TW201501892A - 基板搬運機器人、基板搬運系統及基板搬運方法 - Google Patents

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Yoshiki Kimura
Daisuke Shin
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Yaskawa Denki Seisakusho Kk
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Abstract

本發明的課題為提供一種不使機器人大型化，即使對位在較遠位置的基板載放部仍可進行存取的基板搬運機器人。 其解決手段為該基板搬運機器人(13)具備：手部(131)；移動手部(131)用的臂(132)；及控制手部(131)移動的控制部(133)。控制部(133)在平面方向顯示，基板保持中心(138)在匣(30)的附近，並且，在位於從匣(30)隔著預定間隔的存取開始位置(141)的狀態，控制手部(131)的位置及方向，控制使得手中心線(139)構成為相對於存取直線(304)傾斜的同時，手中心線(139)在與存取直線(304)一致的狀態，基板保持中心(138)到達匣(30)內的基板載放位置(142)。

Description

基板搬運機器人、基板搬運系統及基板搬運方法
本發明是關於基板搬運機器人、基板搬運系統及基板搬運方法。
以往，相對於載放基板(半導體晶圓)的基板載放部存取而具備保持基板的手部的基板搬運機器人已為人所知(例如，參閱專利文獻1)。
上述專利文獻1中，揭示有包括朝向前端成串聯連結的第1臂及第2臂的臂，及具備連接於臂前端的手部的水平多關節型的基板搬運機器人。基板搬運機器人被固定地配置在機器人設置區域內，從沿著機器人設置區域成直線型排列的複數個基板載放部(基板收納匣)，進行基板的存取。為進行基板的取出及收納手部對基板載放部進行存取的場合，在與從基部朝向前端的手中心線相對於基板載放部的存取直線(相對於基板載放部的前面垂直之基板存取方向的直線)一致的狀態(與基板載放部正對的狀態)，手部在從基板載放部分開的存取開始位置與基板載放部內的基板載放位置之間直線移動。基板搬運機器人， 即使相對於對基板施以預定處理的處理裝置的基板載放部(處理室)，仍是進行同樣的存取動作。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2011-228627號公報
但是，如上述專利文獻1所揭示的習知的基板搬運機器人，構成手部對基板載放部進行存取時，平面方向顯示，在手中心線與相對於基板載放部的前面成垂直的存取直線一致的狀態直線移動於存取開始位置及基板載放位置之間，所以在存取開始位置，臂的前端(手部的根部)必須要到達存取直線的延長線上，而不能將基板載放部配置在更遠的位置。因此，要求即使位在較遠位置的基板載放部手部也可進行存取。
本發明是為解決上述課題所研創而成，該發明之一目的為提供一種不使機器人大型化，即使對位在較遠位置的基板載放部仍可進行存取的基板搬運機器人、基板搬運系統及基板搬運方法。
根據第一局面的基板搬運機器人具備：手部，可對於載放著基板的基板載放部進行存取並保持基板；臂，用於移動手部；及控制部，控制手部的移動，控制部，平面方向顯示，在手部保持著基板時的基板保持中心在基板載放部的附近，並且，在位於從基板載放部隔著預定間隔的存取開始位置的狀態，控制手部的位置及方向，使得從手部的根部朝向前端的手中心線構成為相對於在基板載放部內存取用的基板載放部的前面成垂直的存取直線傾斜，並且，手中心線在與存取直線一致的狀態，基板保持中心到達基板載放部內的基板載放位置。
根據第一局面的基板搬運機器人中，如上述，平面方向顯示，手部保持著基板時的基板保持中心在基板載放部的附近，並且，在位於從基板載放部隔著預定間隔的存取開始位置的狀態，構成控制部以控制手部的位置及方向，使得從手部的根部朝向前端的手中心線相對於在基板載放部內存取用的基板載放部的前面成垂直的存取直線傾斜，並且，手中心線在與存取直線一致的狀態，基板保持中心到達基板載放部內的基板載放位置，藉以使手中心線在存取開始位置相對於存取直線傾斜而可將臂的前端(手部的根部)定位在接近基板搬運機器人的位置，因此在基板載放位置使得臂的前端即使相對於可配置在存取直線的延長線上的範圍內被配置在較遠位置的基板載放部仍 可進行手部的存取。藉此，不致使機器人大型化(臂長的長大型化)，使得臂的前端在存取開始位置即使相對於位在不能配置於存取直線的延長線上的較遠位置的基板載放部仍可進行存取。
根據第2局面的基板搬運系統具備：機器人設置區域；配置在機器人設置區域內，對載放著基板的基板載放部進行存取而可保持基板的手部；及包括使手部移動用的臂的基板搬運機器人，基板搬運機器人於平面方向顯示，基板保持於手部時的基板保持中心在基板載放部的附近，並且，在位於從基板載放部隔著預定間隔的存取開始位置的狀態，移動手部，構成使得從手部的根部朝向前端的手中心線相對於在基板載放部內存取用的基板載放部的前面成垂直的存取直線傾斜，並且，手中心線在與存取直線一致的狀態，基板保持中心到達基板載放部內的基板載放位置。
根據第2局面的基板搬運系統中，如上述，平面方向顯示，使基板保持於手部時的基板保持中心在基板載放部的附近，並且，在位於從基板載放部隔著預定間隔的存取開始位置的狀態，構成基板搬運機器人移動手部，使得從手部的根部朝向前端的手中心線相對於在基板載放部內存取用的基板載放部的前面成垂直的存取直線傾斜，並且，手中心線在與存取直線一致的狀態，基板保持中心到達基板載放部內的基板載放位置，藉此在存取開始 位置使得手中心線相對於存取直線傾斜並可將臂的前端(手部的根部)定位在接近基板搬運機器人的位置，因此在基板載放位置使得臂的前端即使相對於可配置在存取直線的延長線上的範圍內被配置在較遠位置的基板載放部仍可進行手部的存取。藉此，不致使機器人大型化(臂長的長大型化)，使得臂的前端在存取開始位置即使相對於位在不能配置於存取直線的延長線上的較遠位置的基板載放部仍可進行存取。
根據第3局面的基板搬運方法是相對於載放著基板的基板載放部使基板搬運機器人的手部進行存取以搬運基板用的基板搬運方法，具備：平面方向顯示，以在基板保持於手部時的基板保持中心位於基板載放部的附近，並從基板載放部隔著預定間隔的存取開始位置的狀態，使得從手部的根部朝向前端的手中心線相對於和基板載放部內存取用的基板載放部的前面呈垂直的存取直線傾斜的步驟，及改變手中心線的方向以使得在存取開始位置和基板載放部內的基板載放位置之間與存取直線一致，並以手中心線與存取直線一致的狀態使手部的基板保持中心到達基板載放位置的步驟。
根據第3局面的基板搬運方法是如上述，設置以在基板保持於手部時的基板保持中心位於基板載放部的附近，並從基板載放部隔著預定間隔的存取開始位置的狀態，使得從手部的根部朝向前端的手中心線相對於和基 板載放部內存取用的基板載放部的前面呈垂直的存取直線傾斜的步驟，及改變手中心線的方向以使得在存取開始位置和基板載放部內的基板載放位置之間與存取直線一致，並以手中心線與存取直線一致的狀態使手部的基板保持中心到達基板載放位置的步驟，藉此在存取開始位置可使手中心線相對於存取直線傾斜將手部的根部定位在接近基板搬運機器人的位置，所以即使在基板載放位置相對於存取直線的延長線上的可配置範圍內的較遠位置配置手部的根部的基板載放部仍可進行手部的存取。藉此，不致使機器人大型化(臂長的長大型化)，在存取開始位置即使對於位在手部的根部不能配置在存取直線的延長線上的較遠位置的基板載放部仍可進行存取。
根據第4局面的基板搬運機器人具備：手部，及以前端部和手部連接的臂，相對於載放著基板的基板載放部手部進行存取時的手部的位置及方向為手部在存取開始位置相對於基板載放部的前面垂直之存取直線成傾斜，並在基板載放部內的基板載放位置設定使手部沿著存取直線的位置及方向。
根據第4局面的基板搬運機器人是如上述，使手部相對於載放著基板的基板載放部進行存取時的手部的位置及方向，在存取開始位置將手部相對於基板載放部的前面垂直之存取直線成傾斜，並在基板載放部內的基板載放位置設定使手部沿著存取直線的位置及方向，藉此在 存取開始位置可使手部相對於存取直線傾斜將臂的前端(手部的根部)定位在接近基板搬運機器人的位置，即使在基板載放位置相對於存取直線的延長線上的可配置範圍內的較遠位置配置臂的前端的基板載放部仍可進行手部的存取。藉此，不致使機器人大型化(臂長的長大型化)，在存取開始位置即使對於位在臂的前端不能配置在存取直線的延長線上的較遠位置的基板載放部仍可進行存取。
根據上述基板搬運機器人、基板搬運系統及基板搬運方法，不致使機器人大型化，或即使對位在較遠位置的基板載放部仍可進行存取。
10‧‧‧基板搬運系統
11‧‧‧機器人設置區域
12‧‧‧裝載埠
13‧‧‧基板搬運機器人
30(30a、30b)‧‧‧匣(基板載放部)
110‧‧‧基板
125‧‧‧匣開關區域
126‧‧‧外緣
131‧‧‧手部
132‧‧‧臂
133‧‧‧控制部
136‧‧‧第1臂部(臂部)
137‧‧‧第2臂部(臂部)
138‧‧‧基板保持中心
139‧‧‧手中心線
141‧‧‧存取開始位置
142‧‧‧基板載放位置
143‧‧‧存取中途位置
202‧‧‧處理室(基板載放部)
304‧‧‧存取直線
305‧‧‧禁止進入區域
C1‧‧‧轉動中心(旋繞中心)
F‧‧‧第1距離
G‧‧‧第2距離
K‧‧‧前端部
L‧‧‧連桿長度
α‧‧‧相對角度
第1圖為表示一實施形態之基板處理系統的整體構成的上視圖。
第2圖為表示一實施形態之基板處理系統的整體構成的概略剖視圖。
第3圖為表示一實施形態之基板處理系統的基板搬運機器人的透視圖。
第4圖為說明一實施形態之基板搬運系統的第1存取控制用的概念圖。
第5圖為說明一實施形態之基板搬運系統的第2存取控制用的概念圖。
第6圖是說明從第1存取控制之存取開始位置到存取中途位置為止的手部動作用的概念圖。
第7圖是說明從第1存取控制之存取中途位置到基板載放位置為止的手部動作用的概念圖。
第8圖(A)~(E)是分別階段性表示根據一實施形態之基板搬運系統的第1存取控制的存取動作中，從存取開始位置到存取中途位置為止的動作的上視圖。
第9圖(A)~(E)是分別階段性表示根據一實施形態之基板搬運系統的第1存取控制的存取動作中，從存取中途位置到基板載放位置為止的動作的上視圖。
以下，根據圖示說明實施形態。
首先，參閱第1圖~第7圖，針對一實施形態之基板處理系統100的構成說明。本實施形態是針對將基板搬運系統運用在具備半導體基板的處理裝置的基板處理系統的例加以說明。
基板處理系統100是如第1圖及第2圖表示，具備搬運基板110的基板搬運系統100及處理裝置20。又，基板處理系統100是藉基板搬運系統10將基板110搬運到處理裝置20，並藉處理裝置20，對搬運後的 基板110進行半導體裝置之製程的處理所構成。
基板搬運系統10是如第1圖表示，具備：機器人設置區域11；設置有收納基板110的匣30的複數個(四個)裝載埠12；及配置在機器人設置區域11內的基板搬運機器人13。基板搬運系統10為藉基板搬運機器人13在匣30與處理裝置20之間搬運基板110用的系統。並且，匣30為「基板載放部」的一例。
並且，基板搬運系統10在平面方向顯示(從上方顯示)，具有裝載埠12的設置區域，及配合設有基板搬運機器人13的機器人設置區域11的大小的外形尺寸(以第1圖的虛線表示的外形形狀)。機器人設置區域11為配置著裝載埠12的前面壁111、處理裝置20的背面壁201及側壁所圍繞的平面方向顯示呈長方型形狀的箱型區域。又，基板搬運系統10進一步具備未圖示的FFU(風扇濾器單元)。構成維持機器人設置區域11內之空氣的清淨狀態。以下，在平面方向顯示，稱前面壁111與背面壁201相對的X方向為前後方向，並以沿著前面壁111及背面壁201的長方向(Y方向)為橫向。機器人設置區域11具有前後方向的寬度W1及橫向的寬度W2。
匣30是以SEMI(Semiconductor Eguipment and Materials International)規格為依據的正面開口型的半導體晶圓收納容器，稱為FOUP(Front Open Unified Pod)。又，匣30是如第1圖表示，包括具有前面開口 302的容器主體301，及可拆裝嵌入於前面開口302的容器門303。匣30構成為密閉容器主體301及容器門303所圍繞的內部空間形成局部的清淨區域，可在容器主體301內收納複數個基板110。匣30構成可在容器主體301內的不同高度位置載放複數個基板110。例如，四個匣30在上下方向具有25段的載放位置，最多可層疊收納25片的基板110。
裝載埠12具有保持收納著基板110的匣30並使得匣30的內部相對於機器人設置區域11開關的功能。裝載埠12設置以機器人設置區域11的前面側(X1方向側)與前面側111鄰接，沿著前面壁111排列於Y方向配置。裝載埠12具有設置台121、前面板122及埠門123。裝載埠12是如第2圖表示，構成在設置台121的上面上，分別各固定一個可拆裝(設置)的匣30。前面板122形成在沿著Y方向的垂直面內並構成機器人設置區域11的前面壁111的一部份。又如第1圖表示，前面板122具有形成開口部124的窗型(框型)形狀，藉裝載埠123進行開口部124的開關。又，裝載埠12具備未圖示的門開關機構。門開關機構把持著埠門123及匣30的容器門303從開口部124朝著後方(X2方向)拉出並向下方(Z2方向，參閱第2圖)移動(退避)，將匣30的內部空間開放於機器人設置區域11側，在匣30的搬出時關閉埠門123及容器門303。
基板搬運機器人13如第3圖表示，為具備：相對於匣30進行存取並可保持基板110的手部131；用於移動手部131的臂132；及控制基板搬運機器人13的各部之控制部133的水平多關節機器人。如第1圖表示，基板搬運機器人13被配置在機器人設置區域11的接近匣30的位置(X1方向側的位置)。臂132在壁132的前端部與手部131連接，並包括從臂132的後述的旋繞中心(轉動中心C1)朝向前端以端部彼此可轉動的狀態依序連結的複數個臂部。更具體而言，基板搬運機器人13進一步具備底構件134與支撐軸135，並且，本實施形態中，臂132是以第1臂部136及第2臂部137的兩個臂部所構成。另外，第1臂部136及第2臂部137為「臂部」的一例。
如第3圖表示，支撐軸135為底構件134所支撐。又，支撐軸135形成相對於底構件134的上面朝垂直方向延伸。並在支撐軸135的上端部連接第1臂部136的一方端部。第1臂部136構成以支撐軸135為轉動軸可在水平面內轉動。又，在第1臂部136的另一方端部連接第2臂部137的一方端部。第2臂部137構成以連接在第1臂部136的一方端部為轉動中心可在水平面內轉動。並在第2臂部137的另一方端部連接手部131。手部131是構成以和第2臂部137的連接部為轉動中心可在水平面內轉動。又，手部131構成可支撐基板110的邊緣(外周 緣)。如上述，基板搬運機器人13，可在第1臂部136的轉動中心C1、第2臂部137的轉動中心C2及手部131的轉動中心C3的三個轉動中心周圍，分別使第1臂部136、第2臂部137及手部131獨立(個別地)轉動。再者，第1臂部136的轉動中心C1也是臂132整體的支撐軸135周圍的旋繞中心。
並且，第1臂部136及第2臂部137形成連桿長度彼此大致相同的大小。亦即，如第1圖表示，從第1臂部136的轉動中心C1到第2臂部137的轉動中心C2為止的第1臂部136的連桿長度，及從第2臂部137的轉動中心C2到手部131的轉動中心C3為止的第2臂部137的連桿長度大致相等，長度為L。藉此，與第1臂部136及第2臂部137的連桿長度彼此不同的場合比較，可抑制搬運基板110時之各部的動作控制變得複雜。此外，本實施形態中，從手部131的轉動中心C3至手部131保持有基板110時的基板保持中心138為止的手長度H，將手長度H設定成比第1臂部136及第2臂部137的連桿長度L小，且手部131包括保持基板110時的基板110的最大長度與各個臂部的全長大致相等。
第1臂部136及第2臂部137所構成臂132的動作範圍是使可到達長度範圍Ra成為半徑的圓E(參閱第7圖)內。本實施形態是如第7圖表示，臂132為基板保持中心138位於後述的存取途中位置143的狀態之臂 132(第2臂部137)的前端部與轉動中心(旋繞中心)C1之間的第1距離F(點O-點Q間的距離)，及基板保持中心138位於匣30內的基板載放位置142的狀態之臂132(第2臂部137)的前端部與轉動中心C2之間的第2距離G(點O-點R間的距離)的其中較大一方，在複數個(兩個)臂部的所有連桿長度的和(L+L=2L)的長度以下，並構成為臂132的可到達長度Ra以下。
亦即，基板搬運機器人13的臂132，其臂長滿足下述的條件式(1)。
max{F,G}≦Ra≦2L‧‧‧(1)
再者，臂132的可到達長度Ra，在機構上雖可與所有的連桿長的和(本實施形態為2L)一致，但實際上，考慮臂132的控制上的特異點的產生或臂前端橫向擺動的產生等的結果，多設定為2L以下預定值的場合。亦即，在臂132設定考慮控制上的特異點或臂前端位置之控制性的開角(轉動中心C1及C2周圍的旋轉角度)的範圍，使在其範圍內從成為最大開角的轉動中心C1到臂132(第2臂137)的前端(轉動中心C3)為止的長度成為可到達長度Ra。
又，如第2圖表示，基板搬運機器人13藉著支撐軸135的上下移動，構成可以使第1臂部136、第2臂部137及手部131一體上下移動。藉此，基板搬運機器人13可對於配置在匣30內的不同高度位置的所有載放位 置進行基板110的搬出入。
控制部133，主要具備：CPU等所成的運算處理部；ROM及RAM等所成的記憶部；第1臂部136、第2臂部137及手部131等進行控制訊號輸出入的輸出入部。對控制部133預先教導藉手部131搬運基板110時的各部的動作。具體而言，控制部133針對分別對四個匣30進行基板110的搬出入動作(存取動作)，預先教導各部的動作。藉此，基板搬運機器人13根據後述的動作順序進行基板110的搬運動作。
處理裝置20是如第1圖及第2圖表示，在配置著基板搬運機器人13及匣30的一側(X1方向側)具有背面壁201。背面壁201是形成在沿著Y方向的垂直面內。又，背面壁201相對於前面壁111成大致平行配置地與前面壁111相對。並在背面壁201形成有大致矩形狀的開口部202，基板搬運機器人13透過該開口部202在處理裝置20內部的處理室203的預定的基板載放位置進行存取。開口部202是如第1圖表示，具有基板110可插入之水平方向(Y方向)的開口寬度B。又，開口部202是如第2圖表示，具有比基板搬運機器人13的第1臂部136、第2臂部137及手部131的高度方向的移動範圍大的高度方向(Z方向)的開口長度H1。再者，處理室203為「基板載放部」的一例。
基板搬運機器人13可藉著以上的構成，將匣 30內的基板110透過開口部202搬運到處理裝置20內的載放位置，並可構成將處理裝置20內的基板110搬運至匣30內的預定的載放位置。
在此，本實施形態是如第4圖表示，基板搬運機器人13藉著控制部133控制手部131的位置及方向，平面方向顯示，在基板保持中心138位在存取開始位置141的狀態，使手部131的手中心線139相對於匣30內存取用的存取直線304傾斜(參閱第4圖的虛線)，並進行手部131移動的第1存取控制，構成在手中心線139與存取直線304一致的狀態使得基板保持中心138到達匣30內的基板載放位置142(參閱第4圖的實線)。此外，針對存取開始位置141、手中心線139、存取直線304及基板載放位置142是如後述。
但是，本實施形態中，控制部133並非對所有的匣30進行上述第1存取控制。控制部133是構成進行對應存取之匣30的位置(從基板搬運機器人13的距離)的存取動作控制。具體是如第5圖表示，控制部133是構成在對接近基板搬運機器人13的匣30a進行手部131的存取時，基板保持中心138在位於存取開始位置141的狀態進行使手中心線139與存取直線304一致的第2存取控制。另一方面，如第4圖表示，控制部133構成在對於比匣30a更遠離基板搬運機器人13的匣30b進行手部131的存取時，以基板保持中心138位於存取開始位置141的 狀態，在臂132的活動範圍(半徑Ra)內進行使手中心線139相對於存取直線304傾斜的第1存取控制。第1圖的構成中，配置在橫向(Y方向)兩外側的兩個匣30是相當於遠的匣30b，而配置在橫向內側的兩個匣30則是相當於近的匣30a。
在此，參閱第1圖及第4圖~第7圖，說明第1及第2存取控制。
首先，針對將手部131相對於匣30存取時之存取動作的動作條件說明。如第4圖及第5圖表示，臂132的動作範圍是在半徑Ra的圓E內，所以第2臂部137的前端部(手部131的根部)的轉動中心C3有配置在圓E內的必要。
存取動作是從存取開始位置141朝向匣30內的基板載放位置142移動手部131的動作。存取開始位置141是對於匣30開始進行存取的位置，手部131的基板保持中心138在匣30的附近，並從匣30隔著預定的間隔配置的位置。本實施形態中，存取開始位置141設定成在匣開關區域125內未配置有手部131及保持於手部131的基板110之被設定作為匣開關區域125的外緣126附近的預定位置。匣開關區域125為確保裝載埠12的門開關機構(未圖示)進行匣30的開關用的動作區域，為SEMI規格所規定的寬度(X方向的寬度)W3(參閱第1圖)的區域。通常，考慮動作效率，存取開始位置141設定成使手部131 及被保持在手部131的基板110盡可能地接近匣開關區域125的外緣126。基板載放位置142為被收納(載放)於匣30內的基板110的中心位置。
並且，控制手部131，使得基板110保持於手部131時的基板保持中心138定位在匣30內的基板載放位置142。在此，如第6圖及第7圖表示，在匣30的內部，根據SEMI規格設定禁止進入區域305(陰影區域)，控制手部131的動作使手部131不進入該禁止進入區域305內。禁止進入區域305是表示為保持基板110而在匣30內設置朝內側突出的支撐部(未圖示)的可形成區域，規格上，必須形成可將支撐部收納於禁止進入區域305內。因此，存取動作中，至少手部131必須進入到禁止進入區域305內，擔保手部131不致與根據SEMI規格的匣接觸(干涉)。從禁止進入區域305的形狀可得知，在匣30內，根據手部131的形狀除了入口部份附近，有幾乎不容許沿著與匣30的前面(機器人設置區域11的前面壁111)垂直的存取直線304之直線移動以外的手部131移動的場合。為此，基本上在匣30內，使得從手部131的根部朝向前端的手中心線139與存取直線304(X方向)一致，使其直線移動的必要。再者，手中心線139正確為連結手部131的轉動中心C3與手部131的基板保持中心138的直線。
在以上的動作條件下，第2存取控制是如第5 圖表示，控制部133在基板保持中心138位於存取開始位置141的狀態(參閱虛線)，使手中心線139與存取直線304一致，並在其狀態基板保持中心138到達基板載放位置142為止使得手部131朝X1方向直線移動。藉此第2存取控制的存取動作，在存取開始位置141使手中心線139與存取直線304一致的狀態的第2臂部137的前端部(手部131的根部)的轉動中心C3(點P)，可在配置於半徑Ra的圓E內的範圍內進行。因此，控制部133在轉動中心C1與存取開始位置141之轉動中心C3之間的距離G2(點O-點P間的距離)為Ra以下的場合，構成可實施第2存取控制。
亦即，第2存取控制在滿足下述的條件式(2)的場合實施。
G2≦Ra‧‧‧(2)
因此，第2存取控制是如第5圖表示，相對於從轉動中心C1到Y方向的距離D1為止的範圍內的匣30實施，當匣30位於距離D1的位置時，在存取開始位置141使手中心線139與存取直線304一致的狀態的轉動中心C3(點P)位在圓E上。
另一方面，控制部133是對於比距離D1更位在從基板搬運機器人13(轉動中心C1)朝Y方向分離的位置的匣30b，實施上述第1存取控制。
第1存取控制中，控制部133是如第4圖及 第6圖表示，手部131的基板保持中心138位於存取開始位置141的狀態(虛線的手位置)，在臂132的活動範圍(半徑Ra的圓E內)內使手中心線139相對於存取直線304傾斜(傾斜角度α)。如上述，本實施形態中，藉第1存取控制存取時的手部131的位置及方向，在存取開始位置141是被設定為手部131相對於存取直線304朝向基板搬運機器人13的第1臂部136的轉動中心C1側傾斜的位置及方向。
並且，控制部133是如第6圖表示，在存取開始位置141與基板載放位置142之間改變手中心線139的方向使其與存取直線304一致，並將基板保持中心138定位在比匣開關區域125的外緣126更位於匣30b側(X1方向側)的存取中途位置143的狀態(實線的手位置)，使得手中心線139與存取直線304一致。
存取中途位置143為手部131的基板保持中心138被配置在比存取開始位置141更接近匣30側的位置。本實施形態中，存取中途位置143被設定在比匣開關區域125的外緣126更接近匣30b側(X1方向側)，並作為匣30b內之手部131的禁止進入區域305的外側的位置。該存取中途位置143是對應手部131的形狀與匣30b(30)內的進入禁止區域305的形狀來決定，手部131的前端部K位於禁止進入區域305附近的預定位置。第6圖是表示手部131的前端部K在禁止進入區域305的附近並與禁止 進入區域305接觸瞬間前的位置，設定有存取中途位置143的例。並且，第6圖是表示手部131的前端部K在進入比匣30的前面開口302更內側為止的位置，設定有存取中途位置143。
在此，第6圖中，為表示邊側插接式手部131的例，平面方向顯示，露出於手部131的前端部K保持的基板110的外側。相對於此，例如，採用負壓(真空)式或靜電式的夾頭方式的手部中，前端部也有露出於配置在與基板110重疊的位置的基板110外側的場合。此時，可將存取中途位置設定在比第6圖表示的存取中途位置143更深入匣30b的深處側為止。如上述，存取中途位置是對應手部的形狀與匣30內之禁止進入區域305的形狀來決定。
再者，本實施形態中，控制部133在平面方向顯示，手部131的基板保持中心138位於存取開始位置141，手中心線139從相對於存取直線304傾斜的狀態(第6圖的虛線的手位置)，第1臂部136與第2臂部137的相對角度β以一定的狀態，構成使手部131朝著存取中途位置143移動。因此，在存取開始位置141與存取中途位置143之間，臂132(第2臂部137)的前端部的轉動中心C3採半徑一定的圓弧軌跡。
又，存取開始位置141的手中心線139相對於存取直線304的傾斜角度α，在移動至存取中途位置 143為止時設定手中心線139與存取直線304成一致的角度。因此，首先，決定存取中途位置143(第6圖的實線的手位置)的姿勢(轉動中心C1、C2及C3周圍的旋轉角度)，此時的第1臂部136與第2臂部137的相對角度β成為存取開始位置141的相對角度β。在轉動中心C2周圍的旋轉角度固定的狀態，將臂部132的整體從存取中途位置143在轉動中心C1周圍旋繞到存取開始位置141為止時之手中心線139相對於存取直線304的傾斜角度在其狀態成為傾斜角度α。
如第7圖表示，在存取中途位置143使得手中心線139與存取直線304一致之後，控制部133是與上述第2存取控制同樣，基板保持中心138在到達基板載放位置142為止使手部131朝著X1方向直線移動。亦即，本實施形態中，藉第1存取控制進行存取時的手部131的位置及方向被設定成在基板載放位置142中手部131沿著存取直線304(使手中心線139與存取直線304一致)的位置及方向。如此一來，實施第1存取控制。
根據此第1存取控制的存取動作是在存取中途位置143使得手中心線139與存取直線304一致的狀態(第7圖的虛線的手位置)的轉動中心C3與轉動中心C1之間的第1距離F(點O-點Q間的距離)與基板保持中心138到達基板載放位置142的狀態(第7圖的實線的手位置)的轉動中心C3與轉動中心C1之間的第2距離G(點O-點R 間的距離)的其中較大一方，可在配置於半徑Ra的圓E內的範圍內進行。
因此，在存取開始位置141將手中心線139假設成與存取直線304一致的狀態時的轉動中心C3與轉動中心C1之間的距離G2(第7圖的點O-點Pi間的距離)變得比半徑Ra大的場合，第1距離F(點O-點Q間的距離)與第2距離G(點O-點R間的距離)的其中較大一方，位在配置於半徑Ra的圓E內的範圍內的場合，控制部133構成為實施第1存取控制。
亦即，第1存取控制是在滿足下述的條件式(3)的場合實施。
max{F,G}≦Ra<G2‧‧‧(3)
藉此，第1存取控制是如第6圖及第7圖表示，即使對於從轉動中心C1僅離開Y方向的距離D2(>D1)的匣30b，仍可實施存取動作。其結果，第2存取控制中，存取開始位置141的第2臂部137的前端部(轉動中心C3)相對於配置在如露出於半徑Ra的圓E的外部的較遠位置的匣30b，仍可藉第1存取控制進行存取。上述基板搬運機器人13之臂長的相關條件式(1)是以如上述第1存取控制及第2存取控制的實施為前提，反之，在滿足條件式(1)的範圍內，設置有基板搬運系統10的匣30(30a及30b)。
接著，針對根據本實施形態的基板搬運系統10進行基板搬運時的具體動作順序說明。在此，參閱第4 圖、第6圖、第8(A)圖~第8(E)圖及第9(A)圖~第9(E)圖，針對手部131從基板搬運機器人13朝著較遠的匣30b的具體存取動作的一例說明。又，在此，針對手部131保持的基板110朝著匣30b搬運(收納)的場合說明。該存取動作是從基板搬運機器人13朝向遠的匣30b進行存取，所以控制部133藉著第1存取控制進行手部131的位置及方向的控制。
首先，基板搬運機器人13是如第8(A)圖表示，將手部131的基板保持中心138定位在存取開始位置141。此時，控制手部131的方向使得手中心線139相對於存取直線304成傾斜的狀態(參閱第4圖)。接著，如第8(B)圖~第8(E)的圖示，基板搬運機器人13藉著臂132的整體從存取開始位置141在轉動中心C1的周圍旋繞，將手部131的基板保持中心138定位在存取中途位置143。因此，從存取開始位置141到存取中途位置143為止的基板保持中心138的軌跡J1成為圓弧軌跡。又，該其間，第1臂部136與第2臂部137的相對角度β成一定地維持著。又，第2臂部137與手部131的相對角度γ也成一定地維持著。
如第8(E)圖及第9(A)圖表示，手部131的基板保持中心138到達存取中途位置143時，手中心線139相對於存取直線304成一致的狀態(參閱第6圖)。接著，如第9(B)圖~第9(E)圖表示，基板搬運機器人13沿著存 取直線304直線移動手部131，將基板保持中心138從存取中途位置143定位於基板載放位置142。因此，從存取中途位置143到基板載放位置143為止的基板保持中心138的軌跡J2成為直線軌跡。
在此期間，第1臂部136與第2臂部137的相對角度β及第2臂部137與手部131的相對角度γ為連續地變化。亦即，控制部133使第1臂部136、第2臂部137及手部131分別在轉動中心C1、C2及C3周圍轉動，並使得手中心線139與存取直線304一致的狀態直線移動手部131。
手部131的基板保持中心138定位於基板載放位置142時，基板搬運機器人13在匣30b內設置基板110，將手部131從匣30b抽除。從匣30b的抽除動作也是以和存取動作相同的軌跡進行。亦即，手部131的抽除動作是使第8(A)圖~第8(E)圖及第9(A)圖~第9(E)圖相反重現的動作。如以上的說明，進行基板搬運。
在此，近年來，為了藉基板處理裝置提升處理效率有增加匣的設置數量的傾向，越是增加匣設置數量，基板搬運機器人越是產生有對遠的匣進行存取的必要。另一方面，由於基板搬運機器人的大型化所導致整體設備的大型化，期待提供使習知的基板搬運機器人不致大型化，且即使對位在較遠位置的匣仍可進行存取的基板搬運機器人。
但是，如上述專利文獻1所揭示的習知基板搬運機器人是構成在手部對匣進行存取時，使手中心線與存取直線一致的狀態直線移動於存取開始位置與基板載放位置之間，所以在存取開始位置臂的前端(手部的根部)必須到達存取直線的延長線上，則在更遠的位置不能配置匣。
為此，本實施形態是如上述，平面方向顯示，構成控制部133以控制手部131的位置及方向，使得在基板保持中心138位於存取開始位置141的狀態，手中心線139相對於存取直線304傾斜，在手中心線139與存取直線304一致的狀態基板保持中心138到達基板載放位置142，藉以使手中心線139在存取開始位置141相對於存取直線304成傾斜並可將臂132的前端部(手部131的根部)定位在接近基板搬運機器人13的位置，所以即使對於在基板載放位置142將臂132的前端部(轉動中心C3)配置於存取直線304之延長線上的可配置範圍內的較遠位置的匣30b手部131仍可進行存取。藉此，不致使基板搬運機器人13大型化(臂長的長大型化)，在存取開始位置141對於位在如不能將臂132的前端部(轉動中心C3)配置在存取直線304的延長線上的較遠位置的匣30b仍可進行存取。如上述，在所謂上述匣之設置數量增加的背景下，根據本實施形態的基板搬運機器人13對作為基板載放部的匣30進行存取的場合尤其有效。
再者，根據本實施形態之基板搬運機器人13的上述效果，藉著縮短對複數個匣30進行存取所需的臂132的臂長，換言之可使基板搬運系統10小型化。亦即，從設計上的要求，基板搬運系統10中賦予匣30的配置數量(例如，第1圖表示4個)的場合，該等匣30的橫向(Y方向)的間距是根據SEMI規格來規定，因此決定對所有的匣30進行存取所需的臂長度，並也決定機器人設置區域11的橫寬W2。此時，機器人設置區域11的前後寬度W1是對應折疊臂132及手部131而旋繞時的最小旋繞半徑來決定。亦即，決定機器人設置區域11的前後寬度W1，以使得從轉動中心C1到背面壁201為止的距離成為在最小旋繞半徑加上預定的安全裕度的大小。因此，根據本實施形態的基板搬運系統10，賦予匣30的配置數量時，可以縮短為進行所有的匣30存取時所需之基板搬運機器人13的臂長，藉此可減小機器人設置區域11的前後寬度W1，可以使基板搬運系統10變得小型化。
又，本實施形態是如上述，構成控制部133，在存取開始位置141和基板載放位置142之間一邊改變手中心線139的方向使其與存取直線304一致，並在手中心線139與存取直線304一致的狀態使手部131的基板保持中心138到達基板載放位置142。藉此，例如除了使手部131停止在預定位置之外並無進行使手部131的方向變更的動作的必要，在存取開始位置141與基板載放位置142 之間使手部131一邊移動於臂132的活動範圍(圓E內)，並隨著移動可使手中心線139與存取直線304一致。
並且，本實施形態是如上述，構成控制部133，使基板保持中心138在位於比存取開始位置141更接近匣30側的存取中途位置143的狀態，使得手中心線139與存取直線304一致，並在存取中途位置143與基板載放位置142之間，以手中心線139與存取直線304一致的狀態直線移動手部131。藉此，在存取中途位置143與匣30內的基板載放位置142之間，可藉單純且容易獲得精度的直線移動來移動手部，因此手部131不致與匣30的內部干涉(接觸)，可使手部131在匣30內位置精度良好地進行存取。
又，本實施形態是如上述的式(1)表示，構成臂132，使得基板保持中心138位於存取中途位置143的狀態之臂132的前端部(轉動中心C3)與轉動中心C1之間的第1距離F，及基板保持中心138位於基板載放位置142的狀態之臂132的前端部(轉動中心C3)與轉動中心C1之間的第2距離G的其中較大一方為構成臂132的所有臂部(第1臂部136及第2臂部137)的連桿長度的和(2L)的長度以下，並成為臂132的可到達長度Ra以下。藉此，只要第1距離F與第2距離G中的較大一方成為連桿長的和(2L)的長度及可到達長度Ra以下的範圍內，存取開始位置141中即使對於位在手中心線139不能與存 取直線304一致的較遠位置的匣30，仍可使手部131進行存取。
又，本實施形態是如上述，將存取開始位置141設定在基板保持中心138被配置於匣開關區域125的外緣附近的位置，並將存取中途位置143設定在比匣開關區域125的外緣126接近匣30側，且於匣30內的手部131的禁止進入區域305的外側位置。藉此，在手部131到達比匣開關區域125的外緣126接近匣30側的存取中途位置143為止可預先使手中心線139相對於存取直線304(接近基板搬運機器人13的一側)傾斜，因此即使對於在存取開始位置141不能使手中心線139與存取直線304一致之位於較遠位置的匣30，仍可容易地使手中心線139與存取直線304一致的狀態進行匣30內之基板載放位置142的存取。又，此時，也可防止在禁止進入區域305內手部131與匣30的干涉。
並且，本實施形態是如上述，將存取中途位置143，根據手部131的形狀與匣30內的禁止進入區域305的形狀來決定，設定在手部131的前端部位於禁止進入區域305附近的預定位置。因此，可對應手部131的形狀與匣30內的禁止進入區域305的形狀，手部131的前端部接近禁止進入區域305的位置為止預先使手中心線139相對於存取直線304(接近基板搬運機器人13的一側)傾斜。藉此，即使對於位在更遠位置的匣30，仍可以使 手中心線139在與存取直線304一致的狀態進行對匣30內之基板載放位置142的存取。
此外，本實施形態是如上述，在平面方向顯示，手部131的基板保持中心線138位於存取開始位置141，從手中心線139相對於存取直線304傾斜的狀態，在相鄰的第1臂部136及第2臂部137的相對角度β為一定的狀態，構成控制部133使手部131朝著存取中途位置143移動。藉此，從存取開始位置141移動至存取中途位置143為止，可使相鄰的第1臂部136及第2臂部137的相對角部β(轉動中心C2周圍的旋轉角度)不變更地移動手部131，所以可簡化手部131的移動控制，減輕控制部133的存取控制負擔。尤其是本實施形態為利用轉動中心C1周圍之臂132整體的旋繞來實現從存取開始位置141朝向存取中途位置143的移動，所以可進一步簡化從存取開始位置141朝著存取中途位置143的移動控制。
又，本實施形態是如上述，構成控制部133，使手部131對位於接近位置的匣30a進行存取時，基板保持中心138位於存取開始位置141的狀態使得手中心線139與存取直線304一致(第2存取控制)，並使得手部131對配置在比匣30a更遠位置的匣30b進行存取時，基板保持中心138位於存取開始位置141的狀態，在臂132的活動範圍內(半徑Ra)內使得手中心線139相對於存取直線304傾斜(第1存取控制)。藉此，對位在接近位置的匣 30a進行存取的場合，可藉著使手中心線139與存取直線304一致的直線移動進行從存取開始位置141到基板載放位置142為止的存取動作，因此手部131可在匣30內位置精度良好地進行存取。並且，即使存取開始位置141中相對於不能使手中心線139與存取直線304一致的位在較遠位置的匣30b，仍可在存取開始位置141使手中心線139相對於存取直線304傾斜來進行存取。藉此，手部131可以對應從基板搬運機器人13的距離之適當的存取動作進行匣30(30a、30b)的存取。
再者，此次所記載的實施形態之所有的點皆為例示並未加以限制。本發明的範圍並非上述實施形態的說明而係根據申請專利所記載，並進一步包括與申請專利範圍均等的意義及範圍內的所有的變更。
例如，上述實施形態中，雖表示具備兩個臂部(第1臂部及第2臂部)的基板搬運機器人作為基板搬運機器人的一例，但也可以僅具備一個臂部的基板搬運機器人，或具備三個以上的臂部的基板搬運機器人。
又，上述實施形態中，雖表示具備一個手部的基板搬運機器人作為基板搬運機器人的一例，但也可以具備兩個以上的手部的基板搬運機器人。
又，上述實施形態中，雖表示將邊側插接式手部131設置於基板搬運機器人13的例，但如上述，也可以將負壓(真空)式或靜電式的夾頭方式的手部設置在基 板搬運機器人。或者將邊側插接式、負壓式及靜電式以外的夾頭方式的手部設置於基板搬運機器人。
又，上述實施形態中，雖表示具備四個裝載埠12，可藉此設置四個匣30的基板搬運系統10的例，但匣的設置數量(裝載埠的數量)也可以是三個以下或五個以上。
又，上述實施形態雖表示第1存取控制中在存取開始位置141與存取中途位置143之間圓弧移動(旋繞移動)手部131，藉以使手中心線139的方向連續變化的例，但也可以控制在存取開始位置141與基板載放位置142之間的位置，進行手部131方向的調整動作。亦即，將手部131移動至手中心線139可與存取直線304一致的位置(即使手中心線139與存取直線304一致，臂132的前端部也不會露出圓E的範圍的位置)為止之後，構成使手中心線139進行與存取直線304一致的動作。
又，上述實施形態雖表示第1存取控制中在存取開始位置141與存取中途位置143之間維持著一定的相對角度β並使手部131圓弧移動(旋繞移動)的例，但也可以使相對角度β在存取開始位置141與存取中途位置143之間變化。
又，上述實施形態雖表示第1存取控制中在存取開始位置141與存取中途位置143之間不僅是相對角度β且相對角度γ也維持一定地移動手部131的例，但也 可以使相對角度γ在存取開始位置141與存取中途位置143之間變化。
又，上述實施形態雖表示將存取中途位置143設定於手部131的前端部位於禁止進入區域305附近的預定位置的例，但是例如也可以將存取中途位置設定在從禁止進入區域僅離開預定的安全裕度的位置。存取中途位置也可以是即使手中心線139與存取直線304一致仍可將臂132的前端部收納於圓E的範圍內的位置，只要是禁止進入區域305的外側位置即可。因此，存取中途位置不限於圖示的位置，也可以對應手部的形狀與匣內之禁止進入區域305的形狀設定在最適當的位置。
又，上述實施形態中，雖表示構成手部131僅對配置在比匣30a更遠位置的匣30b進行存取時，基板保持中心138位於存取開始位置141的狀態使得手中心線139相對於存取直線304傾斜之基板搬運機器人13的例，但也可以手部131對位在較近的匣30a進行存取時，基板保持中心138以位在存取開始位置141的狀態使得手中心線139相對於存取直線304傾斜。
又，上述實施形態中，雖表示手部131對匣30(30b)進行存取時，在存取開始位置141進行使手中心線139相對於存取直線304傾斜時的第1存取控制的例，但是手部131對處理裝置20的處理室203進行存取時，也可同樣進行第1存取控制。亦即，在對處理室203的存 取開始位置使得手中心線139相對於朝處理室203的存取直線傾斜。藉此，對於位在更遠位置的處理室手部也可進行存取。
又，上述實施形態中，雖表示在匣30與處理裝置20之間藉基板搬運機器人13搬運基板110的基板搬運系統的例，但是基板搬運系統，例如也可以是具備將基板交接於下一步驟用的緩衝部的基板暫置裝置等，朝半導體裝置的製程之處理裝置以外的裝置搬運基板的基板搬運系統。此時也可以和上述實施形態同樣，進行手部對緩衝部存取時，在對緩衝部的存取開始位置使手中心線相對於朝緩衝部之存取直線傾斜的第1存取控制。藉此，手部可對於位在更遠位置緩衝部進行存取。此時，緩衝部為「基板載放部」的一例。
又，上述實施形態中，雖表示以機器人設置區域作為夾持於配置在彼此大致平行的前面壁及背面壁的區域為例，但也可以圍繞彼此交叉所配置的第1壁部及第2壁部的區域作為機器人設置區域。
13‧‧‧基板搬運機器人
30(30b)‧‧‧匣(基板載放部)
110‧‧‧基板
125‧‧‧匣開關區域
126‧‧‧外緣
132‧‧‧臂
136‧‧‧第1臂部(臂部)
137‧‧‧第2臂部(臂部)
138‧‧‧基板保持中心
139‧‧‧手中心線
141‧‧‧存取開始位置
142‧‧‧基板載放位置
301‧‧‧容器主體
302‧‧‧前面開口
304‧‧‧存取直線
C1‧‧‧轉動中心(旋繞中心)
C2‧‧‧轉動中心
C3‧‧‧轉動中心
E‧‧‧圓
P‧‧‧點
Ra‧‧‧半徑
α‧‧‧相對角度
D2‧‧‧距離

Claims (14)

  1. 一種基板搬運機器人，具備：手部，可對於載放著基板的基板載放部進行存取並保持上述基板；臂，用於移動上述手部；及控制部，控制上述手部的移動，上述控制部，平面方向顯示，在上述手部保持著基板時的基板保持中心在上述基板載放部的附近，並且，在位於從上述基板載放部隔著預定間隔的存取開始位置的狀態，控制上述手部的位置及方向，構成使得從上述手部的根部朝向前端的手中心線相對於在上述基板載放部內存取用的上述基板載放部的前面成垂直的存取直線傾斜，並且，上述手中心線在與上述存取直線一致的狀態，上述基板保持中心到達上述基板載放部內的基板載放位置。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的基板搬運機器人，其中，上述控制部構成為一邊改變上述手中心線的方向以使得在上述存取開始位置和上述基板載放位置之間與上述存取直線一致，並以上述手中心線與上述存取直線一致的狀態使上述手部的上述基板保持中心到達上述基板載放位置。
  3. 如申請專利範圍第2項記載的基板搬運機器人，其中，上述控制部構成為在上述基板保持中心位於比上述存取開始位置接近上述基板載放部側的存取中途位置的狀態，使上述手中心線與上述存取直線一致，在上述存取中 途位置與上述基板載放位置之間，上述手中心線與上述存取直線一致的狀態使上述手部直線移動。
  4. 如申請專利範圍第3項記載的基板搬運機器人，其中，上述臂包括，在上述臂的前端部與上述手部連接，並從上述臂的旋繞中心朝向前端以端部彼此可轉動的狀態依序連結的複數個臂部，上述臂，上述基板保持中心位在上述存取中途位置的狀態之上述臂的前端部與上述旋繞中心之間的第1距離，及上述基板保持中心位在上述基板載放置的狀態之上述臂的前端部與上述旋繞中心之間的第2距離的其中較大一方，構成為上述複數個臂部的所有連桿長度和的長度以下，且成為上述臂的可到達長度以下。
  5. 如申請專利範圍第3項記載的基板搬運機器人，其中，上述基板載放部為收納基板的匣，上述存取開始位置為將基板保持在上述手部時的上述基板保持中心配置在匣開關區域的外緣附近的位置，上述存取中途位置是位在比上述匣開關區域的外緣更接近上述匣側，並且是上述匣內的上述手部之禁止進入區域的外側位置。
  6. 如申請專利範圍第4項記載的基板搬運機器人，其中，上述基板載放部為收納基板的匣，上述存取開始位置為將基板保持在上述手部時的上述基板保持中心配置在匣開關區域的外緣附近的位置，上述存取中途位置是位在比上述匣開關區域的外緣更 接近上述匣側，並且是上述匣內的上述手部之禁止進入區域的外側位置。
  7. 如申請專利範圍第5項記載的基板搬運機器人，其中，上述存取中途位置是對應上述手部的形狀與上述匣內之上述禁止進入區域的形狀來決定，上述手部的前端部是位在上述禁止進入區域附近的預定位置。
  8. 如申請專利範圍第6項記載的基板搬運機器人，其中，上述存取中途位置是對應上述手部的形狀與上述匣內之上述禁止進入區域的形狀來決定，上述手部的前端部是位在上述禁止進入區域附近的預定位置。
  9. 如申請專利範圍第3項至第8項中任一項記載的基板搬運機器人，其中，上述臂包括：在上述臂的前端部與上述手部連接，並從上述臂的旋繞中心朝向前端以端部彼此可轉動的狀態依序連結的複數個臂部，上述控制部，在平面方向顯示，構成使上述手部的基板保持中心位於上述存取開始位置，從上述手中心線相對於上述存取直線傾斜的狀態，在上述複數個臂部之中相鄰的至少兩個相對角度為一定的狀態，使上述手部朝著上述存取中途位置移動。
  10. 如申請專利範圍第1項至第8項中任一項記載的基板搬運機器人，其中，上述手部，構成可對第1基板載放部，及從上述基板搬運機器人比上述第1基板載放部更遠的第2基板載放部進行存取， 上述控制部，構成為在上述手部對上述第1基板載放部進行存取時，上述基板保持中心位於上述存取開始位置的狀態使上述手中心線與上述存取直線一致，並構成為在上述手部對上述第2基板載放部進行存取時，上述基板保持中心位於上述存取開始位置的狀態，在上述臂的活動範圍內使上述手中心線相對於上述存取直線傾斜。
  11. 如申請專利範圍第9項記載的基板搬運機器人，其中，上述手部，構成可對第1基板載放部，及從上述基板搬運機器人比上述第1基板載放部更遠的第2基板載放部進行存取，上述控制部，構成為在上述手部對上述第1基板載放部進行存取時，上述基板保持中心位於上述存取開始位置的狀態使上述手中心線與上述存取直線一致，並構成為在上述手部對上述第2基板載放部進行存取時，上述基板保持中心位於上述存取開始位置的狀態，在上述臂的活動範圍內使上述手中心線相對於上述存取直線傾斜。
  12. 一種基板搬運系統，具備：機器人設置區域；配置在上述機器人設置區域內，對載放著基板的基板載放部進行存取而可保持上述基板的手部；及包括使上述手部移動用的臂的基板搬運機器人，上述基板搬運機器人於平面方向顯示，構成為基板保持於上述手部時的基板保持中心在上述基板載放部的附近，並且，在位於從上述基板載放部隔著預定間隔的存取 開始位置的狀態，移動上述手部，使得從上述手部的根部朝向前端的手中心線相對於在上述基板載放部內存取用的上述基板載放部的前面成垂直的存取直線傾斜，並且，上述手中心線在與上述存取直線一致的狀態，上述基板保持中心到達上述基板載放部內的基板載放位置。
  13. 一種基板搬運方法，係相對於載放著基板的基板載放部使基板搬運機器人的手部進行存取以搬運上述基板用的基板搬運方法，具備：平面方向顯示，以在基板保持於上述手部時的基板保持中心位於上述基板載放部的附近，並從上述基板載放部隔著預定間隔的存取開始位置的狀態，使得從上述手部的根部朝向前端的手中心線相對於和上述基板載放部內存取用的上述基板載放部的前面成垂直的存取直線傾斜的步驟，及改變上述手中心線的方向以使得在上述存取開始位置和上述基板載放部內的基板載放位置之間與上述存取直線一致，並以上述手中心線與上述存取直線一致的狀態使上述手部的基板保持中心到達上述基板載放位置的步驟。
  14. 一種基板搬運機器人，具備：手部，及以前端部和上述手部連接的臂，相對於載放著基板的基板載放部上述手部進行存取時的上述手部的位置及方向為上述手部在存取開始位置相對於上述基板載放部的前面垂直之存取直線成傾斜，並在上述基板載放部內的基板載放位置設定使上述手部沿著上述 存取直線的位置及方向。
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