KR970054303A - Ccd 고체촬상소자의 제조방법 - Google Patents
Ccd 고체촬상소자의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 CCD 고체촬상소자에 관한 것으로서, 특히 개개의 패턴 형성공정없이 마이크로 렌즈를 형성하여 렌즈의 크기나 곡률의 변화가 없는 균일한 감도를 얻을 수 있는 마이크로 렌즈의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 CCD 고체촬상소자의 제조방법은 실리콘 기판상에 광다이오드 영역과 차폐층을 형성하는 공정과, 기판전면에 걸쳐 평탄화막을 형성하는 공정과, 광다이오드 영역에 대응되는 평탄화막상에 마이크로 렌즈의 곡률조절층을 형성하는 공정과, 광조절층상에 칼라필터층을 형성하는 공정과, 마이크로 렌즈용 레지스트막을 도포하여 곡률조절층과 칼라필터층에 의해 형성된 요철에 의해 볼록한 마이크로렌즈를 형성하는 공정을 포함한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시예에 따른 CCD 고체촬상소자의 단면 구조도.
Claims (2)
- 실리콘 기판(31)상에 광다이오드 영역(32)과 차폐층(34)을 형성하는 공정과, 기판전면에 걸쳐 평탄화막(35)을 형성하는 공정과, 광다이오드 영역(32)에 대응되는 평탄화막(35)상에 마이크로 렌즈의 곡률로절층(36)을 형성하는 공정과, 광조절층(36)상에 칼라필터층(37)을 형성하는 공정과, 마이크로 렌즈용 레지스트막을 도포하여 곡률조절층(36)과 칼라필터층(37)에 의해 형성된 요철에 의해 볼록한 마이크로 렌즈(38)를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 마이크로 렌즈의 곡률 조절층(36)으로 폴리이미드가 사용되는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019950059323A KR970054303A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Ccd 고체촬상소자의 제조방법 |
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KR1019950059323A KR970054303A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Ccd 고체촬상소자의 제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR970054303A true KR970054303A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66619925
Family Applications (1)
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KR1019950059323A KR970054303A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Ccd 고체촬상소자의 제조방법 |
Country Status (1)
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KR (1) | KR970054303A (ko) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100382723B1 (ko) * | 2000-11-13 | 2003-05-09 | 삼성전자주식회사 | 고체촬상소자 및 그 제조방법 |
KR100457337B1 (ko) * | 1997-09-23 | 2005-01-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 그의 제조 방법 |
US8945979B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-02-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method |
US9012258B2 (en) | 2012-09-24 | 2015-04-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing an organic light-emitting display apparatus using at least two deposition units |
US9206501B2 (en) | 2011-08-02 | 2015-12-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using an organic layer deposition apparatus having stacked deposition sources |
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1995
- 1995-12-27 KR KR1019950059323A patent/KR970054303A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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WITN | Withdrawal due to no request for examination |