JP6451011B2 - 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Description
また特許文献7には、下地層として、fcc構造の元素とbcc構造の元素とを含むfcc構造の合金層と、NiW合金層との積層構造を用いることが開示されている。
また特許文献8には、面内配向した磁気記録媒体の下地層にTiVを用いることが開示されている。
(2)前記TiV合金に含まれるVの量が、10原子%〜80原子%の範囲内であることを特徴とする(1)に記載の垂直磁気記録媒体。
(3)前記第1下地層の膜厚は、0.2nm〜5nmの範囲である(1)または(2)のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
(4)(1)〜(3)の何れか一項に記載の垂直磁気記録媒体と、 前記垂直磁気記録媒体に対して情報の書き込みを行う単磁極ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、本発明の効果を発揮し得る範囲で適宜変更して実施することが可能である。
本発明を適用した本実施形態に係る垂直磁気記録媒体は、例えば図1に示すように、非磁性基板1の両面に、密着層11と、裏打ち層2と、第1下地層3(下地層)と、第2下地層4(下地層)と、中間層5と、垂直磁気記録層6と、保護層7とが順に積層されてなると共に、最上層に潤滑膜(図1では省略。)が成膜された構成となっている。なお、図1においては、非磁性基板1の片面のみを図示している。
また、非磁性基板1は、後述するようにCo又はFeが主成分となる裏打ち層2と接することで、表面の吸着ガスや、水分の影響、基板成分の拡散などにより、腐食が進行する可能性がある。このため、非磁性基板1と裏打ち層2との間に密着層11を設けることが好ましい。なお、密着層11の材料としては、例えば、Cr、Cr合金、Ti、Ti合金など適宜選択することが可能である。また、密着層11の厚みは2nm以上であることが好ましく、30nm以下であることが好ましい。
TiV合金に含まれるVの量の下限は、10原子%以上であることが好ましく、30原子%以上であることがより好ましい。また、TiV合金に含まれるVの量の上限は、80原子%以下であることが好ましく、70原子%以下であることがより好ましい。
本発明の第1下地層であるTiV合金層を非晶質構造とするためには公知の方法を採用することができる。例えば、成膜にスパッタ法を用いる場合は、成膜時の基板温度を下げること、スパッタ粒子のエネルギーを下げること、ターゲットへの投入電力を下げてプラズマ密度を下げること、また成膜後に逆スパッタを行って膜の結晶構造を乱すこと等の方法を採用することができる。
NiW合金中のWの含有量が3原子%未満又は10原子%を越えると、垂直磁気記録媒体の配向や結晶サイズを制御する効果が低下するため好ましくない。
図2は、本発明を適用した磁気記録再生装置の一例を示すものである。
この磁気記録再生装置は、上記図1に示す構成を有する垂直磁気記録媒体50と、垂直磁気記録媒体50を回転駆動させる媒体駆動部51と、垂直磁気記録媒体50に情報を記録再生する磁気ヘッド52と、この磁気ヘッド52を垂直磁気記録媒体50に対して相対運動させるヘッド駆動部53と、記録再生信号処理系54とを備えている。また、記録再生信号処理系54は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド52に送り、磁気ヘッド52からの再生信号を処理してデータを外部に送ることが可能となっている。
例えば、本発明は、上記垂直磁気記録層6に磁気的に分離された磁気記録パターンを有する垂直磁気記録媒体に適用することも可能である。具体的に、磁気記録パターンを有する磁気記録媒体としては、磁気記録パターンが1ビットごとに一定の規則性をもって配置された、いわゆるパターンドメディアや、磁気記録パターンが、トラック状に配置されたメディアや、その他、サーボ信号パターン等を挙げることができる。
この上に、Ruからなる中間層を12nm成膜し、垂直磁気記録層として、69Co−5Cr−16Pt−10SiO2を10nm、53Co−10Cr―23Pt−14Bを6nm成膜した。そして、この上に、イオンビーム法により4nmのカーボンからなる保護層を形成した後、ディッピング法によりパーフルオロポリエーテルからなる潤滑膜を形成し、実験例1〜10の垂直磁気記録媒体を得た。
Claims (4)
- 少なくとも非磁性基板の上に、裏打ち層と、下地層と、中間層と、垂直磁気記録層とが順に積層されてなる垂直磁気記録媒体であって、
前記裏打ち層は、非晶質構造を有する軟磁性膜を少なくとも有しており、
前記下地層は、前記非磁性基板側から第1下地層と第2下地層とが積層されてなり、
前記第1下地層は非晶質構造のTiV合金からなり、
前記第2下地層はNiW合金を含み、
前記中間層はRu又はRu合金を含み、
前記非晶質構造を有する軟磁性膜、第1下地層、第2下地層は接して設けられていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記TiV合金に含まれるVの量が、10原子%〜80原子%の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第1下地層の膜厚は、0.2nm〜5nmの範囲である請求項1または2のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の垂直磁気記録媒体と、
前記垂直磁気記録媒体に対して情報の書き込みを行う単磁極ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
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