JP2014064045A - オーバーヘッドホイスト搬送車 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、マテリアル自動化取扱システムであり、複数の貯蔵容器を含み、各貯蔵容器は、少なくともマテリアルの1ユニットを保持するようになっている少なくとも一つの貯蔵ユニット、及び、少なくとも一つのオーバーヘッドホイストを含み、このオーバーヘッドホイストは、所定の位置へ搬送するために複数の貯蔵容器の選ばれた一つにおける少なくとも一つのマテリアル・ユニットに直接にアクセスできるオーバーヘッドホイスト搬送サブシステム、を備える。
【選択図】図6
Description
202 ストッカー
203 貯蔵容器
204 オーバーヘッド搬送システム
205 搬送車
208 トラック
210 FOUP
214 天井
220 第1のフロアー
226 第2のフロアー
250 第1のプーリー
251 第2のプーリー
252 ストッカーハウジング
254 ベルト
Claims (26)
- 以下を備えるマテリアル自動化取扱システム:
複数の貯蔵容器を含み、各貯蔵容器は、少なくともマテリアルの1ユニットを保持するようになっている少なくとも一つの貯蔵ユニット;及び
少なくとも一つのオーバーヘッドホイストを含み、このオーバーヘッドホイストは、所定の位置へ搬送するために複数の貯蔵容器の選ばれた一つにおける少なくとも一つのマテリアル・ユニットに直接にアクセスできるオーバーヘッドホイスト搬送サブシステム。 - できるオーバーヘッドホイストが貯蔵ユニット内に貯蔵するために選ばれた貯蔵容器へ少なくとも一つのマテリアル・ユニットを直接に配置するようになっている請求項1のシステム。
- 前記選ばれたマテリアル・ユニットは、前記貯蔵ユニットの外部へ動かすことで前記オーバーヘッドホイストへ向け直接に動かすようになっている請求項1のシステム。
- 前記貯蔵ユニットは、さらに、少なくとも一つの軸方向に前記マテリアル・ユニットを動かす機構を含む請求項3のシステム。
- 前記選ばれた貯蔵容器は、前記貯蔵ユニット内に配置の固定棚を備える請求項1のシステム。
- 前記オーバーヘッド搬送サブシステムは、前記オーバーヘッドホイストに結合した移送ステージを含み、この移送ステージは、オーバーヘッドホイストを第1の位置へ動かして前記固定棚の少なくとも一つのマテリアル・ユニットにアクセスできるようになっている請求項5のシステム。
- 前記移送ステージは、さらに、前記オーバーヘッドホイストを第2の位置へ動かして、該ホイストで前記貯蔵ユニットから少なくとも一つのマテリアル・ユニットを取り出すようになっている請求項6のシステム。
- 前記少なくとも一つの貯蔵ユニットは、縦型回転コンベヤストッカーを備えている請求項1のシステム。
- 前記縦型回転コンベヤストッカーは、選ばれた貯蔵容器を前記ストッカーの上位領域へ動かし、これによって前記オーバーヘッドホイストが前記選ばれた貯蔵容器の上位にある位置から少なくとも一つのマテリアル・ユニットにアクセスできるようになっている請求項8のシステム。
- 前記オーバーヘッドホイスト搬送サブシステムは、さらに、トラックと前記オーバーヘッドホイストを前記トラックにそって搬送する搬送車を含み、前記トラックの少なくとも一部は、前記ストッカーの上位領域において、前記選ばれた貯蔵容器の実質的な直上に位置するようになる請求項9のシステム。
- 前記縦型回転コンベヤストッカーは、選ばれた貯蔵容器を前記ストッカーの一方の側面に沿う第1の位置へ動かして、前記オーバーヘッドホイストが前記選ばれた貯蔵容器にそう第2の位置から少なくとも一つのマテリアル・ユニットにアクセスできるようになっている請求項8のシステム。
- 前記オーバーヘッドホイスト搬送サブシステムは、さらに、トラックと前記オーバーヘッドホイストを前記トラックにそって搬送する搬送車を含み、前記トラックの少なくとも一部は、前記ストッカーにそう前記第1の位置に近接の前記ストッカーの長さ方向軸と実質的に平行に配置されている請求項11のシステム。
- 前記オーバーヘッドホイストは、前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットを保持することができるグリッパー部を含む請求項1のシステム。
- 前記マテリアル・ユニットは、カセットポッドを備える請求項1のシステム。
- 以下の工程を備えるマテリル自動化取扱システムの操作方法:
マテリアル貯蔵ユニット内にある複数の貯蔵容器の選ばれた一つによりマテリアルの少なくとも一つのユニットを保持し;
オーバーヘッドホイスト搬送サブシステムに含まれているオーバーヘッドホイストにより選ばれた貯蔵容器から直接に少なくとも一つのマテリアル・ユニットへアクセスし;そして
前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットをオーバーヘッドホイスト搬送サブシステムにより所定の位置へ搬送すること。 - 前記貯蔵ユニット内へ続いて貯蔵するために、前記選ばれた貯蔵容器へ直にオーバーヘッドホイストにより前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットを提供する工程をさらに含む請求項15の方法。
- 前記選ばれた貯蔵容器により前記オーバーヘッドホイストへ直に前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットを提供する工程をさらに含み、前記選ばれた貯蔵容器は、可動の棚を備えている請求項15の方法。
- 前記貯蔵ユニットに含まれている機構により、少なくとも一つの軸方向に前記棚を動かす工程をさらに含む請求項17の方法。
- 移送ステージにより前記オーバーヘッドホイストを第1の位置へ動かして前記ホイストが前記選ばれた貯蔵容器から直に少なくとも一つのマテリアル・ユニットにアクセスする工程をさらに含み、前記選ばれた貯蔵容器は、固定の棚を備えている請求項15の方法。
- 前記オーバーヘッドホイストを前記移送ステージにより第2の位置へ動かして、前記ホイストが前記貯蔵ユニットから前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットを取り出せるようにした工程をさらに含む請求項19の方法。
- 前記選ばれた貯蔵容器を前記貯蔵ユニットに含まれている回転コンベヤ機構により前記貯蔵ユニットの上位領域へ動かし、これによって前記オーバーヘッドホイストが前記選ばれた貯蔵容器の上方位置から前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットにアクセスできるようになる工程をさらに含む請求項15の方法。
- トラックに沿って走行する搬送車、オーバーヘッドホイストで搬送される搬送車及び前記オーバーヘッドホイスト搬送サブシステムに含まれているトラックにより前記オーバーヘッドホイストを動かす工程をさらに含み、前記トラックの少なくとも一部が前記貯蔵ユニットの上位領域にある前記選ばれた貯蔵容器の実質的な直上位置に位置するようになっている請求項21の方法。
- 前記選ばれた貯蔵容器を前記貯蔵ユニットに含まれている回転コンベヤ機構により前記貯蔵ユニットの側面にそって第1の位置へ動かし、これによって前記オーバーヘッドホイストが前記選ばれた貯蔵容器にそう第2の位置から前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットにアクセスできるようになる工程をさらに含む請求項15の方法。
- トラックにそって走行する搬送車、オーバーホイストが搬送する搬送車及び前記オーバーヘッドホイスト搬送サブシステムに含まれているトラックにより前記オーバーヘッドホイストを動かす工程をさらに含み、前記トラックの少なくとも一部が前記貯蔵ユニットの側面に沿う第1の位置に近接して前記貯蔵容器と実質的に平行に位置するようになっている請求項23の方法。
- 前記オーバーヘッドホイストのグリッパー部により前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットをグリップする工程をさらに含む請求項15の方法。
- 前記オーバーヘッドホイストのグリッパー部により前記少なくとも一つのマテリアル・ユニットをグリップする工程をさらに含み、前記マテリアル・ユニットは、カセットポッドを備えている請求項25の方法。
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US6540466B2 (en) * | 1996-12-11 | 2003-04-01 | Applied Materials, Inc. | Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers |
US20020153578A1 (en) * | 2001-03-01 | 2002-10-24 | Ravinder Aggarwal | Wafer buffering system |
EP2790210A3 (en) | 2002-06-19 | 2014-12-31 | Murata Machinery, Ltd. | Automated material handling system |
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US20040101386A1 (en) * | 2002-11-22 | 2004-05-27 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Vertical carousel with top and side access stations |
US6990721B2 (en) * | 2003-03-21 | 2006-01-31 | Brooks Automation, Inc. | Growth model automated material handling system |
US20050038561A1 (en) * | 2003-08-12 | 2005-02-17 | Kai-Chi Lin | Method, system and computer-readable medium for operating a robot in an AMHS |
JP4045451B2 (ja) | 2003-12-26 | 2008-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4123383B2 (ja) * | 2004-08-12 | 2008-07-23 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP2006051886A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
JP4296601B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2009-07-15 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
US7410340B2 (en) * | 2005-02-24 | 2008-08-12 | Asyst Technologies, Inc. | Direct tool loading |
JP4221603B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
US20070059144A1 (en) * | 2005-09-14 | 2007-03-15 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for a transfer station |
KR100793094B1 (ko) * | 2005-09-23 | 2008-01-10 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 장치 및 그의 구동 방법 |
US7780392B2 (en) * | 2005-10-27 | 2010-08-24 | Muratec Automation Co., Ltd. | Horizontal array stocker |
EP1945541B1 (en) * | 2005-11-07 | 2013-04-10 | Brooks Automation, Inc. | Transport system |
CN100435310C (zh) * | 2005-12-19 | 2008-11-19 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体制造用自动化物料运输系统 |
JP2007191235A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
US20070289843A1 (en) * | 2006-04-18 | 2007-12-20 | Barry Kitazumi | Conveyor System Including Offset Section |
US8308418B2 (en) | 2006-05-09 | 2012-11-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | High efficiency buffer stocker |
JP4697879B2 (ja) * | 2006-05-09 | 2011-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | サーバ装置、およびプログラム |
JP4643495B2 (ja) * | 2006-06-06 | 2011-03-02 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置 |
WO2008024225A2 (en) | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Brooks Automation, Inc. | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
US20080053794A1 (en) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Brain Michael D | Conveyor transfer system |
US20080050208A1 (en) * | 2006-08-25 | 2008-02-28 | Barry Kitazumi | High speed transporter including horizontal belt |
JP4904995B2 (ja) * | 2006-08-28 | 2012-03-28 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート装置 |
US7740437B2 (en) * | 2006-09-22 | 2010-06-22 | Asm International N.V. | Processing system with increased cassette storage capacity |
JP4389181B2 (ja) | 2007-03-07 | 2009-12-24 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
JP4378655B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-12-09 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
JP5088468B2 (ja) | 2007-03-09 | 2012-12-05 | 村田機械株式会社 | 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム |
US7585142B2 (en) | 2007-03-16 | 2009-09-08 | Asm America, Inc. | Substrate handling chamber with movable substrate carrier loading platform |
TWI481539B (zh) * | 2007-12-25 | 2015-04-21 | Murata Machinery Ltd | 保管庫以及出入庫方法 |
JP2010111476A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Muratec Automation Co Ltd | 保管庫及び入出庫方法 |
US9048274B2 (en) * | 2008-12-08 | 2015-06-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Portable stocker and method of using same |
US8882433B2 (en) | 2009-05-18 | 2014-11-11 | Brooks Automation, Inc. | Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems |
CN102460675B (zh) * | 2009-05-18 | 2015-04-29 | 布鲁克斯自动化公司 | 与基片容器存储系统交接的集成系统 |
KR101716524B1 (ko) * | 2009-05-18 | 2017-03-14 | 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드 | 기판 컨테이너 보관 시스템 |
JP5391882B2 (ja) * | 2009-07-08 | 2014-01-15 | 株式会社Ihi | 搬送装置及び搬送装置制御方法 |
TWI496732B (zh) * | 2009-07-31 | 2015-08-21 | Murata Machinery Ltd | 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置 |
US8459922B2 (en) * | 2009-11-13 | 2013-06-11 | Brooks Automation, Inc. | Manipulator auto-teach and position correction system |
EP2581327B1 (en) * | 2010-06-10 | 2019-10-02 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system and method of communication in conveyance system |
US9187260B2 (en) * | 2010-11-04 | 2015-11-17 | Murata Machinery, Ltd. | Conveying system and conveying method |
US9190304B2 (en) * | 2011-05-19 | 2015-11-17 | Brooks Automation, Inc. | Dynamic storage and transfer system integrated with autonomous guided/roving vehicle |
JP5472209B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2014-04-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP5674041B2 (ja) | 2011-08-11 | 2015-02-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US8888434B2 (en) | 2011-09-05 | 2014-11-18 | Dynamic Micro System | Container storage add-on for bare workpiece stocker |
US9105760B2 (en) * | 2011-11-07 | 2015-08-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Pick-and-place tool for packaging process |
JP5617868B2 (ja) * | 2012-04-11 | 2014-11-05 | 村田機械株式会社 | 搬送装置 |
US9558978B2 (en) * | 2012-05-04 | 2017-01-31 | Kla-Tencor Corporation | Material handling with dedicated automated material handling system |
US9520313B2 (en) * | 2012-06-08 | 2016-12-13 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system and temporary storage method of articles in conveyance system |
CN103274215A (zh) * | 2013-05-09 | 2013-09-04 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 设备前端装置和硅片盒的储运方法 |
TWI560125B (en) * | 2013-10-15 | 2016-12-01 | Inotera Memories Inc | Overhead hoist transport system |
US9444004B1 (en) * | 2014-05-02 | 2016-09-13 | Deployable Space Systems, Inc. | System and method for producing modular photovoltaic panel assemblies for space solar arrays |
KR101999836B1 (ko) * | 2014-08-26 | 2019-07-12 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 분류 시스템과 분류 방법 |
US10332770B2 (en) | 2014-09-24 | 2019-06-25 | Sandisk Technologies Llc | Wafer transfer system |
US10177020B2 (en) | 2015-02-07 | 2019-01-08 | Kla-Tencor Corporation | System and method for high throughput work-in-process buffer |
US9617075B2 (en) | 2015-03-24 | 2017-04-11 | Joseph Porat | System and method for overhead warehousing |
DE102015009004A1 (de) | 2015-06-05 | 2016-12-08 | Solaero Technologies Corp. | Automatisierte Anordnung und Befestigung von Solarzellen auf Paneelen für Weltraumanwendungen |
CN105035717B (zh) | 2015-06-23 | 2019-09-06 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 装卸卡匣的系统和装卸卡匣的方法 |
US10276742B2 (en) | 2015-07-09 | 2019-04-30 | Solaero Technologies Corp. | Assembly and mounting of solar cells on space vehicles or satellites |
NO340577B1 (en) * | 2015-09-04 | 2017-05-15 | Jakob Hatteland Logistics As | Method for fetching a target bin stored in a storage system and a storage system which includes a control device operating in accordance with the method |
CN106200574B (zh) * | 2016-07-01 | 2019-02-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种自动派送方法及系统 |
US11052926B2 (en) | 2016-09-26 | 2021-07-06 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transport system and overhead transport vehicle |
US10497596B2 (en) * | 2016-10-24 | 2019-12-03 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead manufacturing, processing and storage system |
JP6819224B2 (ja) * | 2016-10-31 | 2021-01-27 | 株式会社ダイフク | 搬送車 |
CN106444781A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-02-22 | 江苏智石科技有限公司 | 一种自主避障的料盒运输车 |
CN106406318A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-02-15 | 江苏智石科技有限公司 | 一种基于射频信号的智能料盒运输车 |
US10029865B1 (en) * | 2016-12-16 | 2018-07-24 | Amazon Technologies, Inc. | Parallel recirculating gantry system on a rollercoaster-style track |
US9988216B1 (en) | 2016-12-16 | 2018-06-05 | Amazon Technologies, Inc. | Parallel vertical recirculating gantry system |
CN106697698A (zh) * | 2017-01-18 | 2017-05-24 | 李伟民 | 一种循环回转仓库 |
CN106743024B (zh) * | 2017-01-23 | 2023-03-14 | 厦门积硕科技有限公司 | 一种多发多收工作站 |
WO2018225435A1 (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-13 | 村田機械株式会社 | 階間搬送システム及び階間搬送方法 |
NO344464B1 (en) * | 2017-10-19 | 2019-12-23 | Autostore Tech As | Vehicle for an automated storage and retrieval system and method of operating an automated storage and retrieval system |
JP6844715B2 (ja) * | 2017-11-02 | 2021-03-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム及び天井搬送車システムでの物品の一時保管方法 |
CA3083095A1 (en) * | 2017-11-21 | 2019-05-31 | Fulfil Solutions, Inc. | Product handling and packaging system |
US10418263B2 (en) | 2018-01-20 | 2019-09-17 | Boris Kesil | Overhead transportation system for transporting objects between multiple work stations |
CN108298317A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-07-20 | 苏州紫翔电子科技有限公司 | 一种自动上料装置、储料车、自动上料设备及自动上料方法 |
CN108820921B (zh) * | 2018-07-11 | 2023-10-13 | 合肥水泥研究设计院有限公司 | 一种用于散装物料多层存储运输的重载机器人 |
EP3875332B1 (en) * | 2018-10-29 | 2023-10-25 | Murata Machinery, Ltd. | Ceiling carrier and ceiling carrier system |
EP3882181A4 (en) * | 2018-12-26 | 2022-08-10 | Murata Machinery, Ltd. | STORAGE SYSTEM |
JP7003945B2 (ja) * | 2019-02-22 | 2022-02-10 | 村田機械株式会社 | 移載装置及びスタッカクレーン |
US11820593B2 (en) * | 2019-03-22 | 2023-11-21 | Murata Machinery Ltd. | Transport vehicle system |
TWI741274B (zh) * | 2019-03-29 | 2021-10-01 | 鴻勁精密股份有限公司 | 轉運裝置及其應用之電子元件作業設備 |
CN110065748B (zh) * | 2019-03-29 | 2021-02-09 | 杭州电子科技大学 | 一种机械手辅助的货物旋转式自动存取方法及立体货柜 |
US11912608B2 (en) | 2019-10-01 | 2024-02-27 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Glass manufacturing |
US11551959B2 (en) * | 2019-10-29 | 2023-01-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | System and method for automated wafer carrier handling |
CN111646075B (zh) * | 2020-05-20 | 2021-09-21 | 天津马赫科技有限公司 | 一种多工位转轮式小料半自动配料系统 |
CN111824659B (zh) * | 2020-07-13 | 2021-12-07 | 国网江苏省电力有限公司无锡供电分公司 | 一种电力金具用货架 |
KR20220060261A (ko) * | 2020-11-04 | 2022-05-11 | 세메스 주식회사 | 인터페이스 장치 및 이를 구비하는 컨테이너 이송 시스템 |
JP7294309B2 (ja) | 2020-12-18 | 2023-06-20 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN112678397B (zh) * | 2020-12-30 | 2021-12-07 | 深圳市顺达成后勤管理有限公司 | 一种自动化立体物流仓库及其运行方法 |
TWI764560B (zh) * | 2021-02-05 | 2022-05-11 | 國璽幹細胞應用技術股份有限公司 | 智能科技生物產品單根提取低溫儲存設備 |
CN115027820B (zh) * | 2021-03-03 | 2023-08-15 | 国玺干细胞应用技术股份有限公司 | 智能科技生物产品单根提取低温储存设备 |
CN113060458A (zh) * | 2021-03-12 | 2021-07-02 | 北京华兴长泰物联网技术研究院有限责任公司 | 一种自动取药机构及出药、售药机及其控制方法 |
US11830750B2 (en) | 2021-08-11 | 2023-11-28 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Storage apparatus, transporting device and transporting method for front opening unified pod |
CN115939001A (zh) * | 2021-08-11 | 2023-04-07 | 长鑫存储技术有限公司 | 晶圆载体的储存装置、搬送设备和方法 |
CN114348869B (zh) * | 2022-03-11 | 2022-05-24 | 太原矿机电气股份有限公司 | 一种用于煤矿单轨吊机车的旋转式起吊梁 |
CN114628046B (zh) * | 2022-03-14 | 2023-04-28 | 青岛市中心医院 | 一种基于智慧社区的智慧医疗系统及实现方法 |
CN114772120B (zh) * | 2022-03-30 | 2023-05-23 | 弥费科技(上海)股份有限公司 | 一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法 |
CN116487309B (zh) * | 2023-06-26 | 2023-08-22 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 一种多层轨道的多芯片组件多工位自动生产线及控制方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1045213A (ja) * | 1996-08-06 | 1998-02-17 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
JPH11214476A (ja) * | 1998-01-20 | 1999-08-06 | Ishikawa Seisakusho Ltd | 半導体製造装置におけるポッド供給装置 |
JPH11320471A (ja) * | 1998-05-20 | 1999-11-24 | Murata Mach Ltd | 移載装置 |
JP2000053237A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-22 | Shinko Electric Co Ltd | 搬送設備 |
WO2001048416A1 (en) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Infineon Technologies Sc300 Gmbh & Co. Kg | Light curtain system for establishing a protective light curtain, tool and system for processing objects and method for loading/unloading a tool |
WO2002035583A1 (en) * | 2000-10-25 | 2002-05-02 | Infineon Technologies Sc300 Gmbh & Co. Kg | Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier |
Family Cites Families (210)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US343293A (en) | 1886-06-08 | bowen | ||
US328408A (en) | 1885-10-13 | isbell | ||
US1352947A (en) | 1917-10-29 | 1920-09-14 | Jonathan P B Fiske | Process for handling clay products |
US2317689A (en) | 1941-04-21 | 1943-04-27 | Earl B Spencer | Underdrive for traveling cranes, monorails, and the like |
US2827189A (en) * | 1955-10-27 | 1958-03-18 | Robert N Sergeant | Lift truck attachment for handling drums |
US3049247A (en) | 1956-04-10 | 1962-08-14 | Jerome H Lemelson | Automated storage |
US3042227A (en) | 1958-09-26 | 1962-07-03 | Sea Land Service | Shipboard freight container transferring apparatus |
US3119501A (en) | 1961-10-10 | 1964-01-28 | Jerome H Lemelson | Automatic warehousing system |
US3422967A (en) | 1965-10-24 | 1969-01-21 | Peter A Aron | Automatic manipulator and positioning system |
US3467264A (en) * | 1966-07-19 | 1969-09-16 | Euclid Crane & Hoist Co The | Load transfer and storage mechanism |
US3499554A (en) | 1968-02-21 | 1970-03-10 | Commercial Affiliates | Stacker crane and warehouse system and method for stacking and storing rolls of material |
JPS4831521B1 (ja) | 1968-05-07 | 1973-09-29 | ||
US3750804A (en) | 1969-03-07 | 1973-08-07 | Triax Co | Load handling mechanism and automatic storage system |
US3531002A (en) | 1969-07-15 | 1970-09-29 | Triax Co | Automatic storage apparatus |
US3583584A (en) | 1969-08-18 | 1971-06-08 | Mcneil Corp | Warehousing |
US3701442A (en) | 1970-09-25 | 1972-10-31 | Mcneil Corp | Storage and retrieval apparatus |
US3700121A (en) * | 1971-02-22 | 1972-10-24 | Baker Perkins Inc | Rack loading and unloading apparatus |
US3762531A (en) | 1971-08-26 | 1973-10-02 | Eaton Corp | Load stacker |
CH542137A (de) * | 1972-04-19 | 1973-09-30 | Sperry Rand Corp | Einrichtung zur Verriegelung und Kontrolle der Verriegelung von Behältern für den Transport auf Trägern in einer Artikelaufbewahrungsanlage |
US3770137A (en) | 1972-09-01 | 1973-11-06 | I Slutsky | Overhead transporter and reloader |
US3968885A (en) * | 1973-06-29 | 1976-07-13 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for handling workpieces |
US4088232A (en) | 1974-04-01 | 1978-05-09 | Clark Equipment Co. | Apparatus with storage cells disposed adjacent vertical shafts having covers and a lift means movable thereabove |
US4190013A (en) | 1977-03-22 | 1980-02-26 | Otis Roger W | Floating dry storage facility for small boats |
US4398630A (en) | 1978-07-17 | 1983-08-16 | Brems John Henry | Workpiece vertical conveyor system |
US4243147A (en) | 1979-03-12 | 1981-01-06 | Twitchell Brent L | Three-dimensional lift |
US4311427A (en) * | 1979-12-21 | 1982-01-19 | Varian Associates, Inc. | Wafer transfer system |
JPS5763292A (en) | 1980-10-04 | 1982-04-16 | Nisshin Steel Co Ltd | Original printing plate holding member and manufacture thereof |
US4457661A (en) * | 1981-12-07 | 1984-07-03 | Applied Materials, Inc. | Wafer loading apparatus |
US4682927A (en) * | 1982-09-17 | 1987-07-28 | Nacom Industries, Incorporated | Conveyor system |
US4540326A (en) * | 1982-09-17 | 1985-09-10 | Nacom Industries, Inc. | Semiconductor wafer transport system |
US4642017A (en) * | 1982-09-30 | 1987-02-10 | Amca International Corporation | Automated in-process pipe storage and retrieval system |
JPS5974905A (ja) | 1982-10-25 | 1984-04-27 | 株式会社クボタ | 走行車輌 |
US4541769A (en) | 1983-07-18 | 1985-09-17 | Twin City Monorail | Stacker crane fork mounting system |
US4624017A (en) * | 1983-12-20 | 1986-11-25 | Foletta John D | Automatic flushing system |
US4668484A (en) * | 1984-02-13 | 1987-05-26 | Elliott David J | Transport containers for semiconductor wafers |
DE3485800T2 (de) * | 1984-12-27 | 1993-02-11 | Inst Rech De La Construction N | Verfahren zur behandlung grosser objekte. |
DE3504751A1 (de) * | 1985-02-08 | 1986-08-14 | Bellheimer Metallwerk GmbH, 6729 Bellheim | Umlaufregal |
US4801236A (en) * | 1985-04-06 | 1989-01-31 | Karl Mengele & Sohne Gmbh & Co. | Mechanical inventory storage and delivery cabinet |
JPH0227838Y2 (ja) | 1985-08-23 | 1990-07-26 | ||
US4776744A (en) * | 1985-09-09 | 1988-10-11 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for wafer handling in semiconductor process equipment |
US4816116A (en) * | 1985-10-24 | 1989-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor wafer transfer method and arm mechanism |
JPS62131536A (ja) | 1985-12-03 | 1987-06-13 | Nec Corp | 素子分離領域の形成方法 |
JPS62136098A (ja) | 1985-12-09 | 1987-06-19 | 富士通株式会社 | 高密度配線基板 |
SU1326512A1 (ru) | 1986-03-25 | 1987-07-30 | Предприятие П/Я М-5588 | Устройство дл перемещени и перегрузки |
US4756657A (en) | 1986-04-04 | 1988-07-12 | Interlake, Inc. | Stacker bin shuttle |
US5083262A (en) | 1986-04-28 | 1992-01-21 | International Business Machines Corporation | Language bindings for graphics functions to enable one application program to be used in different processing environments |
US4934767A (en) | 1986-05-16 | 1990-06-19 | Thermco Systems, Inc. | Semiconductor wafer carrier input/output drawer |
JPH06104554B2 (ja) | 1986-06-13 | 1994-12-21 | 村田機械株式会社 | 天井自走車 |
US5380139A (en) | 1986-06-30 | 1995-01-10 | Kone Oy | Load handling method and system |
JPH0834235B2 (ja) | 1986-07-31 | 1996-03-29 | 清水建設株式会社 | ウエハの天吊移送ロボット |
US4886412A (en) * | 1986-10-28 | 1989-12-12 | Tetron, Inc. | Method and system for loading wafers |
US4741109A (en) * | 1986-11-07 | 1988-05-03 | Sentrol Systems, Ltd. | Roller caliper gauge |
GB2198406B (en) * | 1986-11-26 | 1990-12-12 | Shinko Electric Co Ltd | Railway carrier apparatus for semiconductor wafers |
US4775281A (en) * | 1986-12-02 | 1988-10-04 | Teradyne, Inc. | Apparatus and method for loading and unloading wafers |
US5080549A (en) * | 1987-05-11 | 1992-01-14 | Epsilon Technology, Inc. | Wafer handling system with Bernoulli pick-up |
JPH0620388B2 (ja) | 1987-08-11 | 1994-03-23 | 株式会社クボタ | 脱穀機の選別搬送装置 |
IT1222730B (it) | 1987-09-25 | 1990-09-12 | Savio Spa | Metodo ed apparecchio per la rimozione di bobine di filato e loro deposito in un carrello a pioli |
US4802080A (en) | 1988-03-18 | 1989-01-31 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Information Systems | Power transfer circuit including a sympathetic resonator |
JPH0653578B2 (ja) | 1988-04-01 | 1994-07-20 | 松下電器産業株式会社 | 光学ガラス素子の成形方法 |
JPH01285512A (ja) | 1988-05-12 | 1989-11-16 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫の在庫管理システム |
US5128912A (en) | 1988-07-14 | 1992-07-07 | Cygnet Systems Incorporated | Apparatus including dual carriages for storing and retrieving information containing discs, and method |
US5064337A (en) * | 1988-07-19 | 1991-11-12 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers |
DE3825401A1 (de) * | 1988-07-22 | 1990-01-25 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Umlaufregal |
JPH0227838U (ja) * | 1988-08-10 | 1990-02-22 | ||
JP3212087B2 (ja) * | 1988-10-21 | 2001-09-25 | 株式会社日立製作所 | 多品種搬送方法及び装置 |
US5536128A (en) * | 1988-10-21 | 1996-07-16 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for carrying a variety of products |
JPH02117506A (ja) | 1988-10-24 | 1990-05-02 | Itoki Kosakusho Co Ltd | 自動保管検索装置 |
DE3906718A1 (de) * | 1989-03-03 | 1990-09-06 | Palitex Project Co Gmbh | Transport- und handhabungssystem fuer vielstellen-textilmaschinen insbesondere zwirnmaschinen |
JPH0331103A (ja) * | 1989-06-28 | 1991-02-08 | Murata Mach Ltd | 物品収納庫 |
JPH0818648B2 (ja) * | 1989-12-06 | 1996-02-28 | 日立造船株式会社 | トンネルセグメントの一時保管・搬入設備 |
JPH03225847A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハカセツトストツカ |
JP2616212B2 (ja) * | 1990-10-31 | 1997-06-04 | 日本電気株式会社 | 搬送システム |
SE9004006L (sv) * | 1990-12-14 | 1992-01-20 | Volvo Ab | Anordning foer oeverfoering av arbetsstycken fraan en maskin till en annan, foeretraedesvis pressar |
JPH0577183A (ja) | 1991-09-24 | 1993-03-30 | Toshiba Corp | ロボツトの制御装置 |
JP2548081Y2 (ja) | 1992-01-13 | 1997-09-17 | 村田機械株式会社 | クリーン搬送システム |
JPH05186050A (ja) | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 版材の吊り上げ移載装置 |
JPH0577183U (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-19 | 禎宏 城 | 天井走行型ホイスト |
JPH05278853A (ja) | 1992-03-31 | 1993-10-26 | Murata Mach Ltd | 天井走行台車 |
JP2810592B2 (ja) | 1992-07-06 | 1998-10-15 | シャープ株式会社 | ディジタル情報再生装置 |
JPH0653578A (ja) | 1992-07-30 | 1994-02-25 | I N R Kenkyusho:Kk | レーザー装置 |
JPH0653835A (ja) | 1992-08-03 | 1994-02-25 | Mitsubishi Electric Corp | D/a変換装置 |
JPH0661487A (ja) | 1992-08-05 | 1994-03-04 | Fuji Xerox Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
DE4237437A1 (de) | 1992-11-06 | 1994-05-11 | Signode Bernpak Gmbh | Maschine zum Umreifen von Packstücken |
JPH06156621A (ja) * | 1992-11-13 | 1994-06-03 | Daifuku Co Ltd | 自動倉庫 |
JPH0653578U (ja) | 1992-12-22 | 1994-07-22 | 近藤 彰宏 | 荷役装置 |
JP2593348Y2 (ja) | 1992-12-26 | 1999-04-05 | 株式会社ショーワ | 油圧緩衝器のサブタンク構造 |
JPH0661487U (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-30 | 株式会社工研 | キャリヤロボット |
US5655870A (en) | 1993-03-01 | 1997-08-12 | Kawasaki Steel Corporation | Stacker crane in a warehouse |
US5417537A (en) * | 1993-05-07 | 1995-05-23 | Miller; Kenneth C. | Wafer transport device |
US5570990A (en) * | 1993-11-05 | 1996-11-05 | Asyst Technologies, Inc. | Human guided mobile loader stocker |
JP3246642B2 (ja) | 1994-05-16 | 2002-01-15 | 特種製紙株式会社 | 段積みしたシート状包装体の自動ピッキング方法及び装置 |
JP3331746B2 (ja) | 1994-05-17 | 2002-10-07 | 神鋼電機株式会社 | 搬送システム |
JPH0817894A (ja) * | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板表面処理装置 |
JPH08181184A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Hitachi Ltd | 半導体製造ラインの構成方法 |
US5741109A (en) | 1995-07-07 | 1998-04-21 | Pri Automation, Inc. | Wafer transfer system having vertical lifting capability |
US5647718A (en) * | 1995-07-07 | 1997-07-15 | Pri Automation, Inc. | Straight line wafer transfer system |
US5615988A (en) * | 1995-07-07 | 1997-04-01 | Pri Automation, Inc. | Wafer transfer system having rotational capability |
JPH0936196A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | クリーンルーム内の製品搬送機構 |
JP3019247B2 (ja) * | 1995-09-08 | 2000-03-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車 |
US5820237A (en) * | 1995-10-27 | 1998-10-13 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Vertical stacking system using controlled access method |
US5738574A (en) * | 1995-10-27 | 1998-04-14 | Applied Materials, Inc. | Continuous processing system for chemical mechanical polishing |
US5751581A (en) * | 1995-11-13 | 1998-05-12 | Advanced Micro Devices | Material movement server |
JP3887837B2 (ja) * | 1996-01-24 | 2007-02-28 | アシスト シンコー株式会社 | 密閉コンテナの開閉システム |
JP3669057B2 (ja) * | 1996-06-03 | 2005-07-06 | アシスト シンコー株式会社 | ストッカへの搬送システム |
JP3225847B2 (ja) | 1996-08-30 | 2001-11-05 | 株式会社日立製作所 | 半導体モジュール |
JP3067682B2 (ja) | 1997-03-13 | 2000-07-17 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP3067656B2 (ja) * | 1996-09-30 | 2000-07-17 | 村田機械株式会社 | ワーク搬送システム |
TW348162B (en) | 1996-09-30 | 1998-12-21 | Murada Kikai Kk | Work carrying system |
US6078845A (en) * | 1996-11-25 | 2000-06-20 | Schlumberger Technologies, Inc. | Apparatus for carrying semiconductor devices |
JP2968742B2 (ja) * | 1997-01-24 | 1999-11-02 | 山形日本電気株式会社 | 自動保管棚及び自動保管方法 |
US6092978A (en) | 1997-03-12 | 2000-07-25 | Fishchersips, Inc. | Alignment device used to manufacture a plurality of structural insulated panels |
JP3622101B2 (ja) * | 1997-03-13 | 2005-02-23 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
US5980183A (en) * | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system |
JPH1116981A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US6579052B1 (en) | 1997-07-11 | 2003-06-17 | Asyst Technologies, Inc. | SMIF pod storage, delivery and retrieval system |
US5893795A (en) * | 1997-07-11 | 1999-04-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for moving a cassette |
US5993148A (en) * | 1997-07-22 | 1999-11-30 | Micron Technology, Inc. | Article transfer methods |
JPH1159829A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハカセット搬送装置、半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ、ならびに半導体ウェハカセット搬送装置で用いられるストッカ入庫作業制御方法、ストッカ出庫作業制御方法、自動搬送車制御方法、およびストッカ在庫照合方法 |
WO1999013495A2 (en) | 1997-09-12 | 1999-03-18 | Novus Corporation | Sealed cabinet for storage of semiconductor wafers |
JP3637947B2 (ja) | 1997-09-30 | 2005-04-13 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
US6002840A (en) * | 1997-09-30 | 1999-12-14 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus |
JPH11121582A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備 |
US5947802A (en) * | 1997-11-05 | 1999-09-07 | Aplex, Inc. | Wafer shuttle system |
EP2099061A3 (en) * | 1997-11-28 | 2013-06-12 | Mattson Technology, Inc. | Systems and methods for low contamination, high throughput handling of workpieces for vacuum processing |
JPH11180505A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-06 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
JPH11222122A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 分岐軌道を備えた搬送設備 |
US6035245A (en) * | 1998-03-24 | 2000-03-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Automated material handling system method and arrangement |
TW568879B (en) | 1998-04-01 | 2004-01-01 | Asyst Shinko Inc | Suspension type hoist |
JPH11349280A (ja) | 1998-06-05 | 1999-12-21 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式搬送装置 |
US6102647A (en) * | 1998-06-26 | 2000-08-15 | Intel Corporation | Cart for transferring objects |
JP2000016521A (ja) | 1998-07-02 | 2000-01-18 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
JP4229497B2 (ja) * | 1998-09-07 | 2009-02-25 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および基板の処理方法 |
US7023440B1 (en) | 1998-09-14 | 2006-04-04 | Fisher Rosemount Systems, Inc. | Methods and apparatus for integrated display of process events and trend data |
KR100646906B1 (ko) * | 1998-09-22 | 2006-11-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
US6604624B2 (en) | 1998-09-22 | 2003-08-12 | Hirata Corporation | Work conveying system |
US20010014268A1 (en) * | 1998-10-28 | 2001-08-16 | Charles S. Bryson | Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage |
JP4221789B2 (ja) | 1998-11-12 | 2009-02-12 | アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 | ホイスト付天井走行搬送装置 |
US6068437A (en) * | 1998-11-24 | 2000-05-30 | Lab-Interlink | Automated laboratory specimen organizer and storage unit |
JP2000161457A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Shinko Electric Co Ltd | 直進/回転機構 |
US6283692B1 (en) * | 1998-12-01 | 2001-09-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
JP3375907B2 (ja) * | 1998-12-02 | 2003-02-10 | 神鋼電機株式会社 | 天井走行搬送装置 |
US6240335B1 (en) | 1998-12-14 | 2001-05-29 | Palo Alto Technologies, Inc. | Distributed control system architecture and method for a material transport system |
US6435330B1 (en) | 1998-12-18 | 2002-08-20 | Asyai Technologies, Inc. | In/out load port transfer mechanism |
JP2000188316A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-04 | Hitachi Ltd | 搬送方法および装置ならびにそれを用いた半導体装置の製造方法 |
DE19900804C2 (de) | 1999-01-12 | 2000-10-19 | Siemens Ag | Fördersystem |
US6356256B1 (en) | 1999-01-19 | 2002-03-12 | Vina Technologies, Inc. | Graphical user interface for display of statistical data |
JP4267742B2 (ja) * | 1999-03-12 | 2009-05-27 | 平田機工株式会社 | 天井搬送装置及びこれを用いた物流ラインシステム |
US6304051B1 (en) | 1999-03-15 | 2001-10-16 | Berkeley Process Control, Inc. | Self teaching robotic carrier handling system |
JP4288747B2 (ja) | 1999-04-01 | 2009-07-01 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送装置 |
US6361422B1 (en) * | 1999-06-15 | 2002-03-26 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for transferring semiconductor substrates using an input module |
TW466153B (en) | 1999-06-22 | 2001-12-01 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for measuring a pad profile and closed loop control of a pad conditioning process |
JP2001031216A (ja) | 1999-07-26 | 2001-02-06 | Murata Mach Ltd | 搬送システム |
US6308818B1 (en) * | 1999-08-02 | 2001-10-30 | Asyst Technologies, Inc. | Transport system with integrated transport carrier and directors |
EP1079421A1 (en) | 1999-08-12 | 2001-02-28 | Semiconductor 300 GmbH & Co. KG | Overhead transport system for open cassette transport |
JP3769425B2 (ja) | 1999-09-21 | 2006-04-26 | シャープ株式会社 | 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 |
US7330886B2 (en) | 1999-10-27 | 2008-02-12 | American Power Conversion Corporation | Network appliance management |
JP3458083B2 (ja) * | 1999-11-17 | 2003-10-20 | 株式会社半導体先端テクノロジーズ | 基板収納治具搬送システム |
JP3716693B2 (ja) | 1999-12-06 | 2005-11-16 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
JP2001171970A (ja) | 1999-12-20 | 2001-06-26 | Tsubakimoto Chain Co | 天井走行搬送車におけるワーク旋回方法 |
WO2001055805A1 (de) | 2000-01-29 | 2001-08-02 | Abb Research Ltd. | System und verfahren zur ermittlung der produktionsanlagen-effektivität, von fehlerereignissen und der fehlerursachen |
US6421571B1 (en) | 2000-02-29 | 2002-07-16 | Bently Nevada Corporation | Industrial plant asset management system: apparatus and method |
JP2001242978A (ja) | 2000-03-02 | 2001-09-07 | Yokogawa Electric Corp | グラフ上のデータの属性を表示する方法および装置 |
US20020025244A1 (en) * | 2000-04-12 | 2002-02-28 | Kim Ki-Sang | Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
TW514618B (en) | 2000-04-12 | 2002-12-21 | Samsung Electronics Co Ltd | A transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same |
US6303398B1 (en) * | 2000-05-04 | 2001-10-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and system of managing wafers in a semiconductor device production facility |
US6564120B1 (en) | 2000-05-11 | 2003-05-13 | Cryo-Cell International, Inc. | Storage system, particularly with automatic insertion and retrieval |
US6364593B1 (en) * | 2000-06-06 | 2002-04-02 | Brooks Automation | Material transport system |
US6450318B1 (en) * | 2000-06-16 | 2002-09-17 | Tec Engineering Corporation | Overhead monorail system |
US6530735B1 (en) * | 2000-06-22 | 2003-03-11 | Amkor Technology, Inc. | Gripper assembly |
US6695120B1 (en) | 2000-06-22 | 2004-02-24 | Amkor Technology, Inc. | Assembly for transporting material |
US20020018203A1 (en) * | 2000-08-11 | 2002-02-14 | Battle David R. | Spectrophotometer system having active pixel array |
US6677690B2 (en) | 2001-02-02 | 2004-01-13 | Asyst Technologies, Inc. | System for safeguarding integrated intrabay pod delivery and storage system |
TW522292B (en) | 2001-02-06 | 2003-03-01 | Asml Us Inc | Inertial temperature control system and method |
JP2002270662A (ja) | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 基板処理装置、基板処理システム及び基板搬送方法 |
US6453574B1 (en) * | 2001-03-28 | 2002-09-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Method for aligning a cassette pod to an overhead hoist transport system |
US6519502B2 (en) * | 2001-03-28 | 2003-02-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Apparatus and method for positioning a cassette pod onto a loadport by an overhead hoist transport system |
US20020187024A1 (en) | 2001-06-12 | 2002-12-12 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a carrier |
US20020197136A1 (en) * | 2001-06-21 | 2002-12-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for aligning the loading/unloading of a wafer cassette to/from a loadport by an overhead hoist transport system |
US6904561B1 (en) | 2001-07-19 | 2005-06-07 | Microsoft Corp. | Integrated timeline and logically-related list view |
JP2003188229A (ja) | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Hitachi Kasado Eng Co Ltd | ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法 |
US6775918B2 (en) * | 2002-02-06 | 2004-08-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Wafer cassette pod equipped with position sensing device |
US6726429B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-04-27 | Vertical Solutions, Inc. | Local store for a wafer processing station |
US6812926B1 (en) | 2002-02-26 | 2004-11-02 | Microsoft Corporation | Displaying data containing outlying data items |
US6715978B2 (en) | 2002-04-22 | 2004-04-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Interbay transfer interface between an automated material handling system and a stocker |
US6881020B2 (en) | 2002-04-26 | 2005-04-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Pod transfer system having retractable mast and rotatable and vertically movable hoist |
EP2790210A3 (en) | 2002-06-19 | 2014-12-31 | Murata Machinery, Ltd. | Automated material handling system |
US20040191032A1 (en) | 2002-07-19 | 2004-09-30 | R. Foulke Development Company, Llc | Bi-directional arm and storage system |
US7570262B2 (en) | 2002-08-08 | 2009-08-04 | Reuters Limited | Method and system for displaying time-series data and correlated events derived from text mining |
US6748282B2 (en) * | 2002-08-22 | 2004-06-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Flexible dispatching system and method for coordinating between a manual automated dispatching mode |
KR100880291B1 (ko) | 2002-10-11 | 2009-01-23 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 자동 재료 핸들링 시스템 |
US20040101386A1 (en) * | 2002-11-22 | 2004-05-27 | Bellheimer Metallwerk Gmbh | Vertical carousel with top and side access stations |
SE524799C2 (sv) | 2002-11-29 | 2004-10-05 | Zealcore Embedded Solutions Ab | Förfarande och dataprogram för debuggning av en programkod |
JP3991852B2 (ja) * | 2002-12-09 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
JP4045451B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2008-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
US7292245B2 (en) | 2004-01-20 | 2007-11-06 | Sensitron, Inc. | Method and apparatus for time series graph display |
US7446769B2 (en) | 2004-02-10 | 2008-11-04 | International Business Machines Corporation | Tightly-coupled synchronized selection, filtering, and sorting between log tables and log charts |
US7565417B2 (en) | 2004-05-20 | 2009-07-21 | Rowady Jr E Paul | Event-driven financial analysis interface and system |
US20060074598A1 (en) | 2004-09-10 | 2006-04-06 | Emigholz Kenneth F | Application of abnormal event detection technology to hydrocracking units |
US7689918B2 (en) | 2005-07-19 | 2010-03-30 | Cisco Technology, Inc. | Graphical indicator for the multiplexed display of line graph information |
US20080313560A1 (en) | 2005-09-16 | 2008-12-18 | Dalal Pankaj B | Financial Decision Systems |
US7746887B2 (en) | 2006-04-12 | 2010-06-29 | Siemens Industry, Inc. | Dynamic value reporting for wireless automated systems |
US8113844B2 (en) | 2006-12-15 | 2012-02-14 | Atellis, Inc. | Method, system, and computer-readable recording medium for synchronous multi-media recording and playback with end user control of time, data, and event visualization for playback control over a network |
JP5088468B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2012-12-05 | 村田機械株式会社 | 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム |
US7767767B2 (en) | 2007-10-01 | 2010-08-03 | Equistar Chemicals, Lp | Modification of polyethylene with ozone |
US7805320B2 (en) | 2008-01-10 | 2010-09-28 | General Electric Company | Methods and systems for navigating a large longitudinal dataset using a miniature representation in a flowsheet |
US8271892B2 (en) | 2008-07-02 | 2012-09-18 | Icharts, Inc. | Creation, sharing and embedding of interactive charts |
US8269620B2 (en) | 2008-12-19 | 2012-09-18 | Honeywell Internatonal Inc. | Alarm trend summary display system and method |
JP2011115010A (ja) | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Sinfonia Technology Co Ltd | 電気機器 |
JP5537245B2 (ja) | 2010-04-28 | 2014-07-02 | 株式会社ミクニ | 冷却液調整弁 |
JP2014003564A (ja) | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Panasonic Corp | 電子機器と、それを搭載した移動装置 |
-
2003
- 2003-03-20 EP EP14176254.2A patent/EP2790210A3/en not_active Withdrawn
- 2003-03-20 KR KR1020047020530A patent/KR100882376B1/ko active IP Right Grant
- 2003-03-20 JP JP2004515615A patent/JP4831521B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-20 TW TW092106180A patent/TWI286989B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-03-20 EP EP03761012A patent/EP1535143A4/en not_active Withdrawn
- 2003-03-20 CN CN2009101406473A patent/CN101648642B/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-20 CN CNB038144751A patent/CN100520706C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-20 US US10/393,526 patent/US7165927B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-03-20 WO PCT/US2003/008528 patent/WO2004001582A1/en active Application Filing
-
2007
- 2007-01-12 US US11/652,707 patent/US7771153B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2010
- 2010-03-15 US US12/724,194 patent/US8197172B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2011
- 2011-05-23 JP JP2011115010A patent/JP5796886B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2011-10-21 JP JP2011231707A patent/JP5796892B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2012
- 2012-06-08 US US13/492,341 patent/US10381251B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2012-12-10 JP JP2012269548A patent/JP5435414B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2013
- 2013-11-14 US US14/080,590 patent/US10147627B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2014
- 2014-01-10 JP JP2014003564A patent/JP5892479B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2015
- 2015-01-26 JP JP2015012714A patent/JP6256706B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2015-06-30 US US14/788,173 patent/US9620397B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2015-06-30 US US14/755,928 patent/US10141212B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2015-06-30 US US14/788,464 patent/US9881823B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1045213A (ja) * | 1996-08-06 | 1998-02-17 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
JPH11214476A (ja) * | 1998-01-20 | 1999-08-06 | Ishikawa Seisakusho Ltd | 半導体製造装置におけるポッド供給装置 |
JPH11320471A (ja) * | 1998-05-20 | 1999-11-24 | Murata Mach Ltd | 移載装置 |
JP2000053237A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-22 | Shinko Electric Co Ltd | 搬送設備 |
WO2001048416A1 (en) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Infineon Technologies Sc300 Gmbh & Co. Kg | Light curtain system for establishing a protective light curtain, tool and system for processing objects and method for loading/unloading a tool |
WO2002035583A1 (en) * | 2000-10-25 | 2002-05-02 | Infineon Technologies Sc300 Gmbh & Co. Kg | Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier |
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