JP2013032587A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. 基板上に有機層を形成するための有機層蒸着装置において、
   蒸着物質を放射する蒸着源と、
   前記蒸着源の一側に配置され、複数個の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、
   前記蒸着源ノズル部と対向するように配置され、複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、を含み、
   前記蒸着源は、第１蒸着源、及び前記第１蒸着源上にスタックされた形態に配列される第２蒸着源を含み、
   前記蒸着源ノズル部は、前記基板に向かう第２蒸着源の一側に配置され、前記第２蒸着源から形成された複数個の第２蒸着源ノズルを含む第２蒸着源ノズル部と、前記第２蒸着源の一側に配置され、前記第１蒸着源から前記第２蒸着源を貫通して形成された第１蒸着源ノズルを含む第１蒸着源ノズル部と、を含み、
   前記基板は、前記有機層蒸着装置と所定距離離隔されて配置され、前記有機層蒸着装置に対して相対的に移動可能であることを特徴とする有機層蒸着装置。
2. 前記第２蒸着源の温度は、前記第１蒸着源の温度より高く維持されることを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
3. 前記基板に向かう前記第２蒸着源の一側に、前記第１蒸着源ノズル及び前記第２蒸着源ノズルが一列に配列され、前記第１蒸着源ノズルそれぞれは、前記第２蒸着源ノズルそれぞれと交互に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の有機層蒸着装置。
4. 前記基板に向かう前記第２蒸着源の一側に、前記第１蒸着源ノズル及び前記第２蒸着源ノズルが一列に配列され、前記第１蒸着源ノズルそれぞれが、前記第２蒸着源ノズルそれぞれの内部に同芯型に配置されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
5. 前記有機層蒸着装置の前記パターニングスリットシートは、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
6. 前記蒸着源ノズル部には、第１方向に沿って、複数個の蒸着源ノズルが形成され、前記パターニングスリットシートには、前記第１方向に対して垂直である第２方向に沿って、複数個のパターニングスリットが形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
7. 前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリットシートは、連結部材によって結合されて一体に形成されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
8. 前記連結部材は、前記蒸着物質の移動経路をガイドすることを特徴とする請求項７に記載の有機層蒸着装置。
9. 前記連結部材は、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリットシート間の空間を、外部から密閉するように形成されることを特徴とする請求項７または８に記載の有機層蒸着装置。
10. 前記蒸着源ノズル部には、第１方向に沿って、複数個の蒸着源ノズルが形成され、
    前記パターニングスリットシートには、前記第１方向に沿って、複数個のパターニングスリットが形成され、
    前記有機層蒸着装置は、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に、前記第１方向に沿って配置され、前記蒸着源ノズル部と、前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数枚の遮断板を具備する遮断板アセンブリをさらに含むことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
11. 前記複数枚の遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直である第２方向に沿って延びるように形成されたことを特徴とする請求項１０に記載の有機層蒸着装置。
12. 前記遮断板アセンブリは、複数枚の第１遮断板を具備する第１遮断板アセンブリと、複数枚の第２遮断板を具備する第２遮断板アセンブリと、を含むことを特徴とする請求項１０または１１に記載の有機層蒸着装置。
13. 前記複数枚の第１遮断板及び前記複数枚の第２遮断板それぞれは、前記第１方向と実質的に垂直である第２方向に形成され、前記蒸着源ノズル部と、前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画することを特徴とする請求項１２に記載の有機層蒸着装置。
14. 前記有機層蒸着装置は、チャンバをさらに含み、
    前記蒸着源ノズル部には、第１方向に沿って、複数個の蒸着源ノズルが形成され、前記パターニングスリットシートは、前記チャンバの内側に固定結合され、前記第１方向に対して垂直である第２方向に沿って、複数個のパターニングスリットが形成されることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
15. 前記基板が固定された静電チャックを前記第１方向に沿って移動させる第１循環部をさらに含むことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
16. 前記第１循環部は、
    内部に前記蒸着源が収容されるフレームと、
    前記フレームの内側面から突設され、前記パターニングスリットシートを支持するシート支持台と、を含むことを特徴とする請求項１５に記載の有機層蒸着装置。
17. 前記第１蒸着源はホスト物質を放射し、前記第２蒸着源はドーパント物質を放射することを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
18. 前記第１蒸着源はドーパント物質を放射し、前記第２蒸着源はホスト物質を放射することを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
19. 前記第１蒸着源及び第２蒸着源に備わった前記ホスト物質の量は、前記ドーパント物質の量よりも多いことを特徴とする請求項１７または請求項１８に記載の有機層蒸着装置。