KR970054303A - Ccd 고체촬상소자의 제조방법 - Google Patents

Ccd 고체촬상소자의 제조방법 Download PDF

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KR970054303A
KR970054303A KR1019950059323A KR19950059323A KR970054303A KR 970054303 A KR970054303 A KR 970054303A KR 1019950059323 A KR1019950059323 A KR 1019950059323A KR 19950059323 A KR19950059323 A KR 19950059323A KR 970054303 A KR970054303 A KR 970054303A
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KR1019950059323A
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김상식
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 CCD 고체촬상소자에 관한 것으로서, 특히 개개의 패턴 형성공정없이 마이크로 렌즈를 형성하여 렌즈의 크기나 곡률의 변화가 없는 균일한 감도를 얻을 수 있는 마이크로 렌즈의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 CCD 고체촬상소자의 제조방법은 실리콘 기판상에 광다이오드 영역과 차폐층을 형성하는 공정과, 기판전면에 걸쳐 평탄화막을 형성하는 공정과, 광다이오드 영역에 대응되는 평탄화막상에 마이크로 렌즈의 곡률조절층을 형성하는 공정과, 광조절층상에 칼라필터층을 형성하는 공정과, 마이크로 렌즈용 레지스트막을 도포하여 곡률조절층과 칼라필터층에 의해 형성된 요철에 의해 볼록한 마이크로렌즈를 형성하는 공정을 포함한다.

Description

CCD 고체촬상소자의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시예에 따른 CCD 고체촬상소자의 단면 구조도.

Claims (2)

  1. 실리콘 기판(31)상에 광다이오드 영역(32)과 차폐층(34)을 형성하는 공정과, 기판전면에 걸쳐 평탄화막(35)을 형성하는 공정과, 광다이오드 영역(32)에 대응되는 평탄화막(35)상에 마이크로 렌즈의 곡률로절층(36)을 형성하는 공정과, 광조절층(36)상에 칼라필터층(37)을 형성하는 공정과, 마이크로 렌즈용 레지스트막을 도포하여 곡률조절층(36)과 칼라필터층(37)에 의해 형성된 요철에 의해 볼록한 마이크로 렌즈(38)를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 마이크로 렌즈의 곡률 조절층(36)으로 폴리이미드가 사용되는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100382723B1 (ko) * 2000-11-13 2003-05-09 삼성전자주식회사 고체촬상소자 및 그 제조방법
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