KR960039415A - 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법 - Google Patents
고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법에 관한 것으로, CCD 마이크로렌즈의 렌즈와 렌즈사이를 완만한 형태로 형성함으로써 마이크로렌즈의 성능 향상 및 CCD제조시의 수율향상을 도모한 것이다.
본 발명은 평탄층, 칼라필터층 및 상부평탄층이 차례로 형성된 고체촬상소자의 상기 상부평탄층 상부에 마이크로렌즈용 물질을 도포하는 공정과, 상기 마이크로렌즈용 물질을 선택적으로 노광 및 현상하여 소정의 마이크로렌즈패턴을 형성하는 공정, 상기 마이크로렌즈패턴을 열처리하여 마이크로렌즈를 형성하는 공정, 상기 마이크로렌즈를 경화시키는 공정, 상기 마이크로렌즈상에 평탄화물질을 도포하는 공정, 및 상기 평탄화물질을 열처리하여 평탄화 박막을 형성하는 공정으로 이루어진 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법을 도시한 도면.
Claims (2)
- 평탄층, 칼라필터층 및 상부평탄층이 차례로 형성된 고체촬상소자의 상기 상부평탄층 상부에 마이크로렌즈용 물질을 도포하는 공정과, 상기 마이크로렌즈용 물질을 선택적으로 노광 및 현상하여 소정의 마이크로렌즈패턴을 형성하는 공정, 상기 마이크로렌즈패턴을 열처리하여 마이크로렌즈를 형성하는 공정, 상기 마이크로렌즈를 경화시키는 공정, 상기 마이크로렌즈상에 평탄화물질을 도포하는 공정, 및 상기 평탄화물질을 열처리하여 평탄화 박막을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 평탄화물질은 상기 마이크로렌즈용 물질의 굴절율보다 작은 굴절율을 갖는 것을 특징으로 하는 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950009117A KR960039415A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950009117A KR960039415A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960039415A true KR960039415A (ko) | 1996-11-25 |
Family
ID=66523404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950009117A KR960039415A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 고체촬상소자의 마이크로렌즈 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960039415A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020069846A (ko) * | 2001-02-28 | 2002-09-05 | 삼성전자 주식회사 | 마이크로렌즈를 구비한 고체 촬상 소자의 제조방법 |
-
1995
- 1995-04-18 KR KR1019950009117A patent/KR960039415A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020069846A (ko) * | 2001-02-28 | 2002-09-05 | 삼성전자 주식회사 | 마이크로렌즈를 구비한 고체 촬상 소자의 제조방법 |
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