JP2005276367A - 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005276367A JP2005276367A JP2004090673A JP2004090673A JP2005276367A JP 2005276367 A JP2005276367 A JP 2005276367A JP 2004090673 A JP2004090673 A JP 2004090673A JP 2004090673 A JP2004090673 A JP 2004090673A JP 2005276367 A JP2005276367 A JP 2005276367A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- underlayer
- magnetic recording
- recording medium
- perpendicular magnetic
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 267
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 111
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 47
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 19
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 19
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910020599 Co 3 O 4 Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 9
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 abstract description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 128
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 19
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 15
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 10
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 10
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 7
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910015621 MoO Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 3
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 3
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001047 Hard ferrite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002555 FeNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005435 FeTaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 229910001566 austenite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000000752 ionisation method Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7369—Two or more non-magnetic underlayers, e.g. seed layers or barrier layers
- G11B5/737—Physical structure of underlayer, e.g. texture
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/658—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing oxygen, e.g. molecular oxygen or magnetic oxide
Abstract
【解決手段】基板上に形成された第一の下地層として2種類以上の酸化物を用いて成膜し分相することにより、結晶粒径を均一に微細化した第一の下地層を得る。この上に結晶配向性を改善させる第二の下地層を形成し、さらにこの上に垂直磁性層を形成することにより、結晶性が良好で、均一で微細な磁性粒子を有する垂直磁気記録層を得る。このようにして、熱揺らぎ耐性を確保するとともに低ノイズ化を確保して、高密度記録に適した垂直磁気記録媒体を得る。
【選択図】図1
Description
比較の垂直磁気記録媒体として、Tiターゲットを用い、第一の下地層としてTi層を10nmの厚さで形成した以外は、実施例1の垂直磁気記録媒体と同様にして垂直磁気記録媒体を得た。
また、この垂直磁性層に対して、X線回折測定を行ったところ、強いCoCrPt−SiO2(00.2)ピークを観測したが、このCoCrPt−SiO2(00.2)ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は10°という値を得た。
さらに、第二下地層に対してもTEM測定を行い、第二下地層の粒径分布を調べたところ、第一下地層の結晶粒子の平均粒子間距離と、第二下地層の結晶粒子の平均粒子間距離との差は10%以下であった。
曲線101、111は、膜厚がx nm(0≦x≦70)の時のグラフ図を各々表している。
Ruターゲットを用い、第二の下地層としてRu層を10nmの厚さで形成した以外は、実施例1の垂直磁気記録媒体と同様にして垂直磁気記録媒体を得た。
図8に、Pd第二下地層に関する膜厚とSNRm、および膜厚と結晶粒径との関係を表すグラフ図を示す。曲線141、151は、膜厚がx nm(0≦x≦40)の時のグラフ図を各々表している。グラフから分かるように、第二下地層の膜厚を0.1ないし20nmの範囲で用いた方が、SNRmおよび平均粒径が良好であることがわかった。
得られた垂直磁気記録媒体は、第二の下地層がアイランド状に形成されていること以外は、図6に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
得られた垂直磁気記録媒体は、垂直磁性層が異なること以外は、図6に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
第一下地層として、Tiターゲットを用いて、Ti第一下地層を厚さ10nmの厚さで形成した以外は、実施例9と同様にして従来の垂直磁気記録媒体を得た。
Claims (21)
- 非磁性基板と、
前記非磁性基板上に形成された第一の下地層と、
前記第一の下地層上に形成された非磁性の第二の下地層と、
前記第二の下地層の上に形成された磁性層と、
前記磁性層の上に形成された保護膜と
が順次積層されてなる垂直磁気記録媒体であって、
前記第一の下地層は、Fe2O3、Co3O4、MgO、MoO3、Mn3O4、SiO2、Al2O3、TiO2、およびZrO2からなる群から選ばれる複数種の酸化物を主成分とし、柱状に成長した第一の下地層の結晶粒子と前記第一の下地層の結晶粒子を取り囲む結晶粒界相とを有し、
前記第二の下地層は、前記第一の下地層の結晶粒子上に成長した面心立方構造または六方稠密構造を有する結晶粒子を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記第二の下地層が、Pt、Pd、およびCoのうち少なくとも一種の合金を主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第一の下地層の結晶粒子が、Fe2O3、Co3O4、MgO、MnO3、およびMn3O4から選ばれる少なくとも一種類の酸化物を含み、前記第一の下地層の結晶粒界がSiO2、Al2O3、TiO2、およびZrO2から選ばれる少なくとも一種の酸化物を含むことを特徴とする請求項1ないし2に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第一の下地層の結晶粒子が、Fe2O3、Co3O4およびMgOから選ばれる少なくとも一種の酸化物を含み、前記第一の下地層の結晶粒界がSiO2およびAl2O3のうちから選ばれる少なくとも一種の酸化物を含むことを特徴とする請求項3に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第二の下地層と、前記磁性層との間に第三の下地層を持つことを特徴とする請求項1ないし4に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第三の下地層が、Ru,RhおよびReからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属を主成分とすることを特徴とする請求項5に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第一の下地層において、結晶粒界相を構成する酸化物が、第一の下地層を構成する全物質に対して、モル百分率で20ないし50%であることを特徴とする請求項1ないし6に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第一の下地層において、結晶粒界相を構成する酸化物が、第一の下地層を構成する全物質に対して、モル百分率で35ないし45%であることを特徴とする請求項1ないし6に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第一の下地層において、結晶粒子の配列が膜面内方向において規則性を有することを特徴とする請求項1ないし8に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第一の下地層の膜厚が1ないし30nmであることを特徴とする請求項1ないし9に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第二の下地層は、柱状に成長した結晶粒子が酸化物,窒化物,または炭化物からなる結晶粒界相によって分断されたグラニュラ構造を有していることを特徴とする請求項1ないし10に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第二の下地層の膜厚が0.1ないし20nmであることを特徴とする請求項1ないし11に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第二の下地層が、前記第一の下地層の結晶粒子上に成長した島状の第二の下地層の結晶粒子を有することを特徴とする請求項1ないし12に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第二の下地層の結晶粒子の平均粒子間距離と、前記第一の下地層の結晶粒子の平均粒子間距離との差が、±10%以内であることを特徴とする請求項1ないし13に記載の垂直磁気記録媒体
- 前記磁性層が、CoPt合金を主成分とする磁性結晶粒子を有することを特徴とする請求項1ないし14に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性層が5〜20 at.%の酸素を含むことを特徴とする請求項15に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性層を構成する磁性結晶粒子の平均粒径が1〜10nmであることを特徴とする請求項1ないし16に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性層において、磁性結晶粒子の配列が膜面内方向において規則性を有することを特徴とする請求項1ないし17に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記非磁性基板と第一下地層の間に、少なくとも一層の軟磁性層を持つことを特徴とする請求項1ないし18に記載の垂直磁気記録媒体。
- 請求項1ないし19のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体と、前記垂直磁気記録媒体を支持および回転駆動する機構と、前記垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録再生装置。
- 前記記録再生ヘッドとして、単磁極記録ヘッドを有することを特徴とする請求項20に記載の磁気記録再生装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004090673A JP2005276367A (ja) | 2004-03-25 | 2004-03-25 | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US11/081,937 US7431999B2 (en) | 2004-03-25 | 2005-03-17 | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing apparatus |
SG200501832A SG115792A1 (en) | 2004-03-25 | 2005-03-23 | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing apparatus |
CNB2005100594975A CN100343903C (zh) | 2004-03-25 | 2005-03-25 | 垂直磁记录媒体和磁记录/再现设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004090673A JP2005276367A (ja) | 2004-03-25 | 2004-03-25 | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005276367A true JP2005276367A (ja) | 2005-10-06 |
Family
ID=34990294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004090673A Pending JP2005276367A (ja) | 2004-03-25 | 2004-03-25 | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7431999B2 (ja) |
JP (1) | JP2005276367A (ja) |
CN (1) | CN100343903C (ja) |
SG (1) | SG115792A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009146522A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2011210303A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7399523B2 (en) * | 2003-05-07 | 2008-07-15 | Meiji University Legal Person | Spinel ferrimagnetic particles and magnetic recording medium |
US9117476B1 (en) * | 2004-05-27 | 2015-08-25 | Seagate Technology, Llc | Magnetic media on a plastic substrate |
US7494617B2 (en) * | 2005-04-18 | 2009-02-24 | Heraeus Inc. | Enhanced formulation of cobalt alloy matrix compositions |
JP4557880B2 (ja) * | 2005-12-20 | 2010-10-06 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP4761224B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2011-08-31 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
WO2008063843A2 (en) * | 2006-11-03 | 2008-05-29 | Florida State University | Composites and electrodes for electrochemical devices and processes for producing the same |
JP4751344B2 (ja) * | 2007-01-26 | 2011-08-17 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 |
JP4962864B2 (ja) * | 2007-12-07 | 2012-06-27 | 富士電機株式会社 | 二乗平均平方根傾斜角の算出方法 |
US8394243B1 (en) | 2008-07-24 | 2013-03-12 | Wd Media, Inc. | Sputtered cobalt oxide for perpendicular magnetic recording medium with low media noise |
US8488276B1 (en) | 2008-09-30 | 2013-07-16 | WD Media, LLC | Perpendicular magnetic recording medium with grain isolation magnetic anistropy layer |
JP5561766B2 (ja) * | 2010-02-04 | 2014-07-30 | 昭和電工株式会社 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP2012009086A (ja) * | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
US8993133B1 (en) | 2010-12-23 | 2015-03-31 | WD Media, LLC | Intermediate layer for perpendicular magnetic recording medium with high permeability grain boundaries |
US8956741B1 (en) | 2011-06-30 | 2015-02-17 | WD Media, LLC | Magnetic recording media with small grain size and narrow c-axis dispersion by using dual seed layer with substrate bias |
JP5665785B2 (ja) * | 2012-03-22 | 2015-02-04 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 |
US10026432B1 (en) * | 2012-11-20 | 2018-07-17 | Seagate Technology Llc | Interlayer structure for heat assisted magnetic recording |
US8821736B1 (en) | 2013-02-20 | 2014-09-02 | HGST Netherlands B.V. | Method for making a perpendicular magnetic recording disk with template layer formed of nanoparticles embedded in a polymer material |
US9236076B2 (en) | 2013-02-20 | 2016-01-12 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording disk with template layer formed of nanoparticles embedded in a polymer material |
US9472228B2 (en) | 2013-05-28 | 2016-10-18 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording media having novel magnetic under-layer structure |
JP6109655B2 (ja) | 2013-06-27 | 2017-04-05 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
US9672854B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-06-06 | Seagate Technology Llc | Magnetic stack including MgO-Ti(ON) interlayer |
US9224412B2 (en) | 2014-01-31 | 2015-12-29 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording disk with template layer formed of a blend of nanoparticles |
US9685184B1 (en) | 2014-09-25 | 2017-06-20 | WD Media, LLC | NiFeX-based seed layer for magnetic recording media |
KR102451098B1 (ko) | 2015-09-23 | 2022-10-05 | 삼성전자주식회사 | 자기 메모리 장치 및 이의 제조 방법 |
JP7283273B2 (ja) * | 2019-07-01 | 2023-05-30 | 株式会社レゾナック | 磁気記録媒体およびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
US11676632B2 (en) * | 2019-12-26 | 2023-06-13 | Resonac Corporation | Magnetic recording medium, method of manufacturing magnetic recording medium and magnetic storage device |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5830584A (en) * | 1996-01-16 | 1998-11-03 | Seagate Technology, Inc. | Bicrystal cluster magnetic recording medium |
JP3182522B2 (ja) | 1996-12-20 | 2001-07-03 | ファインセラミックス技術研究組合 | 一次元貫通気孔を持つセラミック膜とその製造方法 |
JP2001014649A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Hitachi Ltd | 板状体、無機化合物基板、磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP3721011B2 (ja) * | 1999-06-28 | 2005-11-30 | 日立マクセル株式会社 | 情報記録媒体及びそれを用いた磁気記憶装置、光磁気記憶装置 |
JP3730822B2 (ja) | 1999-11-08 | 2006-01-05 | 日立マクセル株式会社 | 磁気記録媒体、及び磁気記録装置 |
US6468670B1 (en) * | 2000-01-19 | 2002-10-22 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording disk with composite perpendicular recording layer |
JP2001256640A (ja) | 2000-03-14 | 2001-09-21 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
US6596419B1 (en) * | 2000-09-27 | 2003-07-22 | Seagate Technology Llc | Medium with a seed layer and a B2-structured underlayer |
JP2002163819A (ja) | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Hitachi Maxell Ltd | 情報記録媒体及びそれを用いた情報記録装置 |
JP2003036525A (ja) | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP4626840B2 (ja) | 2001-08-31 | 2011-02-09 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP4332833B2 (ja) | 2001-08-31 | 2009-09-16 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP4019703B2 (ja) | 2001-12-07 | 2007-12-12 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
JP4582978B2 (ja) | 2001-12-07 | 2010-11-17 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
JP2003203330A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-07-18 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JP3889635B2 (ja) | 2002-02-06 | 2007-03-07 | 富士通株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
SG118182A1 (en) | 2002-03-19 | 2006-01-27 | Fuji Electric Co Ltd | Method for producing a magnetic recording medium and a magnetic recording medium produced by the method |
JP3961887B2 (ja) * | 2002-06-10 | 2007-08-22 | 富士通株式会社 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
KR100803201B1 (ko) * | 2002-07-27 | 2008-02-14 | 삼성전자주식회사 | 수직자기기록매체 |
KR100695121B1 (ko) | 2002-07-27 | 2007-03-14 | 삼성전자주식회사 | 수직자기기록매체 |
JP3684231B2 (ja) | 2003-02-28 | 2005-08-17 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP2004303375A (ja) | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 |
-
2004
- 2004-03-25 JP JP2004090673A patent/JP2005276367A/ja active Pending
-
2005
- 2005-03-17 US US11/081,937 patent/US7431999B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-23 SG SG200501832A patent/SG115792A1/en unknown
- 2005-03-25 CN CNB2005100594975A patent/CN100343903C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009146522A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
JP2011210303A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Showa Denko Kk | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7431999B2 (en) | 2008-10-07 |
CN1674105A (zh) | 2005-09-28 |
SG115792A1 (en) | 2005-10-28 |
CN100343903C (zh) | 2007-10-17 |
US20050214588A1 (en) | 2005-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7431999B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing apparatus | |
US7666531B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording/reproduction apparatus | |
JP4893853B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
US7799446B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing method thereof, magnetic recording apparatus | |
JP4751344B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 | |
JP4213001B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 | |
JPWO2008038664A1 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2006155861A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録再生装置 | |
JPH08171716A (ja) | 磁性合金及びその製造方法 | |
JP4557880B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP4585214B2 (ja) | 磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 | |
JP2005032352A (ja) | 粒子分散型膜を下地に用いた磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置 | |
JP2005276364A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造法、並びにそれを用いた磁気記録再生装置 | |
CN108573715B (zh) | 辅助磁记录介质和磁存储装置 | |
JP2005276363A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造法、並びに磁気記録再生装置 | |
JP2006120231A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP4255826B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法並びに磁気記録再生装置 | |
JP2007317255A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法及び垂直磁気記録媒体と磁気記録再生装置 | |
JP2004178748A (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP4557838B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP4951075B2 (ja) | 磁気記録媒体及びその製造法、並びにそれを用いた磁気記録再生装置 | |
JP2012069230A (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP5075993B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 | |
JP2010086611A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2008084479A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080318 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080514 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080805 |