JP2014241182A5 - - Google Patents

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上述の課題を解決するために、第1の技術は、
長尺状の基体と、シード層と、下地層と、記録層とを備え、
シード層は、基体と下地層との間に設けられ、
シード層は、アモルファス状態を有し、Ti、CrおよびOを含む合金を含み、
シード層に含まれるTiおよびCrの総量に対するTiの割合は、30原子%以上100原子%以下であり、
シード層に含まれるTi、CrおよびOの総量に対するOの割合は、15原子%以下である磁気記録媒体である。
第2の技術は、
長尺状の基体と、シード層と、下地層と、記録層とを備え、
シード層は、基体と下地層との間に設けられ、
シード層は、アモルファス状態を有し、TiおよびCrを含む合金を含み、
シード層に含まれるTiおよびCrの総量に対するTiの割合は、30原子%以上100原子%以下である磁気記録媒体である。
第3の技術は、
長尺状の基体と、アモルファス状態を有し、TiおよびCrを含む層と、下地層と、記録層とを備え、
TiおよびCrを含む層は、基体と下地層との間に設けられ、
TiおよびCrを含む層におけるTiおよびCrの総量に対するTiの割合は、30原子%以上100原子%以下である磁気記録媒体である。
第4の技術は、
長尺状の基体の表面に、シード層、下地層および記録層をRoll to Roll法により連続成膜する工程を備え、
シード層は、アモルファス状態を有し、Ti、CrおよびOを含む合金を含み、
シード層に含まれるTiおよびCrの総量に対するTiの割合は、30原子%以上100原子%以下であり、
シード層に含まれるTi、CrおよびOの総量に対するOの割合は、15原子%以下である磁気記録媒体の製造方法である。
第5の技術は、
長尺状の基体を回転体の周面に沿わせて搬送しながら、該基体の表面に複数の薄膜を積層する工程を備え、
複数の薄膜のうちの少なくとも2層は、連続成膜される磁気記録媒体の製造方法である。

Claims (20)

  1. 長尺状の基体と、シード層と、下地層と、記録層とを備え、
    上記シード層は、上記基体と上記下地層との間に設けられ、
    上記シード層は、アモルファス状態を有し、Ti、CrおよびOを含む合金を含み、
    上記シード層に含まれるTiおよびCrの総量に対するTiの割合は、30原子%以上100原子%以下であり、
    上記シード層に含まれるTi、CrおよびOの総量に対するOの割合は、15原子%以下である磁気記録媒体。
  2. 上記シード層により上記基体の表面の凹凸が緩和されている請求項1に記載の磁気記録媒体。
  3. 上記下地層は、Ruを含んでいる請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
  4. 上記下地層は、第1の下地層と第2の下地層とを備え、
    上記第1の下地層が上記記録層の側に設けられ、Ruを含んでいる請求項1から3のいずれかに記載の磁気記録媒体。
  5. 上記記録層は、Co、PtおよびCrを含む粒子が酸化物で分離されたグラニュラ構造を有する請求項1から4のいずれかに記載の磁気記録媒体。
  6. 上記記録層は、以下の式(1)に示す平均組成を有している請求項5に記載の磁気記録媒体。
    (CoxPtyCr100-x-y100-z−(SiO2z ・・・(1)
    (但し、式(1)中において、x、y、zはそれぞれ、69≦x≦72、12≦y≦16、9≦z≦12の範囲内の値である。)
  7. 上記シード層と上記下地層との間に設けられた別のシード層をさらに備える請求項1から6のいずれかに記載の磁気記録媒体。
  8. 上記シード層と上記下地層との間に設けられた軟磁性層をさらに備える請求項1から6のいずれかに記載の磁気記録媒体。
  9. 上記軟磁性層の膜厚は、40nm以上140nm以下である請求項8に記載の磁気記録媒体。
  10. 上記軟磁性層は、第1の軟磁性層と、中間層と、第2の軟磁性層とを備え、
    上記中間層は、上記第1の軟磁性層と上記第2の軟磁性層との間に設けられている請求項8または9に記載の磁気記録媒体。
  11. 上記軟磁性層と上記下地層との間に別のシード層をさらに備える請求項8から10のいずれかに記載の磁気記録媒体。
  12. 上記記録層上に設けられた、Co、CrおよびPtを含む層をさらに備える請求項1から11のいずれかに記載の磁気記録媒体。
  13. 上記シード層、上記下地層および上記記録層は、Roll to Roll法により連続成膜されている請求項1から6のいずれかに記載の磁気記録媒体。
  14. 長尺状の基体と、シード層と、下地層と、記録層とを備え、
    上記シード層は、上記基体と上記下地層との間に設けられ、
    上記シード層は、アモルファス状態を有し、TiおよびCrを含む合金を含み、
    上記シード層に含まれるTiおよびCrの総量に対するTiの割合は、30原子%以上100原子%以下である磁気記録媒体。
  15. 長尺状の基体と、アモルファス状態を有し、TiおよびCrを含む層と、下地層と、記録層とを備え、
    上記TiおよびCrを含む層は、上記基体と上記下地層との間に設けられ、
    上記TiおよびCrを含む層におけるTiおよびCrの総量に対するTiの割合は、30原子%以上100原子%以下である磁気記録媒体。
  16. 長尺状の基体の表面に、シード層、下地層および記録層をRoll to Roll法により連続成膜する工程を備え、
    上記シード層は、アモルファス状態を有し、Ti、CrおよびOを含む合金を含み、
    上記シード層に含まれるTiおよびCrの総量に対するTiの割合は、30原子%以上100原子%以下であり、
    上記シード層に含まれるTi、CrおよびOの総量に対するOの割合は、15原子%以下である磁気記録媒体の製造方法。
  17. 長尺状の基体を回転体の周面に沿わせて搬送しながら、該基体の表面に複数の薄膜を積層する工程を備え、
    上記複数の薄膜のうちの少なくとも2層は、連続成膜される磁気記録媒体の製造方法。
  18. 上記回転体の温度が、10℃以下であり、
    上記回転体の周面のうち上記基体が接触する領域の角度範囲が、220°以上であり、
    上記基体の幅1mm長さ当たりの張力が、4g/mm以上であり、
    上記複数の薄膜のダイナミックレートのうち最大のものが、70nm・m/min以下である請求項17に記載の磁気記録媒体の製造方法。
  19. 上記複数の薄膜は、シード層、下地層および記録層を含んでいる請求項17または18に記載の磁気記録媒体の製造方法。
  20. 上記複数の薄膜は、軟磁性層をさらに含んでいる請求項19に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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