JPH07312453A - マイクロ波励起ガスレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マイクロ波励起ガスレーザ装置に関し、本質
的に、放電励起用のマイクロ波の強度分布を均一化でき
る構成を有するマイクロ波励起ガスレーザ装置を実現
し、結果的に、均一な媒質の励起が可能で、高効率にレ
ーザ発振をすることができるマイクロ波励起ガスレーザ
装置を提供することを目的とする。 【構成】 本発明は、マイクロ波発振器１１、１２から
発振されるマイクロ波により被励起ガス媒質２９を高エ
ネルギー状態に励起させてレーザ発振を行うマイクロ波
励起ガスレーザ装置であって、前記被励起ガス媒質を、
電界の振動方向が互いに異なる複数のマイクロ波２６、
２７により励起するマイクロ波励起ガスレーザ装置であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガスレーザ装置に関
し、特に、マイクロ波励起ガスレーザ装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来から、マイクロ波により、レーザ媒
質ガスの分子を高エネルギー状態に放電励起してレーザ
発振を行なう、いわゆるマイクロ波励起ガスレーザ装置
は、種々提案されてきている。

【０００３】このようなマイクロ波励起ガスレーザ装置
においては、マイクロ波によるレーザ媒質ガスの空間的
に均一な励起が、その発振効率上、とりわけ要求され
る。

【０００４】というのは、励起の不均一性が、励起に適
さないストリーマ放電を誘発したり、部分的なガスの異
常加熱を生じたり、又はレーザ増幅率の空間的不均一性
を発生したりして、それらが、結果的に、レーザ発振効
率の低下や、最大出力の低下の原因となるからである。

【０００５】ところが、マイクロ波による放電励起で
は、マイクロ波の波長が十数センチメートルと短いた
め、広い空間範囲で、均一な電界強度分布が得られず、
励起が空間的に不均一にってしまい、放電の空間的均一
化が、特に困難である。

【０００６】この対策として、例えば、特開平２−１３
０９７５号公報の図１又は図２によれば、マイクロ波の
導波管の内部に絶縁物を挿入し、マイクロ波の電界の空
間的均一性を改善することを提案している。

【０００７】しかし、この構成では、電界の強度分布の
均一性が、比較的良好な部分を限定して使用するという
ものであるに過ぎず、本質的に均一なマイクロ波の電界
強度分布を生み出すものではない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】つまり、従来のマイク
ロ波励起ガスレーザ装置の構成では、マイクロ波の波長
が短いがために困難である空間的な電界強度分布の均一
化を本質的に実現する試みが、何等成されていなかっ
た。

【０００９】本発明は、本質的に、放電励起用のマイク
ロ波の強度分布を均一化できる構成を有するマイクロ波
励起ガスレーザ装置を実現し、結果的に、均一な媒質の
励起が可能で、高効率にレーザ発振をすることができる
マイクロ波励起ガスレーザ装置を提供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、マイクロ波発振器からが発振されるマイ
クロ波により被励起ガス媒質を高エネルギー状態に励起
させてレーザ発振を行うマイクロ波励起ガスレーザ装置
であって、前記被励起ガス媒質を、電界の振動方向が互
いに異なる複数のマイクロ波により励起するマイクロ波
励起ガスレーザ装置である。

【００１１】更に、マイクロ波を定在波とするための定
在波形成手段を有し、被励起ガス媒質を、電界の振動方
向が互いに異なる複数の定在波のマイクロ波の各々の腹
の部分で前記被励起ガス媒質を励起するマイクロ波励起
ガスレーザ装置であってもよい。

【００１２】そして、マイクロ波励起ガスレーザ装置か
らの光出力の強度変動が±５％以内の連続光出力となる
ような複数のパルスマイクロ波で被励起ガス媒質を励起
することが好適である。

【００１３】この場合、複数のマイクロ波が、各々パル
スマイクロ波であり、パルスの繰返し周波数は２０ｋＨ
ｚ以上であることが好適である。

【００１４】一方で、複数のパルスマイクロ波が各々パ
ルス群であり、レ−ザ出力光がパルス光であってもよ
い。

【００１５】そして、以上の複数のパルスマイクロ波
が、時間的に重なるように被励起ガス媒質を励起するこ
とが好適である。

【００１６】そして、複数のパルスマイクロ波の、デュ
ーティ比が０．１〜０．３以内に制御されていることが
好適である。

【００１７】更に、 複数のパルスマイクロ波のデュー
ティ比が各々異なる場合には発振開始のタイミングを合
わせることが望ましい。

【００１８】そして、複数のマイクロ波の電界振動方向
が互いに直交していてもよい。そして、被励起ガス媒質
はレーザ管内に封じられ、複数のマイクロ波の電界振動
方向の内少なくとも１つの電界振動方向が前記レーザ管
の光軸と交差していてもよい。

【００１９】更に、前述の定在波形成手段は空胴共振器
であり、前記空洞共振器は、互いに交差する部分を有す
る導波管を含み、前記交差する部分で、被励起ガス媒質
は、電界の振動方向が互いに異なる複数のマイクロ波に
より励起されてもよい。

【００２０】この導波管が、互いに直交する２つの導波
管であることが好適である。この場合、２つの導波管の
各々が、マイクロ波発振器を有することも可能である。

【００２１】そして、この２つの導波管の各々が、整合
器を有していてもよい。一方、被励起ガス媒質が、単一
のマイクロ波発振器が発振したマイクロ波により励起さ
れる構成でもよい。

【００２２】又は、定在波形成手段は空胴共振器であ
り、前記空洞共振器は、互いに交差する部分を有する導
波管を含み、前記交差する部分で、被励起ガス媒質は、
電界の振動方向が互いに異なる複数のマイクロ波により
励起されてもよい。

【００２３】この場合、複数のマイクロ波が、単一のマ
イクロ波発振器が発振したマイクロ波を分岐することに
より得られてもよい。

【００２４】そして、マイクロ波発振器から発振された
マイクロ波は、単一な導波管を伝播し、マイクロ波分配
器で複数のマイクロ波に分岐され、複数の導波管により
導波管の交差部に位置する被励起ガス媒質に導かれてい
てもよい。

【００２５】この導波管が整合器を有し、前記導波管
は、その位置がマイクロ波発振器とマイクロ波分配器と
の間、又は前記マイクロ波分配器と導波管の交差部との
間に存在してもよい。

【００２６】一方で、複数のマイクロ波が、単一のマイ
クロ波発振器が発振したマイクロ波を還状に伝播させ、
被励起ガス媒質を複数回通過させることにより得られる
構成でもよい。

【００２７】この導波管が整合器を有し、前記導波管
は、その位置がマイクロ波発振器と前記マイクロ波分配
器との間に存在していてもよい。

【００２８】又、定在波形成手段は空洞共振器であり、
前記空胴共振器が、直方体型空胴共振器であってもよ
い。

【００２９】この直方体型空胴共振器が、直方体の一辺
を共有する２つの面において、各々マイクロ波発振器を
有していてもよい。

【００３０】そして、この直方体型空胴共振器が、一辺
を共有する２つの面に各々整合器を有していてもよい。

【００３１】一方、定在波形成手段は空洞共振器であ
り、前記空胴共振器が、円筒体型空胴共振器であっても
よい。

【００３２】この円筒体型空胴共振器は、２つのマイク
ロ波発振器を有していてもよい。そして、この円筒体型
空胴共振器が、更に整合器を有していてもよい。

【００３３】又、被励起ガス媒質はレーザ管内に封じら
れ、２つのマイクロ波発振器は、マイクロ波を発振する
ためのアンテナ部を有し、前記アンテナ部は、前記レー
ザ管の光軸方向に投影した場合に、互いに直交する方向
に延在していてもよい。

【００３４】又、複数のマイクロ波の周波数が、０．１
ＧＨｚ以内で互いに異なっていてもよい。

【００３５】又、複数のマイクロ波は、２つのマイクロ
波であり、各周波数が等しく、かつ互いのマイクロ波の
時間位相差が９０度±４．５度以内で異なっていてもよ
い。

【００３６】この時間位相差は、２つのマイクロ波のマ
イクロ波発振器から被励起ガス媒質までの伝播の距離差
が、互いに等しい複数のマイクロ波の波長の（１／４＋
Ｎ／２）倍である（Ｎは０以上の整数）ように設定する
ことにより得られる。

【００３７】そして、この２つのマイクロ波のマイクロ
波発振器から被励起ガス媒質までの伝播の距離差は、誤
差±５％以内の範囲内にある。

【００３８】一方で、時間位相差は、２つのマイクロ波
の伝播経路中の少なくともいずれか一方に位相シフター
を挿入して得られてもよい。

【００３９】又、更にマイクロ波の定在波の状態を調整
する定在波調整手段を有してもよい。 この定在波調整
手段は、具体的には多孔を有するショートプランジャが
好適である。

【００４０】又、マイクロ波の周波数は、２．４５ＧＨ
ｚ±０．０５ＧＨｚが好適である。

【００４１】

【作用】以上の構成により、励起が２次元的に一様化・
均一化して、空間的に励起の均一化がなされる。

【００４２】

【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら詳細に説明をする。

【００４３】（実施例１）以下、本発明の第１の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明をする。 本
実施例は、２つの交わる導波管により構成される空胴共
振器を有するマイクロ波励起ガスレーザ装置に関するも
のである。

【００４４】図１は、本発明の第１の実施例を示す構成
図である。又、図２は、図１におけるマイクロ波パルス
がＯＮの時のｘ軸とｙ軸を含む平面で切った断面図であ
る。

【００４５】図１、図２において、１０は空胴共振器、
１１，１２はマイクロ波発振器、１３，１４は導波管、
１５はレーザ管、１６は出力鏡、１７は全反射鏡、１８
から２１はプランジャ、２２，２３は整合器で３つのス
タブチューナを有する構成である。

【００４６】更に、２４，２５はマイクロ波発振器１
１，１２のアンテナ、２６はマイクロ波発振器１１が発
生するｙ方向のマイクロ波の電界強度分布、２７はマイ
クロ波発振器１２が発生するｘ方向のマイクロ波の電界
強度分布、２９はレーザ媒質ガスである。

【００４７】次に、図３（ａ）から（ｃ）は、図２のレ
ーザ管１５の内部の放電状態を示す拡大断面図である。

【００４８】図３（ａ）は、ｙ方向電界のみを印加した
場合の放電状態、図３（ｂ）および（ｃ）は、ｙ方向電
界及びｘ方向電界の同時印加の放電状態であり、図３
（ｂ）は、ｙ方向に電界が向いた瞬間を示し、図３
（ｃ）は、ｘ方向に電界が向いた瞬間を示す。

【００４９】図３において、３０，３１はｙ方向電束
線、３２はｘ方向電束線、３３，３４は放電状態にある
放電領域である。

【００５０】以上のように構成されたマイクロ波励起ガ
スレーザ装置において、特に、大出力が要求されるＣＯ
₂レーザ装置を想定して以下の動作の説明をおこなう
が、レーザ媒質ガスを変えれば他の種類のガスレーザと
しても機能することはいうまでもない。

【００５１】例えば、ＣＯガスレーザ、Ｎ₂ガスレー
ザ、金属蒸気レーザ、希ガスレーザ、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザ、イオンレーザ等にも適用可能である。

【００５２】まず、図１及び図２に示すように、マイク
ロ波発振器１１，１２から発生したマイクロ波（発振周
波数は各々２．４５ＧＨｚ±０．０５ＧＨｚ）は、導波
管１３，１４を伝播し、整合器２２、２３で整合を取ら
れる。

【００５３】ここで、導波管１３，１４は、互いにレー
ザ管１５の位置において交差するが、特に本実施例の場
合には直交している。

【００５４】そして、本実施例の場合には、レーザ管１
５の位置においてマイクロ波発振器１１とマイクロ波発
振器１２からのマイクロ波は電界方向が直交している。

【００５５】よって、２つのマイクロ波発振器１１，１
２から発振されたマイクロ波は、進行方向が互いに直交
しており、かつそれらの電界の振動方向（電界ベクトル
の方向）も互いに直交している。

【００５６】このように直交する２つのマイクロ波電界
により、レーザ管１５の中のレーザ媒質ガス２９（比率
１：９：４０のＣＯ₂，Ｎ₂，Ｈｅの混合ガスで圧力は６
０Ｔｏｒｒ程度）を放電励起させ、全反射鏡１７と出力
鏡１６より構成される光共振器から、レーザ光がｚ軸方
向に出力される。

【００５７】ここで、マイクロ波については、図２のｙ
方向電界分布２６とｘ方向電界分布２７で示すように、
レーザ管１５部分が定在波の腹の位置になるようにプラ
ンジャ１８，１９，２０，２１を移動させて調整する。

【００５８】というのは、放電開始に必要とされる電界
強度は約１ｋＶ／ｃｍとされているが、１ｋＷのマイク
ロ波の進行波の場合、電界強度は最大でも約５００Ｖ／
ｃｍ程度なので、放電開始には不充分である。

【００５９】そこで、マイクロ波を定在波とし、さらに
電界強度の最も強い腹の位置がレーザ管１５部分に一致
するように調整し、放電開始を行いやすくする。

【００６０】そして、整合器２２，２３により、マイク
ロ波発振器１１，１２と放電負荷とが最適マッチング状
態になるように調整されている。

【００６１】又、図１では明示していないが、必要によ
り、レーザ媒質ガス２９は、レーザ管１５から配管で引
き出され、冷却後に再度ポンプで注入されるガス冷却循
環機構を設備することができる。

【００６２】以下、更に、本実施例におけるマイクロ波
の放電状態について、詳細に説明する。

【００６３】図３（ａ）は、ｙ方向電界のみを印加した
場合の放電状態で、一方向の電界の印加状態を示す。

【００６４】すなわち、図２において、マイクロ波発振
器１１のみを発振させ、レーザ管１５にはｙ方向の電界
のみが印加されている状態である。

【００６５】このｙ方向の電界分布２６は、マイクロ波
の波長に対応してレーザ管１５の中央部分が強く、その
左右の端は弱い。

【００６６】このため、放電３３は、図３（ａ）に示す
ように、中央部分に縦長に細く放電し、レーザ媒質ガス
の均一励起が達成できない。

【００６７】しかし、この場合も、縦長の図中上下方向
（ｙ方向）については、放電状態は均一である。

【００６８】この理由は、電束線３０がｙ方向に連続で
あるため、ｙ方向の電界強度の変化が少なくなっている
と考えられるためである。

【００６９】これに対して、図中左右方向（ｘ方向）に
おいては、電束線の密度がｘ方向では大きく変化してい
るため、電界強度の変化が激しくなっている。

【００７０】次に、図３（ｂ）及び（ｃ）は、ｙ方向電
界およびｘ方向電界同時印加時の合成電界が、それぞれ
ｙ方向、ｘ方向を向いた瞬間の放電状態である。

【００７１】すなわち、図２において、マイクロ波発振
器１１及び１２が同時に発振し、レーザ管１５にはｘ方
向の電界およびｙ方向の電界が同時に印加されている状
態を示している。

【００７２】マイクロ波発振器１１と１２は、別個のマ
イクロ波発振器であるため、２．４５ＧＨｚで発振して
も正確には同一周波数では発振せず、数ＭＨｚ以上の発
振周波数の差がある。

【００７３】このように、２つの電界の振動周波数が異
なる場合、位相差δは経時的に変化する。

【００７４】この時、合成ベクトルの描く軌跡はδの変
化に伴い、円−楕円−直線−楕円−円を繰り返す。

【００７５】この繰り返しの周波数が、２つの異なる発
振周波数の差周波数に相当する。具体的には、合成電界
は、該当するマイクロ波の周波数（本実施例では２．４
ＧＨｚから２．５ＧＨｚまで）で回転振動し、そして、
この回転が、異なる２つの周波数の差周波数（本実施例
では最大で０．１ＧＨｚ）で、状態変化していくのであ
る。

【００７６】よって、合成電界がｙ方向を向いた瞬間は
図３（ｂ）の状態となり、合成電界がｘ方向を向いた瞬
間は図３（ｃ）の状態となる。

【００７７】そして、合成電界がｙ方向を向いた瞬間
は、前述の説明のようにｙ方向に放電が均一化され、合
成電界がｘ方向を向いた瞬間はｘ方向に放電が均一化さ
れる。

【００７８】更に、実際は、発振周波数の差周波数に対
応して、合成電界の方向は、２次元空間の全ての方向を
向くため、放電領域は全体として２次元的に広がり、図
３（ｂ）及び（ｃ）のように実質的に断面が円形状の均
一な放電領域が実現することになる。

【００７９】さて、本実施例においては、マイクロ波発
振器１１，１２から発振されるマイクロ波は、各々他の
形態を有するものももちろん使用可能であるが、パルス
マイクロ波を用いた。

【００８０】これらの２つのパルスマイクロ波は、レー
ザ管１５の位置において実質的に同時に印加される。

【００８１】図４に、レーザ管位置で観測した場合の２
つのパルスマイクロ波の模式図を示す。

【００８２】ここで重要な点は、２つのパルスのＯＮ・
ＯＦＦのタイミングが、一致していることにある。

【００８３】つまり、上述の均一な放電を実現するため
には、レーザ出力光が連続光、パルス光であるにかかわ
らず、２つのパルスマイクロ波は、時間的に重なり合う
必要がある。

【００８４】というのは、互いのタイミングがずれた場
合、例えばマイクロ波発振器１２が先にＯＦＦした場
合、瞬間的に放電状態は図３（ａ）の状態となってしま
い、本実施例の２つの異なる電界交差による効果が達成
できないからである。

【００８５】又、レーザ発振に寄与するＣＯ2 分子の励
起状態は約２００μｓでほぼ完全に失われるとされてい
るから、レーザ光出力を連続した状態で取り出すには、
最低でも、（１／２００μｓ）Ｈｚ、すなわち５ｋＨｚ
程度の繰り返し周波数が必要となる。

【００８６】しかし、５ｋＨｚそのままでは出力は強度
変動率が１００％となってしまうので、レーザ光が連続
していると見なせる±５％以内の強度変動を実現するに
は、２０ｋＨｚ程度の繰り返し周波数が最低でも必要だ
と考えられることになる。

【００８７】以上まとめると、本実施例においては、上
述のようなｘ方向電界及びｙ方向電界の同時印加状態を
創出することにより励起が極めて均一化になされる。

【００８８】具体的には、図３（ａ）に示される一方向
電界印加状態の放電では、レーザ管１５の断面積の３０
％以下しか放電領域が存在せず、レーザ出力も７０Ｗ程
度であったが、本実施例の図３（ｂ）及び（ｃ）に示さ
れる構成では、レーザ管１５の断面積の８０％以上の放
電領域を実現し、レーザ出力も１８０Ｗ以上を達成して
いる。

【００８９】なお、本実施例では、マイクロ波発振器及
び導波管の数を２つの場合に代表させて説明したが、必
要に応じ、３つ以上設けることも可能である。

【００９０】又、マイクロ波の電界振動方向について
は、レーザ管の光軸と最低限交差していれば必ずしも完
全に直交していなくてもよく、互いの振動の相対方向
も、最低限交差していれば必ずしも完全に直交していな
くてもよい。

【００９１】又、本実施例では、プランジャをｘ方向ま
たはｙ方向に動かすことにより、マイクロ波の定在波の
腹位置の調整を行うことが可能である。

【００９２】そして、プランジャは平板状が代表的であ
るが、さらにマイクロ波が外部にもれない程度の複数個
の孔を設け、内部が観察できるようにしてもよい。

【００９３】このプランジャに関しては、以下に述べる
実施例２及び実施例３においても同様である。

【００９４】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明する。

【００９５】本実施例は、第１の実施例と同じくマイク
ロ波励起ガスレーザに関するが、マイクロ波発振器を２
本使用せず１本のマイクロ波発振器を用い、結果的に、
電界が直交するマイクロ波の２方向からの印加を達成し
ている構成例を示す。

【００９６】図５は、本発明の第２の実施例を示す断面
図であり、第１の実施例の図２に対応する。

【００９７】図５において、図２と対応する部分は同一
の番号を付したが、１０５は空胴共振器、４１は１つの
マイクロ波発振器、４２，４３，４４は導波管であり、
導波管４３，４４はレーザ管１５の位置で互いに直交し
ている。

【００９８】ここで、整合器２２，２３は、各々導波管
４３，４４に付されているが、導波管４２が整合器を有
しても構わない。

【００９９】又、４６はマイクロ波分配器であり、導波
管４２を伝播するマイクロ波は、マイクロ波分配器４６
にて２つに分配され、各々のマイクロ波はそれぞれ導波
管４３と導波管４４を伝播する。

【０１００】以上のように構成された本実施例の装置
は、第１の実施例の装置とは、マイクロ波発振器４１か
ら導波管４３と４４の整合器２２と２３の直前までの構
成が異なるだけで、レーザ管１５の付近の構成は全く同
一である。

【０１０１】マイクロ波分配器４６で分配された２つの
マイクロ波は、レーザ管１５の位置で互いに交わり、レ
ーザ管１５に対して空間的に電界の振動方向が直交する
２方向のマイクロ波電界として印加される。

【０１０２】しかしながら、第１の実施例と異なり２方
向のマイクロ波の周波数は全く同一であるため差周波が
生ぜず、一般的には、レーザ管１５部分での電界方向
は、ｘ軸方向、ｙ軸方向を含む３６０度の空間の全ての
方向に対して、均一には向かはない。

【０１０３】具体的は、２方向のマイクロ波の時間的位
相差が０度又は１８０度の場合には、ｘ軸やｙ軸から斜
め４５度の空間方向に向く直線偏波状態になるだけであ
る。

【０１０４】又、２方向のマイクロ波の時間的位相が９
０度異なるときは、円偏波状態となり、ｘ軸方向、ｙ軸
方向を含む３６０度の空間の全ての方向を、瞬間的には
向かう。

【０１０５】又、位相差が上記以外の中途半端な角度で
ある場合には、楕円偏波状態となり、全ての方向を均等
には向かず、特定の方向が強くなって放電状態が均一化
されない。

【０１０６】そこで、本実施例では、実際に２方向のマ
イクロ波の時間的位相が９０度異なる状態を実現するた
めに、図５に示すように、分岐点Ｓよりレーザ管１５の
中心点Ｃまでの導波管４３を通る距離距離ｌa と、導波
管４４を通る距離ｌb の差（ｌb −ｌa ）を、マイクロ
波の導波管内波長の１／４波長に設定した。

【０１０７】なお、この距離の差は一般的に、（１／４
＋Ｎ／２）波長（Ｎは０以上の整数）と表現できる。

【０１０８】又、距離ｌa （導波管４３を通る距離）と
距離ｌb （導波管４４を通る距離）とが同一の場合で
も、導波管４３，４４のうち少なくともどちらか一方に
レーザ管１５での時間的位相差が９０度となるような位
相シフターを挿入しておけば、上記の距離差で時間的位
相差を作るものと同じ効果が得られる。

【０１０９】なお、この位相シフターとしては、通常の
導波管中物質とは異なる誘電率を有する材料から形成す
ることができる。

【０１１０】以上の構成により、レーザ管１５でのマイ
クロ波電界の方向は、空間の全ての方向を瞬間的には向
かうことになる。

【０１１１】又、実施例１では完全な円偏波状態のみを
実現するのは不可能であり、楕円偏波や直線偏波状態を
含まざるを得なかったが、本実施例では、ほぼ完全な円
偏波状態のみの実現が可能である。

【０１１２】２つのマイクロ波電界の時間的位相はちょ
うど９０度（完全な円偏波状態）であることが理想的に
は望ましいが、ある程度の楕円偏波は許容できる。その
許容範囲としては、±４．５度と評価した。

【０１１３】又、この±４．５度は、百分率表示で±５
％に相当するため、上記距離の差（ｌb −ｌa ）の誤差
許容範囲は±５％となる。

【０１１４】よって、本実施例では、１つのマイクロ波
発振器で、実施例１と同様な、あるいは実施例１以上の
励起状態の均一化を達成できることになる。

【０１１５】なお、本実施例では、導波管の分岐の数を
２つの場合に代表させて説明したが、必要に応じ、３つ
以上分岐することも可能である。

【０１１６】又、マイクロ波の電界振動方向について
は、レーザ管の光軸と最低限交差していれば必ずしも完
全に直交していなくてもよい。

【０１１７】（実施例３）以下、本発明の第３の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明する。

【０１１８】本発明の実施例は、第１の実施例と同じく
マイクロ波励起ガスレーザに関し、第２の実施例と同様
に、マイクロ波発振器を２つ使用せず、１つのマイクロ
波発振器を用いて、空間的に電界が直交する２方向のマ
イクロ波の電界の印加を実現する実施例である。

【０１１９】図６は、本発明の第３の実施例を示す断面
図であり、第１の実施例の図２に対応する。

【０１２０】図６において、図２と対応する部分は同一
の番号を付しが、１０６は空胴共振器、６１はマイクロ
波発振器、６２は整合器、６３は導波管、６４，６５は
プランジャである。

【０１２１】導波管６３は、１本の導波管を折り曲げ
て、重なり合う部分を作り、その重なり合った部分にレ
ーザ管１５が位置するよう構成されており、折れ曲がっ
た導波管６３は、レーザ管１５の位置で互いに直交して
いる。

【０１２２】整合器６２は、導波管６３のマイクロ波発
振器６１とレーザ管１５との間に付しているが、導波管
６３のその他の部分に整合器が存在しても構わない。

【０１２３】以上のように構成された第３の実施例の装
置は、１本のマイクロ波発振器を使用してる点で、第２
の実施例と共通するが、本実施例ではマイクロ波分配器
を必要としない点が異なる。

【０１２４】本実施例においては、マイクロ波発振器６
１から発振されたマイクロ波は、折れ曲がった導波管６
３の重なり合った部分、すなわちレーザ管１５の位置で
互いに交わり、レーザ管１５に対しては空間的に電界が
直交する２方向のマイクロ波電界として印加される。

【０１２５】本実施例においても、第２の実施例と同様
に、２方向のマイクロ波の周波数は全く同一であるた
め、一般的に、レーザ管１５部分での電界方向が、ｘ軸
方向、ｙ軸方向を含む３６０度の空間の全ての方向に向
かうことにはならない。

【０１２６】そこで、図６に示すように、レーザ管１５
の中心点Ｃから導波管６３を廻って再度中心点Ｃまで戻
る距離ｌc をマイクロ波の導波管内波長の１／４波長に
し、２方向のマイクロ波の時間的位相が９０度異なる状
態を実現する達成できる。

【０１２７】なお、距離ｌc は、一般的に（１／４＋Ｎ
／２）波長（Ｎは０以上の整数）と表現できる。

【０１２８】更に、距離ｌc が（１／４＋Ｎ／２）波長
に等しくない場合であっても、レーザ管１５での時間的
位相差が９０度となるような所定の位相シフターをその
途中に挿入しておけば、同様な効果が得られることにな
る。

【０１２９】又、導波管６３を廻る回数は、２回に限ら
ず、上記条件を満足すれば何回でも可能である。

【０１３０】以上の構成により、本実施例においては、
レーザ管１５でのマイクロ波の電界の方向が、空間の全
ての方向を瞬間的には向かうので、実施例１、２と同様
に、励起の均一化を達成できる。

【０１３１】そして、本実施例では、１つのマイクロ波
発振器で構成可能であることに加え、整合器も１つで済
む簡便な構成が実現できる。

【０１３２】なお、本実施例では、導波管の交差部を２
回交差の場合に代表させて説明したが、必要に応じ、３
回以上交差することも可能である。

【０１３３】又、マイクロ波の電界振動方向について
は、レーザ管の光軸と最低限交差していれば必ずしも完
全に直交していなくてもよい。

【０１３４】（実施例４）以下、本発明の第４の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明する。

【０１３５】図７は、本発明の第４の実施例を示す２態
様の断面図であり、各々第１の実施例の図２に対応す
る。

【０１３６】図７（ａ）は、直方体からなる直方体型空
胴共振器により構成されるマイクロ波励起ガスレーザ装
置、図７（ｂ）は、円筒体からなる円筒体型空胴共振器
である。

【０１３７】図７において、図２と対応する部分は同一
の番号を付したが、１０７は直方体型空胴共振器、１０
８は円筒型空胴共振器、７１，７２，８１，８２はマイ
クロ波発振器、７３，７４，８３，８４はマイクロ波発
振器のアンテナ、７５，７６，８５，８６は整合器であ
る。

【０１３８】これらの態様において、２つの異なるマイ
クロ波の電界の振動方向が互いに直交するためには、マ
イクロ波発振器のアンテナ７３と７４、又は８３と８４
とが、両アンテナをレーザ光軸方向（図面の紙面に垂直
な方向）に投影した場合に、互いに直交するように延在
している必要がある。

【０１３９】以上のように構成された第４の実施例の図
７（ａ）に示される構成は、第１の実施例の構成の導波
管部分を短く切り詰めた形態をしており、又図７（ｂ）
に示される構成は、図７（ａ）の空洞共振器を円筒状に
したものであるから、マイクロ波発振器を２つ使用する
こと、これら２つのマイクロ波発振器が発振するマイク
ロ波の発振周波数が互いに異なること、整合器を２つ使
用することなどの点において同様である。

【０１４０】よって、動作原理は第１の実施例に等し
く、２つのマイクロ波の差周波数で電界方向を３６０度
の空間すべての方向に向かせることで均一な放電を実現
することになる。

【０１４１】前述の第１の実施例の装置と比較すると、
図２でｘ軸方向及びｙ軸方向に伸びていた導波管部分が
本実施例ではなくなり、空胴共振器の小型化を達成して
いる。また、第１の実施例では合計４つ存在したプラン
ジャが本実施例１つもなくなり、付属装置の簡略化を達
成している。

【０１４２】定在波の波形及び腹位置の調整は、直方体
型空胴共振器を構成する図７（ａ）の紙面によって可能
である。

【０１４３】また、図７（ｂ）の円筒体型空胴共振器の
場合も、同様に調整が可能である。つまり、本実施例に
おいては、実施例１から３の構成を一層進め、空胴共振
器の小型化、付属装置の簡略化を実現したものである。

【０１４４】なお、本実施例では、マイクロ波発振器の
数を２つの場合に代表させて説明したが、必要に応じ、
３つ以上設けることも可能である。

【０１４５】又、マイクロ波の電界振動方向について
は、レーザ管の光軸と最低限交差していれば必ずしも完
全に直交していなくてもよく、互いの振動の相対方向
も、最低限交差していれば必ずしも完全に直交していな
くてもよい。

【０１４６】（実施例５）以下、本発明の第５の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明する。

【０１４７】装置は第１の実施例と同様の構成のものを
用いた。さて、本実施例においては、マイクロ波発振器
１１，１２から発振されるマイクロ波は、各々他の形態
を有するものももちろん使用可能であるが、パルスマイ
クロ波を用いた。

【０１４８】これらの２つのパルスマイクロ波は、レー
ザ管１５の位置において実質的に同時に印加される。

【０１４９】図４に、レーザ管位置で観測した場合の２
つのパルスマイクロ波の模式図を示す。

【０１５０】ここで重要な点が２つある。１点目は、レ
ーザ管１５内を流れているレーザ媒質ガス２９の流速に
応じたパルスマイクロ波のデューティを最適化すること
である。

【０１５１】というのは、レーザ媒質ガス２９の流速に
対してデューティが大き過ぎると、レーザ媒質ガス２９
の異常加熱を生じ安定な放電が得られなくなり、レーザ
出力の低下を招くからである。

【０１５２】２点目は、第１の実施例でも説明したよう
に２つのパルスのタイミングが、一致していることであ
る。

【０１５３】つまり、上述の均一な放電を実現するため
には、レーザ出力光が連続光、パルス光であるにかかわ
らず、２つのパルスマイクロ波は、時間的に重なり合う
必要がある。

【０１５４】というのは、互いのタイミングがずれた場
合、例えばマイクロ波発振器１２が先にＯＦＦした場
合、瞬間的に放電状態は図３（ａ）の状態となってしま
い、本実施例の２つの異なる電界交差による効果が達成
できないからである。

【０１５５】そこで、本実施例においてはマイクロ発生
源であるマイクロ波発振器１１，１２の電源として図８
に示すものを用いた。

【０１５６】図８において、９１はパルス発生回路、９
２はパルスディレイ回路、９３はマイクロ発振器１１を
駆動するための高圧電源部（ｙ）、９４はマイクロ発振
器１２を駆動するための高圧電源部（ｘ）である。

【０１５７】図８において、パルス発生回路９１で任意
の周波数に設定されたパルス信号は、パルスディレイ回
路９２によって複数のパルス信号に分岐される。このパ
ルディレイ回路９２によって分岐されたパルス信号につ
いては、デューティ比及び相互の遅延が任意に設定可能
である。

【０１５８】分岐されたパルス信号は、高電圧電源部
（ｙ）９３，高電圧電源部（ｘ）９４を介してマイクロ
波発振器１１，１２に印加され、パルスマイクロ波が発
生される。

【０１５９】図８のパルス発生回路９１とパルスディレ
イ回路９２によって、マイクロ波発振器１１，１２から
発振されるパルスマイクロ波のデューティを可変させた
時のレーザ発振の実施例を示す。

【０１６０】ここで、デューティの定義は、マイクロ波
発振器１１，１２に印加する平均電力とピーク電流の比
とした。

【０１６１】図９に示すようにデューティを上げていく
と発振効率も徐々に上昇していき、デューティが０．２
付近において最大発振効率１８．１％を得ることがわか
り、更に、デューティを上げていくと発振効率は徐々に
低下していく傾向にあることがわかった。

【０１６２】実用上、支障なく使用可能なマイクロ波励
起ガスレーザの発振効率は、最大発振効率の±２％の範
囲であると考えられるため、実用上０．１から０．３程
度のデューティの範囲内であれば、デューティがずれて
も充分な実用に供せられる。

【０１６３】次に、マイクロ波発振器１１と１２にそれ
ぞれ異なったデューティのパルス信号を印加し、更に、
ｙ方向のパルスマイクロ波を基準にｘ方向のパルスマイ
クロ波のタイミングをずらしてレーザ発振させた。

【０１６４】パルス発生回路９１からのパルス周波数を
２５ｋＨｚとし、パルスディレイ回路９２によってｙ方
向に印加するパルス信号のデューティ比を２０．０％
（パルス幅８μｓ）に、ｘ方向に印加するパルス信号の
デューティ比を１５．０％（パルス幅６μｓ）に設定
し、ｙ方向のパルスマイクロ波を基準にｘ方向のパルス
マイクロ波のタイミングを、±５μｓの範囲内で１μｓ
ずつずらしてレーザ発振させた。なお、マイクロ波入力
電力は９５６Ｗである。例えば、図１０に示すように、
ｙ方向に対して、ｘ方向のタイミングをｔ＝５μｓ進め
た場合には、レーザ出力は１３１Ｗ（発振効率１３．７
％）となり、ｙ方向，ｘ方向相互のタイミングずれがな
いときには、レーザ最高出力１５６Ｗ（発振効率１６．
３％）が得られた。又、ｙ方向に対して、ｘ方向のタイ
ミングをｔ＝５μｓ遅らせた場合には、レーザ出力は１
２０Ｗ（発振効率１２．５％）であった。

【０１６５】このようにして、ｙ方向に対して、ｘ方向
のタイミングのずれ時間を１μｓずつずらした結果を図
１０に示す。

【０１６６】図１０に示すように、ずれ時間と共にレー
ザ出力は徐々に低下し、５μｓ以上のずれになるとレー
ザ出力は極端に低下する。

【０１６７】更に、ずれ時間が２μｓ程度になるとプラ
ズマの形態が変化し、均一な励起が望めなくなるため、
最低でも±１μｓ以内のズレの範囲内にあわせる必要が
ある。

【０１６８】以上のように、相互のデューティがずれて
いる場合には発振開始のタイミングを±１μｓ以内の範
囲内あわせることにより均一な励起が可能となり、高出
力が得られる。

【０１６９】なお、以上の全ての実施例において、導波
管は、矩形導波管であっても円筒導波管であってもいず
れでも可能である。

【０１７０】そして、矩形導波管内を伝播するマイクロ
波は、ＴＥm0モードであり、円筒導波管内を伝播するマ
イクロ波は、ＴＥ11モードである。

【０１７１】又、以上の全実施例において、整合器は２
スタブチューナ、３スタブチューナ、ＥＨチューナのい
ずれかの形態を取り得る。

【０１７２】又、以上の全実施例において、空胴共振器
は、金属導体を母材とすると好適である。

【０１７３】又、以上の全実施例において、レーザ管
が、マイクロ波を透過する誘電体を母材とすると好適で
ある。

【０１７４】そして、この誘電体には、石英ガラス、耐
熱強化ガラス等が使用し得る。又、以上の全実施例にお
いて、マイクロ波発振器として、マグネトロンを好適に
使用し得る。

【０１７５】又、以上の全実施例において、被励起媒質
は、ＣＯガス、ＣＯ₂ガス、Ｎ₂ガス、金属蒸気、希ガ
ス、ハロゲンガスのうち少なくとも１つを含んでいるこ
とが可能である。

【０１７６】又、以上の全実施例において、被励起媒質
がレーザ管、ガス循環ポンプ、熱交換器、ガス配管によ
り構成されるガス循環器系により循環せしめられること
も可能である。

【０１７７】

【発明の効果】以上のように本発明は、被励起媒質の同
一部分に、同時に空間的に電界の振動方向が直交する２
方向のマイクロ波電界を印加する構成により、励起が２
次元的に一様化・均一化して、空間的に励起の均一化が
実現できる。

【０１７８】この結果、均一な媒質の励起が可能である
マイクロ波励起ガスレーザ装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の斜視図

【図２】同第１の実施例の断面図

【図３】同第１の実施例の放電管の内部の放電状態を示
す拡大断面図

【図４】同第１の実施例のマイクロ波の電界強度を示す
図

【図５】同第２の実施例の断面図

【図６】同第３の実施例の断面図

【図７】同第４の実施例の断面図

【図８】同第５の実施例のマイクロ波発振器を駆動する
ための制御回路ブロック図

【図９】同第５の実施例のデューティ比を可変させたと
きのレーザ発振特性を示す説明図

【図１０】同第５の実施例のｙ，ｘ方向に印加するパル
スマイクロ波のデューティが異なる場合のタイミングを
可変させたときのレーザ発振特性を示す説明図

【符号の説明】

１０ 空胴共振器 １１ マイクロ波発振器 １２ マイクロ波発振器 １３ 導波管 １４ 導波管 １５ レーザ管 １６ 出力鏡 １７ 全反射鏡 １８ プランジャ １９ プランジャ ２０ プランジャ ２１ プランジャ ２２ 整合器 ２３ 整合器 ２４ アンテナ ２５ アンテナ ２６ ｙ方向電界分布 ２７ ｘ方向電界分布 ２９ レーザ媒質ガス ３０ ｙ方向電束線 ３１ ｙ方向電束線 ３２ ｘ方向電束線 ３３ 放電 ３４ 放電 ４２ 導波管 ４３ 導波管 ４４ 導波管 ４５ プランジャ ４６ マイクロ波分配器 ６１ マイクロ波発振器 ６２ 整合器 ６３ 導波管 ６４ プランジャ ６５ プランジャ ７１ マイクロ波発振器 ７２ マイクロ波発振器 ７３ アンテナ ７４ アンテナ ７５ 整合器 ７６ 整合器 ８１ マイクロ波発振器 ８２ マイクロ波発振器 ８３ アンテナ ８４ アンテナ ８５ 整合器 ８６ 整合器 ９１ パルス発生回路 ９２ パルスディレイ回路 ９３ 高圧電源部（ｙ） ９４ 高圧電源部（ｘ） １０５ 空胴共振器 １０６ 空胴共振器 １０７ 空胴共振器 １０８ 空胴共振器

フロントページの続き (72)発明者 佐藤 公一 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 木村 実 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内

Claims (37)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マイクロ波発振器からが発振されるマイ
   クロ波により被励起ガス媒質を高エネルギー状態に励起
   させてレーザ発振を行うマイクロ波励起ガスレーザ装置
   であって、前記被励起ガス媒質を、電界の振動方向が互
   いに異なる複数のマイクロ波により励起するマイクロ波
   励起ガスレーザ装置。
2. 【請求項２】 更に、マイクロ波を定在波とするための
   定在波形成手段を有し、被励起ガス媒質を、電界の振動
   方向が互いに異なる複数の定在波のマイクロ波の各々の
   腹の部分で前記被励起ガス媒質を励起する請求項１記載
   のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
3. 【請求項３】 マイクロ波励起ガスレーザ装置からの光
   出力の強度変動が±５％以内の連続光出力となるような
   複数のパルスマイクロ波で励起する請求項２記載のマイ
   クロ波励起ガスレーザ装置。
4. 【請求項４】 複数のマイクロ波が、各々パルスマイク
   ロ波であり、パルスの繰返し周波数は２０ｋＨｚ以上で
   ある請求項３記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
5. 【請求項５】 複数のパルスマイクロ波が各々パルス群
   であり、レ−ザ出力光がパルス光である請求項２記載の
   マイクロ波励起ガスレ−ザ装置。
6. 【請求項６】 複数のパルスマイクロ波が、時間的に重
   なるように被励起ガス媒質を励起する請求項３から５の
   いずれか記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
7. 【請求項７】 複数のパルスマイクロ波の、デューティ
   比が０．１〜０．３以内に制御されていることを特徴す
   る請求項３から６のいずれか記載のマイクロ波励起ガス
   レーザ装置。
8. 【請求項８】 複数のパルスマイクロ波のデューティ比
   が各々異なる場合には発振開始のタイミングを合わせる
   ことを特徴する請求項３から７のいずれか記載のマイク
   ロ波励起ガスレーザ装置。
9. 【請求項９】 複数のマイクロ波の電界振動方向が互い
   に直交する請求項１から８のいずれか記載のマイクロ波
   励起ガスレーザ装置。
10. 【請求項１０】 被励起ガス媒質はレーザ管内に封じら
    れ、複数のマイクロ波の電界振動方向の内少なくとも１
    つの電界振動方向が前記レーザ管の光軸と交差する請求
    項９記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
11. 【請求項１１】 定在波形成手段は空胴共振器であり、
    前記空洞共振器は、互いに交差する部分を有する導波管
    を含み、前記交差する部分で、被励起ガス媒質は、電界
    の振動方向が互いに異なる複数のマイクロ波により励起
    される請求項１から１０のいずれかに記載のマイクロ波
    励起ガスレーザ装置。
12. 【請求項１２】 導波管が、互いに直交する２つの導波
    管である請求項１１記載のマイクロ波励起ガスレーザ装
    置。
13. 【請求項１３】 ２つの導波管の各々が、マイクロ波発
    振器を有する請求項１２記載のマイクロ波励起ガスレー
    ザ装置。
14. 【請求項１４】 ２つの導波管の各々が、整合器を有す
    る請求項１３記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
15. 【請求項１５】 被励起ガス媒質が、単一のマイクロ波
    発振器が発振したマイクロ波により励起される請求項１
    から１０のいずれかに記載のマイクロ波励起ガスレーザ
    装置。
16. 【請求項１６】 定在波形成手段は空胴共振器であり、
    前記空洞共振器は、互いに交差する部分を有する導波管
    を含み、前記交差する部分で、被励起ガス媒質は、電界
    の振動方向が互いに異なる複数のマイクロ波により励起
    される請求項１５記載のマイクロ波励起ガスレーザ装
    置。
17. 【請求項１７】 複数のマイクロ波が、単一のマイクロ
    波発振器が発振したマイクロ波を分岐することにより得
    られる請求項１６記載のマイクロ波励起ガスレーザ装
    置。
18. 【請求項１８】 マイクロ波発振器から発振されたマイ
    クロ波は、単一な導波管を伝播し、マイクロ波分配器で
    複数のマイクロ波に分岐され、複数の導波管により導波
    管の交差部に位置する被励起ガス媒質に導かれる請求項
    １７記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
19. 【請求項１９】 導波管が整合器を有し、前記導波管
    は、その位置がマイクロ波発振器とマイクロ波分配器と
    の間、及び／又は前記マイクロ波分配器と導波管の交差
    部との間に存在する請求項１８記載のマイクロ波励起ガ
    スレーザ装置。
20. 【請求項２０】 複数のマイクロ波が、単一のマイクロ
    波発振器が発振したマイクロ波を還状に伝播させ、被励
    起ガス媒質中を複数回通過させることにより得られる請
    求項１６記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
21. 【請求項２１】 導波管が整合器を有し、前記導波管
    は、その位置がマイクロ波発振器と導波管交差部分との
    間に存在する請求項２０記載のマイクロ波励起ガスレー
    ザ装置。
22. 【請求項２２】 定在波形成手段は空洞共振器であり、
    前記空胴共振器が、直方体型空胴共振器である請求項１
    から１０のいずれかに記載のマイクロ波励起ガスレーザ
    装置。
23. 【請求項２３】 直方体型空胴共振器が、直方体の一辺
    を共有する２つの面において、各々マイクロ波発振器を
    有する請求項２２記載のマイクロ波励起ガスレーザ装
    置。
24. 【請求項２４】 直方体型空胴共振器が、一辺を共有す
    る２つの面に各々整合器を有する請求項２３記載のマイ
    クロ波励起ガスレーザ装置。
25. 【請求項２５】 定在波形成手段は空洞共振器であり、
    前記空胴共振器が、円筒体型空胴共振器である請求項１
    から１０のいずれかに記載のマイクロ波励起ガスレーザ
    装置。
26. 【請求項２６】 円筒体型空胴共振器が２つのマイクロ
    波発振器を有している請求項２５記載のマイクロ波励起
    ガスレーザ装置。
27. 【請求項２７】 円筒体型空胴共振器が、更に整合器を
    有する請求項２６記載のマイクロ波励起ガスレーザ装
    置。
28. 【請求項２８】 被励起ガス媒質はレーザ管内に封じら
    れ、２つのマイクロ波発振器は、マイクロ波を発振する
    ためのアンテナ部を有し、前記アンテナ部は、前記レー
    ザ管の光軸方向に投影した場合に、互いに直交する方向
    に延在している請求項２３、２４、２６、２７のいずれ
    か記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
29. 【請求項２９】 複数のマイクロ波の周波数が、互いに
    異なる請求項１から１４、又は２２から２８のいずれか
    記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
30. 【請求項３０】 複数のマイクロ波の周波数の差が、
    ０．１ＧＨｚ以内である請求項２９記載のマイクロ波励
    起ガスレーザ装置。
31. 【請求項３１】 複数のマイクロ波は、２つのマイクロ
    波であり、各周波数が等しく、かつ互いのマイクロ波の
    時間位相差が９０度±４．５度以内で異なっている請求
    項１５から２１のいずれか記載のマイクロ波励起ガスレ
    ーザ装置。
32. 【請求項３２】 時間位相差は、２つのマイクロ波のマ
    イクロ波発振器から被励起ガス媒質までの伝播の距離差
    が、互いに等しい複数のマイクロ波の波長の（１／４＋
    Ｎ／２）倍である（Ｎは０以上の整数）ように設定する
    ことにより得られる請求項３１記載のマイクロ波励起ガ
    スレーザ装置。
33. 【請求項３３】 ２つのマイクロ波のマイクロ波発振器
    から被励起ガス媒質までの伝播の距離差が、距離差±５
    ％以内の範囲内にある請求項３２記載のマイクロ波励起
    ガスレーザ装置。
34. 【請求項３４】 時間位相差は、２つのマイクロ波の伝
    播経路中の少なくともいずれか一方に位相シフターを挿
    入して得られる請求項３１記載のマイクロ波励起ガスレ
    ーザ装置。
35. 【請求項３５】 更に、マイクロ波の定在波の状態を調
    整する定在波調整手段を有する請求項１から３４のいず
    れか記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。
36. 【請求項３６】 定在波調整手段が、多孔を有するショ
    ートプランジャである請求項３５記載のマイクロ波励起
    ガスレーザ装置。
37. 【請求項３７】 マイクロ波の周波数が、２．４５ＧＨ
    ｚ±０．０５ＧＨｚである請求項１から３６のいずれか
    記載のマイクロ波励起ガスレーザ装置。