JP2016046154A - マイクロ波加熱装置及び排気ガス浄化装置 - Google Patents

Abstract

【課題】効率よく被加熱物を加熱する。
【解決手段】排気ガスの排気管路に設けられたフィルタに付着する粒子を加熱するマイクロ波加熱装置であって、排気管路に接続される導波管と、導波管を介して排気管路にマイクロ波を射出するマイクロ波射出手段と、マイクロ波の波長の２分の１以下大きさの開口が複数形成され、導波管を介して、排気管路の内部に射出されるマイクロ波を、フィルタが位置する方向に反射させる反射板と、を備える。
【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、マイクロ波加熱装置及び排気ガス浄化装置に関する。

軽油を燃料とするディーゼルエンジンの排気ガスには、粒子状物質（PM：Particulate Matter）が多く含まれている。これらの粒子状物質は、軽油の不完全燃焼に起因して発生するものである。そのため、排気ガスが通過するマフラーの触媒や微粒子捕集フィルタが高温であれば、排気ガスに含まれる粒子状物質は、触媒や微粒子捕集フィルタを通過する際に燃焼し焼失する。しかしながら、エンジンの始動時など、触媒や微粒子捕集フィルタの温度が低い場合には、排気ガスに含まれる粒子状物質が微粒子捕集フィルタなどに堆積してしまうことがある。

また、エンジンの燃料が軽油であるかガソリンであるかにかかわらず、自動車のマフラーに使用される触媒は、活性温度に達していないときには、排気ガスの浄化効率が低下する。

そこで、マフラーに用いられる触媒を活性温度まで加熱したり、微粒子捕集フィルタに堆積した粒子状物質を燃焼させるための装置が種々提案されている（例えば特許文献１参照）。しかしながら、特許文献１に開示された装置では、被加熱物としての触媒が配置される空洞の長手方向と直交する方向にマイクロ波が射出される。このため、マイクロ波が空洞を形成する内壁面に反射され、被加熱物に到達する前にマイクロ波のエネルギーが減少してしまう。したがって、被加熱物を効率よく加熱することが困難になるという課題がある。

特開平７−１２７４３６号公報

本発明は、効率よく被加熱物を加熱することを課題とする。

上記課題を解決するため、本実施形態に係るマイクロ波加熱装置は、排気ガスの排気管路に設けられたフィルタ又はフィルタに付着する粒子を加熱するマイクロ波加熱装置であって、排気管路に接続される導波管と、導波管を介して排気管路にマイクロ波を射出するマイクロ波射出手段と、マイクロ波の波長の２分の１以下大きさの開口が複数形成され、導波管を介して、排気管路の内部に射出されるマイクロ波を、フィルタが位置する方向に反射させる反射板と、を備える。

また、本実施形態に係る排気ガス浄化装置は、エンジンからの排気ガスを浄化する排気ガス浄化装置であって、エンジンに接続される排気管路と、排気管路に配置されるフィルタと、前記マイクロ波加熱装置と、を備える。

第１の実施形態に係る排気ガス浄化装置を示す斜視図である。 排気ガス浄化装置の断面図である。 第１反射板の平面図である。 フィルタ室に設けられた第１反射板を示す図である。 第１反射板に設けられた開口を示す図である。 第１反射板に設けられた開口を拡大して示す図である。 第２反射板の平面図である。 第２の実施形態に係る第１反射板を示す図である。 第３の実施形態に係る排気ガス浄化装置の断面図である。 第４の実施形態に係る排気ガス浄化装置の断面図である。 変形例に係る排気ガス浄化装置の断面図である。 第５の実施形態に係る排気ガス浄化装置の断面図である。

《第１の実施形態》
以下、本発明の第１の実施形態を、図面を用いて説明する。説明には、相互に直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなるＸＹＺ座標系を用いる。

図１は本実施形態に係る排気ガス浄化装置１００を示す図である。排気ガス浄化装置１００は、例えばトラックやバスに代表される大型車両のエンジンから排出される排気ガスの浄化を行う装置である。

図１に示されるように、排気ガス浄化装置１００は、−Ｘ側端がエンジンの排気ポートに接続される排気管路１０１と、排気管路１０１の内部にマイクロ波を射出するマイクロ波加熱装置１０を有している。

図２は、図１における排気ガス浄化装置１００のＸＹ断面を示す図である。図２に示されるように、排気管路１０１には、直径が一回り大きくなった円筒状のフィルタ室１０１ａが形成されている。フィルタ室１０１ａの内部には、長手方向をＸ軸方向とする空洞部１１０が形成されている。そして、空洞部１１０の内部の＋Ｘ側には、フィルタ１０２が配置されている。

フィルタ１０２は、例えばセラミックからなる微粒子捕集フィルタである。このフィルタ１０２は、長手方向をＸ軸方向とし、外径が、フィルタ室１０１ａの内径とほぼ等しい円柱状の部材である。

マイクロ波加熱装置１０は、マイクロ波の発生源となるマイクロ波発生装置１１、マイクロ波発生装置１１と排気管路１０１とを接続する導波管１２、フィルタ１０２の−Ｘ側に配置される第１反射板２０、フィルタ１０２の＋Ｘ側に配置される第２反射板３０を有している。

マイクロ波発生装置１１は、例えば、永久磁石、共振器、出力アンテナを備えるマグネトロンである。マイクロ波発生装置１１は、例えば波長が１０ｃｍ程度の電磁波を発生させる。

導波管１２は、ＸＺ断面が矩形の方形導波管である。この導波管１２は、−Ｙ側端がマイクロ波発生装置１１に接続され、＋Ｙ側端が排気管路１０１に形成されるフィルタ室１０１ａに接続されている。本実施形態では、排気管路１０１と導波管１２との角度が９０度となるように、排気管路１０１と導波管１２とが接続されている。

排気管路１０１に形成されるフィルタ室１０１ａには、Ｙ軸方向に貫通する矩形状の開口１０１ｂが形成されている。この開口１０１ｂのＸ軸方向及びＺ軸方向の寸法は、導波管１２のＸ軸方向の内寸及びＺ軸方向の内寸に等しい。導波管１２は、−Ｙ側端部が、図２に示されるように、開口１０１ｂを包囲するように接続される。

導波管１２の＋Ｙ側端には、導波管１２の内部空間と排気管路１０１の内部空間とを区画するシール板１３が設けられている。シール板１３は、耐熱性がありマイクロ波に対する透過性を有する、例えば石英からなる部材である。シール板１３により、排気ガスが、排気管路１０１から導波管１２の内部に流入するのを抑止しつつ、マイクロ波を導波管１２から排気管路１０１の内部へ射出することが可能となる。

第１反射板２０は、導波管１２の＋Ｙ側に配置されている。図３は、第１反射板２０の平面図である。図３に示されるように、第１反射板２０は、楕円形の部材である。この第１反射板２０は、図３における縦方向の寸法Ａが、排気管路１０１に形成されたフィルタ室１０１ａの内径の大きさに等しい。そして、横方向の寸法Ｂは、寸法Ａの√２倍である。このため、第１反射板２０は、図２に示されるように、Ｘ軸に平行な排気管路１０１に対して４５度傾斜した状態で配置されると、図４に示されるように、第１反射板２０の外縁が排気管路１０１に形成されるフィルタ室１０１ａの内壁面に隙間なく接した状態になる。

図３に示されるように、第１反射板２０には、複数の開口２１が形成されている。この開口２１は、図面横方向の寸法が、Ｚ軸方向の寸法の√２倍である。このため、＋Ｘ方向に向かって第１反射板２０を見ると、図４に示されるように、第１反射板２０に、正方形の開口が設けられているように見える。また、図５を参照するとわかるように、開口２１は、内壁面がＸ軸に平行な排気管路１０１と平行になるように、第１反射板２０に形成されている。このため、開口２１の貫通方向は、排気管路１０１を流れる排気ガスの移動方向と平行になる。

図６は、第１反射板２０に形成された開口２１を拡大して示す図である。図６に示されるように、開口２１は、対角線の長さＣが、マイクロ波発生装置１１から射出されるマイクロ波の波長λの２分の１以下（Ｃ≦λ／２）となっている。本実施形態では、開口２１の対角線の長さＣは、λ／８程度であり、１ｃｍ〜１．５ｃｍ程度である。このため、導波管１２を介して、第１反射板２０に入射するマイクロ波は、第１反射板２０を通り抜けることなく反射される。一方、排気管路１０１を流れる排気ガスや、排気ガスに含まれる粒子状物質は、第１反射板２０の開口２１を通りぬける。

図７は、第２反射板３０の平面図である。図７に示されるように、第２反射板３０は、円形の部材である。この第２反射板３０の外径は、排気管路１０１に形成されたフィルタ室１０１ａの内径に等しい。このため、第２反射板３０は、図２に示されるように、Ｘ軸に直交した状態で配置されると、第２反射板３０の外縁が排気管路１０１に形成されるフィルタ室１０１ａの内壁面に隙間なく接した状態になる。

第１反射板２０と同様に、第２反射板３０にも、複数の開口３１が設けられている。開口３１の形状は正方形である。そして、対角線の長さはλ／８程度であり、１ｃｍ〜１．５ｃｍ程度である。このため、第１反射板２０に反射された後に、第２反射板３０に入射するマイクロ波は、第２反射板３０を通り抜けることなく反射される。一方、排気管路１０１を流れる排気ガスや、排気ガスに含まれる粒子状物質は、第２反射板３０の開口３１を通りぬける。

上述のように構成される排気ガス浄化装置１００では、マイクロ波発生装置１１が駆動されると、図２の矢印ａに示されるように、当該マイクロ波発生装置１１から、＋Ｙ方向へ、マイクロ波が射出される。

マイクロ波発生装置１１から射出されたマイクロ波は、導波管１２に沿って＋Ｙ方向へ伝送され、排気管路１０１に設けられたフィルタ室１０１ａへ向かって進行する。そして、マイクロ波は、シール板１３を通過し、開口１０１ｂを介して、フィルタ室１０１ａに配置された第１反射板２０に入射する。

４５度の角度で設置された第１反射板２０に入射したマイクロ波は、第１反射板２０によって９０度曲げられて＋Ｘ方向へ反射され、フィルタ１０２へ向かって進行する。そして、マイクロ波はフィルタ１０２を通過して、第２反射板３０に入射する。第２反射板３０に入射したマイクロ波は、−Ｘ方向に反射される。そして、フィルタ１０２を通過して、第１反射板２０へ入射する。

上述のように、第１反射板２０で反射されたマイクロ波がフィルタ１０２を通過するときと、第２反射板３０で反射されたマイクロ波がフィルタ１０２を通過するときに、マイクロ波が、フィルタ１０２に付着した粒子状物質や、フィルタ１０２の周りに停滞する粒子状物質に吸収される。これにより、粒子状物質が加熱され燃焼する。

以上説明したように、本実施形態では、マイクロ波発生装置１１から射出され、排気管路１０１に形成されたフィルタ室１０１ａに伝送されたマイクロ波は、第１反射板２０に入射する。そして、大部分のマイクロ波は、第１反射板２０によって、フィルタ１０２が位置する方向へ反射される。このため、フィルタ１０２に付着する粒子状物質や、フィルタ近傍に停滞する粒子状物質に、効率よくマイクロ波を吸収させることができる。その結果、効率よく粒子状物質を燃焼させ昇華させることができる。

また、本実施形態に係る排気ガス浄化装置１００では、フィルタ１０２に付着した粒子状物質を効率よく燃焼させることができる。このため、フィルタ１０２を効率よく再生することができ、結果的に、排気ガスを効率的に浄化することが可能となる。

本実施形態では、第１反射板２０と第２反射板３０が、フィルタ１０２を挟むように配置されている。このため、フィルタ１０２を通過したマイクロ波を第２反射板３０で反射して、再度フィルタ１０２を通過させることができる。このため、フィルタ１０２に付着する粒子状物質や、フィルタ近傍に停滞する粒子状物質に、効率よくマイクロ波を吸収させることができる。

また、本実施形態では、フィルタ１０２を＋Ｘ方向に進行するマイクロ波と、−Ｘ方向に進行するマイクロ波による定在波が発生する。このため、第２反射板３０のＸ軸方向の位置を調整することで、フィルタ１０２の所望の位置やその近傍を集中的に加熱することも可能となる。

フィルタ１０２を＋Ｘ方向に進行するマイクロ波と、−Ｘ方向に進行するマイクロ波による定在波はフィルタを通過しながら吸収されるため、定在波はフィルタ１０２の第１反射板２０側が強くなる。このため、最も粒子状物質が堆積するフィルタ１０２の−Ｘ側端、及びその近傍を効果的に加熱することができる。

本実施形態では、図２に示されるように、フィルタ１０２を挟むように、第１反射板２０と第２反射板３０が配置されている場合について説明した。これに限らず、第２反射板３０がなくてもよい。この場合にも、マイクロ波発生装置１１から射出され、排気管路１０１に形成されたフィルタ室１０１ａに伝送されたマイクロ波を、第１反射板２０によって、フィルタ１０２が位置する方向へ反射させることができる。このため、フィルタ１０２に付着する粒子状物質や、フィルタ近傍に停滞する粒子状物質に、効率よくマイクロ波を吸収させることができる。その結果、効率よく粒子状物質を燃焼させ昇華させることができる。

本実施形態では、図５に示されるように、第１反射板２０の開口２１は、排気管路１０１と平行になるよう設けられている。このため、第１反射板２０の表面に直交するように開口２１を設ける場合と比較して、排気管路１０１を流れる排気ガスの排気抵抗を低減することができる。

なお。開口２１が十分に大きい場合などには、第１反射板２０の表面に直交するように開口２１を設けてもよい。

《第２の実施形態》
次に、第２の実施形態について、図８を参照して説明する。第１の実施形態と同一又は同等の構成については、同等の符号を用いるとともに、その説明を省略する。

第２の実施形態に係る排気ガス浄化装置１００は、第１反射板２０に形成される開口の形状が、開口の配置位置によって異なる点で、第１の実施形態に係る排気ガス浄化装置１００と相違している。

図８は、本実施形態に係る第１反射板２０ＡのＸＹ断面を示す図である。図８に示されるように、第１反射板２０Ａでは、第１反射板２０Ａの中心から−Ｘ方向に距離Ｄ離れた点Ｐを通る直線に平行になるように、矩形状の開口２１の内壁面が形成されている。このため、第１反射板２０Ａの中心部に位置する開口２１では、対向する内壁面がほぼ平行になっているが、第１反射板２０Ａの中心から離れたところに位置する開口２１では、内壁面が、第１反射板２０Ａの−Ｘ側の面から＋Ｘ側の面に向かって広がるテーパー形状になっている。

図２に示されるように、排気管路１０１の途中に設けられたフィルタ室１０１ａは、他の部分よりも内径が大きい。このため、排気管路１０１を進行する排気ガスは、フィルタ室１０１ａに進入すると、Ｙ軸方向及びＺ軸方向へ広がりながら、Ｘ軸に沿って移動する。

本実施形態では、第１反射板２０Ａに設けられた開口２１それぞれが、排気ガスの進行方向に向かって広がったテーパー形状になっている。このため、フィルタ室１０１ａに進入した排気ガスが第１反射板２０Ａを通過する際の抵抗が軽減される。

また、開口２１の内壁面を、排気ガスの進行方向に向かって広がったテーパー形状にすることで、第１反射板２０Ａが整風効果をもつ。このため、排気ガスを均一にフィルタ１０２に供給することができる。その結果、排気ガスに含まれる粒子状物質を、フィルタ１０２に、均一に集めたり、マイクロ波による加熱が容易なところに集めたりすることができる。

《第３の実施形態》
次に、第３の実施形態について、図９を参照して説明する。上記実施形態と同一又は同等の構成については、同等の符号を用いるとともに、その説明を省略する。

第３の実施形態に係る排気ガス浄化装置１００は、第１反射板２０Ｂが、図９に示されるように、導波管１２の中心を通る直線Ｌから距離Ａ離れたところで折り曲げられている点で、上記実施形態に係る排気ガス浄化装置１００と相違している。

上記距離Ａは、マイクロ波の波長λの４分の１（＝λ／４）以上である。図９に示されるように、第１反射板２０Ｂの折り曲げられた部分（以下、折り曲げ部２０ａという）は、排気管路１０１に直交し、第２反射板３０と平行になっている。

導波管１２の中心を通る直線Ｌから距離Ａ離れたところは、マイクロ波についての開放端になる。そして、導波管１２から射出されたマイクロ波は、折り曲げ部２０ａによって、＋Ｘ方向へ反射される。このため、マイクロ波の一部が、フィルタ１０２が位置する方向とは異なる方向へ反射されることがなくなり、結果的に、マイクロ波のエネルギー損失を抑制することができる。

《第４の実施形態》
次に、第４の実施形態について、図１０を参照して説明する。上記実施形態と同一又は同等の構成については、同等の符号を用いるとともに、その説明を省略する。

図１０に示されるように、第４の実施形態に係る排気ガス浄化装置１００は、２つのマイクロ波加熱装置１０_１，１０_２を備えている点で、上記実施形態に係る排気ガス浄化装置１００と相違している。図１０に示されるように、本実施形態に係る排気ガス浄化装置１００では、フィルタ室１０１ａの−Ｘ側端部に、マイクロ波発生装置１１_１から射出されたマイクロ波を伝送する導波管１２_１が接続されている。そして、フィルタ室１０１ａの＋Ｘ側端部に、マイクロ波発生装置１１_２から射出されたマイクロ波を伝送する導波管１２_２が接続されている。また、導波管１２_１、１２_２の＋Ｙ側に、第１反射板２０_１，２０_２がそれぞれ配置されている。

２つのマイクロ波発生装置１１_１，１１_２それぞれから射出されたマイクロ波は、導波管１２_１，１２_２を介して、第１反射板２０_１，２０_２に入射する。そして、マイクロ波発生装置１１_１から射出されたマイクロ波は、＋Ｘ方向へ反射してフィルタ１０２を通過する。一方、マイクロ波発生装置１１_２から射出されたマイクロ波は、−Ｘ方向へ反射してフィルタ１０２を通過する。

以上のように、本実施形態では、フィルタ１０２の両側からマイクロ波を照射することができるので、結果的に、フィルタ１０２に付着した粒子状物質をムラなく加熱し燃焼させることができる。また、この場合にも、フィルタ１０２を＋Ｘ方向に進行するマイクロ波と、−Ｘ方向に進行するマイクロ波による定在波が発生する。このため、第１反射板２０_１と第１反射板２０_２との距離を調正することで、定在波によって、フィルタ１０２の所望の位置やその近傍を集中的に加熱することも可能となる。

なお、本実施形態では、２つのマイクロ波発生装置１１_１，１１_２からのマイクロ波を、フィルタ１０２に照射する場合について説明した。これに限らず、例えば図１１に示されるように、１つのマイクロ波発生装置１１から発生したマイクロ波を、２つに分岐する導波管を用いて、フィルタ室１０１ａの−Ｘ側端部と＋Ｘ側端部に伝送することとしてもよい。

この場合、マイクロ波発生装置１１から射出されたマイクロ波は、２つに分岐して、一方は第１反射板２０_１に反射されフィルタ１０２を＋Ｘ方向に進行する。また、他方は第１反射板２０_２に反射されフィルタ１０２を−Ｘ方向に進行する。このため、フィルタ１０２に付着した粒子状物質をムラなく加熱し燃焼させることができる。また、この場合にも、同様に、フィルタ１０２を＋Ｘ方向に進行するマイクロ波と、−Ｘ方向に進行するマイクロ波による定在波が発生する。

《第５の実施形態》
次に、第５の実施形態について、図１２を参照して説明する。第１の実施形態と同一又は同等の構成については、同等の符号を用いるとともに、その説明を省略する。

図１２に示されるように、第５の実施形態に係る排気ガス浄化装置１００は、導波管１２にではなくて、同軸ケーブル１４によって、排気管路１０１とマイクロ波発生装置１１とが接続されている点で、上記実施形態に係る排気ガス浄化装置１００と相違している。

本実施形態係る排気ガス浄化装置１００では、フィルタ室１０１ａの壁面を貫通する導体１７が設けられている。この導体１７は支持部材１６によって支持されている。そして、導体１７の−Ｙ側端部に、コネクタ１５を介して同軸ケーブル１４が接続されている。

マイクロ波発生装置１１から発生したマイクロ波は、同軸ケーブル１４を伝送され、導体１７の＋Ｙ側端から、＋Ｙ方向へ射出される。導体１７から射出されたマイクロ波は、第１反射板２０に入射し、フィルタ１０２へ向かって反射する。

このため、フィルタ１０２に付着する粒子状物質や、フィルタ近傍に停滞する粒子状物質に、効率よくマイクロ波を吸収させることができる。その結果、効率よく粒子状物質を燃焼させ昇華させることができる。

以上説明した少なくとも１つの実施形態によれば、マイクロ波発生装置１１から射出され、排気管路１０１に形成されたフィルタ室１０１ａに伝送されたマイクロ波は、第１反射板２０に入射する。そして、大部分のマイクロ波は、第１反射板２０によって、フィルタ１０２が位置する方向へ反射する。このため、フィルタ１０２に付着する粒子状物質や、フィルタ近傍に停滞する粒子状物質に、効率よくマイクロ波を吸収させることができる。その結果、効率よく粒子状物質を燃焼させ昇華させることができる。

以上、種々の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態によって限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、第１反射板２０及び第２反射板３０が、矩形の開口を有する金属板であることとした。これに限らず、第１反射板２０及び第２反射板３０は、目の大きさがλ／２以下の金網などであってもよい。

上記実施形態では、フィルタ室１０１ａが円筒状である場合について説明した。これに限らず、フィルタ室１０１ａは、断面が楕円であったり矩形の筒であってもよい。

上記実施形態では、排気管路１０１と導波管１２のなす角が９０度である場合について説明した。これに限らず、排気管路１０１と導波管１２のなす角は、９０度より小さくてもよく、大きくてもよい。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施しうるものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０ マイクロ波加熱装置
１１ マイクロ波発生装置
１２ 導波管
１３ シール板
１４ 同軸ケーブル
１５ コネクタ
１６ 支持部材
１７ 導体
２０，２０Ａ，２０Ｂ 第１反射板
２０ａ 曲げ部
２１ 開口
３０ 第２反射板
３１ 開口
１００ 排気ガス浄化装置
１０１ 排気管路
１０１ａ フィルタ室
１０１ｂ 開口
１０２ フィルタ
１１０ 空洞部

Claims (10)

1. 排気ガスの排気管路に設けられたフィルタに付着する粒子を加熱するマイクロ波加熱装置であって、
   前記排気管路に接続される導波管と、
   前記導波管を介して前記排気管路にマイクロ波を射出するマイクロ波射出手段と、
   前記マイクロ波の波長の２分の１以下大きさの開口が複数形成され、前記導波管を介して、前記排気管路の内部に射出されるマイクロ波を、前記フィルタが位置する方向に反射させる反射板と、
   を備えるマイクロ波加熱装置。
2. 前記反射板と前記排気管路とのなす角の角度が、前記導波管と前記排気管路とのなす角の角度の１／２である請求項１に記載のマイクロ波加熱装置。
3. 前記反射板に形成される開口の内壁面は、前記排気管路と平行である請求項１又は２に記載のマイクロ波加熱装置。
4. 前記反射板に形成される開口それぞれの内壁面は、前記排気管路に配置される前記反射板の上流側の１点と、前記反射板の下流側の任意の点を結ぶ直線と平行である請求項１又は２に記載のマイクロ波加熱装置。
5. 前記反射板は、前記導波管の中心軸から、前記マイクロ波の波長の４分の１離れた部分が、前記排気管路と直交するように折り曲げられている請求項１乃至４のずれか一項に記載のマイクロ波加熱装置。
6. 一側に前記反射板が配置される前記フィルタの他側に配置され、前記フィルタを通過したマイクロ波を前記フィルタが位置する方向へ反射する第２反射板を備える請求項１乃至５のいずれか一項に記載のマイクロ波加熱装置。
7. 前記導波管は、前記フィルタの一側と他側で、前記排気管路と接続されている請求項１乃至６のいずれか一項に記載のマイクロ波加熱装置。
8. 前記導波管は、前記フィルタの一側で、前記排気管路に接続される第１導波管と、前記フィルタの他側で、前記排気管路に接続される第２導波管と、を有し、
   前記マイクロ波射出手段は、前記第１導波管と前記第２導波管とを介して、前記排気管路にマイクロ波を射出する請求項１乃至６のいずれか一項に記載のマイクロ波加熱装置。
9. 排気ガスの排気管路に設けられたフィルタに付着する粒子を加熱するマイクロ波加熱装置であって、
   前記排気管路に接続される同軸ケーブルと、
   前記同軸ケーブルを介して前記排気管路にマイクロ波を射出するマイクロ波射出手段と、
   前記マイクロ波の波長の２分の１以下大きさの開口が複数形成され、前記同軸ケーブルを介して、前記排気管路の内部に射出されるマイクロ波を、前記フィルタが位置する方向に反射させる反射板と、
   を備えるマイクロ波加熱装置。
10. エンジンからの排気ガスを浄化する排気ガス浄化装置であって、
    前記エンジンに接続される排気管路と、
    前記排気管路に配置されるフィルタと、
    請求項１乃至９のいずれか一項に記載のマイクロ波加熱装置と、
    を備える排気ガス浄化装置。

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