JP2004137513A - スパッタ成膜方法およびスパッタ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電気的に絶縁性の材料からなるターゲットにスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うにあたって、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加を適切に実現し、成膜速度の向上を図る。
【解決手段】チャンバ10内にて電気的に絶縁性の材料からなるターゲット30にスパッタリング用のガスを衝突させることにより基板10に成膜を行うスパッタ成膜方法において、ターゲット30のスパッタ面側に配置されたフィラメント80に通電することにより熱電子を放出させ、この熱電子によってターゲット30に付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを中性化しながら、成膜を行う。
【選択図】 図1
【解決手段】チャンバ10内にて電気的に絶縁性の材料からなるターゲット30にスパッタリング用のガスを衝突させることにより基板10に成膜を行うスパッタ成膜方法において、ターゲット30のスパッタ面側に配置されたフィラメント80に通電することにより熱電子を放出させ、この熱電子によってターゲット30に付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを中性化しながら、成膜を行う。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気的に絶縁性の材料からなるターゲットにスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ成膜方法およびそれに用いるスパッタ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、電気的に絶縁性の材料からなるターゲットにスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ成膜方法としては、高周波スパッタリング法やパルススパッタリング法が知られている(例えば、特許文献1、2参照)。
【0003】
これらの成膜に用いられるスパッタ装置は、チャンバ、該チャンバ内に設けられたターゲット、ターゲットに高周波またはパルス波を印加するスパッタ電源等を備え、該チャンバ内に導入した希ガス等のスパッタリング用ガスを高電圧によりプラズマ化してターゲットに衝突させ、ターゲットから放出される原子をチャンバ内の基板に蒸着させることにより成膜を行うものである。
【0004】
具体的には、ターゲットに負電力が印加されているときにはプラズマ中の陽イオンをターゲットに衝突させることでスパッタリングを行う。このスパッタリングはプラズマとターゲットとの間の電位差によって生じる現象である。そして、このスパッタリングによりターゲットから原子が放出され、上記基板表面に成膜される。ここで、場合によってはこの原子がプラズマ化したスパッタリング用ガスと反応して化合物の膜として上記基板表面に成膜される。
【0005】
一方、ターゲットに正電力が印加されているときには、プラズマ中の電子をターゲット表面上で帯電している陽イオンに衝突させることで陽イオンが中性化され、ターゲット表面から除去される。この中性化によってターゲット表面における陽イオンの蓄積を防止し、プラズマとターゲットとの間の電位差が確保されることにより、安定したスパッタリング現象を得ることが可能となっている。
【0006】
【特許文献1】
特開昭61−153276号公報
【0007】
【特許文献2】
特開昭60258927号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のスパッタリングによる成膜では、成膜中においてターゲットの正電力印加時では陽イオンの中性化による除去がなされるが、ターゲットの負電力印加時にはなされない。つまり、陽イオンの除去は成膜中において常時なされてはいない。
【0009】
そのため、実質的にターゲットから原子を放出し成膜を行う期間である負電力印加時においては、ターゲットに衝突する陽イオンがターゲット表面に付着するため、見かけ上、プラズマとターゲットとの間の電位差が小さくなる。つまり、スパッタの投入電力すなわちターゲットに印加される電力に対して、実効的にターゲットに発生する電力が小さくなる。
【0010】
スパッタ成膜においては、プラズマとターゲットとの電位差が大きいほどプラズマ中の陽イオンがターゲットに衝突するエネルギーが大きくなり、それによりターゲットからの原子放出量が大きくなり、結果、成膜速度が速くなる。
【0011】
したがって、従来のスパッタ成膜においては、陽イオンの除去が成膜中において常時なされないために、スパッタの投入電力を大きくしても、それに見合った成膜速度が適切に得られないという問題が生じる。
【0012】
そこで本発明は上記問題に鑑み、電気的に絶縁性の材料からなるターゲットにスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うにあたって、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加を適切に実現し、成膜速度の向上を図ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、電気的に絶縁性の材料からなるターゲット(30)にスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ成膜方法において、ターゲットに付着したガスの陽イオンを熱電子により中性化しながら、成膜を行うことを特徴とする。
【0014】
それによれば、ターゲットの電位が正負であるにかかわらず、成膜中において常時、ターゲットに付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを除去することができる。
【0015】
そのため、従来に比べて当該陽イオンによるターゲット−プラズマ間の電位差低下を抑制できるため、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加が適切に実現され、成膜速度の向上を図ることができる。
【0016】
ここで、請求項2に記載の発明のように、熱電子を、ターゲット(30)のスパッタ面側に配置されたフィラメント(80)に通電することにより発生させることができる。
【0017】
請求項3に記載の発明では、電気的に絶縁性の材料からなるターゲット(30)にスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ装置において、ターゲットに付着したガスの陽イオンを中性化するための熱電子を放出する熱電子放出手段(80)を備えることを特徴とする。
【0018】
それによれば、熱電子放出手段によってターゲットに付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを熱電子により中性化しながら成膜を行うことができるため、請求項1に記載の成膜方法を適切に実現可能なスパッタ装置を提供することができる。
【0019】
ここで、請求項4に記載の発明のように、熱電子放出手段としては、ターゲット(30)のスパッタ面側に配置され通電されることにより熱電子を放出するフィラメント(80)にすることができる。
【0020】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図1は本発明の実施形態に係るスパッタ装置の構成を模式的に示す図である。
【0022】
このスパッタ装置は、真空容器として構成される金属製のチャンバ10を備える。このチャンバ10は、図示しないが、真空ポンプ等によって内圧を一定の圧力に維持できるようになっている。
【0023】
また、チャンバ10内には、被成膜対象としての基板20が設置されるようになっている。ここで基板20としては、任意のものが採用可能であり、金属基板、半導体基板、セラミック基板、樹脂基板等を採用することができる。
【0024】
また、チャンバ10内には、基板20に対向するようにターゲット30が設けられている。このターゲット30は電気的に絶縁性の材料からなるものであり、例えば、ボロンやシリコン等の成形体または焼結体等を採用することができる。
【0025】
このターゲット30は銅等からなる金属台40に支持固定されており、さらに、この金属台40はスパッタ電源50に電気的に接続されている。このスパッタ電源50はターゲット30に所定の投入電力を印加するものであり、具体的にはスパッタ電源50から金属台40を介してターゲット30に高周波またはパルス波が印加されるようになっている。
【0026】
また、ターゲット30にはターゲット電圧計60が接続されており、このターゲット電圧計60によって、ターゲット30における実際の電圧すなわちターゲット実効電圧が測定されるようになっている。
【0027】
また、チャンバ10には、該チャンバ10内にスパッタリング用のガスを導入するためのスパッタリングガス導入部70が設けられている。このガスは、アルゴンガスまたはヘリウムガス等の希ガスや窒素または酸素等の反応性ガスからなり、ガス導入部70によってチャンバ10の内圧を所定圧に保つようにその流量が調整されてチャンバ10へ導入される。
【0028】
そして、チャンバ10内においては、ターゲット30とチャンバ10等の金属部との間に発生する高電圧により、スパッタリング用のガスがプラズマ化するようになっている。
【0029】
そして、ターゲット30に負電力が印加されているときには、プラズマ化したスパッタリング用のガスの陽イオンがターゲット30に衝突し、ターゲット30から放出される原子がチャンバ10内の基板20に蒸着することにより、基板20の表面にて成膜が行われるようになっている。
【0030】
例えば、スパッタリング用のガスがアルゴン(Ar)で、ターゲット30がボロン(B)である場合、スパッタ電源50によってターゲット30に電力を投入すると、チャンバ10内に発生する高電圧によってアルゴンがプラズマとなりAr+イオンと電子(e−)とが生じる。Ar+イオンはターゲット30に衝突してそのエネルギーによってボロン原子を放出し、放出されたボロン原子が基板20の表面に蒸着し、ボロン膜が成膜される。
【0031】
また、例えば、スパッタリング用のガスがアルゴン(Ar)と窒素ガス(N2)で、ターゲット30がシリコン(Si)である場合には、同様の作用により、基板20の表面にはシリコン窒化膜(SiN膜)が成膜される。
【0032】
一方、ターゲット30に正電力が印加されているときには、プラズマ中の電子をターゲット30表面上で帯電している陽イオンに衝突させることで陽イオンが中性化され、ターゲット表面から除去される。
【0033】
このように、本スパッタ装置においては、ターゲット30の負電力印加時にはプラズマ中の陽イオンをターゲット30に衝突させることでスパッタリングを発生させ、成膜を行い、正電力印加時には、陽イオンを中性化してターゲット30表面から除去するようにしている。
【0034】
ここにおいて、本実施形態では、ターゲット30の負電力印加時においてもターゲット30に付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを中性化するための熱電子放出手段としてのフィラメント80を備えている。
【0035】
このフィラメント80は、チャンバ10内において、ターゲット30における基板20と対向する面すなわちスパッタ面側に配置されている。このフィラメント80は例えば、タングステン(W)やタンタル(Ta)等よりなる金属線であり、ターゲット30のスパッタ面を覆うように形成されている。
【0036】
例えば、ターゲット30が円形板状であるとき、そのスパッタ面は円形(例えばφ150mm程度)であるが、フィラメント80は、そのスパッタ面と重なるような長さ(例えば600mm程度)に形成された金属線である。
【0037】
このフィラメント80は該フィラメント80に通電するためのフィラメント用電源82を有する。そして、フィラメント用電源82により通電されたフィラメント80は、高温に加熱されフィラメント80内の電子(すなわち熱電子)を放出するようになっている。
【0038】
このようなスパッタ装置を用いた本実施形態のスパッタ成膜方法について述べる。まず、チャンバ10内に基板20とターゲット30をセットする。次に、スパッタリング用のガスをチャンバ10内に流しながら、真空引きを行い、チャンバ10内を所定圧力にする。
【0039】
その後、スパッタ電源50およびフィラメント用電源82を作動させ、ターゲット30に高電圧の高周波またはパルス波を印加するとともに、フィラメント80に通電する。
【0040】
例えば、0.数kWの投入電力をターゲット30に印加し、フィラメント80に印加する放電電圧値は20〜50Vの範囲内において任意の値を、またフィラメント80に印加する放電電流値は0.1〜8.0Aのの範囲内において任意の値を設定するようにできる。
【0041】
それにより、ターゲット30の負電力印加時にはプラズマ中の陽イオンをターゲット30に衝突させることでスパッタリングを発生させて成膜を行い、正電力印加時には、陽イオンを中性化してターゲット30表面から除去する。
【0042】
さらに、本実施形態の成膜方法では、ターゲット30の負電力印加時においてもフィラメント80によって放出される熱電子により、ターゲット30に付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを中性化して除去することができる。
【0043】
図2は、このフィラメント80による陽イオンの中性化について模式的に示した図である。
【0044】
図2に示すように、フィラメント用電源82から電流が印加されたフィラメント80によって熱電子e−が放出され、ターゲット30上に静電帯電しているアルゴンの陽イオンAr+に熱電子e−が照射される。そして、陽イオンAr+と熱電子e−が結合して中性化されたAr原子は、ターゲット30から離脱して除去される。
【0045】
なお、図2に示すフィラメント80による陽イオンの中性化作用は、他のスパッタリング用のガスであっても同様に行われることは明らかである。このように、本実施形態によれば、ターゲット30の電位が正負であるにかかわらず、成膜中において常時、ターゲット30に付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを除去することができる。
【0046】
そのため、従来に比べて当該陽イオンによるターゲット30の電圧低下を抑制できるため、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加が適切に実現され、成膜速度の向上を図ることができる。
【0047】
図3は、このような本実施形態の成膜速度向上の効果についての具体的な一例を示す図である。図3は、基板20は鉄製基板、ターゲット30はボロン、スパッタリング用のガスはアルゴン、チャンバ10内の圧力は1Paとしたときの成膜時間(単位:h)と基板20上に成膜されたボロン膜の膜厚(単位:μm)との関係を示す図である。
【0048】
ここで、「フィラメント有り」は本実施形態であり、スパッタ電源50による投入電力(スパッタ投入電力)が0.3kW、0.8kWの場合を示した。また、「フィラメント無し」は比較例であり、上記図1においてフィラメント80が存在しない従来のスパッタ装置を用いてスパッタ投入電力0.3kWの場合を示したものである。
【0049】
図3から、本実施形態と比較例とでは、同じスパッタ投入電力0.3kWで比較した場合、常時陽イオンの除去が可能である本実施形態の方が、スパッタ投入電力に応じた成膜速度の増加が適切に実現され、成膜速度の向上を図ることができている。
【0050】
また、フィラメント無しである従来の場合、スパッタ投入電力が0.3kWを超えると、ターゲット30における実際の電圧すなわちターゲット実効電圧(絶対値)が1000Vを超え、スパッタリングの領域から外れてイオン注入の領域となってしまう。また、この1000Vの値はスパッタ装置の限界でもあり、1000Vを超えるとターゲット30にダメージが生じる。
【0051】
ここにおいて、本実施形態では、メカニズムについては不明であるが、投入電力が0.8kWであっても、ターゲット実効電圧がスパッタリングの使用電圧(約1000V)を超えず、図3に示すように、むしろ成膜速度が一段と向上しているという効果もある。つまり、本実施形態では、スパッタ投入電力を増加させていくことにより、それに見合った成膜速度の向上が適切に実現できる。
【0052】
以上述べてきたように、本実施形態によれば、電気的に絶縁性の材料からなるターゲット30にスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うにあたって、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加を適切に実現し、成膜速度の向上を図ることの可能なスパッタ成膜方法およびそれに用いるスパッタ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るスパッタ装置の概略構成図である。
【図2】フィラメントによる陽イオンの中性化について模式的に示した図である。
【図3】成膜速度向上の効果についての具体的な一例を示す図である。
【符号の説明】
30…ターゲット、80…熱電子放出手段としてのフィラメント。
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気的に絶縁性の材料からなるターゲットにスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ成膜方法およびそれに用いるスパッタ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、電気的に絶縁性の材料からなるターゲットにスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ成膜方法としては、高周波スパッタリング法やパルススパッタリング法が知られている(例えば、特許文献1、2参照)。
【0003】
これらの成膜に用いられるスパッタ装置は、チャンバ、該チャンバ内に設けられたターゲット、ターゲットに高周波またはパルス波を印加するスパッタ電源等を備え、該チャンバ内に導入した希ガス等のスパッタリング用ガスを高電圧によりプラズマ化してターゲットに衝突させ、ターゲットから放出される原子をチャンバ内の基板に蒸着させることにより成膜を行うものである。
【0004】
具体的には、ターゲットに負電力が印加されているときにはプラズマ中の陽イオンをターゲットに衝突させることでスパッタリングを行う。このスパッタリングはプラズマとターゲットとの間の電位差によって生じる現象である。そして、このスパッタリングによりターゲットから原子が放出され、上記基板表面に成膜される。ここで、場合によってはこの原子がプラズマ化したスパッタリング用ガスと反応して化合物の膜として上記基板表面に成膜される。
【0005】
一方、ターゲットに正電力が印加されているときには、プラズマ中の電子をターゲット表面上で帯電している陽イオンに衝突させることで陽イオンが中性化され、ターゲット表面から除去される。この中性化によってターゲット表面における陽イオンの蓄積を防止し、プラズマとターゲットとの間の電位差が確保されることにより、安定したスパッタリング現象を得ることが可能となっている。
【0006】
【特許文献1】
特開昭61−153276号公報
【0007】
【特許文献2】
特開昭60258927号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のスパッタリングによる成膜では、成膜中においてターゲットの正電力印加時では陽イオンの中性化による除去がなされるが、ターゲットの負電力印加時にはなされない。つまり、陽イオンの除去は成膜中において常時なされてはいない。
【0009】
そのため、実質的にターゲットから原子を放出し成膜を行う期間である負電力印加時においては、ターゲットに衝突する陽イオンがターゲット表面に付着するため、見かけ上、プラズマとターゲットとの間の電位差が小さくなる。つまり、スパッタの投入電力すなわちターゲットに印加される電力に対して、実効的にターゲットに発生する電力が小さくなる。
【0010】
スパッタ成膜においては、プラズマとターゲットとの電位差が大きいほどプラズマ中の陽イオンがターゲットに衝突するエネルギーが大きくなり、それによりターゲットからの原子放出量が大きくなり、結果、成膜速度が速くなる。
【0011】
したがって、従来のスパッタ成膜においては、陽イオンの除去が成膜中において常時なされないために、スパッタの投入電力を大きくしても、それに見合った成膜速度が適切に得られないという問題が生じる。
【0012】
そこで本発明は上記問題に鑑み、電気的に絶縁性の材料からなるターゲットにスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うにあたって、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加を適切に実現し、成膜速度の向上を図ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、電気的に絶縁性の材料からなるターゲット(30)にスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ成膜方法において、ターゲットに付着したガスの陽イオンを熱電子により中性化しながら、成膜を行うことを特徴とする。
【0014】
それによれば、ターゲットの電位が正負であるにかかわらず、成膜中において常時、ターゲットに付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを除去することができる。
【0015】
そのため、従来に比べて当該陽イオンによるターゲット−プラズマ間の電位差低下を抑制できるため、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加が適切に実現され、成膜速度の向上を図ることができる。
【0016】
ここで、請求項2に記載の発明のように、熱電子を、ターゲット(30)のスパッタ面側に配置されたフィラメント(80)に通電することにより発生させることができる。
【0017】
請求項3に記載の発明では、電気的に絶縁性の材料からなるターゲット(30)にスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ装置において、ターゲットに付着したガスの陽イオンを中性化するための熱電子を放出する熱電子放出手段(80)を備えることを特徴とする。
【0018】
それによれば、熱電子放出手段によってターゲットに付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを熱電子により中性化しながら成膜を行うことができるため、請求項1に記載の成膜方法を適切に実現可能なスパッタ装置を提供することができる。
【0019】
ここで、請求項4に記載の発明のように、熱電子放出手段としては、ターゲット(30)のスパッタ面側に配置され通電されることにより熱電子を放出するフィラメント(80)にすることができる。
【0020】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図1は本発明の実施形態に係るスパッタ装置の構成を模式的に示す図である。
【0022】
このスパッタ装置は、真空容器として構成される金属製のチャンバ10を備える。このチャンバ10は、図示しないが、真空ポンプ等によって内圧を一定の圧力に維持できるようになっている。
【0023】
また、チャンバ10内には、被成膜対象としての基板20が設置されるようになっている。ここで基板20としては、任意のものが採用可能であり、金属基板、半導体基板、セラミック基板、樹脂基板等を採用することができる。
【0024】
また、チャンバ10内には、基板20に対向するようにターゲット30が設けられている。このターゲット30は電気的に絶縁性の材料からなるものであり、例えば、ボロンやシリコン等の成形体または焼結体等を採用することができる。
【0025】
このターゲット30は銅等からなる金属台40に支持固定されており、さらに、この金属台40はスパッタ電源50に電気的に接続されている。このスパッタ電源50はターゲット30に所定の投入電力を印加するものであり、具体的にはスパッタ電源50から金属台40を介してターゲット30に高周波またはパルス波が印加されるようになっている。
【0026】
また、ターゲット30にはターゲット電圧計60が接続されており、このターゲット電圧計60によって、ターゲット30における実際の電圧すなわちターゲット実効電圧が測定されるようになっている。
【0027】
また、チャンバ10には、該チャンバ10内にスパッタリング用のガスを導入するためのスパッタリングガス導入部70が設けられている。このガスは、アルゴンガスまたはヘリウムガス等の希ガスや窒素または酸素等の反応性ガスからなり、ガス導入部70によってチャンバ10の内圧を所定圧に保つようにその流量が調整されてチャンバ10へ導入される。
【0028】
そして、チャンバ10内においては、ターゲット30とチャンバ10等の金属部との間に発生する高電圧により、スパッタリング用のガスがプラズマ化するようになっている。
【0029】
そして、ターゲット30に負電力が印加されているときには、プラズマ化したスパッタリング用のガスの陽イオンがターゲット30に衝突し、ターゲット30から放出される原子がチャンバ10内の基板20に蒸着することにより、基板20の表面にて成膜が行われるようになっている。
【0030】
例えば、スパッタリング用のガスがアルゴン(Ar)で、ターゲット30がボロン(B)である場合、スパッタ電源50によってターゲット30に電力を投入すると、チャンバ10内に発生する高電圧によってアルゴンがプラズマとなりAr+イオンと電子(e−)とが生じる。Ar+イオンはターゲット30に衝突してそのエネルギーによってボロン原子を放出し、放出されたボロン原子が基板20の表面に蒸着し、ボロン膜が成膜される。
【0031】
また、例えば、スパッタリング用のガスがアルゴン(Ar)と窒素ガス(N2)で、ターゲット30がシリコン(Si)である場合には、同様の作用により、基板20の表面にはシリコン窒化膜(SiN膜)が成膜される。
【0032】
一方、ターゲット30に正電力が印加されているときには、プラズマ中の電子をターゲット30表面上で帯電している陽イオンに衝突させることで陽イオンが中性化され、ターゲット表面から除去される。
【0033】
このように、本スパッタ装置においては、ターゲット30の負電力印加時にはプラズマ中の陽イオンをターゲット30に衝突させることでスパッタリングを発生させ、成膜を行い、正電力印加時には、陽イオンを中性化してターゲット30表面から除去するようにしている。
【0034】
ここにおいて、本実施形態では、ターゲット30の負電力印加時においてもターゲット30に付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを中性化するための熱電子放出手段としてのフィラメント80を備えている。
【0035】
このフィラメント80は、チャンバ10内において、ターゲット30における基板20と対向する面すなわちスパッタ面側に配置されている。このフィラメント80は例えば、タングステン(W)やタンタル(Ta)等よりなる金属線であり、ターゲット30のスパッタ面を覆うように形成されている。
【0036】
例えば、ターゲット30が円形板状であるとき、そのスパッタ面は円形(例えばφ150mm程度)であるが、フィラメント80は、そのスパッタ面と重なるような長さ(例えば600mm程度)に形成された金属線である。
【0037】
このフィラメント80は該フィラメント80に通電するためのフィラメント用電源82を有する。そして、フィラメント用電源82により通電されたフィラメント80は、高温に加熱されフィラメント80内の電子(すなわち熱電子)を放出するようになっている。
【0038】
このようなスパッタ装置を用いた本実施形態のスパッタ成膜方法について述べる。まず、チャンバ10内に基板20とターゲット30をセットする。次に、スパッタリング用のガスをチャンバ10内に流しながら、真空引きを行い、チャンバ10内を所定圧力にする。
【0039】
その後、スパッタ電源50およびフィラメント用電源82を作動させ、ターゲット30に高電圧の高周波またはパルス波を印加するとともに、フィラメント80に通電する。
【0040】
例えば、0.数kWの投入電力をターゲット30に印加し、フィラメント80に印加する放電電圧値は20〜50Vの範囲内において任意の値を、またフィラメント80に印加する放電電流値は0.1〜8.0Aのの範囲内において任意の値を設定するようにできる。
【0041】
それにより、ターゲット30の負電力印加時にはプラズマ中の陽イオンをターゲット30に衝突させることでスパッタリングを発生させて成膜を行い、正電力印加時には、陽イオンを中性化してターゲット30表面から除去する。
【0042】
さらに、本実施形態の成膜方法では、ターゲット30の負電力印加時においてもフィラメント80によって放出される熱電子により、ターゲット30に付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを中性化して除去することができる。
【0043】
図2は、このフィラメント80による陽イオンの中性化について模式的に示した図である。
【0044】
図2に示すように、フィラメント用電源82から電流が印加されたフィラメント80によって熱電子e−が放出され、ターゲット30上に静電帯電しているアルゴンの陽イオンAr+に熱電子e−が照射される。そして、陽イオンAr+と熱電子e−が結合して中性化されたAr原子は、ターゲット30から離脱して除去される。
【0045】
なお、図2に示すフィラメント80による陽イオンの中性化作用は、他のスパッタリング用のガスであっても同様に行われることは明らかである。このように、本実施形態によれば、ターゲット30の電位が正負であるにかかわらず、成膜中において常時、ターゲット30に付着したスパッタリング用のガスの陽イオンを除去することができる。
【0046】
そのため、従来に比べて当該陽イオンによるターゲット30の電圧低下を抑制できるため、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加が適切に実現され、成膜速度の向上を図ることができる。
【0047】
図3は、このような本実施形態の成膜速度向上の効果についての具体的な一例を示す図である。図3は、基板20は鉄製基板、ターゲット30はボロン、スパッタリング用のガスはアルゴン、チャンバ10内の圧力は1Paとしたときの成膜時間(単位:h)と基板20上に成膜されたボロン膜の膜厚(単位:μm)との関係を示す図である。
【0048】
ここで、「フィラメント有り」は本実施形態であり、スパッタ電源50による投入電力(スパッタ投入電力)が0.3kW、0.8kWの場合を示した。また、「フィラメント無し」は比較例であり、上記図1においてフィラメント80が存在しない従来のスパッタ装置を用いてスパッタ投入電力0.3kWの場合を示したものである。
【0049】
図3から、本実施形態と比較例とでは、同じスパッタ投入電力0.3kWで比較した場合、常時陽イオンの除去が可能である本実施形態の方が、スパッタ投入電力に応じた成膜速度の増加が適切に実現され、成膜速度の向上を図ることができている。
【0050】
また、フィラメント無しである従来の場合、スパッタ投入電力が0.3kWを超えると、ターゲット30における実際の電圧すなわちターゲット実効電圧(絶対値)が1000Vを超え、スパッタリングの領域から外れてイオン注入の領域となってしまう。また、この1000Vの値はスパッタ装置の限界でもあり、1000Vを超えるとターゲット30にダメージが生じる。
【0051】
ここにおいて、本実施形態では、メカニズムについては不明であるが、投入電力が0.8kWであっても、ターゲット実効電圧がスパッタリングの使用電圧(約1000V)を超えず、図3に示すように、むしろ成膜速度が一段と向上しているという効果もある。つまり、本実施形態では、スパッタ投入電力を増加させていくことにより、それに見合った成膜速度の向上が適切に実現できる。
【0052】
以上述べてきたように、本実施形態によれば、電気的に絶縁性の材料からなるターゲット30にスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うにあたって、スパッタの投入電力に応じた成膜速度の増加を適切に実現し、成膜速度の向上を図ることの可能なスパッタ成膜方法およびそれに用いるスパッタ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るスパッタ装置の概略構成図である。
【図2】フィラメントによる陽イオンの中性化について模式的に示した図である。
【図3】成膜速度向上の効果についての具体的な一例を示す図である。
【符号の説明】
30…ターゲット、80…熱電子放出手段としてのフィラメント。
Claims (4)
- 電気的に絶縁性の材料からなるターゲット(30)にスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ成膜方法において、
前記ターゲットに付着した前記ガスの陽イオンを熱電子により中性化しながら、前記成膜を行うことを特徴とするスパッタ成膜方法。 - 前記熱電子を、前記ターゲット(30)のスパッタ面側に配置されたフィラメント(80)に通電することにより発生させることを特徴とする請求項1に記載のスパッタ成膜方法。
- 電気的に絶縁性の材料からなるターゲット(30)にスパッタリング用のガスを衝突させることにより成膜を行うスパッタ装置において、
前記ターゲットに付着した前記ガスの陽イオンを中性化するための熱電子を放出する熱電子放出手段(80)を備えることを特徴とするスパッタ装置。 - 前記熱電子放出手段は、前記ターゲット(30)のスパッタ面側に配置され通電されることにより前記熱電子を放出するフィラメント(80)であることを特徴とする請求項3に記載のスパッタ装置。
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