JP4563511B2 - 不揮発性記憶装置 - Google Patents
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Description
まず、本発明に係る実施の形態1における不揮発性記憶装置について説明する。
図1は、本発明の実施の形態1に係る不揮発性記憶装置が備える抵抗変化素子の構成を示す断面図である。図1に示すように、この抵抗変化素子100は、基板101と、基板101の上に形成された酸化物層102と、酸化物層102の上に形成された下部電極103(本発明に係る第1電極又は第2電極の一例)と、下部電極103の上に形成された抵抗変化層104と、抵抗変化層104の上に形成された上部電極105(本発明に係る第2電極又は第1電極の一例)とを備えている。下部電極103及び上部電極105は、抵抗変化層104と電気的に接続されている。なお、本図では、抵抗変化素子として、下部電極103よりも下の層(基板101、酸化物層102)が図示されているが、本発明に係る抵抗変化素子としては、少なくとも下部電極103と、抵抗変化層104と、上部電極105とを具備していればよい。
上記のように構成される抵抗変化素子100は、次のようにして製造することが可能である。
図3は、上記のようにして製造された抵抗変化素子を備える本発明の実施の形態1の不揮発性記憶装置が備えるメモリセルアレイを構成する一つのメモリセル300の構成を示す断面図である。ここでは、メモリセル300に接続された周辺の構成要素も一緒に図示されている。なお、メモリセルとは、本実施の形態では、直列に接続された抵抗変化素子と選択トランジスタとから構成される記憶素子である。
上記の通り、本実施の形態では、トランジスタの基板を順方向にバイアスすることによって、トランジスタのオン抵抗を低下させ、抵抗変化素子に対して印加する電圧を増大させ、その結果、抵抗変化を確実に行うことができる。この構成によれば、トランジスタのゲート幅Wを大きくすることなく、良好な記憶装置を実現することができる。以下では、トランジスタのゲート幅Wに着目した上で、本実施の形態の不揮発性記憶装置の特性について説明する。
以下、上述した本実施の形態の不揮発性記憶装置の構成例について、図5等を参照しながら説明する。
以下、上述したように構成された不揮発性記憶装置200の動作について、情報を書き込む場合の書き込みサイクルと情報を読み出す場合の読み出しサイクルとに分けて説明する。
次に、本発明に係る実施の形態2における不揮発性記憶装置について説明する。
次に、本発明に係る実施の形態3における不揮発性記憶装置について説明する。
次に、本発明に係る実施の形態4における不揮発性記憶装置について説明する。
次に、本発明に係る実施の形態5における不揮発性記憶装置について説明する。
次に、本発明に係る実施の形態6における不揮発性記憶装置について説明する。
上記の各実施の形態においては、抵抗変化層104がタンタル酸化物層の積層構造である場合について示したが、本発明はタンタル酸化物層の積層構造に限定されるわけではなく、抵抗変化層104は上部電極105と下部電極103間への電圧印加によって抵抗変化を示す層であればよい。したがって、例えば、抵抗変化層104がタンタル酸化物層の単層により構成されていてもよく、また、タンタル酸化物層ではなく、例えばハフニウム酸化物層やジルコニウム酸化物層などの他の金属酸化物層などであってもよい。なお、このように、ハフニウム酸化物層やジルコニウム酸化物層を用いた場合であっても、上述した実施形態と同様に、酸素含有率が異なる第1の酸化物層及び第2の酸化物層の積層構造にすることが好ましい。
101 基板
102 酸化物層
103 下部電極
104 抵抗変化層
104a 第1のタンタル酸化物層
104b 第2のタンタル酸化物層
105 上部電極
106 パターン
107 素子領域
200 不揮発性記憶装置
201 メモリ本体部
202 メモリセルアレイ
203 列選択回路
204 センスアンプ
205 データ入出力回路
206 書き込み回路
207 行ドライバ
208 行選択回路
209 アドレス入力回路
210 制御回路
211 書き込み用電源
212 LR化用電源
213 HR化用電源
220 基板バイアス回路
301 半導体基板
301a P型ウェル(P型拡散層)
302a 第1のN型拡散層領域
302b 第2のN型拡散層領域
303a ゲート絶縁膜
303b ゲート電極
304 第1ビア
305 第1配線層
306 第2ビア
307 第2配線層
308 第3ビア
309 抵抗変化素子
309a 下部電極
309b 抵抗変化層
309b−1 第1のタンタル酸化物層
309b−2 第2のタンタル酸化物層
309c 上部電極
310 第4ビア
311 第3配線層
317 トランジスタ
BL0,BL1,… ビット線
N11,N12,… トランジスタ
M11,M12,… メモリセル
SL0,SL2,… ソース線
R11,R12,… 抵抗変化素子
WL0,WL1,… ワード線
Claims (10)
- 第1導電型の領域を有する半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された抵抗変化素子とトランジスタとが直列に接続されて構成されるメモリセルを複数個具備するメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイが具備する複数のメモリセルの中から少なくとも一つのメモリセルを構成する前記トランジスタのゲートに電圧パルスを印加することで、少なくとも一つのメモリセルを選択する選択回路と、
前記選択回路で選択されたメモリセルを構成する前記トランジスタを介して当該メモリセルを構成する抵抗変化素子に書き込み用の電圧パルスを印加する書き込み回路と、
前記半導体基板に第1のバイアス電圧を印加する基板バイアス回路とを備え、
前記抵抗変化素子は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に介在され、前記第1電極及び前記第2電極間に印加される電圧パルスに基づいて可逆的に抵抗状態が低抵抗状態と高抵抗状態との間で変化する抵抗変化層とを具備しており、
前記トランジスタは、前記半導体基板の前記第1導電型の領域内に形成され、前記第1導電型と逆極性の第2導電型の第1の拡散領域と、ゲートと、前記第2導電型の第2の拡散領域とを具備しており、
前記基板バイアス回路は、前記選択回路で選択されたメモリセルを構成する前記抵抗変化素子が具備する前記第1電極及び前記第2電極間に前記書き込み回路によって書き込み用の電圧パルスが印加されるときに、前記半導体基板の前記第1導電型の領域に、前記第1の拡散領域及び前記第2の拡散領域に対して順方向となるように、前記第1のバイアス電圧を印加する
不揮発性記憶装置。 - 前記基板バイアス回路は、前記選択回路で選択されたメモリセルを構成する抵抗変化素子が具備する前記抵抗変化層の抵抗値が、当該抵抗変化素子が製造されてから未だ電圧パルスが印加されていないときの抵抗値である初期抵抗値である場合に、前記第1のバイアス電圧を印加する請求項1に記載の不揮発性記憶装置。
- 前記基板バイアス回路は、前記選択回路で選択されたメモリセルを構成する抵抗変化素子が具備する前記抵抗変化層の抵抗状態を低抵抗状態から高抵抗状態へ変化させる場合に、前記第1のバイアス電圧を印加する請求項1または請求項2に記載の不揮発性記憶装置。
- 前記基板バイアス回路は、前記選択回路で選択されたメモリセルを構成する抵抗変化素子が具備する前記抵抗変化層の抵抗状態を変化させる書き込みに失敗した後であって、当該抵抗変化素子に対して追加書き込みを行う場合に、前記第1のバイアス電圧を印加する請求項1〜3の何れかに記載の不揮発性記憶装置。
- 前記基板バイアス回路は、前記選択回路で選択されたメモリセルを構成する抵抗変化素子に対する書き込みの回数が所定の回数に達した場合に、前記第1のバイアス電圧を印加する請求項1〜4の何れかに記載の不揮発性記憶装置。
- 前記半導体基板が有する前記第1導電型の領域は、前記半導体基板に形成された第1導電型のウェルであり、
前記基板バイアス回路は、前記ウェルに前記第1のバイアス電圧を印加する請求項1〜5の何れかに記載の不揮発性記憶装置。 - 前記選択回路によって選択されていないメモリセルを構成するトランジスタのソースに対して、当該トランジスタを流れる電流を抑制させるための第2のバイアス電圧を印加するソース線バイアス回路をさらに備える請求項1〜6の何れかに記載の不揮発性記憶装置。
- 前記抵抗変化層は、前記第1電極及び前記第2電極間に印加される電圧パルスに基づいて可逆的に抵抗状態が低抵抗状態と高抵抗状態との間で変化する金属酸化物を含んでいる請求項1〜7の何れかに記載の不揮発性記憶装置。
- 前記金属酸化物は、前記金属酸化物として、第1の金属酸化物層と、当該第1の金属酸化物層よりも酸素含有率が高い第2の金属酸化物層との積層構造を含んでいる請求項8に記載の不揮発性記憶装置。
- 前記金属酸化物は、前記第1の金属酸化物層としての第1のタンタル酸化物層と、当該第1のタンタル酸化物層よりも酸素含有率が高い、前記第2の金属酸化物層としての第2のタンタル酸化物層とが積層されて構成されている請求項9に記載の不揮発性記憶装置。
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