JP5737676B2 - 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
前記軟磁性裏打ち層が、少なくとも1層以上のナノ結晶粒子を含まないアモルファス構造を有する軟磁性合金膜を含み、この軟磁性合金膜の磁歪定数λの絶対値が1×10−6以下であり、
前記軟磁性合金膜は、Co、Fe、B、Nbを含有し、これらの元素の含有量について、Coをa原子%、Feをb原子%、Bをx原子%、Nbをy原子%としたときに、
80≦a+b≦84、
14≦a/b≦17、
14≦x≦17、
0.5≦y≦3
の関係を満足することを特徴とする磁気記録媒体。
(2) 前記軟磁性合金は、更に、Siを含有し、このSiの含有量をz原子%としたときに、
0.5≦z≦6
の関係を満足することを特徴とする前項(1)に記載の磁気記録媒体。
(3) 前記軟磁性合金膜の飽和磁束密度Bsが1.1T以上であり、この軟磁性合金膜の表面における微小うねりWaが0.3nm以下であることを特徴とする前項(1)又は(2)に記載の磁気記録媒体。
(4) 前軟磁性裏打ち層は、2層の軟磁性合金膜と、その間に非磁性カップリング膜とを含み、これら2層の軟磁性合金膜が非磁性カップリング膜を挟んで反強磁性結合しており、
なお且つ、前記2層の軟磁性合金膜の間に働くバイアス磁界Hbiasが、3950A/m以上であることを特徴とする前項(1)〜(3)の何れか一項に記載の磁気記録媒体。
(5) 前項(1)〜(4)の何れか一項に記載の磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対する情報の記録再生を行う磁気ヘッドとを備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
本発明を適用した磁気記録媒体は、非磁性基板の上に、少なくとも軟磁性裏打ち層と、下地層と、中間層と、磁気記録層とを、この順で積層した構造を有し、軟磁性裏打ち層が、少なくとも1層以上のナノ結晶粒子を含まないアモルファス構造を有する軟磁性合金膜を含み、この軟磁性合金膜の磁歪定数λの絶対値が1×10−6以下であることを特徴とする。
上記軟磁性合金膜は、上述したナノ結晶を含まないアモルファス構造を実現するため、主構成元素であるFe及びCoの総和(a+b)を80≦a+b≦84の範囲とすることが好ましく、81≦a+b≦83の範囲とするのが好ましい。また、半金属元素であるB、Siの組成範囲(x,z)を、それぞれ14≦x≦17、0≦z≦6の範囲とすることが好ましく、14.5≦x≦16、0.5≦z≦4の範囲とすることがより好ましく、14.5≦x≦16、1≦z≦4の範囲とすることが最も好ましい。
図1に示すように、上記本発明の組成範囲を満足する軟磁性合金膜では、アモルファス合金に特有のソルトペッパー模様が観察された。
図2に示すように、上側の線は、上記本発明の組成範囲を満たさない軟磁性合金膜のX線回折結果であり、45°付近のピークがナノ結晶粒子の存在を示している。これに対して、下側の線は、上記本発明の組成範囲を満足する軟磁性合金膜のX線回折結果であり、ナノ結晶粒子を含まない完全なアモルファス状態であることがわかる。
図3は、本発明を適用した磁気記録媒体の一例を示したものである。
この磁気記録媒体は、図1に示すように、非磁性基板1の上に、バリア層2と、軟磁性裏打ち層11を構成する第一軟磁性合金膜3、非磁性カップリング膜4及び第二軟磁性合金膜5と、下地層6と、中間層7と、垂直磁気記録層8と、保護層9とを、この順で積層し、この上に潤滑膜(図示せず。)を形成した構造を有している。
図5は、本発明を適用した磁気記録再生装置の一例を示すものである。
この磁気記録再生装置は、上記図4に示す構成を有する磁気記録媒体50と、磁気記録媒体50を回転駆動させる媒体駆動部51と、磁気記録媒体50に情報を記録再生する磁気ヘッド52と、この磁気ヘッド52を磁気記録媒体50に対して相対運動させるヘッド駆動部53と、記録再生信号処理系54とを備えている。また、記録再生信号処理系54は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド52に送り、磁気ヘッド52からの再生信号を処理してデータを外部に送ることが可能となっている。また、本発明を適用した磁気記録再生装置に用いる磁気ヘッド52には、再生素子として巨大磁気抵抗効果(GMR)を利用したGMR素子などを有した、より高記録密度に適した磁気ヘッドを用いることができる。
以下、実施例1〜8の磁気記録媒体についてまとめた評価結果を表1に示す。
以下、比較例1〜8の磁気記録媒体についてまとめた評価結果を表2に示す。
50…磁気記録媒体 51…回転駆動部 52…磁気ヘッド 53…ヘッド駆動部 54…記録再生信号処理系
Claims (5)
- 非磁性基板の上に、少なくとも軟磁性裏打ち層と、下地層と、中間層と、磁気記録層とを、この順で積層した磁気記録媒体であって、
前記軟磁性裏打ち層が、少なくとも1層以上のナノ結晶粒子を含まないアモルファス構造を有する軟磁性合金膜を含み、この軟磁性合金膜の磁歪定数λの絶対値が1×10−6以下であり、
前記軟磁性合金膜は、Co、Fe、B、Nbを含有し、これらの元素の含有量について、Coをa原子%、Feをb原子%、Bをx原子%、Nbをy原子%としたときに、
80≦a+b≦84、
14≦a/b≦17、
14≦x≦17、
0.5≦y≦3
の関係を満足することを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記軟磁性合金は、更に、Siを含有し、このSiの含有量をz原子%としたときに、
0.5≦z≦6
の関係を満足することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。 - 前記軟磁性合金膜の飽和磁束密度Bsが1.1T以上であり、この軟磁性合金膜の表面における微小うねりWaが0.3nm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気記録媒体。
- 前軟磁性裏打ち層は、2層の軟磁性合金膜と、その間に非磁性カップリング膜とを含み、これら2層の軟磁性合金膜が非磁性カップリング膜を挟んで反強磁性結合しており、
なお且つ、前記2層の軟磁性合金膜の間に働くバイアス磁界Hbiasが、3950A/m以上であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の磁気記録媒体。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載の磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対する情報の記録再生を行う磁気ヘッドとを備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
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