JP2014211937A - 抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法および抵抗変化型不揮発性記憶装置 - Google Patents
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Abstract
Description
従来、抵抗変化素子を用いた不揮発性記憶装置として、互いに直交するように配置されたビット線とワード線との交点近傍の位置に、MOSトランジスタと抵抗変化素子とを直列に接続して構成された、いわゆる1T1R型と呼ばれるメモリセルをマトリックス状にアレイ配置した不揮発性記憶装置が一般的に知られている。1T1R型において、2端子の抵抗変化素子の一端はビット線またはソース線に接続され、他の一端はトランジスタのドレインまたはソースに接続される。トランジスタのゲートはワード線に接続される。トランジスタの他の一端はソース線またはビット線(つまり、抵抗変化素子の一端が接続されていないソース線またはビット線)に接続される。ソース線は、ビット線またはワード線と平行に配置される。
本願発明者らは、上記開示内容を踏まえ、抵抗変化型不揮発性記憶装置の1つとして、遷移金属の一つであるタンタル(Ta)を用い、その酸素不足型の酸化物(例えば、酸化タンタル)の抵抗変化層とスイッチ素子とでメモリセルを構成した抵抗変化型不揮発性記憶装置を検討している。
第1実施形態の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法は、抵抗変化型不揮発性記憶素子に電圧パルスを印加することにより、抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態を可逆的に変化させる書き込み方法であって、抵抗変化型不揮発性記憶素子は、第1電極と、第2電極と、第1電極および第2電極に挟まれた抵抗変化層とを有し、抵抗変化層は、第1電極と接する第1の金属酸化物層と、第2電極と接し、第1の金属酸化物層よりも酸素不足度が小さい第2の金属酸化物層とを含み、抵抗変化型不揮発性記憶素子は、第1電圧のパルスが印加されると、第1情報の記憶に用いられる第1抵抗状態から第2情報の記憶に用いられる第2抵抗状態へと変化し、第1電圧とは極性が異なる第2電圧のパルスが印加されると、第2抵抗状態から第1抵抗状態へと変化する特性を有し、書き込み方法は、抵抗変化型不揮発性記憶素子に第2電圧のパルスが印加された時に、抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が第1抵抗状態に遷移できず、第2抵抗状態に留まるか否かを判定する第1判定ステップと、第1判定ステップにおいて抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が第1抵抗状態に遷移できず第2抵抗状態に留まると判定された場合に、第1電圧と極性が同じである第1回復電圧パルスと、第1回復電圧パルスに後続し、第2電圧より振幅が大きく、かつ第2電圧と極性が同じである第2回復電圧パルスとの2パルスで構成される回復電圧パルスセットを少なくとも1回、抵抗変化型不揮発性記憶素子に印加する回復ステップとを含む。
ここで、本実施形態の課題について、より詳細に説明する。
本願の発明者は、このような事情を鑑みて、「LR張り付き」、つまり、LR状態に張り付く不具合を解消(この解消を「高抵抗(HR)化回復」、あるいは、単に「回復」ともいう)することができる抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法を鋭意検討した。その結果、先ず、LR化電圧パルスを印加し、引き続き、通常のHR化電圧パルスよりも振幅が大きいHR化電圧パルスを印加する回復電圧パルスセットを抵抗変化素子に印加することにより、導電パスから過剰に抜けてしまった酸素イオンを補充して導電パスを機能回復させることができること、すなわち「LR張り付き」を解消できることを見出した。
「低抵抗張り付き」からの回復手法である「導電パスの機能回復」を説明する。
次に、「低抵抗張り付き」からの回復手法の変形である、導電パスの機能回復における第2回復電圧パルスのパルス幅拡大(追加回復処理)について説明する。
発明者らは、上述した「LR張り付き」からのHR化回復に関する基礎データから得られた知見に基づき、「LR張り付き」の状態にある不良セルに対して好適なHR化回復動作を実施する不揮発性記憶装置を考案した。以下、第1実施形態として、図17に示された抵抗変化素子を用いた1T1R型の不揮発性記憶装置について説明する。
第2回復電圧パルス13は、第2電圧のパルス(例えば、高抵抗化電圧パルス10)の幅よりも長いパルス幅を有してもよい。
以上のように構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置について、まず、主要な回路ブロックの動作を説明し、その後、抵抗変化型不揮発性記憶装置の通常動作、導電パスの機能回復によるHR化回復動作、および導電パスの機能回復における第2回復電圧パルスのパルス幅拡大動作を説明する。
次に、図12に示したHR化回復動作によってもメモリセルのHR化回復が見られない強固な「LR張り付き」が発生する場合における、新たな回復ステップを用いたHR化回復動作について、図13に示すフローチャートを参照しながら説明する。図13において、図12と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。ここでは、HR化電圧パルスと同じ極性の電圧パルスである新たな第2回復電圧パルス21を所定回数印加する毎に、新たな第2回復電圧パルス21のパルス幅TpH(m)(m=1、2、3、・・・、TpH(1)<TpH(2)<TpH(3)<・・・)を、HR化回復するまで順次拡大していく構成を特徴としている。すなわち、所定回数印加してもHR化回復しない場合には、mに1を加えて、新たなパルス幅TpH(m)をパルス幅とする新たな第2回復電圧パルス21を印加する。
2 電極
3 導体膜
4 絶縁体膜
5 可変抵抗素子
10 高抵抗化電圧パルス、HR化電圧パルス
11 低抵抗化電圧パルス、LR化電圧パルス
12 第1回復電圧パルス
13 第2回復電圧パルス
19 新たな回復電圧パルスセット
20 第1回復電圧パルス
21 新たな第2回復電圧パルス
100 抵抗変化素子
100a 下部電極
100b 抵抗変化層
100b−1 第1の金属酸化物層
100b−2 第2の金属酸化物層
100c 上部電極
101 下部電極端子
102 上部電極端子
103 ゲート端子
104 NMOSトランジスタ
105 下部電極端子
113 フィラメント
200 不揮発性記憶装置
201 メモリ本体部
202 メモリセルアレイ
203 列選択回路
204 センスアンプ
205 データ入出力回路
206 書き込み回路
207 行ドライバ
208 行選択回路
209 アドレス入力回路
210 制御回路
211 書き込み用電源
212 低抵抗化用電源、LR化用電源
213 高抵抗化用電源、HR化用電源
218 カレントミラー回路
219 クランプトランジスタ
220 クランプトランジスタ
221 基準回路
222 選択トランジスタ
223 選択トランジスタ
224 差動アンプ
225 トランジスタ
226 トランジスタ
702 通常動作用基準電流生成回路
703 HR化ベリファイ用基準電流生成回路
Claims (22)
- 抵抗変化型不揮発性記憶素子に電圧パルスを印加することにより、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態を可逆的に変化させる書き込み方法であって、
前記抵抗変化型不揮発性記憶素子は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極および前記第2電極に挟まれた抵抗変化層とを有し、
前記抵抗変化層は、前記第1電極と接する第1の金属酸化物層と、前記第2電極と接し、前記第1の金属酸化物層よりも酸素不足度が小さい第2の金属酸化物層とを含み、
前記抵抗変化型不揮発性記憶素子は、第1電圧のパルスが印加されると、第1情報の記憶に用いられる第1抵抗状態から第2情報の記憶に用いられる第2抵抗状態へと変化し、前記第1電圧とは極性が異なる第2電圧のパルスが印加されると、前記第2抵抗状態から前記第1抵抗状態へと変化する特性を有し、
前記書き込み方法は、
前記抵抗変化型不揮発性記憶素子に前記第2電圧のパルスが印加された時に、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移できず、前記第2抵抗状態に留まるか否かを判定する第1判定ステップと、
前記第1判定ステップにおいて前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移できず前記第2抵抗状態に留まると判定された場合に、前記第1電圧と極性が同じである第1回復電圧パルスと、前記第1回復電圧パルスに後続し、前記第2電圧より振幅が大きく、かつ前記第2電圧と極性が同じである第2回復電圧パルスとの2パルスで構成される回復電圧パルスセットを少なくとも1回、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子に印加する回復ステップとを含む、
抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。 - さらに、前記回復電圧パルスセットの印加によって前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移したか否かを判定する第2判定ステップを含み、
前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットの印加および前記第2判定ステップでの判定を繰り返す、
請求項1に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。 - 前記第2回復電圧パルスは、前記第2電圧のパルスの幅よりも長いパルス幅を有する、
請求項1または2に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。 - 前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットの印加および前記第2判定ステップでの判定を所定の回数繰り返しても前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移しない場合に、
前記第2回復電圧パルスを、より長いパルス幅を有する新たな第2回復電圧パルスに変更した上で、前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットを、少なくとも1回、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子に印加する、
請求項2に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。 - 前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットの印加および前記第2判定ステップでの判定を所定の回数繰り返しても前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移しない場合に、
前記第2回復電圧パルスを、より長いパルス幅を有する新たな第2回復電圧パルスに変更した上で、前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットの印加および前記第2判定ステップでの判定を、所定の回数繰り返す、追加回復処理を、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移するまで繰り返す、
請求項2に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。 - 前記新たな第2回復電圧パルスは、前記変更前の前記第2回復電圧パルスよりも振幅が大きい、請求項4または5に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。
- 前記第1の金属酸化物層はタンタル酸化物で構成され、TaOxで表される組成を有する層であり、
前記第2の金属酸化物層はタンタル酸化物で構成され、TaOy(ただし、x<y)で表される組成を有する層である
請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。 - 前記抵抗変化型不揮発性記憶素子は、高抵抗状態と低抵抗状態とを可逆的に遷移する素子であり、
前記第1抵抗状態は、前記高抵抗状態であり、
前記第2抵抗状態は、前記低抵抗状態である、
請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。 - 前記第1回復電圧パルスの振幅は、前記第1電圧のパルスの振幅以下である、請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。
- 前記第1回復電圧パルスの振幅は、前記第1電圧のパルスの振幅と同程度である、請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶素子の書き込み方法。
- 抵抗変化型不揮発性記憶素子とスイッチ素子とが直列に接続されたメモリセルと、前記メモリセルを駆動する駆動回路とを備えた抵抗変化型不揮発性記憶装置であって、
前記抵抗変化型不揮発性記憶素子は、第1電極と、第2電極と、前記第1電極および前記第2電極に挟まれた抵抗変化層とを有し、
前記抵抗変化層は、前記第1電極と接する第1の金属酸化物層と、前記第2電極と接し、前記第1の金属酸化物層よりも酸素不足度が小さい第2の金属酸化物層とを含み、
前記抵抗変化型不揮発性記憶素子は、第1電圧のパルスが印加されると、第1情報の記憶に用いられる第1抵抗状態から第2情報の記憶に用いられる第2抵抗状態へと変化し、前記第1電圧とは極性が異なる第2電圧のパルスが印加されると、前記第2抵抗状態から前記第1抵抗状態へと変化する特性を有し、
前記駆動回路は、
前記メモリセルへの書き込みを行う書き込み回路と、
前記メモリセルからの読み出しを行うセンスアンプと、
前記書き込み回路によって前記抵抗変化型不揮発性記憶素子に前記第2電圧のパルスが印加された時に、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移できず、前記第2抵抗状態に留まるか否かの第1判定ステップを、前記センスアンプを用いて行う制御回路とを有し、
前記制御回路は、前記第1判定ステップにおいて前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移できず前記第2抵抗状態に留まると判定した場合に、前記第1電圧と極性が同じである第1回復電圧パルスと、前記第1回復電圧パルスに後続し、前記第2電圧より振幅が大きく、かつ前記第2電圧と極性が同じである第2回復電圧パルスとの2パルスで構成される回復電圧パルスセットを少なくとも1回、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子に印加する回復ステップを行うように、前記書き込み回路を制御する、
抵抗変化型不揮発性記憶装置。 - 前記制御回路は、さらに、前記回復電圧パルスセットの印加によって前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移したか否かを判定する第2判定ステップを、前記センスアンプを用いて行い、
前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットの印加および前記第2判定ステップでの判定を繰り返す、
請求項11に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。 - 前記第2回復電圧パルスは、前記第2電圧のパルスの幅よりも長いパルス幅を有する、
請求項11または12に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。 - 前記制御回路は、さらに、前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットの印加および前記第2判定ステップでの判定を所定の回数繰り返しても前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移しない場合に、前記第2回復電圧パルスを、より長いパルス幅を有する新たな第2回復電圧パルスに変更した上で、前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットを、少なくとも1回、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子に印加する、
請求項12に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。 - 前記制御回路は、さらに、前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットの印加および前記第2判定ステップでの判定を所定の回数繰り返しても前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移しない場合に、前記第2回復電圧パルスを、より長いパルス幅を有する新たな第2回復電圧パルスに変更した上で、前記回復ステップでの前記回復電圧パルスセットの印加および前記第2判定ステップでの判定を、所定の回数繰り返す、追加回復処理を、前記抵抗変化型不揮発性記憶素子の抵抗状態が前記第1抵抗状態に遷移するまで繰り返す、
請求項12に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。 - 前記新たな第2回復電圧パルスは、前記変更前の前記第2回復電圧パルスよりも振幅が大きい、請求項14または15に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
- 前記第1の金属酸化物層はタンタル酸化物で構成され、TaOxで表される組成を有する層であり、
前記第2の金属酸化物層はタンタル酸化物で構成され、TaOy(ただし、x<y)で表される組成を有する層である、
請求項11〜16のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。 - 前記抵抗変化型不揮発性記憶素子は、高抵抗状態と低抵抗状態とを可逆的に遷移する素子であり、
前記第1抵抗状態は、前記高抵抗状態であり、
前記第2抵抗状態は、前記低抵抗状態である、
請求項11〜17のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。 - 前記第1回復電圧パルスの振幅は、前記第1電圧のパルスの振幅以下である、請求項11〜請求項18のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
- 前記第1回復電圧パルスの振幅は、前記第1電圧のパルスの振幅と同程度である、請求項11〜請求項18のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
- 前記スイッチ素子は、MOSトランジスタである
請求項11〜請求項20のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。 - 前記スイッチ素子は、双方向ダイオードである
請求項11〜請求項20のいずれか1項に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
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