KR102488260B1 - 증착 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
증착 장치 및 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 회전 로드, 상기 회전 로드와 체결되며, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈 및 상기 회전 로드 및 상기 내부 모듈의 외측을 감싸며 배치되되, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징을 포함한다.
Description
본 발명은 증착 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 대한 것이다.
표시 장치는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display, OLED) 등과 같은 여러 종류의 표시 장치가 사용되고 있다.
이와 같은 표시 장치는 기판 상에 여러 종류의 박막을 적층함으로써 제조할 수 있다. 기판 상에 박막을 형성하기 위한 여러 방법 중 하나로서 성막 대상 물질을 증발시키고, 증발된 성막 대상 물질을 기판 상에 안착시켜 박막을 형성하는 방법이 있다.
이와 같이 증발을 이용한 성막 장치는 그 유리한 특성으로 인해 널리 쓰이고 있으나, 증발을 이용하여 증착 물질을 전달하는 특성 상 전달력이 약하고 전달 속도가 낮은 단점이 있다. 이에 따라 이와 같은 단점을 극복하기 위해 다양한 기술적 시도가 행해지고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 증착 물질의 직진성이 우수한 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 증착 물질의 전달 속도가 우수한 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 증착 물질의 직진성 및 전달 속도가 우수한 증착 장치를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 회전 로드, 상기 회전 로드와 체결되며, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈 및 상기 회전 로드 및 상기 내부 모듈의 외측을 감싸며 배치되되, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징을 포함한다.
또한, 상기 외부 하우징은 원통 형상을 가질 수 있다.
또한, 상기 외부 하우징과 상기 회전 로드는 회전 가능하도록 체결될 수 있다.
또한, 상기 배출구의 적어도 일측에 배치되는 가이드 패널을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 내부 모듈은 일정 간격 이격되어 배치되는 제1 회전 플레이트 및 제2 회전 플레이트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 회전 플레이트 및 상기 제2 회전 플레이트 사이에 배치되는 회전 지지대를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 내부 모듈은 상기 회전 로드와 나란한 방향으로 연장되는 측벽 및 상기 측벽의 일단으로부터 절곡되어 연장되는 상부 커버를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 상부 커버의 단부는 상기 회전 지지대와 일정 간격 이격될 수 있다.
또한, 상기 내부 모듈은 격벽을 포함하고, 상기 증착 물질은 상기 격벽에 의해 구획된 공간에 저장될 수 있다.
또한, 상기 격벽은 상기 회전 로드와 나란한 방향으로 연장되는 측벽 및 상기 측벽의 일단으로부터 절곡되어 연장되는 상부 커버를 포함할 수 있다.
또한, 상기 내부 모듈은 복수개이고, 상기 복수개의 내부 모듈은 상기 회전 로드의 길이 방향을 따라 중첩적으로 배치될 수 있다.
또한, 상기 내부 모듈은 제1 내부 모듈 및 제2 내부 모듈을 포함하되, 상기 제1 내부 모듈은 제1 증착 물질을 저장하고, 상기 제2 내부 모듈은 상기 제1 증착 물질과 상이한 제2 증착 물질을 저장할 수 있다.
또한, 상기 외부 하우징의 상기 배출구는 복수개이고, 상기 복수개의 배출구는 개구 방향이 서로 상이할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하는 회전 로드, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하고, 상기 회전 로드와 체결되어 상기 회전 로드와 같은 방향으로 회전하는 내부 모듈 및 상기 내부 모듈 및 상기 회전 로드의 외측을 감싸며 배치되고, 상기 증발 물질을 배출시키는 배출구를 포함하는 외부 하우징을 포함한다.
또한, 상기 내부 모듈이 회전함에 따라 상기 증착 물질에 원심력이 제공될 수 있다.
또한, 상기 내부 모듈은 복수개이고, 상기 복수개의 내부 모듈은 상기 회전 로드와 같은 방향으로 회전할 수 있다.
또한, 상기 내부 모듈은 제1 내부 모듈 및 제2 내부 모듈을 포함하고, 상기 제1 내부 모듈 및 상기 제2 내부 모듈은 서로 상이한 속도로 회전할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 회전 로드와 체결되며, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈 및 상기 회전 로드 및 상기 내부 모듈의 외측을 감싸며 배치되고, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징을 포함하는 증착원; 및 상기 증착원과 대향하는 기판을 준비하는 단계, 상기 회전 로드를 회전시켜 상기 회전 로드와 체결된 상기 내부 모듈을 회전시키는 단계 및 상기 외부 하우징의 배출구를 통해 나오는 상기 증착 물질을 상기 기판에 제공하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 내부 모듈이 회전함에 따라 상기 증착 물질에 원심력이 제공될 수 있다.
또한, 상기 내부 모듈은 복수개이고, 상기 복수개의 내부 모듈은 상기 회전 로드와 같은 방향으로 회전할 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 증착 장치에서 증착 물질의 직진성이 향상될 수 있다.
또한, 증착 장치에서 증착 물질의 전달 속도가 향상될 수 있다.
또한, 공정 효율이 향상되고, 공정 시간이 향상된 표시 장치의 제조 방법을 제공할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 개략적인 배치도이다.
도 2는 도 1의 일 구성을 설명하기 위한 확대도이다.
도 3은 도 2의 단면 사시도이다.
도 4는 도 3의 일 구성을 설명하기 위한 확대도이다. 도 5는 도 4의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 단면 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면 사시도이다.
도 10은 도 9의 증착 장치의 종단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 2는 도 1의 일 구성을 설명하기 위한 확대도이다.
도 3은 도 2의 단면 사시도이다.
도 4는 도 3의 일 구성을 설명하기 위한 확대도이다. 도 5는 도 4의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 단면 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면 사시도이다.
도 10은 도 9의 증착 장치의 종단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 개략적인 배치도이다. 도 2는 도 1의 일 구성을 설명하기 위한 확대도이다. 도 3은 도 2의 단면 사시도이다. 도 4는 도 3의 일 구성을 설명하기 위한 확대도이다. 도 5는 도 4의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 회전 로드(RR)와 체결되며, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈(IM) 및 회전 로드(M) 및 내부 모듈(IM)의 외측을 감싸도록 배치되며, 외기와 연통되는 배출구(GO)를 갖는 외부 하우징(HO)을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 챔버(CH)를 포함할 수 있다.
챔버(CH)는 일정한 크기의 내부 공간을 가질 수 있다. 즉, 챔버는(CH)는 후술하는 여러 구성들이 배치되는 공간을 제공할 수 있다. 챔버(CH)의 내부 공간은 챔버(CH)의 외부 공간과 차단될 수 있다. 즉, 챔버(CH)의 내부 공간은 밀폐된 공간일 수 있다. 다시 말하면, 챔버(CH)의 내부 공간과 외부 공간은 서로 분리되며, 양자 간에는 공기의 교류가 차단될 수 있다. 다만, 항상 밀폐되도록 설계되는 것은 아니며, 별도의 출입구를 형성하여 밀폐모드 및 통기모드로의 전환이 가능하도록 설계될 수도 있다.
도 1은 챔버(CH)의 내부 공간이 직육면체 형상인 경우를 예시하나, 챔버(CH)의 내부 공간의 형태가 이에 제한되지 않음은 물론이다.
챔버(CH) 내부에는 증착원이 배치될 수 있다. 증착원은 후술하는 기판(S)에 증착물질을 전달할 수 있다. 증착원은 회전 로드(RR), 내부 모듈(IM), 외부 하우징(HO) 및 가이드 패널(GP)을 포함할 수 있다.
회전 로드(RR)는 길이 방향으로 연장될 수 있다. 구체적으로 회전 로드(RR)는 길이 방향으로 연장된 바(Bar) 형상을 포함할 수 있다. 회전 로드(RR)의 회전축은 길이 방향과 나란할 수 있다. 즉, 회전 로드(RR)는 길이 방향과 나란한 회전축을 중심으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있다.
회전 로드(RR)가 회전하기 위해 회전 로드(RR)의 적어도 일단은 회전 로드(RR)를 구동시키는 구동부(도시하지 않음)와 연결될 수 있다. 구동부는 회전 로드(RR)에 회전을 부여하는 역할을 할 수 있으며, 그 종류는 제한되지 않는다. 즉, 일반적으로 바(bar) 형상의 로드에 회전을 제공할 수 있는 기계 장치는 구동부로서 사용될 수 있다. 예컨대, 구동부는 모터나 액츄에이터를 포함할 수 있다.
회전 로드(RR)의 일단 및 타단 중 적어도 하나는 챔버(CH)의 내벽과 회전 가능하도록 체결될 수 있다. 회전 가능하도록 체결된다 함은 위치가 고정된 상태에서 회전만 할 수 있도록 체결되는 것을 의미한다.
다른 실시예에서, 회전 로드(RR)는 챔버(CH) 내벽을 따라 수평이동 할 수 있다. 회전 로드(RR)가 수평 이동하도록 챔버(CH)의 내벽과 체결되면 증착원 전체가 회전 로드(RR)를 따라 수평이동할 수 있다.
또 다른 실시예에서 회전 로드(RR)는 챔버(CH)의 내벽을 따라 수직이동할 수 있다. 회전 로드(RR)가 챔버(CH) 내벽을 따라 수직이동하는 경우, 증착원 전체가 회전 로드(RR)를 따라 수직이동할 수 있다.
회전 로드(RR)는 금속 재질로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 증착원을 지지하기에 필요한 강도를 갖는 재질이면, 회전 로드(RR)의 재료로서 사용될 수 있다.
회전 로드(RR)의 외측에는 회전 로드(RR)의 적어도 일부를 감싸는 외부 하우징(HO)이 배치될 수 있다.
외부 하우징(HO)은 원통 형상을 가질 수 있다. 구체적으로 외부 하우징(HO)은 회전 로드(RR)의 길이 방향과 같은 방향으로 연장되는 원통 형상을 가질 수 있다. 또한, 외부 하우징(HO)가 회전 로드(RR)와 회전 가능하도록 체결될 수 있다. 회전 가능하도록 체결된다의 의미는 앞서 서술한 바와 동일한다. 즉, 회전 로드(RR)가 회전하는 경우에 외부 하우징(HO)은 회전하지 않고 고정될 수 있다. 즉, 외부 하우징(HO) 내부에 배치되는 회전 로드(RR)가 회전해도 이를 감싸는 외부 하우징(HO)은 원래의 위치에 고정되며 회전하지 않을 수 있다.
외부 하우징(HO) 내부에는 내부 모듈(IM)이 배치될 수 있다. 내부 모듈(IM)은 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함할 수 있다. 이에 대한 보다 구체적인 설명은 뒤에서 도 3 내지 도 5를 참조하여 하기로 한다.
외부 하우징(HO)은 배출구(GO)를 포함할 수 있다. 배출구(GO)는 외부 하우징(HO)의 내부와 외부를 연통시킬 수 있다. 즉 배출구(GO)는 개구를 포함할 수 있다. 후술하는 바와 같이 외부 하우징(HO)의 내부에는 기체 상태의 증착 물질이 배치될 수 있는데, 이러한 기체 상태의 증착 물질은 배출구(GO)를 통해 챔버(CH) 내부로 방출될 수 있다. 이러한 증착 장치의 동작에 대한 보다 구체적인 설명은 뒤에서 도 6 및 도 7을 참조하여 하기로 한다.
배출구(GO)의 적어도 일측에는 가이드 패널(GP)이 배치될 수 있다. 가이드 패널(GP)은 배출구(GO)에서 나오는 증착 물질의 이동을 가이드할 수 있다. 다시 말하면, 배출구(GO)에서 나오는 증착 물질을 가이드 하여 증착 물질이 챔버(CH) 측벽을 향하지 않고, 대향하는 기판(S)을 향해 진행할 수 있도록 증착 물질의 이동을 유도할 수 있다.
증착원과 대향되도록 기판(S)이 배치될 수 있다. 기판(S)에는 각종 소자 들이 배치될 수 있다. 또한, 기판(S) 상에 특정 패턴을 갖는 박막을 형성하기 위해 기판(S)과 증착원 사이에는 각종 마스크(도시하지 않음)가 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 범위를 명확하게 하기 위해 마스크와 관련된 구성은 생략하였음을 밝혀둔다.
기판(S)은 기판(S)의 가장자리를 지지하는 기판 지지대(SS)에 의해 지지될 수 있다. 기판 지지대(SS)는 기판(S)의 가장 자리를 지지하며, 기판(S)의 중앙부를 노출시킬 수 있다. 이에 의해, 증착원 으로부터 제공된 성막 대상 물질이 기판(S)의 중앙부에 도달하여 박막을 형성할 수 있다.
챔버(CH)는 기판(S)을 이동시키는 운송 수단(TR)을 더 포함할 수 있다. 운송 수단(TR)은 예컨대, 로봇 암(Robot Arm)이나 각종 척(Chuck)을 포함하여 이루어질 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며 운송 수단(TR)은 기판(S)을 출납할 수 있는 모든 종류의 운송 수단을 포함할 수 있다.
이러한 운송 수단에 의해 기판(S)은 수평 이동 또는 수직 이동할 수 있다. 즉, 기판(S)에 균일한 박막을 형성하기 위해 상술한 바와 같이 증착원 및/또는 기판(S)이 수직 및/또는 수평 이동할 수 있다.
도 1은 회전 로드(RR)의 길이 방향이 중력 방향과 수직인 경우를 예시하지만, 회전 로드(RR)의 길이 방향이 이에 제한되는 것은 아니다.
다른 실시예에서 회전 로드(RR)의 길이 방향은 중력 방향과 동일할 수 있다. 이 경우, 회전 로드(RR)는 챔버(CH) 내에서 챔버(CH) 하면과 수직하게 배치될 수 있다. 회전 로드(RR)가 챔버 내에서 중력 방향으로 배치되는 경우, 기판(S)도 이에 대응되도록 챔버(CH) 하면과 수직하도록 배치될 수 있다.
이하에서는 도 2를 참조하여, 외부 하우징(HO)에 대해 설명하기로 한다.
외부 하우징(HO)은 원통 또는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 외부 하우징(HO)은 원통 또는 원기둥 형상을 가지며 회전 로드(RR)의 길이 방향과 같은 방향으로 연장될 수 있다. 외부 하우징(HO)은 회전 로드(RR)를 적어도 부분적으로 감싸도록 배치될 수 있다. 즉, 도 2에서 보는 바와 같이 회전 로드(RR)의 적어도 일부는 외부 하우징(HO)의 내부에 배치될 수 있다. 외부 하우징(HO)의 내부에 배치되는 회전 로드(RR)는 후술하는 내부 모듈(IM)과 체결될 수 있다.
회전 로드(RR)는 외부 하우징(HO)의 일단 및/또는 타단과 회전 가능하도록 체결될 수 있다. 즉, 회전 로드(RR)가 회전하여도, 외부 하우징(HO)은 회전하지 않고 고정될 수 있다.
외부 하우징(HO)이 원기둥 형상을 갖는 실시예에서, 서로 대향하는 두 개의 밑면과 두 개의 밑면을 잇는 옆면을 포함할 수 있는데, 이 경우, 회전 로드(RR)는 두 개의 밑면의 중앙부에 체결될 수 있다. 회전 로드(RR)가 회전 가능하도록 체결되기 위해 두 개의 밑면은 회전 로드(RR)가 삽입되는 삽입구를 가질 수 있다. 즉, 회전 로드(RR)는 두 개의 밑면에 형성되는 삽입구에 삽입되어 외부 하우징(HO)을 지지할 수 있다.
외부 하우징(HO)은 금속 물질을 포함하여 이루어질 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 엔지니어링 플라스틱 등 금속 물질을 대체할 만한 강도를 유지할 수 있는 물질이면 외부 하우징(HO)의 재료로서 이용될 수 있다.
외부 하우징(HO)의 일측에는 배출구(GO)가 배치될 수 있다. 배출구(GO)는 길이 방향으로 연장될 수 있다.
배출구(GO)를 통해 외부 하우징(HO)의 내부 공간과 외기가 연통될 수 있다. 즉, 후술하는 바와 같이 외부 하우징(HO)의 내부에는 기체 상태의 증착 물질이 존재할 수 있는데, 이러한 기체 상태의 증착 물질은 배출구(GO)를 통해 외부 하우징(HO)의 내부에서 챔버(CH) 내부 공간으로 이동할 수 있다.
배출구(GO)의 적어도 일측에는 가이드 패널(GP)이 배치될 수 있다. 가이드 패널(GP)은 배출구(GO)에서 방출되는 증착 물질의 이동을 가이드 할 수 있다. 구체적으로, 가이드 패널(GP)은 배출구(GO)에서 방출되는 증착 물질이 기판(S)을 향하도록 가이드 한다.
가이드 패널(GP)은 판 형상을 가질 수 있다. 가이드 패널은 배출구(GO)의 일측과 나란하도록 연장될 수 있으며, 그 연장 길이는 배출구(GO)와 실질적으로 동일할 수 있다. 가이드 패널(GP)은 기판(S)과 대향되도록 배치될 수 있다. 이와 같이 기판(S)과 대향되도록 가이드 패널(GP)이 배치되는 경우, 배출구(GO)로부터 나오는 증착 물질이 기판(S)을 향해 이동하도록 유도하며, 증착 물질이 측면으로 진행하여 챔버(CH) 내벽을 향해 진행하는 것을 방지할 수 있다.
도 2에서는 가이드 패널(GP)이 배출구(GO)의 일측에만 형성된 경우를 예시하나 이에 제한되는 것은 아니며, 가이드 패널(GP)은 배출구의 양측에 배치될 수도 있다. 이 경우, 배출구(GO)에서 나오는 증착 물질의 이동 방향은 더욱 제한되며, 증착 물질의 직진성이 향상될 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 외부 하우징(HO)의 외부 및/또는 내부에는 증착 물질(M)을 가열하는 히터가 배치될 수 있다. 히터는 증착 물질(M)을 가열하여 고체 또는 액체 상태의 증착물질을 기화시키는 역할을 할 수 있다. 히터의 위치는 제한되지 않으며, 상술한 기능을 수행할 수 있는 구성이라면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치의 히터로서 사용될 수 있다.
이어서, 도 3, 도 4 및 도 5를 참조하여 내부 모듈(IM)에 대해 자세히 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 외부 하우징(HO)의 내부 공간에는 내부 모듈(IM)이 배치될 수 있다.
내부 모듈(IM)은 제1 회전 플레이트(RP1), 제2 회전 플레이트(RP2), 격벽(PT), 회전 지지대(RS) 및 오픈부(OP)를 포함할 수 있다.
제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)는 서로 대향되도록 배치될 수 있다. 제1 회전 플레이트(RP1)와 제2 회전 플레이트(RP2)는 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있다. 제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)는 실질적으로 동일한 형상을 가질 수 있다.
제1 회전 플레이트(RP1)와 제2 회전 플레이트(RP2)는 원판 형상을 가질 수 있다. 외부 하우징(HO)이 원통형 형상을 갖는 예시적인 실시예에서, 외부 하우징(HO) 밑면의 직경보다 제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)의 전면(원 형상을 가지는 전면을 의미함)의 직경이 작거나 같을 수 있다. 제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)는 후술하는 바와 같이 외부 하우징(HO) 내부에서 회전 로드(RR)를 따라 회전할 수 있는데 외부 하우징(HO) 밑면의 직경보다 제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)의 전면(원 형상을 가지는 전면을 의미함)의 직경이 작거나 같은 경우, 제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)가 외부 하우징(HO) 내에서 원할하게 회전할 수 있다.
제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2) 사이에는 회전 지지대(RS)가 배치될 수 있다. 회전 지지대(RS)는 제1 회전 플레이트(RP1)와 제2 회전 플레이트(RP2)의 거리를 이격시키며 양자를 지지할 수 있다. 회전 지지대(RS)는 제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)의 중심부와 각각 체결될 수 있다. 구체적으로, 회전 지지대(RS)의 일단은 제1 회전 플레이트(RP1)와 체결되고, 회전 지지대(RS)의 타단은 제2 회전 플레이트(RP2)와 체결될 수 있다.
회전 지지대(RS)는 원기둥 형상을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 회전 지지대(RS)는 회전 로드(RR)와 체결될 수 있다. 회전 지지대(RS)가 회전 로드(RR)와 체결되는 경우 회전 지지대(RS)는 회전 로드(RR)를 따라 회전할 수 있다. 회전 지지대(RS)가 회전하면, 회전 지지대(RS)와 체결되는 제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)도 회전 로드(RR)를 따라 같은 방향으로 회전할 수 있다.
제1 회전 플레이트(RP1)와 제2 회전 플레이트(RP2) 사이에는 증착 물질을 저장하는 저장부가 배치될 수 있다. 도 3 내지 도 5는 저장부의 일례로서, 증착 물질이 격벽(PT)에 의해 구획되는 내부 공간에 저장되는 경우를 예시한다.
다만, 이는 증착 물질을 저장하는 저장부에 대한 하나의 예로서 이해 되어야 하며, 격벽(PT)의 구체적인 형상에 의해 저장부의 구조가 제한되는 것은 아니다. 즉, 저장부는 증착 물질을 저장할 수 있는 모든 기계적인 구조를 포함하는 것으로 이해되어야 할 것이다.
격벽(PT)은 측벽(SW)과 측벽(SW)으로부터 절곡되어 연장되는 상부 커버(UC)를 포함할 수 있다.
측벽(SW)은 제1 회전 플레이트(RP1) 및/또는 제2 회전 플레이트(RP2)로부터 수직 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. 도 3 내지 도 5는 측벽(SW)이 제2 회전 플레이트(RP2)로부터 제1 회전 플레이트(RP1)를 향해 연장되는 경우를 예시하지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 실시예에서 측벽(SW)은 제1 회전 플레이트(RP1)로부터 연장되거나, 제1 회전 플레이트(RP1) 및 제2 회전 플레이트(RP2)로부터 연장될 수 있다.
측벽(SW)은 회전 지지대(RS)와 일정 간격 이격되어 배치될 수 있다. 측벽(SW)이 회전 지지대(RS)와 일정 간격 이격되어 배치되는 경우, 측벽(SW)과 회전 지지대(RS) 사이에 일정 공간이 형성될 수 있다. 측벽(SW)과 회전 지지대(RS) 사이에 배치되는 공간에 증착 물질(M)이 배치될 수 있다. 저장되는 증착 물질(M)은 기체, 액체 및 고체 중 어느 하나의 상태로 저장되거나, 두 개 이상의 상태가 혼재하도록 존재할 수도 있다.
증착 물질(M)은 예컨대, 유기 증착 물질일 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 다른 실시예에서 증착 물질(M)은 적어도 부분적으로 무기물질을 포함할 수도 있다.
격벽(PT)은 측벽(SW)의 상단으로부터 내측으로, 즉 회전 지지대(RS)를 향해 절곡되는 상부 커버(UC)를 포함할 수 있다.
상부 커버(UC)는 측벽(SW)과 동일한 재료로 일체로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 독립한 구성으로서 측벽(SW)과 결합될 수도 있다.
상부 커버(UC)는 측벽(SW)의 일단으로부터 내측을 향해 절곡되어 배치될 수 있다. 도 5는 상부 커버(UC)와 측벽(SW)이 실질적으로 직각을 이루는 경우를 예시하나, 이에 제한되는 것은 아니며, 상부 커버(UC)는 측벽(SW)으로부터 일정 각도 기울어져 배치될 수 있다.
상부 커버(UC)의 단부는 회전 지지대(RS)와 일정 간격 이격될 수 있다. 이하에서는, 상부 커버(UC)의 단부와 회전 지지대(RS) 사이의 이격 공간을 오픈부(OP)로 지칭하기로 한다. 오픈부(OP)는 측벽(SW)과 회전 지지대(RS) 사이의 공간과 외부 하우징(HO)의 내부 공간을 연통시킬 수 있다.
일 실시예에서 증착 물질(M)의 적어도 일부는 기체 상태로 존재할 수 있는데, 내부 모듈(IM)이 회전하게 되면, 기상 상태(M)의 증착 물질은 오픈부(OP)를 통해 외부 하우징(HO)으로 배출될 수 있다. 즉, 상부 커버(UC)는 오픈부(OP)의 크기를 제한함으로써, 증착 물질(M)의 배출량을 조절할 수 있다.
이하에서는 도 6 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 동작에 대해서 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 단면 사시도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 사시도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 단면도이다.
도 6을 참조하면, 앞서 설명한 바와 같이 회전 로드(RR)는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 이하에서는 회전 로드(RR)가 반시계 방향으로 회전하는 경우를 예시하여 설명하나 회전 로드(RR)의 회전 방향이 이에 제한되지 않음을 미리 밝혀둔다.
회전 로드(RR)가 회전하면, 그와 체결된 내부 모듈(IM)도 회전 로드(RR)를 따라 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 내부 모듈(IM)이 회전하면 원심력에 의해 증착 물질(M)은 측벽(SW) 쪽으로 쏠리게 된다. 증착 물질(M)이 원심력의 영향을 받게 되면 그 중 일부가 오픈부(OP)를 통해 외부 하우징(HO)의 내부 공간으로 방출될 수 있다. (도 6의 ① 번 화살표 참조)
이어서, 도 7 및 도 8을 참조하면, 외부 하우징(HO)의 내부 공간에 존재하는 증착 물질(M)은 원심력에 의해 반시계 방향으로 회전할 수 있다. (도 7 및 도 8의 ②번 화살표 참조) 이 경우, 회전 하는 증착 물질(M) 중 일부는 외부 하우징(HO)의 배출구(GO)를 통해 외부로 방출될 수 있다. (도 7 및 도 8의 ③번 화살표 참조)
배출구(GO)를 통해 배출된 증착 물질(M)은 가이드 패널(GP)에 의해 가이드 되어 기판(S) 등의 피처리 대상체를 향해 진행할 수 있다.
이렇듯, 증착 물질이 담긴 내부 모듈을 회전시키는 경우, 내부의 증착 물질(M)에 원심력을 부여하여 증착 물질(M)의 직진성, 즉 기판(S)을 향해 나아가는 힘을 향상시킬 수 있다. 또한, 원심력이 부여된 증착 물질(M)의 전달 속도도 향상될 수 있다.
이 경우, 증착 물질(M)은 피처리 대상체인 기판(S)에 충분한 힘을 가지고 도달하여 성막이 원할하게 이루어지며, 성막 시간 또한 감소하게 된다.
즉, 더 빠르고 더 효율적으로 기판(S) 상에 박막을 형성할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치에 대해 설명하기로 한다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 단면 사시도이다. 도 10은 도 9의 증착 장치의 종단면도이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는 복수의 내부 모듈을 갖는 점이 도 3의 실시예와 다른 점이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는 제1 내부 모듈(IM1) 및 제2 내부 모듈(IM2)를 가질 수 있다. 설명의 편의를 위해 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치가 제1 내부 모듈(IM1) 및 제2 내부 모듈(IM2), 즉 2 개의 내부 모듈을 갖는 경우를 예시하여 설명하나 내부 모듈에 개수가 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 실시예에서 내부 모듈의 개수는 3개 이상일 수도 있다.
제1 내부 모듈(IM1) 및 제2 내부 모듈(IM2)은 실질적으로 동일할 수 있다. 즉, 제1 내부 모듈(IM1) 및 제2 내부 모듈(IM2)은 앞서 도 3 내지 도 5에서 설명한 내부 모듈(IM)과 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 내부 모듈(IM1)과 제2 내부 모듈(IM2)은 회전 로드(RR)의 길이 방향을 따라 순차적으로 배치될 수 있다. 즉, 제1 내부 모듈(IM1)과 제2 내부 모듈(IM2)는 길이 방향으로 중첩될 수 있다. 다시 말하면, 제1 내부 모듈(IM1)과 제2 내부 모듈(IM2)의 회전 지지대(RS)가 길이 방향으로 완전하게 포개어질 수 있다.
일 실시예에서 제1 내부 모듈(IM1)은 제2 내부 모듈(IM2)과 체결되고, 제1 내부 모듈(IM1) 및 제2 내부 모듈(IM2)은 회전 로드(RR)와 체결될 수 있다. 다시 말하면, 제1 내부 모듈(IM1), 제2 내부 모듈(IM2) 및 회전 로드(RR)는 서로 체결될 수 있다. 즉, 회전 로드(RR)가 회전함에 따라 제1 내부 모듈(IM1) 및 제2 내부 모듈(IM2)이 같은 속도로 회전할 수 있다.
다른 실시예에서 제1 내부 모듈(IM1) 및 제2 내부 모듈(IM2)은 서로 다른 속도로 회전할 수 있다. 이 경우, 제1 내부 모듈(IM1) 및 제2 내부 모듈(IM2)은 서로 다른 회전 로드에 체결될 수 있다. 즉, 다른 실시예에서 증착 장치는 하나 이상의 회전 로드를 포함하고, 복수의 내부 모듈은 서로 다른 회전 로드에 체결되어 서로 다른 속도로 회전할 수도 있다.
일 실시예에서 제1 내부 모듈(IM1)에는 제1 증착 물질(M1)이 저장되고, 제2 내부 모듈(IM2)에는 제2 증착 물질(M2)이 저장될 수 있다. 일 실시예에서 제1 증착 물질(M1) 및 제2 증착 물질(M2)는 서로 동일한 물질일 수 있다. 복수개의 내부 모듈이 서로 동일한 증착 물질을 저장하는 경우, 하나의 내부 모듈에서 증착 물질이 배출되는 경우에 비해, 배출구(GO)에서 나오는 증착 물질의 플럭스(flux)가 균일해질 수 있다. 이 경우, 기판(S)상에 형성되는 박막의 균일성이 향상될 수 있다.
다른 실시예에서 제1 증착 물질(M1)과 제2 증착 물질(M2)은 서로 상이할 수 있다. 제1 증착 물질(IM1)과 제2 증착 물질(IM2)이 상이한 경우, 제1 증착 물질(IM1)과 제2 증착 물질(M2)은 외부 하우징(HO)에서 혼합될 수 있다. 증착 장치는 이렇게 혼합된 물질을 기판(S)에 제공하여 기판(S) 상에 제1 증착 물질(M1)과 제2 증착 물질(M2)의 혼합 물질로 이루어진 박막을 형성할 수 있다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 가이드 패널(GP)은 증착 물질(M)의 회전 방향과 대향하도록 배치될 수 있다.
도 11과 같이 가이드 패널(GP)이 회전 방향과 대향하도록 배치되는 경우, 회전하는 증착 물질(M) 중 일부가 가이드 패널(GP)과 충돌하여 방향이 전환된 채로 튀어나갈 수 있다.
이와 같이 가이드 패널(GP)이 증착 물질의 회전 방향 즉, 회전 로드(RR)의 회전 방향과 대향하도록 배치되는 경우, 증착 물질(M)에 제공되는 원심력을 완화시켜, 증착 물질(M)이 나아가는 힘을 적절하게 조절할 수 있다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는 가이드 패널(GP)이 일정한 각을 가지고 기울어진 상태로 배치되는 점이 도 2의 실시예와 다른 점이다.
일 실시예에서 배출구(GO)의 적어도 일측에 배치되는 가이드 패널(GP)은 일정 각도 기울어져 배치될 수 있다. 설명의 편의를 위해, 외부 하우징(HO)의 외주와 접하는 가상의 접선(CL)을 정의하기로 한다. 가이드 패널(CL)은 접선(CL)과 제1각(θ)을 이루도록 기울어질 수 있다. 가이드 패널(GP)이 접선(CL)과 제1각(θ)을 이루도록 기울어져 배치되는 경우, 증착 물질(M)의 진행 방향을 제어할 수 있다. 즉, 증착 물질(M)이 기울어진 가이드 패널(GP)에 의해 가이드 되어 일정 각도 기울어진 방향으로 진행할 수 있다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는 두 개의 배출구를 가질 수 있다.
다른 실시예에서 외부 하우징(HO)은 제1 배출구(GO1) 및 제2 배출구(GO2)를 포함할 수 있다.
도 13에서는 제1 배출구(GO1) 및 제2 배출구(GO2)가 서로 반대 방향을 향하는 경우를 예시하지만, 제1 배출구(GO1) 및 제2 배출구(GO2)의 위치가 이에 제한되는 것은 아니며, 설계상의 필요에 따라 제1 배출구(GO1) 및 제2 배출구(GO2)의 위치를 조정할 수 있다.
제1 배출구(GO1)에 대향하도록 제1 기판(S1)이 배치되고, 제2 배출구(GO2)에 대향하도록 제2 기판(S2)이 배치될 수 있다.
이 경우, 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2) 상에 순차적으로 또는 동시에 성막 공정이 진행될 수 있다. 즉, 외부 하우징(HO)이 복수개의 배출구를 갖는 경우, 동시에 여러 장의 기판에 증착 공정을 진행함으로써, 공정의 효율을 향상시키고, 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 횡단면도이다. 도 14를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는 4개의 배출구를 포함하는 점이 도 13의 실시예와 다른 점이다.
일 실시예에서 외부 하우징(HO)은 제1 배출구(GO1), 제2 배출구(GO2), 제3 배출구(GO3) 및 제4 배출구(GO4)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서 제1 배출구(GO1)와 제2 배출구(GO1)의 개구 방향은 직각이고, 제1 배출구(GO1)과 제3 배출구(GO3)의 개구 방향은 서로 반대 방향일 수 있다. 즉, 제1 배출구(GO1) 내지 제 4 배출구(GO4)가 외부 하우징(HO)의 외주를 따라 일정한 간격으로 이격되어 배치될 수 있다.
제1 배출구(GO1) 내지 제4 배출구(GO4)와 대응되도록 제1 기판(S1) 내지 제4 기판(S4)이 배치될 수 있다.
이 경우, 제1 기판(S1) 내지 제4 기판(S4) 상에 순차적으로 또는 동시에 성막 공정이 진행될 수 있다. 즉, 외부 하우징(HO)이 복수개의 배출구를 갖는 경우, 동시에 여러 장의 기판에 증착 공정을 진행함으로써, 공정의 효율을 향상시키고, 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
도 13 및 도 14는 배출구가 두 개 또는 네 개인 경우를 예시하여 설명하였지만, 배출구의 개수가 이에 제한되는 것은 아니다. 다른 실시예에서는 설계에 따라 배출구가 3개이거나 5개 이상일 수도 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 대해 설명하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 회전 로드(RR)와 체결되며, 증착 물질(M)을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈(IM) 및 회전 로드(RR) 및 내부 모듈(IM)의 외측을 감싸며 배치되고, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징을 포함하는 증착원 및 증착원과 대향하는 기판을 준비하는 단계, 회전 로드(RR)를 회전시켜 회전 로드(RR)와 체결된 내부 모듈(IM)을 회전시키는 단계 및 외부 하우징(HO)의 배출구(GO)를 통해 나오는 증착 물질(M)을 기판(S)에 제공하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 증착 장치에 의해 수행될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 이와 실질적으로 동일하거나 동일한 원리를 이용한 장치를 이용하여 수행될 수도 있음을 미리 밝혀둔다.
먼저, 회전 로드(RR)와 체결되며, 증착 물질(M)을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈(IM) 및 회전 로드(RR) 및 내부 모듈(IM)의 외측을 감싸며 배치되고, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징을 포함하는 증착원 및 증착원과 대향하는 기판을 준비하는 단계가 진행된다.
회전 로드(RR), 내부 모듈(IM) 및 외부 하우징(HO)은 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 증착 장치에서 설명한 것과 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
회전 로드(RR), 내부 모듈(IM) 및 외부 하우징(HO)을 포함하는 증착원과 대향되도록 기판(S)이 배치될 수 있다.
이어서, 회전 로드(RR)를 회전시켜 회전 로드(RR)와 체결된 내부 모듈(IM)을 회전시키는 단계가 진행될 수 있다. 앞서 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 증착 장치에서 설명한 것과 같이 회전 로드(RR)는 내부 모듈(IM)과 체결되어 일체로 회전할 수 있다.
회전 로드(RR)가 회전하면, 내부 모듈(IM)이 포함하는 저장부에 저장된 증착 물질(M)이 회전할 수 있다. 즉, 내부 모듈(IM)의 회전은 증착 물질(M)에 원심력을 부여할 수 있다.
내부 모듈(IM)에서 기체 상태로 변한 증착 물질(IM)의 일부는 원심력을 유지한 채로 외부 하우징(HO)의 내부 공간으로 배출되어 외부 하우징(HO)의 내벽을 따라 회전할 수 있다.
이어서, 외부 하우징(HO)의 배출구(GO)를 통해 나오는 증착 물질(M)을 기판(S)에 제공하는 단계가 진행될 수 있다. 외부 하우징(HO)의 내벽을 따라 회전하는 증착 물질(M) 중 일부는 배출구(GO)를 통해 배출될 수 있다. 이 경우, 증착 물질(M)에 부여된 원심력은 추진력으로 작용하여 증착 물질(M)을 밀어낼 수 있다.
배출구(GO)에서 방출된 증착 물질(M)은 가이드 패널(GP)에 의해 가이드 되어 기판(S)에 제공될 수 있다. 기판(S)에 도달한 증착 물질(M)은 기판(S)에 부착되어 박막을 형성할 수 있다.
이와 같은 방법으로 증착 물질에 원심력을 부여하는 경우, 증착 물질이 나아가는 힘이 향상되어 증착 공정의 효율성이 증대되고, 공정 시간이 절약될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
TR: 운송 수단
S: 기판;
SS: 기판 지지대
GP: 가이드 패널
RR: 회전 로드
GO: 배출구
CH: 챔버
HO: 외부 하우징
IM: 내부 모듈
RP: 회전 플레이트
PT: 격벽
SW: 측벽
UC: 상부 커버
OP: 오픈부
RS: 회전 지지대
M: 증착 물질
S: 기판;
SS: 기판 지지대
GP: 가이드 패널
RR: 회전 로드
GO: 배출구
CH: 챔버
HO: 외부 하우징
IM: 내부 모듈
RP: 회전 플레이트
PT: 격벽
SW: 측벽
UC: 상부 커버
OP: 오픈부
RS: 회전 지지대
M: 증착 물질
Claims (19)
- 회전 로드;
상기 회전 로드와 체결되며, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈; 및
상기 회전 로드 및 상기 내부 모듈의 외측을 감싸며 배치되되, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징;을 포함하되,
상기 회전 로드는 상기 내부 모듈을 회전시키도록 구성되고,
상기 내부 모듈은 일정 간격 이격되어 배치되는 제1 회전 플레이트와 제2 회전 플레이트, 상기 제1 회전 플레이트와 상기 제2 회전 플레이트 사이에 배치되는 회전 지지대, 상기 회전 로드와 나란한 방향으로 연장되는 측벽, 및 상기 측벽의 일단으로부터 절곡되어 연장되는 상부 커버를 더 포함하고,
상기 상부 커버의 단부는 상기 회전 지지대와 일정 간격 이격되는 증착 장치. - 제1항에 있어서,
상기 외부 하우징은 원통 형상을 갖는 증착 장치. - 제1항에 있어서,
상기 외부 하우징과 상기 회전 로드는 회전 가능하도록 체결되는 증착 장치. - 제1항에 있어서,
상기 배출구의 적어도 일측에 배치되는 가이드 패널을 더 포함하는 증착 장치. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 내부 모듈은 격벽을 포함하고, 상기 증착 물질은 상기 격벽에 의해 구획된 공간에 저장되는 증착 장치. - 회전 로드;
상기 회전 로드와 체결되며, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈; 및
상기 회전 로드 및 상기 내부 모듈의 외측을 감싸며 배치되되, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징;을 포함하되,
상기 회전 로드는 상기 내부 모듈을 회전시키도록 구성되고,
상기 내부 모듈은 격벽을 포함하고, 상기 증착 물질은 상기 격벽에 의해 구획된 공간에 저장되며,
상기 격벽은 상기 회전 로드와 나란한 방향으로 연장되는 측벽 및 상기 측벽의 일단으로부터 절곡되어 연장되는 상부 커버를 포함하는 증착 장치. - 제1항에 있어서,
상기 내부 모듈은 복수개이고, 상기 복수개의 내부 모듈은 상기 회전 로드의 길이 방향을 따라 중첩적으로 배치되는 증착 장치. - 회전 로드;
상기 회전 로드와 체결되며, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈; 및
상기 회전 로드 및 상기 내부 모듈의 외측을 감싸며 배치되되, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징;을 포함하되,
상기 회전 로드는 상기 내부 모듈을 회전시키도록 구성되고,
상기 내부 모듈은 복수개이고, 상기 복수개의 내부 모듈은 상기 회전 로드의 길이 방향을 따라 중첩적으로 배치되며,
상기 내부 모듈은 제1 내부 모듈 및 제2 내부 모듈을 포함하되, 상기 제1 내부 모듈은 제1 증착 물질을 저장하고, 상기 제2 내부 모듈은 상기 제1 증착 물질과 상이한 제2 증착 물질을 저장하는 증착 장치. - 제1항에 있어서,
상기 외부 하우징의 상기 배출구는 복수개이고, 상기 복수개의 배출구는 개구 방향이 서로 상이한 증착 장치. - 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하는 회전 로드;
증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하고, 상기 회전 로드와 체결되어 상기 회전 로드와 같은 방향으로 회전하는 내부 모듈; 및
상기 내부 모듈 및 상기 회전 로드의 외측을 감싸며 배치되고, 상기 증착 물질을 배출시키는 배출구를 포함하는 외부 하우징을 포함하되,
상기 내부 모듈은 일정 간격 이격되어 배치되는 제1 회전 플레이트와 제2 회전 플레이트, 상기 제1 회전 플레이트와 상기 제2 회전 플레이트 사이에 배치되는 회전 지지대, 상기 회전 로드와 나란한 방향으로 연장되는 측벽, 및 상기 측벽의 일단으로부터 절곡되어 연장되는 상부 커버를 더 포함하고,
상기 상부 커버의 단부는 상기 회전 지지대와 일정 간격 이격되는 증착 장치. - 제13항에 있어서,
상기 내부 모듈이 회전함에 따라 상기 증착 물질에 원심력이 제공되는 증착 장치. - 제13항에 있어서,
상기 내부 모듈은 복수개이고, 상기 복수개의 내부 모듈은 상기 회전 로드와 같은 방향으로 회전하는 증착 장치. - 제13항에 있어서,
상기 내부 모듈은 제1 내부 모듈 및 제2 내부 모듈을 포함하고, 상기 제1 내부 모듈 및 상기 제2 내부 모듈은 서로 상이한 속도로 회전하는 증착 장치. - 회전 로드와 체결되며, 증착 물질을 저장하는 저장부를 포함하는 내부 모듈 및 상기 회전 로드 및 상기 내부 모듈의 외측을 감싸며 배치되고, 외기와 연통되는 배출구를 갖는 외부 하우징을 포함하는 증착원; 및 상기 증착원과 대향하는 기판;을 준비하는 단계;
상기 회전 로드를 회전시켜 상기 회전 로드와 체결된 상기 내부 모듈을 회전시키는 단계; 및
상기 외부 하우징의 배출구를 통해 나오는 상기 증착 물질을 상기 기판에 제공하는 단계를 포함하되,
상기 내부 모듈은 일정 간격 이격되어 배치되는 제1 회전 플레이트와 제2 회전 플레이트, 상기 제1 회전 플레이트와 상기 제2 회전 플레이트 사이에 배치되는 회전 지지대, 상기 회전 로드와 나란한 방향으로 연장되는 측벽, 및 상기 측벽의 일단으로부터 절곡되어 연장되는 상부 커버를 더 포함하고,
상기 상부 커버의 단부는 상기 회전 지지대와 일정 간격 이격되는 표시 장치의 제조 방법. - 제17항에 있어서,
상기 내부 모듈이 회전함에 따라 상기 증착 물질에 원심력이 제공되는 표시 장치의 제조 방법. - 제17항에 있어서,
상기 내부 모듈은 복수개이고, 상기 복수개의 내부 모듈은 상기 회전 로드와 같은 방향으로 회전하는 표시 장치의 제조 방법.
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