐火物の熱処理方法および炭素含有耐火物用の熱処理炉 |
JP2010123635A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2010207735A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 流体へのマイクロ波連続照射方法及び装置 |
JP2012059872A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 熱処理装置 |
JP2015118869A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Jfeケミカル株式会社 | マイクロ波吸収発熱体用Li系フェライトおよびその製造方法、並びに、マイクロ波吸収発熱体用Li系フェライト粉、マイクロ波吸収発熱体用Li系フェライト焼結体およびマイクロ波吸収発熱体 |
-
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4884335A (ja) * | 1972-02-09 | 1973-11-09 | ||
JPS4983039A (ja) * | 1972-12-15 | 1974-08-09 | ||
US5432325A (en) * | 1994-10-20 | 1995-07-11 | University Of California | Microwave sintering of single plate-shaped articles |
JP2007038455A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Showa Denko Kk | 接着積層体及びその製造方法並びに加熱乾燥装置 |
JP2007258286A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
JP2008231465A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd | Crを含有する有価金属含有副産物のマイクロ波加熱炭素還元法 |
JP2008266097A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Nippon Steel Corp | 炭素含有耐火物の熱処理方法および炭素含有耐火物用の熱処理炉 |
JP2010123635A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2010207735A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 流体へのマイクロ波連続照射方法及び装置 |
JP2012059872A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 熱処理装置 |
JP2015118869A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Jfeケミカル株式会社 | マイクロ波吸収発熱体用Li系フェライトおよびその製造方法、並びに、マイクロ波吸収発熱体用Li系フェライト粉、マイクロ波吸収発熱体用Li系フェライト焼結体およびマイクロ波吸収発熱体 |
Non-Patent Citations (1)
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---|
たった25分で1400℃に高速加熱!レンジで金属が溶かせる電子レンジるつぼ | 注目製品 | イプロスもの, JPN7023002136, 21 October 2015 (2015-10-21), ISSN: 0005073136 * |
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