JP2010086611A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の垂直磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板上に、柱状の磁性粒子間に非磁性の粒界部を有するグラニュラ構造の磁気記録層と、前記磁気記録層の下に配設され、前記磁気記録層の磁性粒子の配向を制御する下地層と、を具備する垂直磁気記録媒体の製造方法であって、キャリアガスに反応性ガスを混合して行う反応性スパッタリングにより、前記下地層を成膜することを特徴とする。
【選択図】なし
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録媒体の製造方法により得られた垂直磁気記録媒体の概略構成を示す断面図である。
2 軟磁性層
3 配向制御層
4 第1下地層
5 第2下地層
6 磁気記録層
6a 結晶
6b 酸化物
Claims (4)
- 非磁性基板上に、柱状の磁性粒子間に非磁性の粒界部を有するグラニュラ構造の磁気記録層と、前記磁気記録層の下に配設され、前記磁気記録層の磁性粒子の配向を制御する下地層と、を具備する垂直磁気記録媒体の製造方法であって、キャリアガスに反応性ガスを混合して行う反応性スパッタリングにより、前記下地層を成膜することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記キャリアガスに対する反応性ガスの濃度が0.5%〜0.7%であることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記下地層を構成する材料がRu又はRu化合物であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記磁気記録層がCoCrPt系磁性グラニュラ膜であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
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JP2009070540A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103988074A (zh) * | 2011-12-13 | 2014-08-13 | Abb技术有限公司 | 确定流体绝缘电气设备的操作参数的方法和装置 |
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