JP4896880B2 - マイクロ波プラズマノズルアレイを構成するための方法、マイクロ波プラズマノズルアレイユニット及びマイクロ波プラズマシステム - Google Patents
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Description
"WAVEGUIDE COMPONENTS AND CONFIGURATIONS FOR OPTIMAL PERFORMANCE IN MICROWAVE HEATING SYSTEMS"2000年、Gerling Applied Engineering社、www.2450mhz.comで発行
12 マイクロ波パワーヘッド
13 マイクロ波供給源
14 パワースプリッタ
17a、17b アイソレータ
20a、20b 導波管
22a、22b サーキュレータ
24a、24b 非回転位相シフタ
26a、26b 結合器
28a、28b パワーメータ
30a、30b チューナ
32 マイクロ波キャビティ
36 ノズル
37 ノズルアレイ
38 プラズマ
Claims (22)
- マイクロ波キャビティ内でマイクロ波同士を干渉させマイクロ波の定在波パターンが静止的に形成されるように、互いに反対方向からマイクロ波をマイクロ波キャビティへ向かわせるステップと、
少なくとも1つのマイクロ波の位相を調整して、マイクロ波の定在波パターンによって定在波エネルギーの腹近傍の領域を制御するステップと、
ノズル素子の1つ以上が前記定在波エネルギーの腹近傍の領域の1つからマイクロ波エネルギーを受け取るように、ノズルアレイの少なくとも一部を前記マイクロ波キャビティ内に配置するステップと、を具備し、
前記ノズル素子の各々が、
その中にガスを流すために適用され、入口部及び出口部を持つガスフロー管と、
前記ガスフロー管内に軸方向に配置され、マイクロ波を受信するために前記マイクロ波キャビティ内に配置される受信部と、該受信部に連なる先端部とを含むロッド状コンダクタとを備え、
前記受信部は、受信したマイクロ波を伝搬して前記先端部に集中させるものであり、前記先端部は、前記ガスフロー管の前記出口部に隣接して配置されていることを特徴とするマイクロ波プラズマノズルアレイを構成するための方法。 - 前記マイクロ波を向かわせるステップは、
マイクロ波をマイクロ波キャビティへと伝搬させるステップと、
マイクロ波キャビティに接続されているスライディングショートを使って前記マイクロ波を反射させるステップと、
を具備することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記マイクロ波を向かわせるステップは、
2つのマイクロ波パワーヘッドによって発生されたマイクロ波をマイクロ波キャビティへ伝搬させるステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 互いに干渉して定在波を発生させるマイクロ波の第1ペアを第1軸に沿って互いに反対方向からマイクロ波キャビティへと向かわせるステップと、
互いに干渉して定在波を発生させるマイクロ波の第2ペアを、前記第1軸と直交する第2軸に沿って互いに反対方向からマイクロ波キャビティへと向かわせ、マイクロ波の前記第1及び第2ペアを干渉させてマイクロ波キャビティ内で定在波エネルギーの腹近傍の領域を形成するステップと、
少なくとも1つのマイクロ波の位相を調整することで、前記定在波エネルギーの腹近傍の領域を制御するステップと、
ノズル素子の1つ以上が前記定在波エネルギーの腹近傍の領域の1つからマイクロ波エネルギーを受け取るように、ノズルアレイの少なくとも一部を前記マイクロ波キャビティ内に配置するステップと、
を具備することを特徴とするマイクロ波プラズマノズルアレイを構成するための方法。 - 前記マイクロ波の第1ペアを向かわせるステップは、
マイクロ波をマイクロ波キャビティへと伝搬させるステップと、
マイクロ波キャビティに接続されているスライディングショートを使って前記マイクロ波を反射させるステップと、
を具備することを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 前記マイクロ波の第1ペアを向かわせるステップは、
2つのマイクロ波パワーヘッドによって発生されたマイクロ波をマイクロ波キャビティへ伝搬させるステップを含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - マイクロ波パワーヘッドによって前記マイクロ波を発生するステップと、
前記マイクロ波パワーヘッドに接続されたパワースプリッタを設けるステップと、
をさらに具備することを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 少なくとも1つのマイクロ波の位相を調整する前記ステップは、マイクロ波の前記第1ペアの位相を調整する工程を含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 少なくとも1つのマイクロ波の位相を調整する前記ステップは、マイクロ波の前記第2ペアの位相を調整する工程を含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 少なくとも1つのマイクロ波の位相を調整する前記ステップは、マイクロ波の前記第1及び第2ペアの双方の位相を調整する工程を含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- マイクロ波キャビティと、
前記マイクロ波キャビティに取り付けられるノズルのアレイと、
互いに干渉して定在波を発生させるマイクロ波の第1ペアを第1軸に沿って互いに反対方向から前記マイクロ波キャビティへ入射させる第1の導波手段と、
互いに干渉して定在波を発生させるマイクロ波の第2ペアを、前記第1軸と直交する第2軸に沿って互いに反対方向から前記マイクロ波キャビティへ入射させる第2の導波手段と、
前記第1ペアのマイクロ波及び前記第2ペアのマイクロ波の位相を調整することで、前記マイクロ波キャビティ内において前記マイクロ波の前記第1及び第2ペアを干渉させ、前記マイクロ波キャビティ内で定在波エネルギーの腹近傍の領域を形成させる位相調整手段と、を備え、
前記ノズルはそれぞれ、
その中にガスを流すために適用され、入口部及び出口部を持つガスフロー管と、
前記ガスフロー管内に軸方向に配置され、その一部がマイクロ波を受信するために前記マイクロ波キャビティ内に配置されていると共に、その先端部が前記ガスフロー管の前記出口部に隣接して配置されているロッド状コンダクタと、を備え、
前記ロッド状コンダクタの前記マイクロ波キャビティ内に配置されている部分は、前記定在波エネルギーの腹近傍の領域によって占められている空間内に配置されていることを特徴とするマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - 前記ノズルのそれぞれが、
前記ロッド状コンダクタと前記ガスフロー管との間に配置され、その流路に沿って通過するガスに前記ロッド状コンダクタの回りに螺旋状の流動方向を付与する少なくとも1つの流路を持つうず巻状ガイドをさらに備えることを特徴とする請求項11に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - 前記マイクロ波キャビティは壁を備えており、前記マイクロ波キャビティの壁は前記ガスフロー管の入口に接続されているガス流路の一部を形成していることを特徴とする請求項12に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。
- 前記ノズルのそれぞれが、
前記ガスフロー管の一部に隣接して設けられ前記ガスフロー管を通る際のマイクロ波パワー損失を緩和するための、導電材料からなる遮蔽をさらに備えることを特徴とする請求項11に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - 前記ノズルのそれぞれが、
前記ガスフロー管の外部表面に配置され、前記ガスフロー管を通る際のマイクロ波パワー損失を緩和するための接地遮蔽であって、ガス流を受け入れるための穴を持つ接地遮蔽をさらに備えることを特徴とする請求項11に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - 前記ノズルのそれぞれが、
前記ロッド状コンダクタと前記接地遮蔽との間に配置され、前記接地遮蔽に対して前記ロッド状コンダクタを固定して保持するための位置ホルダをさらに備えることを特徴とする請求項15に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - 前記ガスフロー管は、石英からなることを特徴とする請求項11に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。
- 前記ノズルのそれぞれが、
前記ガスフロー管に隣接して配置される一対の磁石をさらに備え、該一対の磁石は円筒の一部に類似した形状を有することを特徴とする請求項11に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - 前記ノズルのそれぞれが、
前記ガスフロー管の一部に隣接して配置されるアノードと、前記ガスフロー管の他の部分に隣接して配置されるカソードと、をさらに備えることを特徴とする請求項11に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - 前記マイクロ波キャビティが、
前記マイクロ波キャビティの、互いに垂直な関係にある側面に設けられた第1及び第2のマイクロ波入口と、
前記第1及び第2のマイクロ波入口から導入されたマイクロ波をそれぞれ反射するように構成された第1及び第2のスライディングショートと、を備え、
前記第1の導波手段は、前記第1のマイクロ波入口に接続される第1導波管と前記第1のスライディングショートとを含み、
前記第2の導波手段は、前記第2のマイクロ波入口に接続される第2導波管と前記第2のスライディングショートとを含む、
ことを特徴とする請求項11に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - 前記マイクロ波キャビティが、
第1軸に沿って前記マイクロ波キャビティの両側に設けられたマイクロ波入口の第1ペアと、
前記第1軸と実質的に直交する第2軸に沿って前記マイクロ波キャビティの両側に設けられたマイクロ波入口の第2ペアと、を備え、
前記第1の導波手段は、前記マイクロ波入口の第1ペアにそれぞれ接続される第1及び第2導波管を含み、
前記第2の導波手段は、前記マイクロ波入口の第2ペアにそれぞれ接続される第3及び第4導波管を含む、
ことを特徴とする請求項11に記載のマイクロ波プラズマノズルアレイユニット。 - マイクロ波供給源と、
前記マイクロ波供給源に接続されたアイソレータと、
請求項11〜21のいずれかに記載されたプラズマノズルアレイユニットと、
を含むマイクロ波プラズマシステム。
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