TWI286989B - Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists - Google Patents

Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists Download PDF

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Description

1286989 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本申請專利範圍涵蓋先前2002年6月19曰申請的美國暫時 專利申請號碼60/389,993，題目為”根據垂直輸送帶及高架 升降機之組合用於半導體製造之自動化材料處理系統 (Automated Material Handling System for Semiconductor Manufacturing based on a Combination of Vertical Carousels and Overhead Hoists)’’，及2002年10月11曰申請的美國暫時專利 申請號碼 60/417,993，題目為’Offset Zero Footprint Storage (ZFS) Using Moving Shelves or a translating Hoist Platformf, ° 【先前技術】 本發明一般關於自動化材料處理系統，及更特別地關於 自動化材料處理系統其允許高架升降機直接從WIP儲存單 元存取在製品（WIP)零件以增加整體材料處理系統的效率。 已知的自動化材料處理系統使用WIP儲存單元及高架升 降機在一產品製造環境中之各種工作站及/或製程機器之 間儲存與輸送WIP零件。例如，該自動化材料處理系統 (AMHS)—般使用在積體電路（1C)晶片的製造中。一典型的 1C晶片製造製程包含各種步驟包括沉積，清潔，離子佈 植，餘刻，及保護層步驟。進一步’製造1C晶片製程這些 步驟的每一步驟通常是利用不同的製程機器如化學氣相沉 積腔體，離子佈植腔體，或一蝕刻機實施。據此，該WIP 零件，例如，半導體晶圓，典变地在各種工作站及/或製 程機器之間輸送好幾次以實施製造IC晶片所需的各種製程步 O:\84\84461-950301.DOC 5 1286989
用來|L k IC a日片的傳統AMHS包括複數個wip儲存單元 (也稱做存櫃）用來儲存半導體晶圓，及一個或多個高 架升降機輸送載具用來輸送製造K：晶片現場上各種工作站 與製程機n之間的日日日圓。儲存在WIP儲存櫃中的半導體晶 圓典型地f進卡莢中如前開式―體卡莢（FQUP)，其接著被 轉移到一雨架升降機輸送載具配置在-懸吊軌道上運輸。 在傳統的AMHS，每個儲存櫃典型地提供複數個主動的輸 入/輸出口其工作上與一内部機械臂(其可提供至三或更多 支移動軸）連接，用來進/出儲存櫃裝卸FOUP。該FOUP利 用同木升降機輸送載具進/出輸入/輸出口被選取或放入。 傳統AMHS的一缺點是整個系統的效率受到機械臂在 WIP儲存櫃的主動輸入/輸出口存取FOUP所需時間的限 制。因為半導體晶圓一般脆弱的特性，嚴格限制機械臂正 系靶加的加速度。因此理由，典型地要求極少量時間用來 移動FOUP進出儲存櫃的輸入/輸出口。該極少量移動時間 通常決定儲存櫃的產量，其限令需要支應所需1(：晶片生產 規模的儲存櫃數目與其AMHS的總成本。雖然AMHS的材 料處理效率可以利用增加在每個儲存櫃上的主動輸入/輸 出口之數目以及利用允許高架輸送載具同時存取多個輸入 /輸出口來增進，提供更多輸入/輸出口大大增加儲存櫃的成 本。 並且’在具有複數個輸入/輸出口儲存櫃中三或多軸内 4械為人的組合，每一個具有1- 3支移動軸，意指一典型 〇：\84\84461.95〇3〇i.d〇c 5 1286989 的:存櫃可以具有5至16支移動軸。對儲存材料這是一個 非常複雜，低可靠度，及高成本的解決方案。 〃因此需要有一自動材料處理系統克服傳統自動材料處理 系統的缺點以提供增進材料處理的效率。 【發明内容】 根據本發明’提供一種高效率自動化材料處理系統 (AMHS)允許一高架升降機直接進出一個或多個包括在系 統中的WIP儲存單元以裝卸在製品（Wlp)零件。 在-具體實施例，改進的AMHS包括—高架升降機輸送 次糸統及至少-垂直輸送帶WIP儲存單元（I，儲存則包括 複數個儲存倉。該高架升降機輸送次系統包括至少一^ 升降機輸送載具配置沿著至少—預定路線限定的懸吊= 運輸。該職I㈣㈣直輸送帶儲存櫃，其被配置容許 高架升降機直接從選擇的輸送帶儲存倉之一存取一個或^ 個WIP零件。在該第一具體實施例’該選擇的輸送帶儲存 倉包含所需的WIP批量實際上直接位於懸吊軌道之下的垂 直輸送帶儲存櫃的頂端。接著，高架升降機輸送載具沿著 懸吊軌道移到實際上直接在該選擇的輸送帶儲存倉之上的 位置。該高架升降機於是下降到選擇的儲存倉。最後，操 作高架升降機直接從輸送帶儲存倉挑選所需的替批量^ 或放入一個或多個WIP批量到輸送帶儲存倉内。
、在第二具體實施例’由懸吊執道限定的預定路線平行通 過垂直輸送帶WIP儲存櫃，其被配置容許高架升降機直接 從輸送帶儲存倉之-存取-個或多個WIP零件。該AMHS O:\84\8446I-950301.DOC 5 1286989 適當地相對於:=構，其與垂直輸送帶儲存櫃連結工作 存倉。例如 包含所需WIP批量的選擇輸送帶儲 轴從鄰近1::;取機構可以被配置沿一獨立的飼服 如，— 位置移動選擇的輸送帶儲存倉（例 置。在》移動架）到實際上直接位於執道之下的第二位 到實/二具體實施例中’該高架輸送載具沿著軌道移動 降機下降2位=二:置之上的-位置。接著，高架升 弟—位置。在另一具體實施例，選擇的輸送帶 i s L括—沿著軌道旁邊定位的架子，及該高架升降機 被固定到一艎梦 成 古加 得私台用來挑選及置放一個或多個WIP批量到 堅J輸ϋ載具旁邊的架子。最後，操作高架升降機直接從 、擇的儲存倉挑選所需的WIP批量，或放入一個或多個 WIP批量到選擇的儲存倉内。 利用配置AMHS允許該高架升降機從位於個別儲存倉上 方位置進出輸送帶儲存倉以直接裝卸在製品（Wlp)零 件’可以達到更有效率的AMHS操作。 其他特徵，功能，及本發明的方面從以下本發明的詳細 說明將是明顯的。 【實施方式】 2002年6月19曰申請的美國暫時專利申請號碼 60/389993 ’ 題目為”Automated Material Handling System for Semiconductor Manufacturing based on a Combination of Vertical Carousels and Overhead Hoists”，及 2002年 10 月 11曰申請的美國暫時專利申請號碼6〇Mi7,993，題目為 O:\84\84461-950301.DOC5 -10- 1286989 "Offset Zero Footprint Storage (ZFS) Using Moving Shelves or a translating Hoist Platform”併入本文做參考。 揭露一種自動化材料處理系統（AMHS)可以具增進的效 率進出一 WIP儲存單元以裝卸在製品（WIp)零件。本揭露 的AMHS達到該增加的材料處理效率藉由位於個別儲存倉 之上的高架升降機允許在一垂直輸送帶儲存單元中之儲存 倉頂端做裝卸。 圖1描述一傳統的AMHS 100,其可以在一產品製造環境 中，例如，一製造積體電路（IC)晶片的潔淨環境，使用在 各種工作站及/或製程機器之間自動儲存及輸送wip零件。 ，如圖1所示」傳統的AMHS 100包括一警儲存單元（，，儲存櫃 π)1〇2及一高架升降機輸送次系統1〇4。該wi 括輸入/輸出口⑴-112，及該高架升降機輸送次系統1〇= 括-懸吊執道1〇8及複數個高架升降機輸送載具1〇5携配 置來在軌道1〇8上運送。在一典型的操作模式，該體零 件在一卡莢110如前開式一體卡莢（F0UP)中輸送。第一高 架輸送載具Η)5沿著軌道⑽運送及停在適合卸下F〇up ιι〇 進入輸入口 111的位置或從儲存櫃1〇2 -―-步，第二高架輸送載具106等候綱上二 上直到第一高架輸送載具105完成裝卸F0UP及移動離開軌 道。 在傳統的AMHS 100，FOUP從高架升降機知下進入輸入 口⑴’從輸出口 H2裝進高架升降機，或因此利用可以提 供南達三或更多轴移動的機械们G7從儲存#1(>2内存取。 O:\84\8446I.95030I.DOC 5 -11- 1286989 進一步，從儲存櫃1〇2存取F0UP所需的極少量移動時間通 常決定儲存櫃的產量，其限令需要支應所需IC晶片生產規 模的儲存櫃數目。據此，用來存取F〇Up的多袖機械臂Μ 之複雜移動引起增加最少的移動時間，因此增加應s 100中所需儲存櫃的數目與材料處理系統的總成本。 圖2描述根據本發明一自動化材料處s“（AMHs)2〇〇 的說明具體實施例。在該說明的具體實施例，AMHS 200 包括一高架升降機輸送次系統204，及至少一垂直輸送帶 WIP儲存單元（"儲存櫃")2G2包括複數個儲存倉如—輸送帶 儲存倉203 ^該垂直輸送帶Wlp儲存櫃2〇2被配置容許在高 2升降機輸送次系統204中的高架升降機直接從選擇的輸送 帶儲存倉之一直接存取WIP零件。 應該知道像傳統的AMHS 100(見圖υ，圖2的AMHS 2〇〇 可以使用在製造1C晶片如200 mm或300 mm的FAB工廠之 潔淨環境，或任何其他適合的產品製造環境。如圖2所 不，ic晶片製造環境包括第一及第二樓板22〇與226，及天 花板214。第一樓板220典型地包括一由鋼筋混凝土製造的 井式樓板，及第二樓板226包括一升高的樓板位在井式樓 板220之上。垂直輸送帶儲存櫃2〇2位於井式樓板22〇之 上。進一步，配置來實施製造IC晶片的各種製程步驟之工 作站及/或製程機器（未表示）定位在升高的樓板226上，其 典型地以電性非導體材料覆蓋及設計符合特定負載與地震 的要求。例如’該升高的樓板226可以位在井式樓板22〇之 上一距離228(約0.6 m)及天花板2 14之下一距離224(大於或 〇·\84\8446μ950301Ό(Χ：5 -12- 1286989 寺於約4 · 1 5 m)。 在本揭露的具體實施例，該垂直輸送帶儲存櫃2〇2包括 层儲252，及第一與弟二滑輪25 0-251與排列在倉館252 之内的輸送帶254。如圖2所示，該輸送帶儲存倉（例如， 儲存倉203)沿著輸送帶藕合到輸送帶254各種不同間隔位 置，及輸送帶254環繞在第一與第二滑輪25〇-251之間利用 驅動滑輪250-25 1之一以容許儲存倉可沿著輸送帶路徑位 置旋轉。例如，該垂直輸送帶儲存櫃2〇2可以具有一高度 218(約3.85 m)。垂直輸送帶儲存櫃2〇2的頂端可以因此是在 升咼的樓板226之上一距離216(約3.25m)。 如上說明，配置垂直輸送帶儲存櫃2〇2以容許一高架升 降機直接從輸送帶儲存倉存取Wip零件，例如，半導體晶 圓。在該說明的具體實施例，接近天花板214之儲存櫃倉 儲252的部份至少部份開啟以容許選擇的輸送帶儲存倉之 頂端裝卸。進一步，每一個輸送帶儲存倉包括一固定的架 子，及半導體晶圓裝進卡莢如排列在該架子2〇3上的前開 式一體卡莢（FOUP)210中。例如，每一個F〇up 21〇可以容 納一或更多半導體晶圓批量，因此允許高架升降機同時在 一單獨的輸送帶儲存倉中存取複數個晶圓批量。 該局架升降機輸送次系統2〇4包括一懸吊執道2〇8及至少 一同架升降機輸送載具2〇5被配置用來在執道2〇8上運送。 該懸吊軌道208定義至少一預定路徑通過垂直輸送帶儲存 櫃202，因此允許該高架輸送載具2〇5直接從位於接近儲存 櫃202頂端的輸送帶儲存倉之一存取F〇Up。例如，該高架 O:\84\84461-950301.DOC 5 -13 - 1286989 輸送載具205可以從天花板214延伸一距離222(約0.9 m)。 在一說明的操作模式中，該選擇的輸送帶儲存倉，例 如，儲存倉203包含FOUP 210，位於執道208之下接近垂直 輸运帶儲存櫃202的頂端。接著高架輸送載具2〇5沿執道 208私到貫際上直接位於儲存倉2〇3之上的位置。接著，高 架升降機從高架輸送載具205經儲存櫃倉儲252開口下降到 儲存倉203。例如高架升降機可以在平行儲存櫃縱軸Li的 方向下降。接著高架升降機被操作直接從儲存倉2〇3抓起 FOUP 210後續輸送到IC晶片製造樓板上的工作站或製程機 益。已知高架升降機可以交替地操作放置一 F〇Up進入輸 送帶儲存倉203。 圖3描述AMHS 200(見圖2)的另一具體實施例3〇〇。如圖 3所示，該AMHS 300包括一高架升降機輸送系統3〇4，及 至少一垂直輸送帶WIP儲存櫃302包括複數個儲存倉如一 滑動固著式儲存倉332。像垂直輸送帶儲存櫃2〇2，該垂直 輸送帶儲存櫃302被配置容許在高架升降機輸送系統3〇4中 的高架升降機直接從選擇的輸送帶儲存倉之一直接存取 WIP零件，例如，半導體晶圓。 特別地，該AMHS 300可以使用在IC晶片製造環境包括 一天化板314，一井式樓板32〇，及位在井式樓板32〇之上 的升咼樓板326。如圖3所示，垂直輸送帶儲存櫃3〇2位於 井式樓板320上。例如，該升高的樓板326可以位在井式樓 板320之上一距離328(約〇·6 m)及天花板314之下一距離 324(大於約5.4 m)。進一步，垂直輸送帶儲存櫃3〇2包括一 O:\84\84461-950301.DOC 5 -14- 1286989 倉儲352，及第一與第二滑輪 月輪350-351及一排列在倉儲352 之内的輸送帶354。該輸送帶儲存 丨雨仔层（例如，滑動固著式儲 存倉332)沿著輸送帶可輕合到輸送帶各種不同間隔位 置，及輸运帶354環繞在第—與第二滑輪挪⑸之間利用 驅動滑輪35〇-351之-以容許儲存倉可沿著輸送帶路徑位 置旋轉。例如，該垂直輸送帶館存樞3〇2可以具有一古产 318(約6 m)。 门又 如上說明’該垂直輸送帶儲存櫃302被配置容許一高竿 升降機直接從輸送帶儲存倉之—存取半導體晶圓。在說明 的具體實施例，至少倉德 言儲352的—邊是至少部份打開以允 許從倉儲352之内抽取選擇的輸送帶健存倉，及允許利用 高架升降機選擇儲存倉接續的頂端裝却。特別地，AMHS 300進-步包括至少—抽取機構33()，其從儲存櫃搬之内 ^作抽取半導體晶®，及適當地相對包括在高㈣降機輸 送系統304中的懸吊軌道3崎位該材料。應該知道每一個 儲存层可以包括-可移動的或固定的架子。進一步，半導 體晶圓被裝入卡莢如排列在架子332上的—F〇up 31〇。 “該高架升降機輸送次系統3〇4包括懸吊軌道3〇8及至少一 门杀升降钱輸送載具3〇5被配置用來在執道上運送。該 執道308疋義至少一預定路徑通過平行垂直輸送帶儲存櫃 =2,因此允許該高架輸送載具3〇5直接從一選擇的滑動固 著式儲存倉之一存取一 F〇Up。 在ϋ兒明的操作模式中，該選擇的滑動固著式儲存倉， 4 士儲存倉332包含1?〇卩？ 310，位於容許抽取機構330從 O:\84\8446I-95030I.DOC5 •15- 1286989 儲存樞302之内工作抽取儲存倉332及定位該儲存倉μ〗直 接在軌道308之下。應該知道抽取機構33〇可以併入儲存櫃 302及配置來沿著一獨立的伺服控制軸398移動儲存倉 332。接著高架輸送載具305沿執道3〇8移到直接位於抽取 的儲存倉332之上的位置。接著’高架升降機從高架輸送 載具305下降到儲存倉332,例如’在平行儲存櫃縱軸。的 方向。接著高架料機被操作直接從儲存倉332抓起F〇up 31〇後續輸送到IC晶片製造樓板上的工作站或製程機器。 已知高架升降機可以交替地操作放置一 FOUP進入輸送帶 儲存倉332。
圖4描述AMHS 說明的具體實施例，該AMHS彻包括—高架升降機輸送 系、、充404及-垂直輸送帶健存櫃4〇2。該高架升降機輸送系 統404包括-懸吊執道彻及一高架升降機輸送載具彻被 配置用來在軌道彻上運送。例如，該高架輸送載具4〇5可 3〇〇(見圖3)的一詳細具體實施例4〇〇。在
以從執道408延伸一距離436(約〇·9 m)。該垂直輸送帶儲存 櫃402包括硬數個輸送帶儲存倉如一排列在儲存倉倉儲内 的儲存层432。例如，該儲存倉心可以在升高的晶片製 造樓板之上一距離438(約2.6 m)。 如上況明，從儲存倉倉儲内抽取一以允許選擇 儲存层後績的頂端裝卸。該高架輸送載具405進一步包括 尸升卜杜;43 1配置具有一夾頭進/出儲存倉432頂端裝 fFOUP 410。在較佳的具體實施例，該升降機夾頭430固 著在轉私台上允許高架升降機抓取/放置一卡莢到高架輸 O:\84\84461-95030I.DOC 5 -16- 1286989 送載具4 Ο 5的任一邊。 圖5a-5b描述一移動升降機載具次系統7〇4存取固定的儲 存位置。在說明的具體實施例，移動升降機载具次系統 7〇4包括一懸吊執道7〇8，及一高架升降機輸送載具，被 配置用來在軌道上運送。該高架輸送載具7()5被配置抓取/ 放置一FOUP 710到一固定的儲存位置732。例如，該高架 輸ϋ載具705可以延伸至天花板714之下_距離6(約〇.9 m)，及該儲存位置732可以姐加— <丨一α 响π 1置j以排列在升咼的IC晶片製造樓板 之j-距離738(約2.6 m)。進一步，該天花板714可以是在 升高的樓板之上一距離79〇(約3.66 m)。 高架輸送載具705被配置抓取（放置）F〇up 71〇到一直接 位於懸吊軌道708之下的位置。到達終點，該高架輸送載 具7〇5包括-升降機夾頭731固著到—轉移台及配置從载且 延伸，抓取F0UP 7 i 〇，及退回載具7〇5，因此在高架輸 送載具m内移動FOUP 71〇(見圖5b)e在較佳具體實施例 中，轉移台被配置允許高架升降機抓取/放置一卡莢到高 ，輸送載具7G5的任-邊。—#F_ m被升降機夾頭73ι 容納’高架輸送載具7G5將其輸送到IC晶片製造樓板上的 工作站或製程機器。 圖6描述—移動升降機載具系統_存取材料在輸送帶 895上儲存或移動。特別地，—移動升降機輸送次系細4 被使用直接抓取或放置-F0UP8_高架執道基礎的輸送 ㈣5。在說明的具體實施例’高架升降機輸送次系統_ 包括-懸吊軌道及-高架升降機輸送載具咖被配置在 O:\84\8446I-950301.DOC 5 •17- 1286989 執道808上運送。例如，高架輸送載具805可以在軌道808 之下延伸一距離836(約0.9 m)及被排列在執道基礎的輸送 帶895之上一距離892(約〇·35 m)。進一步，高架執道的8可 以在升南的ic晶片製造樓板之上一距離838(約2·6 。應 垓瞭解執道89 8在垂直於圖面的方向延伸。該移動升降機 載具系統800進一步包括一製程工具負載口 899。 高架輸送載具805可以被使用來實施執道基礎的輸送帶 895之頂端裝卸。到達終點，該該高架輸送載具8〇5包括一 升降機831具有料機夾頭835，被固著到一轉移台阳被 配置允烀水平及垂直移動，個別如方向箭頭及所 示。在—說明的操作模式，執道基石楚的輸送帶奶被移動 以致FOUP 810直接定位在高架升降機831之下。該升降機 夾頭835接著經轉移台833下降到F〇up 81〇，及操作來直接 從輸送帶895抓取刚p 81〇。接著，攜帶F〇up 81〇的升降 機夾頭835經轉移台833升高及退回，因此在高架輸送載且 ，内移動FOUP 810。輸送载具8〇5於是輸送F〇up 8_ 1C晶片製造樓板上的工作站或製程機器。 操作本揭露自動材料處理系統的一方法參考圖7做戈 明。如描述在步驟902, 一包含F0UP的選擇儲存倉位在一 垂直輸送帶儲存櫃内允許利用—高架升降機存取。例如， 輸送帶儲存倉可以定位在垂直輸送帶儲存櫃頂端 邊（見圖2_3)。接著，高架升降機輸送载具沿-執道移 動，如步驟904描述，到接近選擇的儲存倉之位 例該選擇的儲存倉位在儲存樞頂端，該高架輪送載具位在 O:\84\84461-950301.DOC5 •18- 1286989 儲存倉之上。在本例該選擇的儲存倉位在儲存櫃旁邊，該 n木輸送載具位在儲存倉旁邊。高架升降機於是從輸送載 具延伸及下降，如步驟906所描述，允許升降機夾頭接觸 選擇儲存倉中的FOUP。接著，操作升降機夾頭，如步驟 〇8所描述，直接從儲存倉抓取？〇1；1>。高架升降機於是升 高及退回，如步驟910所描述，在高架輸送載具内移動 在孩方式，该FOUP從選擇的儲存倉被從頂端負載 到咼架輸送載具。最後，高架輸送載具，如步驟912所描 述▲，輸送FOUP到產品製造樓板上的工作站或製程機器。 熟悉此項技藝人士將進一步瞭解可以對上面說明的自動 :枓處理系統做修正及改變而不偏離本文揭露的發明概 "據此，本發明不應被視為僅受限於附錄申請專利範圍 的範圍及精神。 【圖式簡單說明】 ，考本發明別述詳細說明同時結合附圖將更完整地瞭解 本發明，其中·· 一具體實施
圖1是傳統的自動材料處理系統的透視圖； 圖2是根據本發明一自動材料處理系統的第 例之方塊圖； 圖3是圖2自動材料處理系 圖4是圖2自動材料處理系 圖5a-5b是根據本發明一 位置之方塊圖； 統的第二具體實施例之方塊圖； 統的第三具體實施例之方塊圖； 矛夕動升降機載具存取固定儲存 圖6是圖5a-5b的移動升 降機載具存取一輸送帶上材料之 0 \84\84461-950301 DOC 5 -19- 1286989 方塊圖，及 圖7是操作圖2的自動材料處理系統之方法的流程圖 【圖式代表符號說明】 100, 200, 300, 400 102, 202, 302, 402 104, 204, 304, 404, 704, 804 105, 106, 205, 305, 405, 705, 805 108, 208, 308, 408, 708, 808 107 110 111 112 203, 432 214, 314, 714 218,318 220 226 216, 222, 224, 228, 324, 328, 436, 438, 736, 738, 790, 836, 892 250-251，350-351 252,352 254,354 210,310,410,710,810 332 自動化材料處理糸統 在製品儲存櫃 高架升降機輸送次系統 高架升降機輸送載具 懸吊軌道 機械臂 卡莢 輸入口 輸出口 輸送帶儲存倉 天花板 高度 第一樓板 弟二樓板 一距離 滑輪 倉儲 輸送帶 前開式一體卡莢 滑動固著式儲存倉
O:\84\84461-950301.DOC5 -20 1286989 320 井式樓板 326 升高的樓板 330 抽取機構 332 架子 398 伺服控制軸 430, 730, 835 升降機夾頭 431,831 高架升降機 732 固定的儲存位置 800 移動升降機載具系統 895 輸送帶 898 高架軌道 899 製程工具負載口 833 轉移台 870 方向箭頭 902, 904, 906, 908, 910, 912 步驟
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Claims (1)

1286989 拾、申請專利範圍： h —種自動化材料處理系統，用於在—產品製造設備内之 不同位置間輸送材料，該系統包括： 至少一倉儲單元，其配置以倉儲複數個儲存倉，每個 儲存倉被配置容納至少—單元的材料；及 7高㈣降機輸送m包括至少—高架升降機及 至少—高㈣降機輸送載具’該高料降機輸送載具係 配置以沿著至少一相鄰該儲存倉倉儲單元之預定路線限 ί的懸吊軌道移動’該懸吊軌道係設置於該健存倉倉儲 單元外部， 琢儲存倉倉儲單 ▼ 1々丨小土 ^部分地開货 ΐ㈣Μ料機直接自-選㈣被倉儲之複數個儲為 启之一中存取至少一材料單元，及 亥面架升降機被配置直接從選擇的複數個儲存倉 &1取至少—㈣單元以後續沿著該路徑輸送到-兮 產品製造設備内之預定的位置。 °亥 I ==範圍第1項的系統，其中該高架升降機進- 儲材料單元直接給選擇的儲存倉做為 砵存层层儲早兀内之後續儲存。 3.如中請專利範圍第1項的系統，其中該選擇的材料覃- 利用移動到儲存倉倉儲單元外的—位 = 升降機。 且條移勳到兩架 4· 如申請專利範圍第3項的系統 進一步包括一機構被配置在一 其中该儲存倉倉儲單元 笛卡兒（X，Υ，ζ) 座標系統 O:\84\8446I-950301.DOC 6 1286989 5. 6· 7. 8. 9. 10. 之至少一軸向移動材料單元。 如申請專利範圍第1項 括-固定加；姑，， 中該選擇的健存倉包 口疋木子排列在儲存倉倉儲單元内。 如申請專利範圍第5項的 次系統包括—轉移台=二 架升降機輸送 ^ σ丨呵架升降機’該轉移台被配 置移動該尚架升降機至第一 一 定年子在丨 弟位置以允許升降機直接從固 疋木子存取至少一材料單元。 如申凊專利範圍第6 貝的系統，其中該轉移台進一 配置移動該高架升降機- 位置以允許升降機從儲存 层层儲早70移走至少一材料單元。 如申請專利範圍第1頊的 #員的糸統，其中該至少-儲存倉倉 儲早70包括一垂直輸送帶儲存櫃。 如申請專利範圍第8項的系統，其中該垂直輸送帶健存 櫃被配置移㈣選擇的科倉到儲存櫃的上方區域以允 許該高架升降機從選擇的儲存倉之上的—位置存取至少 一材料單元。 如"專利範圍第9項的系統，其中該軌道的至少一部 份貫際上直接排列在儲存櫃上方區域的選擇儲存倉之 上。 11. 12. 士申明專利fe圍第8項的系統’其中該垂直輸送帶儲存 櫃被配置移動該選擇的儲存倉到沿儲存櫃一邊的第一位 置以允許該高架升降機從沿選擇儲存櫃旁邊第二位置存 取至少一材料單元。 如申請專利範圍第U項的系統，其中該軌道的至少一部 O:\84\84461-950301.DOC 6 1286989 (V、上排列平行於儲存櫃之縱軸接近靠儲櫃旁邊的 第—位置。 一申明專利|&圍第1項的系統，其中該高架升降機包括 夹碩部份被配置容納至少一材料單元。 14·如申請專利範圍第1項的系統，其中該材料單元包括一 15 作-自動化㈣處理系統的方法，㈣統用於在 產品製造設備内之不同位置間輸送材料，該方法包括 以下步驟： 至少一儲存倉倉儲單元中倉儲複數個儲存倉，每一儲 存倉容納至少一單元材料； 其中’該儲存倉倉儲單元之一部分係至少部分地開放 許直接自一選擇的被倉館之複數個儲存倉之—中存取 至少一材料單元，及 亩包括在—高⑽降機輸送次系統中的高架升降機 直接彳之選擇的儲存倉存取至少一 ^材枓早π，該高架升降 桟輸送次系統進-步包括一高架升降機輸送載具，·及 利用該高架升降機輸送次系統輸送該至少一材料單元 到該產品製造設備中預定的位置， 其中該輸送步驟包括藉由該高架升降機輸送載具沿著 一懸吊執道移動至該預定的位置，該懸吊軌道限定至少 =目鄰該料倉㈣單元之預定路線，及其中該懸吊軌 運係忒置於該儲存倉倉儲單元外部。 16·如申請專利範圍第15項的方 延步包括利用高架升 O:\84\84461-950301. DOC 6 1286989 17. 18. 19. 20. 21. 22. 23. 降機提供至少一姑料留-+ 針 #枓早7"直接給選擇的儲存倉做為心 儲存在儲存倉倉儲單元内。 u為後續 如申請專利範圍第15項的方法，進—步 儲存倉提供至少一材料π - + 用選擇的 該選擇的儲存倉包括-可移動的架子。 步驟， ::::利範圍第17項的方法’進一步包括利 :存倉倉健翠元内一機構在一笛卡兒（χ， ：： 統之至少一軸方向移動該架子。 底橾系 :申請：利範圍第15項的方法，進一步包括利用 ^動兩架升降機至第—位置以允許該升降機直接從、登 一固定的架子。材科早疋，㈣擇的储存倉包括 如申請專利範圍第19項的方法，進—步包括利 移動高架升降機至第 倉M H 許料降機從該儲存倉 层儲早7L矛夕走至少一材料單元。 如申睛專利範圍第15項的方法，進—步包括利用_包括 在儲存倉倉儲單元中的輸送帶機構移動選擇的儲存倉至 儲存倉倉儲單元的上方區域 迕冋架升降機從選 擇的儲存g上方的位置存取至少—材料單元。 如申清專利範圍第21項的方法，其中該軌道的至少 :實際上直接排列在儲存倉倉儲單元上方區; 存倉之上。圍第15項的方法，進一步包括利用包括在:子层⑼早7〇中之輸送帶機構移動該選擇的儲存倉到 O:\84\8446I-95030I.DOC6 1286989 儲存倉倉儲單元的一邊之第一位置，因此允古加 ::機從靠選擇儲存倉旁邊的第二位置存取至少―:: 24.如申請專利範圍第叫員的方法，其中至少一部份執、卜 :上直接排列平行儲存倉倉儲單元的 = 倉儲單元旁邊的第一位置。 …儲存倉 25·如申請專利範圍第15項的方法，進-步包括利用〜 降機的夾頭部份夾住至少一材料單元。 用^升 %·如中請專利範圍第25項的方法，進—步包 力 降機的夹頭部份夹住至少一材料單 二升 包括-卡莢。 ，、Μ材枓早元 請專利範圍第,項的系統，其中該至少 储早4配置用以作為至少—固定料位置。 2'如申請專利範圍第27項的系統，其中該至 位置包括至少一固定架子。 疋儲存 請專利範圍第15項的方法，包括倉儲該複數個 亥至儲存倉倉儲單元内，及其中該至少-儲J 倉倉料元係配置心作為至少1定料位置。储存 3〇.如申請專利範圍第29項 倉於該至少-儲存倉倉m 倉健該硬數個儲存 帝仔层启儲早兀内，其中該至少— 倉儲單元係配置用以作為至少一固定儲存位置，及I: 該至少-固定儲存位置包括至少—固定架子。及/、中 31· —種自動化材料處理系統，包括·· 至少一儲存單元，包括至少存倉，該至少- O:\84\84461-950301.DOC 6 1286989 倉係被配置用以容納至少一單元的材料；及 —高架升降機輸送次系統，包括 、、， 70匕栝至少一高架升降機輸 送栽具，及至少一具有夾頭邻八 ^ ± 、负人碩口 P刀之向架升降機，該夾頭 *分係被配置用以夹住該至少—材料單元，該高架升降 機輸送載具係被配置以沿著至少一相鄰該储存倉單元之 預定路線限定的懸吊執道移動， 其中該高架升降機被配置直接從選擇的複數個儲存倉 ,-存取至少-材料單元以便後續沿著該路徑在一產品 製造設備内之不同的位置間輸送。 32. 33. 34. 35. 36. 如申請專利範圍第31項的系統，其中該高架升降機之夹 碩部分係配置以提供至少一材料單元直接至該至少一 存倉。 如申請專利範圍第31項的系統，其中該至少一儲存倉係 配置作為一固定儲存位置。 如申請專利範圍第33項的系統，其中該固定儲存位置包 括一固定架子。 如申請專利範圍第3 1項的系統，其中該高架升降機包括 一麵合至該高架升降機之夾頭部分之轉移台，該轉移台 係配置以將該夾頭部分自一鄰近該高架升降機輸送次系 統之第一位置移動至一鄰近該至少一儲存倉之第二位 置，藉此允許該夾頭部分直接自該至少一儲存倉存取該 至少一材料單元。 如申請專利範圍第35項的系統，其中該轉移台係進一步 配置以將該夾頭部分自鄰近該至少一儲存倉之第二位置 O:\84\84461-950301.DOC6 • 6 - 1286989 移動至鄰近該高架升降機輸送次系統之第一位置，藉此 允許該夾頭部分直接自該儲存倉移除該至少一材料單 元。 37·如申請專利範圍第31項的系統，其中該高架升降機包括 一耦合至該高架升降機之夾頭部分之轉移台，該轉移么 係配置以將該夾頭部分自一鄰近該高架升降機輸送次系 統之第一位置移動至選擇的一第二位置及一第三位置^ 一，及其中該第二位置及第三位置係排列於該高架升降 機輸送次系統之相反側。 38.如申請專利範圍第31項的系統，其中該材料單元包括— 卡莢。 39·-種操作一自動化材料處理系統的方法，包括以下步驟： 以至少一儲存單元之儲存倉容納至少一單元材料| 利用包括在一高架升降機輸送次系統中的高架升降機 之夾碩部分直接從至少一儲存倉存取至少一材料單 元，該高架升降機輸送次系統進一步包括_高架 : 輸送載具；及 利用該高架升降機輸送次系統將該至少一材料單元在 該產品製造設備中不同的位置間輸送， “其中該輸送之步•驟包括藉由該高㈣降機輸送載具沿 者-懸吊軌道移動至該不同的位置，該懸吊執道限定至 少一相鄰該儲存單元之預定路線。 4〇·如申請專利範圍第39項的方法，進—步包括利用該高架 升降機之失頭部分提供至少一材料單元直接給該至少二 〇 _46丨姻30I.DOC 6 1286989 儲存倉。 41. 如申請專利範圍第39項的方法，進一步包 升降機之-轉移台將該高架升降機之用該高架 該高架升降機輸送次系統之第一位 °分自-鄰近 少一儲在会夕筮—你罢 主一鄰近該至 儲存位置，藉此允許該h部 至>、一儲存倉存取該至少—材料單元。 直接自忒 42. 如申請專利範圍第心項的方法，進 台將該高架升降機之杰利用该轉移 木开泽機之夾碩部分自鄰近該至小 第二位置移動至鄰# ^ —儲存倉之 矛夕動至4近4兩架升降機輸 置，猎此允㈣0 0直接自該 二 =弟一位 一材料單元。 什早兀移除該至少 43.如申請專利範圍第39項的方法 升降機之-轉移台將該高架升降機\包括利用該高架 該高架升降機輸送次系 《碩部分自-鄰近 第二位置及—第三位置之 位置移動至一選擇的一 位置係排列於該：架升::輸二其中該第二位置及第三 44.如申請專利 别k人系統之相反側。 列乾圍第39項的方法， 容納至少-材料單元，及^括利用至少—儲存倉 中4材料單元包括一卡莢。 O:\84\84461-950301.DOC6 1286989 柒、指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為：第（2 )圖。 (二) 本代表圖之元件代表符號簡單說明： 捌、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式： 200 自動化材料處理系統 202 在製品儲存植 203 輸送帶儲存倉 205 高架升降機輸送載具 208 懸吊軌道 210 前開式一體卡莢 214 天花板 216, 222, 224, 228 一距離 220 第一樓板 226 第二樓板 250-251 滑輪 252 倉儲 254 輸送帶 O:\84\8446I-950301.DOC4 -6-
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