JP2017084744A - マイクロ波照射装置及び排気浄化装置 - Google Patents

Abstract

【課題】照射されるマイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差を小さいマイクロ波照射装置をを提供する。【解決手段】円環状のマイクロ波伝送路と、前記円環状のマイクロ波伝送路に接続されている第１のマイクロ波発生部と、前記円環状のマイクロ波伝送路に接続されている第２のマイクロ波発生部と、を有し、前記第１のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波と、前記第２のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波とは、同じ周波数であって、位相が異なることを特徴とするマイクロ波照射装置により上記課題を解決する。【選択図】 図１

Description

本発明は、マイクロ波照射装置及び排気浄化装置に関するものである。

現在、排気に含まれるＰＭ（Particulate
matter）等の微粒子を捕集する装置として、ＤＰＦ（Diesel Particulate Filter）が用いられた排気浄化装置が実用化されている。このような排気浄化装置は、使用によりＤＰＦにＰＭ等の微粒子が堆積するため、ＤＰＦを再生することが求められる。ＤＰＦを再生する方法としては、例えば、マイクロ波照射装置から放射されたマイクロ波等の高周波電磁波を用いる方法が開示されている（例えば、特許文献１〜３）。具体的には、この方法は、ＤＰＦにマイクロ波等の電磁波を照射することにより、ＤＰＦに堆積しているＰＭ等の微粒子を加熱し、燃焼させることにより、ＤＰＦの再生を行うものである。

また、マイクロ波照射装置は、食品を加熱する食品加熱装置や化学反応装置等においても用いられている。

特開２００６−１４００６３号公報 特開平４−１７９８１７号公報 特許第４９９５３５１号公報 特開平５−２０２７３３号公報 特開２０１４−１７５１２２号公報

上述した排気浄化装置では、ＤＰＦの再生は、ＤＰＦにマイクロ波等の電磁波を照射することにより、ＰＭ等の微粒子が誘電加熱され、ＰＭ等の微粒子が酸化分解されることにより行われる。しかしながら、ＤＰＦに照射されるマイクロ波は、ＤＰＦ内に均一な強度で照射することは困難であり、ＤＰＦ内においてマイクロ波の強度の強い部分と弱い部分とが生じるため、温度むらが生じる。このため、ＤＰＦ内において、ＰＭ等の微粒子が除去される領域とあまり除去されない領域とが生じ、ＤＰＦの再生が十分になされない。このように照射されるマイクロ波の強度の強い部分と弱い部分が生じることは、食品加熱装置や化学反応装置等においても同様である。

このため、照射されるマイクロ波の強度の強い部分と弱い部分が生じにくく、被加熱物を均一に加熱することのできるマイクロ波照射装置が求められている。

１つの態様では、マイクロ波照射装置は、円環状のマイクロ波伝送路と、前記円環状のマイクロ波伝送路に接続されている第１のマイクロ波発生部と、前記円環状のマイクロ波伝送路に接続されている第２のマイクロ波発生部と、を有し、前記第１のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波と、前記第２のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波とは、同じ周波数であって、位相が異なる。

開示のマイクロ波照射装置によれば、被加熱物を均一に加熱することができる。

第１の実施の形態におけるマイクロ波照射装置の構造の説明図 第１の実施の形態における円環導波管内において生じる定在波の説明図 円環導波管に１つのマイクロ波発生部が接続されたマイクロ波照射装置の構造図 図３に示されるマイクロ波照射装置におけるマイクロ波の強度分布図 第１の実施の形態におけるマイクロ波照射装置におけるマイクロ波の強度分布図 第２の実施の形態におけるマイクロ波照射装置の構造図（１） 第２の実施の形態におけるマイクロ波照射装置の構造図（２）

実施するための形態について、以下に説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。

ところで、特許文献２に記載されている内燃機関用フィルタ再生装置は、被加熱物となるＤＰＦの周囲を導波管で覆い、導波管にマイクロ波を供給することにより、導波管の内側に設けられた穴よりマイクロ波が漏れて、ＤＰＦに照射される構造のものである。しかしながら、このような構造のものでは、導波管に供給されたマイクロ波により、導波管内に定在波が形成されるため、定在波による腹と節が形成される。このため、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分が生じ強度分布が生じる。尚、本願においては、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分とが生じることをマイクロ波の強度分布が生じると記載する場合がある。

〔第１の実施の形態〕
次に、第１の実施の形態におけるマイクロ波照射装置について図１に基づき説明する。図１は、本実施の形態におけるマイクロ波照射装置が取り付けられている排気浄化装置を示している。

図１は、本実施の形態におけるマイクロ波照射装置の構造の説明図である。具体的には、図１（ａ）は、本実施の形態におけるマイクロ波照射装置が取り付けられている排気浄化装置の要部の斜視図であり、図１（ｂ）は、排気浄化装置において排気が流れる方向における断面図である。この排気浄化装置は、微粒子捕集部１０、筐体部２０、第１のマイクロ波発生部４１、第２のマイクロ波発生部４２、制御部６０等を有している。円筒状の筐体部２０の周囲には、円環状のマイクロ波伝送路である円環導波管３０が設けられており、円環導波管３０の内側となる筐体部２０側には、筐体部２０内にマイクロ波が漏れて、微粒子捕集部１０に照射されるように、不図示の穴等が形成されている。

微粒子捕集部１０は、ＤＰＦ等により形成されている。ＤＰＦは、例えば、隣り合う通気口が交互に閉じられたハニカム構造により形成されており、排気は入口の通気口とは異なる通気口より排出される。

筐体部２０は、ステンレス等の金属材料により形成されており、微粒子捕集部１０の周囲を覆う筐体本体部２０ａ、筐体本体部２０ａに接続されている吸入口２０ｂ及び排出口２０ｃを有している。本実施の形態における排気浄化装置においては、エンジン等からの排気ガス等の排気は、破線矢印Ａに示される方向より、吸入口２０ｂから筐体部２０内に入り、筐体本体部２０ａ内に設置されている微粒子捕集部１０を通ることにより浄化される。この後、微粒子捕集部１０において浄化された排気は、排出口２０ｃより破線矢印Ｂに示される方向に排出される。

円環導波管３０には、第１のマイクロ波発生部４１が第１の接続導波管５１により接続されており、更に、第２のマイクロ波発生部４２が第２の接続導波管５２により接続されている。第１のマイクロ波発生部４１において発生したマイクロ波は、第１の接続導波管５１内を破線矢印Ｃに示す方向に伝播し、円環導波管３０内に供給される。また、第２のマイクロ波発生部４２において発生したマイクロ波は、第２の接続導波管５２内を破線矢印Ｄに示す方向に伝播し、円環導波管３０内に供給される。

尚、第１のマイクロ波発生部４１において発生させたマイクロ波の周波数と、第２のマイクロ波発生部４２において発生させたマイクロ波の周波数は、同じ周波数である。本実施の形態におけるマイクロ波照射装置は、円環導波管３０、第１のマイクロ波発生部４１、第２のマイクロ波発生部４２、第１の接続導波管５１、第２の接続導波管５２、制御部６０を有するものである。

円環導波管３０と第１の接続導波管５１との接続部分の中心５１ａと、円環導波管３０と第２の接続導波管５２との接続部分の中心５２ａとの距離Ｌは、（２Ｎ−１）×λ／４となるように形成されている。尚、λは円環導波管３０に供給されるマイクロ波の波長であり、Ｎは正の整数である。距離Ｌは長すぎない方が好ましいため、距離Ｌはλ／４、３λ／４、５λ／４、７λ／４が好ましい。

また、第１のマイクロ波発生部４１より第１の接続導波管５１を介し円環導波管３０に供給されるマイクロ波と、第２のマイクロ波発生部４２より第２の接続導波管５２を介し円環導波管３０に供給されるマイクロ波は、位相がπ／２、即ち、λ／４ずれている。これにより、図２に示すように、円環導波管３０内では、第１のマイクロ波発生部４１において発生させたマイクロ波と、第２のマイクロ波発生部４２において発生させたマイクロ波により定在波Ｗ_１、Ｗ_２が発生する。尚、図２は、図１（ｂ）における１点鎖線１Ａ−１Ｂにおいて切断した断面図である。

本実施の形態においては、第１のマイクロ波発生部４１からのマイクロ波により生じた定在波Ｗ_１と、第２のマイクロ波発生部４２からのマイクロ波により生じた定在波Ｗ_２とは、位相がπ／２ずれている。従って、第１のマイクロ波発生部４１からのマイクロ波により生じた定在波Ｗ_１の腹が、第２のマイクロ波発生部４２からのマイクロ波により生じた定在波Ｗ_２の節となる。同様に、第１のマイクロ波発生部４１からのマイクロ波により生じた定在波Ｗ_１の節が、第２のマイクロ波発生部４２からのマイクロ波により生じた定在波Ｗ_２の腹となる。これにより、一方の定在波の節の位置は他方の定在波の腹の位置となり、互いに補い合うため、円環導波管３０内においては、マイクロ波の強度分布が生じることを抑制することができる。即ち、円環導波管３０内においては、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分とが生じることを抑制することができる。円環導波管３０内におけるマイクロ波は、円環導波管３０の内側の微粒子捕集部１０の側に設けられた不図示の穴より漏れて、微粒子捕集部１０に照射される。従って、本実施の形態においては、微粒子捕集部１０に照射されるマイクロ波の強度を略均一にすることができるため、微粒子捕集部１０を均一に加熱することができる。

また、本実施の形態においては、円環導波管３０と第１の接続導波管５１との接続部分の中心５１ａは、第２のマイクロ波発生部４２からのマイクロ波により生じた定在波Ｗ_２の節となる。よって、第２のマイクロ波発生部４２からのマイクロ波が第１の接続導波管５１内に入射することはない。同様に、円環導波管３０と第２の接続導波管５２との接続部分の中心５２ａは、第１のマイクロ波発生部４１からのマイクロ波により生じた定在波Ｗ_１の節となる。よって、第１のマイクロ波発生部４１からのマイクロ波が第１の接続導波管５１内に入射することはない。

本実施の形態におけるマイクロ波照射装置は、第１のマイクロ波発生部４１と第２のマイクロ波発生部４２とにおいて、マイクロ波を同時に発生させてもよく、また、交互に発生させてもよい。第１のマイクロ波発生部４１と第２のマイクロ波発生部４２とにおいて、マイクロ波を交互に発生させる場合の制御は、制御部６０により行われる。

次に、図１に示される本実施の形態におけるマイクロ波照射装置と、図３に示されるマイクロ波発生部が１つであるマイクロ波照射装置とにおけるマイクロ波の強度分布について説明する。図３に示されるマイクロ波発生部が１つであるマイクロ波照射装置は、微粒子捕集部１０、筐体部２０、マイクロ波発生部９４１等を有している。円筒状の筐体部２０の周囲には、円環導波管３０が設けられており、円環導波管３０には、接続導波管９５１によりマイクロ波発生部９４１が接続されている。即ち、図３に示されるマイクロ波照射装置は、円環導波管３０に１つのマイクロ波発生部９４１が接続導波管９５１により接続されている構造のものである。

マイクロ波発生部９４１において発生したマイクロ波は、接続導波管９５１内を破線矢印Ｅに示す方向に伝播し、円環導波管３０内に供給される。円環導波管３０内に供給されたマイクロ波は、円環導波管３０内において定在波を形成し、微粒子捕集部１０に照射される。

図４は、図３に示されるマイクロ波発生部が１つであるマイクロ波照射装置により照射されるマイクロ波の強度分布を示す。図４（ａ）は、排気が流れる方向に垂直な方向における微粒子捕集部１０のマイクロ波の強度分布を示し、図４（ｂ）は、破線矢印Ｆに示される排気が流れる方向における微粒子捕集部１０のマイクロ波の強度分布を示す。また、図５は、本実施の形態におけるマイクロ波照射装置により照射されるマイクロ波の強度分布を示す。図５（ａ）は、排気が流れる方向に垂直な方向における微粒子捕集部１０のマイクロ波の強度分布を示し、図５（ｂ）は、破線矢印Ｇに示される排気が流れる方向における微粒子捕集部１０のマイクロ波の強度分布を示す。

図３に示されるマイクロ波発生部が１つであるマイクロ波照射装置においては、図４に示されるように、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差が大きくなる。このように、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差が大きいと、微粒子捕集部１０において温度むらが生じるため、ＰＭ等の微粒子が除去される領域とあまり除去されない領域とが生じ、微粒子捕集部１０の再生を十分に行うことができない。

このように、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差が大きくなるのは、円環導波管３０に供給されるマイクロ波が１つであるからであり、供給されたマイクロ波により生じた定在波の腹と節に対応して、マイクロ波の強度分布が生じるからである。

これに対し、図５に示されるように、本実施の形態におけるマイクロ波照射装置では、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差が小さくなる。このように、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差が小さいと、微粒子捕集部１０においては、温度むらは殆ど生じず、略均一に加熱される。これにより、微粒子捕集部１０におけるＰＭ等の微粒子の除去を均一に行うことができ、微粒子捕集部１０の再生を十分に行うことができる。

このように、本実施の形態におけるマイクロ波加熱装置において、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差が小さくなるのは、円環導波管３０に、位相がπ／２ずれている２つのマイクロ波が供給されるからである。これにより、円環導波管３０においては、一方のマイクロ波により生じた定在波の節が他方のマイクロ波により生じた定在波の腹となり、他方のマイクロ波により生じた定在波の節が一方のマイクロ波により生じた定在波の腹となる。このようにして、本実施の形態においては、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差を小さくすることができ、照射されたマイクロ波により微粒子捕集部１０を略均一に加熱することができる。

尚、本実施の形態におけるマイクロ波照射装置は、微粒子捕集部１０の再生のみならず、マイクロ波により食品等を加熱する加熱装置、化学反応装置等に用いてもよい。

〔第２の実施の形態〕
次に、第２の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるマイクロ波照射装置は、図６に示されるように、マイクロ波伝送路１３０、第１のマイクロ波発生部４１、第２のマイクロ波発生部４２、第１の接続導波管５１、第２の接続導波管５２、制御部６０を有している。

マイクロ波伝送路１３０は、断面が四角い筒状に形成されており、両端にはマイクロ波を反射する反射壁１３１ａ、１３１ｂが設けられている。反射壁１３１ａと反射壁１３１ｂとの間の筒状の部分の壁には、マイクロ波を放射する複数の開口穴１３２が設けられている。

マイクロ波伝送路１３０には、第１のマイクロ波発生部４１が第１の接続導波管５１により接続されており、また、第２のマイクロ波発生部４２が第２の接続導波管５２により接続されている。マイクロ波伝送路１３０と第１の接続導波管５１との接続部分の中心５１ａと、マイクロ波伝送路１３０と第２の接続導波管５２との接続部分の中心５２ａとの距離Ｌは、（２Ｎ−１）×λ／４となるように形成されている。尚、λはマイクロ波伝送路１３０に供給されるマイクロ波の波長であり、Ｎは正の整数である。距離Ｌは長すぎない方が好ましいため、距離Ｌはλ／４、３λ／４、５λ／４、７λ／４が好ましい。

第１のマイクロ波発生部４１において発生したマイクロ波は、第１の接続導波管５１内を破線矢印Ｈに示す方向に伝播し、マイクロ波伝送路１３０内に供給される。また、第２のマイクロ波発生部４２において発生したマイクロ波は、第２の接続導波管５２内を破線矢印Ｉに示す方向に伝播し、マイクロ波伝送路１３０内に供給される。

本実施の形態においては、第１のマイクロ波発生部４１より第１の接続導波管５１を介しマイクロ波伝送路１３０に供給されたマイクロ波は、マイクロ波伝送路１３０の反射壁１３１ａと反射壁１３１ｂにおいて反射され定在波を形成する。同様に、第２のマイクロ波発生部４２より第２の接続導波管５２を介しマイクロ波伝送路１３０に供給されたマイクロ波は、マイクロ波伝送路１３０の反射壁１３１ａと反射壁１３１ｂにおいて反射され定在波を形成する。第１のマイクロ波発生部４１より供給されたマイクロ波と、第２のマイクロ波発生部４２より供給されたマイクロ波は、位相がπ／２、即ち、λ／４ずれているため、マイクロ波伝送路１３０内において発生する２つの定在波の位相もπ／２ずれている。

従って、マイクロ波伝送路１３０においては、一方のマイクロ波により生じた定在波の節が他方のマイクロ波により生じた定在波の腹となり、他方のマイクロ波により生じた定在波の節が一方のマイクロ波により生じた定在波の腹となる。これにより、本実施の形態におけるマイクロ波照射装置は、マイクロ波の強度の強い部分と弱い部分との差を小さくして、略均一な強度のマイクロ波を開口穴１３２より破線矢印Ｊに示す方向に照射することができる。よって、破線矢印Ｊに示す方向に置かれた被加熱物を略均一に加熱することができる。

図７には、複数のマイクロ波照射装置を並べて広い面積を略均一に加熱することができるようにした構造のものを示す。具体的には、複数のマイクロ波伝送路１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃ、１３０ｄにおける開口部の向きが同じとなるように短手方向に並べて設置したものであり、開口部の側に置かれた広い面積を有する被加熱物２００を略均一に加熱をすることができる。尚、図７に示すものでは、マイクロ波伝送路１３０ａには、第１のマイクロ波発生部４１ａ及び第２のマイクロ波発生部４２ａが接続されており、マイクロ波伝送路１３０ｂには、第１のマイクロ波発生部４１ｂ及び第２のマイクロ波発生部４２ｂが接続されている。また、マイクロ波伝送路１３０ｃには、第１のマイクロ波発生部４１ｃ及び第２のマイクロ波発生部４２ｃが接続されており、マイクロ波伝送路１３０ｄには、第１のマイクロ波発生部４１ｄ及び第２のマイクロ波発生部４２ｄが接続されている。尚、第１のマイクロ波発生部４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ及び第２のマイクロ波発生部４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄは、制御部６０に接続されている。

尚、上記外の内容については、第１の実施の形態と同様である。

以上、実施の形態について詳述したが、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。

上記の説明に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）
円環状のマイクロ波伝送路と、
前記円環状のマイクロ波伝送路に接続されている第１のマイクロ波発生部と、
前記円環状のマイクロ波伝送路に接続されている第２のマイクロ波発生部と、
を有し、
前記第１のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波と、前記第２のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波とは、同じ周波数であって、位相が異なることを特徴とするマイクロ波照射装置。
（付記２）
前記円環状のマイクロ波伝送路と第１のマイクロ波発生部とを接続する第１の接続導波管と、
前記円環状のマイクロ波伝送路と第２のマイクロ波発生部とを接続する第２の接続導波管と、
を有し、
前記円環状のマイクロ波伝送路と前記第１の接続導波管との接続部分と前記円環状のマイクロ波伝送路と前記第２の接続導波管との接続部分との間の距離Ｌは、λをマイクロ波の波長とし、Ｎを正の整数とした場合、
Ｌ＝（２Ｎ−１）×λ／４
であることを特徴とする付記１に記載のマイクロ波照射装置。
（付記３）
前記円環状のマイクロ波伝送路と第１のマイクロ波発生部とを接続する第１の接続導波管と、
前記円環状のマイクロ波伝送路と第２のマイクロ波発生部とを接続する第２の接続導波管と、
を有し、
前記円環状のマイクロ波伝送路と前記第１の接続導波管との接続部分と前記円環状のマイクロ波伝送路と前記第２の接続導波管との接続部分との間の距離Ｌは、λをマイクロ波の波長とした場合、
λ／４、３λ／４、５λ／４、７λ／４のうちのいずれかであることを特徴とする付記１に記載のマイクロ波照射装置。
（付記４）
両端に反射壁が設けられたマイクロ波伝送路と、
前記マイクロ波伝送路に接続されている第１のマイクロ波発生部と、
前記マイクロ波伝送路に接続されている第２のマイクロ波発生部と、
を有し、
前記第１のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波と、前記第２のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波とは、同じ周波数であって、位相が異なることを特徴とするマイクロ波照射装置。
（付記５）
前記マイクロ波伝送路と第１のマイクロ波発生部とを接続する第１の接続導波管と、
前記マイクロ波伝送路と第２のマイクロ波発生部とを接続する第２の接続導波管と、
を有し、
前記マイクロ波伝送路と前記第１の接続導波管との接続部分と前記マイクロ波伝送路と前記第２の接続導波管との接続部分との間の距離Ｌは、λをマイクロ波の波長とし、Ｎを正の整数とした場合、
Ｌ＝（２Ｎ−１）×λ／４
であることを特徴とする付記４に記載のマイクロ波照射装置。
（付記６）
前記マイクロ波伝送路と第１のマイクロ波発生部とを接続する第１の接続導波管と、
前記マイクロ波伝送路と第２のマイクロ波発生部とを接続する第２の接続導波管と、
を有し、
前記マイクロ波伝送路と前記第１の接続導波管との接続部分と前記マイクロ波伝送路と前記第２の接続導波管との接続部分との間の距離Ｌは、λをマイクロ波の波長とした場合、
λ／４、３λ／４、５λ／４、７λ／４のうちのいずれかであることを特徴とする付記４に記載のマイクロ波照射装置。
（付記７）
前記第１のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波と、前記第２のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波の位相差は、π／２であることを特徴とする付記１から６のいずれかに記載のマイクロ波照射装置。
（付記８）
付記１から７のいずれかに記載のマイクロ波照射装置と、
排気に含まれる微粒子を捕集する微粒子捕集部と、
前記微粒子捕集部を覆う筐体本体部と、前記筐体本体部に接続されている前記排気の吸入口及び排出口と、を備えた筐体部と、
を有し、
前記微粒子捕集部には、前記マイクロ波照射装置からマイクロ波が照射されることを特徴とする排気浄化装置。

１０ 微粒子捕集部
２０ 筐体部
２０ａ 筐体本体部
２０ｂ 吸入口
２０ｃ 排出口
３０ 円環導波管
４１ 第１のマイクロ波発生部
４２ 第２のマイクロ波発生部
５１ 第１の接続導波管
５２ 第２の接続導波管
６０ 制御部

Claims (6)

1. 円環状のマイクロ波伝送路と、
   前記円環状のマイクロ波伝送路に接続されている第１のマイクロ波発生部と、
   前記円環状のマイクロ波伝送路に接続されている第２のマイクロ波発生部と、
   を有し、
   前記第１のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波と、前記第２のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波とは、同じ周波数であって、位相が異なることを特徴とするマイクロ波照射装置。
2. 前記円環状のマイクロ波伝送路と第１のマイクロ波発生部とを接続する第１の接続導波管と、
   前記円環状のマイクロ波伝送路と第２のマイクロ波発生部とを接続する第２の接続導波管と、
   を有し、
   前記円環状のマイクロ波伝送路と前記第１の接続導波管との接続部分と前記円環状のマイクロ波伝送路と前記第２の接続導波管との接続部分との間の距離Ｌは、λをマイクロ波の波長とし、Ｎを正の整数とした場合、
   Ｌ＝（２Ｎ−１）×λ／４
   であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロ波照射装置。
3. 両端に反射壁が設けられたマイクロ波伝送路と、
   前記マイクロ波伝送路に接続されている第１のマイクロ波発生部と、
   前記マイクロ波伝送路に接続されている第２のマイクロ波発生部と、
   を有し、
   前記第１のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波と、前記第２のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波とは、同じ周波数であって、位相が異なることを特徴とするマイクロ波照射装置。
4. 前記マイクロ波伝送路と第１のマイクロ波発生部とを接続する第１の接続導波管と、
   前記マイクロ波伝送路と第２のマイクロ波発生部とを接続する第２の接続導波管と、
   を有し、
   前記マイクロ波伝送路と前記第１の接続導波管との接続部分と前記マイクロ波伝送路と前記第２の接続導波管との接続部分との間の距離Ｌは、λをマイクロ波の波長とし、Ｎを正の整数とした場合、
   Ｌ＝（２Ｎ−１）×λ／４
   であることを特徴とする請求項３に記載のマイクロ波照射装置。
5. 前記第１のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波と、前記第２のマイクロ波発生部において発生させたマイクロ波の位相差は、π／２であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のマイクロ波照射装置。
6. 請求項１から５のいずれかに記載のマイクロ波照射装置と、
   排気に含まれる微粒子を捕集する微粒子捕集部と、
   前記微粒子捕集部を覆う筐体本体部と、前記筐体本体部に接続されている前記排気の吸入口及び排出口と、を備えた筐体部と、
   を有し、
   前記微粒子捕集部には、前記マイクロ波照射装置からマイクロ波が照射されることを特徴とする排気浄化装置。