JP2014524106A - マイクロ波共鳴空洞 - Google Patents
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Abstract
マイクロ波共鳴空洞(26)が提供される。マイクロ波共鳴空洞(26)は、ほぼ筒状の中空形状を有する側壁(42)、該側壁内に設けられ、かつ前記側壁の長軸と実質的に平行な長軸を有するガス流管(46)、複数のマイクロ波ウェーブガイド(24a-24c)であって、各ウェーブガイドは前記側壁の長軸と実質的に直角な長軸を有し、かつ前記側壁に固定されかつ前記側壁に形成された複数の開口の一つとつながる、複数のマイクロ波ウェーブガイド、前記側壁の一端に固定された頂板(41)、及びスライド可能に前記側壁及び前記ガス流管の間に備え付けられた板(49)及び前記側壁内に設けられかつ前記側壁の両軸と平行に配置された少なくとも一つのバー(50)を有する可動ショートサーキット(48)、を有する。
Description
本発明はプラズマ発生器に関する。特に内部でプラズマを発生させるマイクロ波共鳴空洞を有するシステムに関する。
近年、マイクロ波技術は様々な種類のプラズマを発生させるために適用されている。
いくつかの適用例において、プラズマを発生、保持することはマイクロ波発生器の高い出力を必要とする。
いくつかの適用例において、プラズマを発生、保持することはマイクロ波発生器の高い出力を必要とする。
既存のマイクロ波技術は以下の欠点のうちの一つ又はそれ以上によって適切でなく、よくてもかなり非効率である。第一に、既存のシステムは適当な拡張性に欠けている。拡張性とは、様々な量のマイクロ波入力を適切に扱うシステムの能力、又は様々な入力に適合するために拡張/縮小されうるシステムの能力を参照する。例えば、プラズマに変化させるガスの種類、圧力及び流量によって必要とされるマイクロ波の入力パワーは変化し得る。第二に、マグネトロンの規模の経済は出力が上昇すると急激に増大する。例えば、10KWのマグネトロンの価格は1KWのマグネトロン十台の価格よりも遥かに高い。従って、高い拡張性を有し、出力を落とすことなく既存の入手可能なプラズマ発生システムよりも安価としてプラズマ発生システムの必要性が存在する。
本明細書において記述される一つの実施形態において、マイクロ波共鳴空洞であって、ほぼ筒状の中空形状を有し、マイクロ波に不透明な(opaque)材料で形成された側壁、該側壁内に設けられ、マイクロ波に透明な(transparent)材料で形成され、かつ前記側壁の長軸と実質的に平行な長軸を有するガス流管、複数のマイクロ波ウェーブガイドであって、各ウェーブガイドは前記側壁の長軸と実質的に直角な長軸を有し、かつ前記側壁に固定されかつ前記側壁に形成された複数の開口の一つとつながる、複数のマイクロ波ウェーブガイド、マイクロ波に不透明な材料で形成され、前記側壁の一端に固定された頂板、及び可動ショートサーキットを有する。可動ショートサーキットは、マイクロ波に不透明な材料で形成され、スライド可能に前記側壁及び前記ガス流管の間に備え付けられた板であって、当該板は前記側壁に合う外縁及び前記ガス流管が合う(snuggly fit)孔を有する、板、及び前記側壁内に設けられ、前記側壁の両軸と平行に配置された少なくとも一つのバーを有する。前記バーを前記側壁の長軸に沿って移動させることによって、前記頂板、前記側壁及び前記板によって画成される空間は、前記ガス流管内にマイクロ波共鳴空洞を形成するために、調整される。
図1は本発明の一つの実施形態に係るプラズマ発生システム10の模式図である。図示されるように、システム10はマイクロ波共鳴空洞26、マイクロ波をマイクロ波共鳴空洞26に供給するためのマイクロ波供給ユニット11a−11c、及びマイクロ波をマイクロ波供給ユニット11a−11cからマイクロ波共鳴空洞26へ伝えるためのウェーブガイド24a−24cを有することができる。マイクロ波共鳴空洞26はガスタンク28又は燃焼排ガスのような他のガス供給源からガス及び/又は混合ガスを受容する。
マイクロ波供給ユニット11aはマイクロ空洞波共鳴26へマイクロ波を供給し、マイクロ波を発生するためのマイクロ波発生器12a、マイクロ波発生器12aへ電力を供給すための電力供給器13a、及び断路器15aを有することができる。断路器15aは反射されてマイクロ波発生器12aに向かって伝搬するマイクロ波を消散するためのダミーロード16a及び反射されたマイクロ波をダミーロード16aへと方向付けるサーキュレーター18aを有する。
一つの実施形態において、マイクロ波供給ユニット11aはマイクロ波の流れを測定するための連結器20a、及びマイクロ波共鳴空洞26から反射されるマイクロ波を低減するためのチューナー22aを更に有する。図1に示されたマイクロ波供給ユニット11aの構成要素はよく知られたものであり、例示の目的のみのためにここに列挙されたものである。また、本発明から逸脱することなく、マイクロ波供給ユニット11aをマイクロ波共鳴空洞26にマイクロ波を供給する能力を有するシステムで置き換えることも可能である。断路器15aと連結器20aの間に位相調整器を配置することも可能である。
マイクロ波供給ユニット11b及び11cはマイクロ波供給ユニット11aと同様の構成要素を有することが示されている。しかしながら、マイクロ波供給ユニット11b及び11cは、これらがマイクロ波を発生し、ウェーブガイド24a−24cへマイクロ波を届けることができる限りにおいて、マイクロ波供給ユニット11aの構成要素と異なる構成要素を有しても良いことが留意される。
図2は図1のマイクロ波共鳴空洞26の分解斜視図である。図示されているように、マイクロ波共鳴空洞(簡潔に、以後は「空洞」とする)26はガスタンク28からガス53を受容するための吸気口51を有する頂板41、ガスをそこから排出するための排出孔(又は排出口)44を有する底板43、及びウェーブガイド24a−24cの末端と接続する側壁42を有する。ウェーブガイド24aの末端は側壁42にしっかりと固定されており、それによりウェーブガイド24aの基部側端40aから流れるマイクロ波エネルギーが側壁42内へ入るようになっている。同じように、ウェーブガイド24b及び24cの基部側端40b及び40cから流れるマイクロ波エネルギーは側壁42内に入る。頂板41、側壁42及び底板43は、例えばマイクロ波に不透明な金属など、あらゆる適切な材料で形成され得る。空洞26はまたマイクロ波に透明であり好ましくは石英で形成されたガス流管46を有する。
ガス流管46の頂部側端及び底側端はそれぞれ空洞26の頂板41及び底板43へとしっかり閉じられている。流入口51を介してガス流管46に入ったガスは励起されてプラズマ化され、底板43の排出口44から排出される。ウェーブガイド24a−24cを介して与えられたマイクロ波エネルギーは、ガスがガス流管46を流れる際にガスをプラズマ化する。
空洞26は板49及びバー50を有する可動ショートサーキット48を有することができる。板49は側壁42の内側表面及びガス流管46の外側表面の間にスライド可能に合うような寸法とされる。また、板49はマイクロ波に不透明な材料、好ましくは金属で形成される。動作中、ウェーブガイド24a−24cの末端側から放出されたマイクロ波はガス流管46内で干渉パターンを形成する。使用者がバー50を空洞26の長手方向56に沿って上下にスライドさせると、干渉がピーク振幅領域をガス流管46内に発生させることができるように板49と頂板41の間の距離が変わる。すなわち、板49の頂板41に対する位置を調整することによってインピーダンス整合が得られる。バーは、例えば使用者がインピーダンスを高い精度で調整できるように底板43の外側表面に固定されたマイクロメーターなど、適切な調整機構に取り付けられても良い。選択的に、自動的な制御のためにバー50に取り付けられたモーターを使用することができる。
三つのマイクロ波供給ユニット11a−11cによって発生されたマイクロ波はガス流管46内で合わせられることが留意される。もし複数のマイクロ波供給ユニットが同一であるならば、ガス流管46内のマイクロ波場の最大強度はマイクロ波供給ユニット11aよりも三倍大きな出力をもつ一つのマイクロ波供給ユニットによって発生される強度と同じであるというものである。この特徴は拡張性と製造コスト削減の二つの利点を提供する。システム10の操作者は選択的にマイクロ波供給ユニット11a−11cを起動し、ガス流管46内のマイクロ波場強度が変化させることができる。例えば、ガス流管46内でプラズマ化を起こさせるためのマイクロ波強度はガス53の種類に依存して変わり得る。操作者は選択的にマイクロ波供給ユニット11a−11cを起動することでガス流管46内のマイクロ波場強度を最適化することができる。システム10は三つのマイクロ波供給ユニットのみを有していることが留意される。しかしながら、システムは如何なる他の適切な数のマイクロ波供給ユニットを有しても良いことが当業者にとって明らかであろう。
マイクロ波発生器12a特にマグネトロンの価格は、出力が上がるにつれて急激に上昇する。例えば、十台の市販の電子レンジ(マイクロ波オーブン)の価格は、十倍の出力を持つ一台の高出力マグネトロンの価格よりも大幅に低い。従って、複数のマイクロ波発生器を有するというシステム10の特徴は、設計者が最高出力を妥協せずに低コストのマイクロ波発生システムを作り上げることを可能にする。
図3Aから図3Cは図2に示された空洞の側壁42の代替的な実施例60、70及び80の平面図である。図示されたように、側壁は、例えば四角形、六角形又は八角形などの、多角形のそれぞれの面にウェーブガイドを固定することができる適当な多角形の形状を有することができる。二つの隣り合うウェーブガイドから出るマイクロ波の位相は、マイクロ波間の干渉がガス流管62、72及び82内で最大の強度を発生するように、異なっていても良い。ガス流管62、72及び82は、例えば四角形、六角形又は八角形などの、他の適切な断面の幾何学的形状を取り得ることが留意される。さらに、二つの隣り合うウェーブガイドの間の角度θ(図1参照)は二つのマイクロ波の間の干渉を最適化するために調整し得ることが留意される。
図4Aは図1の空洞26の代替的な実施形態100の斜視図である。簡潔さのため、側壁及びウェーブガイドのみが図4Aに示されている。図示されたように、空洞100は図1の空洞26と同様のものであり、ウェーブガイド102a−102cがe平面(e-plane)ウェーブガイドである点で異なる。
図4B及び図4Cは図1の空洞26の代替的な実施形態114及び124の斜視図である。図示されたように、空洞114及び空洞124は図1の空洞26と同様のものであり、空洞114及び124の側壁に対するウェーブガイド112a−112c及び122a−122cの位置が異なるという点で異なっている。複数のウェーブガイドの位置は、空洞114及び124内に配置されたガス流管(簡潔さのため図4B及び図4Cには示されていない)内の干渉パターンを最適化するように決定される。
図5は図2のマイクロ波共鳴空洞26の代替的な実施形態200の模式的な断面図である。図示されたように、空洞200はガスタンク28(図5では示されていない)からガスを受容するための吸気口243を有する頂板241、ウェーブガイド224a−224bの末端と接続する側壁242、ガスをそこから排出するための底孔244をもつガス流管246、及び板249及びバー250をもつ可動ショートサーキット248を有する。空洞200の構成要素の材質及び機能は空洞26のこれらの対応物と同様であるから、詳細な説明は繰り返さない。空洞26と空洞200の間の違いは、空洞26は底板43を有するのに対して空洞200は底板を有さないことである。
図6は図2の空洞26の代替的な実施形態300の模式的な断面図である。図示されたように、空洞300は空洞26と同様のものであり、ガス流管346の頂部及び底部が頂板341及び底板343をそれぞれ外側に貫通している点で異なっている。ガス流管346はそこからガスを受容及び排出するための頂孔347及び底孔344を有している。代替的に、ガス流管346は頂孔347の代わりにガス流入孔360を有しても良い。流入孔360はガス流管346の長軸に対して角度を有しており、注入されたガスに渦を巻く動きを与える。
当然ながら、以上本明細書において記述したものは本発明の例示的な実施形態に関するものであり、添付の特許請求の範囲に記載の本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく変更を加えることが可能であることが理解されるであろう。
Claims (12)
- マイクロ波共鳴空洞であって、
ほぼ筒状の中空形状を有し、マイクロ波に不透明な材料で形成された側壁、
該側壁内に設けられ、マイクロ波に透明な材料で形成され、かつ前記側壁の長軸と実質的に平行な長軸を有するガス流管、
複数のマイクロ波ウェーブガイドであって、各ウェーブガイドは前記側壁の長軸と実質的に直角な長軸を有し、かつ前記側壁に固定されかつ前記側壁に形成された複数の開口の一つとつながる、複数のマイクロ波ウェーブガイド、
マイクロ波に不透明な材料で形成され、前記側壁の一端に固定された頂板、及び
マイクロ波に不透明な材料で形成され、スライド可能に前記側壁及び前記ガス流管の間に備え付けられた板であって、当該板は前記側壁に合う外縁及び前記ガス流管が合う孔を有する、板、及び前記側壁内に設けられ、前記側壁の両軸と平行に配置された少なくとも一つのバーを有する可動ショートサーキット、を有し
前記頂板、前記側壁及び前記板によって画成される空間は、前記ガス流管内にマイクロ波共鳴空洞を形成するために、前記バーを前記側壁の長軸に沿って移動させることによって調整される、マイクロ波共鳴空洞。 - 前記ガス流管の一端は前記頂板と接し、前記頂板は前記ガス流管を流れるガスを受容するための孔を有している、請求項1記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 前記側壁の他端に固定され、少なくとも一つの前記バーが貫通する孔を有する底板を更に有する、請求項1記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 前記底板はガス排出孔を有する、請求項3記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 前記ガス流管は前記頂板を貫通する、請求項1記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 前記複数のマイクロ波ウェーブガイドの末端が前記側壁の長軸に沿って同じ高さに設けられている、請求項1記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 前記複数のマイクロ波ウェーブガイドの末端が前記側壁の長軸に沿って異なる高さに設けられている、請求項1記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 前記側壁の断面形状が円、四角形、六角形、八角形からなるグループから選択された一つである、請求項1記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 前記複数のマイクロ波ウェーブガイドの長軸が前記側壁の長軸に平行な同一の平面に設けられた、請求項1記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 各マイクロ波ウェーブガイドの基部側端に接続されたマイクロ波供給ユニットを有する、請求項1記載のマイクロ波共鳴空洞。
- 前記マイクロ波供給ユニットは、
マイクロ波を発生するためのマイクロ波発生器、及び
反射されて該マイクロ波発生器に向かって伝搬するマイクロ波を消散するためのダミーロード及び該マイクロ波を該ダミーロードへと方向付けるサーキュレーターを有する断路器、
を有する、請求項10記載のマイクロ波共鳴空洞。 - 前記マイクロ波供給ユニットは、
マイクロ波の流れを測定するための連結器、及び
マイクロ波の反射を低減するためのチューナー
を更に有する、請求項11記載のマイクロ波共鳴空洞。
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